MKS Granville-Phillips 835 VQM Series User manual

Instruction manual part number 835007
Revision F - November 2016
Series 835
Instruction Manual
Granville-Phillips®Series 835 VQM®
Differential Pump System

This Instruction Manual is for use with all Series 835 VQM®
Differential Pump Systems with Edwards vacuum pumps.
A list of applicable catalog numbers is provided on the
following page.
This product is RoHS compliant.
Granville-Phillips®Series 835 VQM®
Differential Pump System
Series 835
Instruction Manual
© 2016 MKS Instruments, Inc. All rights reserved.
Granville-Phillips®, VQM®, VQI®, and Micro-Ion®are registered trademarks of MKS Instruments, Inc.
Vacuum Quality IndexTM, Vacuum Quality MonitorTM and mksinstTM are trademarks of MKS Instruments,
Inc. All other trademarks and registered trademarks are the properties of their respective owners.
Customer Service / Technical Support:
MKS Pressure and Vacuum Measurement Solutions
MKS Instruments, Inc., Granville-Phillips®Division
6450 Dry Creek Parkway
Longmont, Colorado 80503 USA
Tel: [phone]
Fax: [phone]
Email: [email protected]
MKS Corporate Headquarters
MKS Instruments, Inc.
2 Tech Drive, Suite 201
Andover, MA 01810 USA
Tel: [phone]
Fax: [phone]
Email: [email protected]

Catalog numbers for Series 835 VQM®Differential Pump Systems
835 VQM Differential Pump System
Product/Description. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Catalog Number
Differential Pump System, MS Gauge, Total Pressure Gauge, Cross Fitting, 835901- DPS -#(a) # # - #(b)
Roughing Pump, Turbo Pump, Orifice, Power Supply & Cord
Pressure Range: 90 mTorr to 3000 mTorr . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Orifice Size 1
Pressure Range: 9 mTorr to 350 mTorr . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Orifice Size 2
Pressure Range: 1 mTorr to 45 mTorr . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Orifice Size 3
Pressure Range: .05 mTorr to 2.2 mTorr . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Orifice Size 4
Pressure Range: .02 mTorr to 1 mTorr . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Orifice Size 5
No Bypass Valve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . N
Manual Valve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . M
Pneumatic Valve (24 Vdc) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . P
Mass Range AMU 1-145 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
Mass Range AMU 1-300 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
Power Cord (b) (see below) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . #
(a) = Size of Orifice (1 through 5) - see above.
(b)= Power Cord: -1 = North American 115 VAC & Japan 100 VAC, -2 = North American 240 VAC,
-3 = Universal European 220 VAC, -4 = United Kingdom 240 VAC
835 VQM Controller and Software
NOTE: The following items are required for system operation, but are not
included with the Differential Pump System catalog number listed above.
Controller, Single Gauge, Benchtop Mount, USB 2.0, Power Supply & Cord . . . . . . . . . . 835500-U#- #
Mass Range AMU 1-145 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
Mass Range AMU 1-300 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
Power Cord for VQM Controller (b) (see above) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . #
Cable - VQM Controller to VQM Gauge. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 835300-##M
1 meter (3.28 ft) long . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 01
3 meters (9.84 ft) long . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 03
Cable - VQM Controller to 390 Micro-Ion ATM Module. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 802301-##M
1 meter (3.28 ft) long . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 01
3 meters (9.84 ft) long . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 03
10 meters (32.8 ft) long . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
CD- 835 VQM Software Suite (Viewer Application Software, LabVIEW VI) . . . . . . . . . . . . . . . 835400
835 VQM Differential Pumping Options / Replacements
KF40 Adapter Kit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 801210-K
Isolation Valve Kit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 801700-#-K
Manual Valve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . M
Pneumatic Valve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . P
Orifice Valve Hardware Kit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 801701-#-K
Manual Valve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . M
Pneumatic Valve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . P
Hardware/Bolt Kit - includes 6 flange bolts & washers, 3 plate nuts, & 1 copper gasket . . . 801274-1
Bolt Kit for Orifice when no Gate Valve is used . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 801207-K
Field Replaceable Filament Assembly Kit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 830105-Y-K
Field Replaceable Electron Multiplier Kit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 835110-K
Orifice for Gate Valve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 801211-#(a)
Orifice for when no Gate Valve is used . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 801212-#(a)
#(a) = Size of Orifice (1 through 5) - see above.
Windows, Windows XP, and Windows 7 are registered trademarks of Microsoft Corporation.
LabVIEW is a registered trademark of National Instruments Corporation.

5
Series 835 VQM Differential Pump System
Instruction Manual - 835007
Chapter 1 Safety Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.1 Safety Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.2 Equipment Grounding . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
1.3 Implosion / Explosion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.4 Hot Surfaces . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
1.5 Mounting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
1.6 Pneumatic Valve Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
1.7 User’s Responsibility . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
1.8 Damage Requiring Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
1.9 Service Guidelines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
1.10 FCC Verification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
1.11 Warranty Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
1.12 Declaration of Incorporation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
Chapter 2 Introduction & Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
2.1 General Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
2.1.1 Intended Use . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
2.1.2 Proper Use . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
2.1.3 Improper Use . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
2.1.4 Transportation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
2.1.5 Storage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
2.1.6 Rough Vacuum Pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
2.1.7 Turbomolecular Pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
2.1.8 Pressure Reduction and Isolation Valves . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
2.1.9 Series 390 Total Pressure Measurement Gauge. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
2.1.10 Series 835 Vacuum Quality Monitor (VQM). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
2.2 Receiving Inspection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
2.3 Compliance & Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
2.3.1 Compliance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
2.3.2 Dimensional Illustration. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
2.3.3 VQM Differential Pump System Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
2.3.4 Host/PC Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Chapter 3 Hardware Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
3.1 Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
3.2 Unpacking the Components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
3.2.1 Before Opening the Boxes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
3.3 Install the Differential Pressure System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
3.3.1 Preparing for Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
3.3.2 Vacuum Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
3.3.3 Electrical Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
3.4 System Grounding Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
3.4.1 System Ground Test Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
3.5 Pneumatic Valve Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
3.6 Install the VQM Viewer Application Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
3.7 Initial Power-up Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
3.8 Power-down Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
Table of Contents