e2v AVIIVA EM4 User manual

  


1 1013C - AVIIVA EM2/EM4 11/10 e2v semiconductors SAS 2010






 



  


2 1013C - AVIIVA EM2/EM4 11/10 e2v semiconductors SAS 2010

   !
 .................................................................................................................................................... 5
 .................................................................................................................................. 5
 
  !"#$%
& ""%
& ' ............................................................................................................................................... 7
( )) ............................................................................................................................... 7
 *) ....................................................................................................................................................... 7
 "# $  %
 "+ ...................................................................................................................... 8
 ,"-........................................................................................................................................... 9
& ./ 0 1# ......................................................................................................................... 10
& 0 "1 
& ).
& ' ($ )# 
& )'2-............................................................................................................................ 11
& ,!*31' ................................................................................................... 13
31'# &
31'# (
& 42(
 *))$ *))( %
( 567
( -"..................................................................................................................... 19
!  #)$ )# +
 )*, ......................................................................................................................... 20
 )4)*""*" .............................................................................................. 21
 6
 ""*4- 
& 8,"* 
& """* ................................................................................................................................ 22
& ," 
& '"*""  &
&& 9 "/ *5 (
&( ,"-"  
& 16*+  :
&% 8* &

  


3 1013C - AVIIVA EM2/EM4 11/10 e2v semiconductors SAS 2010
&% )-8  &&
&% ) &(
&%& 16 &%
&: ))* &:
&: #9)*;*< &$
&: ")5  (
&:& )))* (
&:( =>-" (&
&7 3>= 5)  ((
&$ *34)  (%
& 4#)-3#) (:
& #/ .-  (7
, ""$ (-.)/"// 0
% 4?)2#........................................................................................................... 49
% 4?,75" .................................................................................................... 49
% 46) ($
% (46)  ($
%& (746) 
%( ($%46) 
%& 4?,5"................................................................................................... 51
%& 46)
%& (46) 
%&& (746)
%&( ($%46) 
%( 4?,5"................................................................................................... 52
%( 46) 
%( (46)  
%(& (746) &
%(( ($%46) &
1 ""$ (-2.)3/ !
: @ >.............................................................................................................................................. 54
: "*-......................................................................................................................... 55
:& 4"## "....................................................................................... 56
% ""$ (-. 4//56 !%
7 ;................................................................................................................................................... 58
7 / (6............................................................................................................................. 59
0 ""$ (-(.)  2'   )$ * ,+
$ "..................................................................................................................................................... 60
$ """........................................................................................................................... 61
+ ""$ (-. $ ( 7 ,
 ,"............................................................................................................................................ 62

  


4 1013C - AVIIVA EM2/EM4 11/10 e2v semiconductors SAS 2010
 '"*"" .................................................................................................................... 62
& *59 "*................................................................................................... 63
( ,"-" ........................................................................................................................................ 63
 16*+ .......................................................................................................... 64
% 8* .................................................................................................................................... 64
: ))*............................................................................................................................ 66
7 3> 5)......................................................................................................................................... 67
$ *34).................................................................................................................. 67
 4#)-3#).................................................................................................................................... 68
 #/ .-................................................................................................................. 68
 ""$ (-#.5' / ,0

  8

5 1013C - AVIIVA EM2/EM4 11/10 e2v semiconductors SAS 2010
 
 
 ?
o (6(A"((6(A"(7(6(A"($%6A"6)
#
o ((67A"(76A"(7(67A"6) !"
$
 ,?"3>B19!*"1(
 '?
o 1?746)!
o 1(?%46)!
 '?975
 C9);;5)"-9D 3-
 "5)*))*
 6
 3>= 5)
 *5)22"*
 .,
 "*-?$&6%6(&""299*
 ))-5)2#E"""=32
 

D ?))#)3-#5"
 
// )4  /
///9"9/

.) 
  ( (7 (7 46)

6)+F   (67 (67 (67 6  A" 
6)G1((   % ::$ &:(
6)G1  % : &:( $(
>@ +
:/";/9"9/:3
*  799   
.  %(%(%( 7  3!H !"I  
))J)) 
:

)
.)  9  C 
4.D =    C 
'"-  %7  * 

  8

6 1013C - AVIIVA EM2/EM4 11/10 e2v semiconductors SAS 2010
  !"#$
// )4  /
///9"9/

