FEI Quanta FEG 250 Mounting instructions

The Quanta FEG
250 / 450 / 650
User Operation Manual
5th Edition
20 August, 2010
Copyright © 2010
FEI Company
All rights reserved

Trademark Acknowledgments
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Windows XP™ is a trademark of Microsoft Corporation.
Production Acknowledgments
This manual was produced using FrameMaker™ document publishing software
Technical Authors
Martin Dufek

C-i
Chapter 1 Preface
User Manuals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
The User Safety Manual. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
The User Operation Manual . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
How to Use this Manual . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2
Chapter 2 System Overview
How Quanta FEG SEM Works . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
Vacuum System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
Image Viewing and Capture . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
Positioning of the stage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
System Layout of Quanta FEG. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
Software Interface Elements. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
Hardware Interface Elements. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
Quanta FEG Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
Chapter 3 System Operation
Quanta FEG Vacuum System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2
Vacuum Statuses. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
Pump button . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
Vent button . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
Vacuum Modes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
High Vacuum (HiVac) Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
Low Vacuum (LoVac) and ESEM Modes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
Quanta FEG System States . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7
Power Off . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-9
Chapter 4 Software Control
Other Software and Hardware . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
Software Interface Elements. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
Icons. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
Tool-Tips . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
Pull-down Menus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
Command Buttons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
List Boxes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
Property Editors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
Edit Boxes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
Radio Buttons / Check Boxes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
Adjusters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
2D Controls. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
Modules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
Dialogues . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
Tabs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
Progress bars . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
xT microscope Server Software. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-6
xT microscope Control Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-7
The Title Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
The Menu Bar. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
TABLE OF CONTENTS

C-ii
The Toolbar. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-20
Image Windows . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-21
Pages and Modules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-22
Preferences… Dialogue . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-29
FEI User Management Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-38
Control possibilities. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-38
FEI Account Administrators . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-38
Account Logging. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-40
Entering Commands in Summary . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-41
Using the Mouse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-41
Using the Keyboard . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-42
Chapter 5 Operating Procedures
Specimen Preparation and Handling. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
Needed items . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
Natural specimen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
Coated Specimen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
Mounting the Specimen to the Holder. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-3
Inserting / Exchanging a Specimen and / or a Detector . . . . . . . . . . . . . 5-3
Obtaining an Image . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
Operation Pre-Check . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
Selecting Vacuum Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5
Spot Size. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-6
Obtaining an Image on Screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7
Optimising an Image . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7
Principles of SEM imaging . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7
Magnification. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7
Scan Speed and Filtering . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-8
Contrast and Brightness . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-9
Focusing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-10
Correcting Astigmatism. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-10
Pressure and Working Distance (WD) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-11
Digital Imaging Enhancement / Imaging Mixing / Coloring . . . . . . . . . . 5-12
Detector Types and Usage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-14
Detector Connection. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-15
Everhart Thornley Detector (ETD) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-15
Backscattered Electrons (BSED)
and Gaseous Analytical (GAD - optional) Detectors. . . . . . . . . . . . . . . 5-15
Large Field Detector (LFD). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-17
The CCD camera . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-17
Gaseous Secondary Electron Detector (GSED). . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-18
PLA Cones . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-19
Discharges between the Gaseous Detectors and the Sample . . . . . . . 5-20
Obtaining image Procedure for Gaseous Detectors . . . . . . . . . . . . . . . 5-20
Capturing and Handling Single Image. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-21
Image types . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-21
Saving / Opening / Printing. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-22
Recording Movies (Saving Multiple Images). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-23

C-iii
Movie TAB Preferences Dialogue. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-23
Movie Procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-25
FEI Movie Creator. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-26
Playing a Movie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-28
Measurement and Annotation Functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-29
Tools . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-29
Chapter 6 Alignments
Quanta FEG System Alignments . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
Common Rules. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
Buttons and Control Elements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-3
Final Lens Aperture Strip Alignment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-4
Aligning Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-4
1 - Gun Alignment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-5
2 - Stigmator Alignment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-7
3 - Stage Rotation Centre . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-8
5 - Emitter Startup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-9
94 - CCD Camera Alignment. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-11
154 - Water Bottle Venting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-12
Chapter 7 Stages
Stages Types and Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2
Quanta FEG 250 – 50 mm Stage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2
Quanta FEG 450 / 650 – 100 / 150 mm Stage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-3
Eucentric Position. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-4
Stage movement limits . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-6
Software Stage Functions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-7
Map tab. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-7
Coordinates tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-9
Tilt tab. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-10
Navigation Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-10
Stage Related Functions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-11
Stage Movements. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-11
Specimen Alignment. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-14
Scan Rotation (Shift + F12) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-18
Chapter 8 Maintenance and Troubleshooting
Cleaning Procedures Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-2
List of Applied Cleaners . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-2
Cleaning Column Parts. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-2
Materials and Technique. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-3
The Standard Insert. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-4
Removing and Disassembling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-4
Housing Cleaning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-5
Platinum Apertures Cleaning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-5
Platinum Apertures Installing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-6
Aperture Strip Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-7
Removing the Aperture rod. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-7

C-iv
Replacing the Aperture Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-8
Replacing the Aperture rod. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-8
Gaseous Detectors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-9
Cleaning the GSED / LFD. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-9
Cleaning the GBSD. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-9
Stage maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-10
Stage mechanics. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-10
Specimen Holders. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-10
Refilling the Water Bottle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-11
Pre-Vacuum Pump Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-12
Periodic check. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-12
Troubleshooting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-13
Diagnostics Auto Report. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-15
Simple TAD. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-16
Chapter 9 System Options
Manual User Interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-2
Joystick . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-2
Automatic Aperture System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-3
6 - Aperture Alignment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-3
Nav-Cam . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-5
Capturing Navigation Image Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-5
401 - Nav-Cam AutoBrightness . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-6
Optional Detectors. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-7
Gaseous Back scattered Electron Detector (GBSD) . . . . . . . . . . . . . . . 9-7
In Column Detector (iCD) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-8
Retractable Detectors Control. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-8
Scanning Transmission Electrons Microscopy Detector (STEM I) . . . . . 9-9
Annular Scanning Transmission Electrons Microscopy
Detector (STEM II) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-11
Low-voltage High-contrast Detector Lens Mounted / Retractable (vCD) 9-14
Directional Backscattered Detector –
Concentric Backscattered Detector (CBS) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-15
ESEM & Gaseous Analytical Detector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-16
Quad Backscattered Electrons Detector (Quad BSED) . . . . . . . . . . . . 9-16
Photo Multiplier Tube / Backscattered Electron Detector
Autrata, Centaurus (PMT-BSE). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-17
Energy Dispersive X-ray (EDX) Analysis. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-18
The Support PC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-18
High Vacuum EDX Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-18
LFD EDX Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-19
GSED EDX Analysis. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-19
GAD EDX Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-20
STEM EDX Analysis. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-20
Cooling Stage / Waterless Cooling Stage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-21