.) 
  ( (7 (7 46)

6)+F   (67 (67 (67 6  A" 
6)G1((   % ::$ &:(
6)G1  % : &:( $(
>@ +
:/";/9"9/:3
*  799   
.7("  :7  3!H !"I 
))J)) 
&&&7

)
.)  9  C 
4.D =    C 
'"-  :  * 
42)'K L ;
 
K42)'$#@ )"
& ""
#//<"365//;= 
8  =&  * 
  ;($%M($%  3 
--*  "**--*16 -916, "* 
://; 
+266) 
$&6%6(&2))>
%6%6(&2))>

"" 
J- 
&2"5)*
))
> -


3 9 9(6
")2,, 
)-"(  N  A" 
)  N&  A" 
42)  -)'('   
42*
322"*

L
L(

J
J

*#/ 
-"  :,)

O 
-"  ;(:  O 
.-)  19*.@ ") 

  8

7 1013C - AVIIVA EM2/EM4 11/10 e2v semiconductors SAS 2010
& '
,,1!1(*-*2**)""**
"-F)J)($%6)9**-2'"-9*)#
"92""
,5);9"93= "5)9-
-*"*-)
-);6)#$***))
 "- "
1!1(5"#E)-6"--9*#F)##
")?"9)5)9*-")*-

( ))
 J5,?"))-92*996)P
 4)?>*)9-
 4,
 -?*9)9)9>9P
 ?2949P
 '"#-9*#-
 .*5**-
  !" 20 #

 *)

"/$ 6   /4/ 9/
5
1:Q1(3(;

(>6A" (6(@ +67@ + &:@ +
1:Q1(3(;

>6(A" (6(@ +67@ + :@ +
1:Q1(3(; >6(A" (6(@ +67@ + %@ +
1:Q1(3(; >6(A" (6(@ +67@ + @ +
1:Q13(;

(>6A" 6(@ + $@ +
1:Q13(;

>6(A" 6(@ + &:@ +
1:Q13(; >6(A" 6(@ + :@ +
1:Q13(; >6(A" 6(@ + %@ +
 )4//5
1:Q1(3;$

>A"6A" (6(@ +67@ + :@ +
1:Q1(3(;$

>(A"67A" (6(@ +67@ + :@ +
1:Q1(3(;$ >(A"67A" (6(@ +67@ + %@ +
1:Q13;$

>A"6A" 6(@ + &:@ +
1:Q13(;$

>(A"67A" 6(@ + &:@ +
1:Q13(;$ >(A"67A" 6(@ + :@ +

  8

8 1013C - AVIIVA EM2/EM4 11/10 e2v semiconductors SAS 2010
"# $ 
 "+
 / *<8:2= 5 *<8:2= 9*<+:2=
  

)4  9  )4  9  )4  9
(>$  3 ; 9 9  %9(   : ;
(3 ; ; :&?

; ; %&? ; ; %? ;
$  * ; (7 ; ; ( ; ; & ;
$ /
<6/?+@:0+@=
C  9(   9:   9 
//#/#:/A' ;//   
#"$  3  9&  ;  ; ; ( ;
#"$ 4>84> 3 ;   ; : ;  & 
"$  ; C ; 9 9 ; 9 ; ; 9 ;
"$  4>84> C ;  & ; 9 ; ; 97 ;
/#/#:/      
"$  ; 3 ; 9:  ; 9 ; ; &9( ;
"$  4>84> 3 ;  ; ; 9 ; ; ( ;

*?
-35"
*6"RA*)*RA
6""*(S(@ +
3-&28&7)"">
5)+*"&!(!O."!!,)
D .))*:C2"""8

  8

9 1013C - AVIIVA EM2/EM4 11/10 e2v semiconductors SAS 2010
 ,"-
 ))2-?























$96)-)*)-"
"?
A"-A"
7A"-(A"








"-A"A"*A"(A"5)*"*?
)








  8

10 1013C - AVIIVA EM2/EM4 11/10 e2v semiconductors SAS 2010
& ./ 0 1#
& 0 "1
















& ).
0
20
40
60
80
100
120
140
160
180
200
400 500 600 700 800 900 1000 1100
14µ BA0
10µ BA0
14µ BA9
10µ BA9
Wavelength (nm)
42B C
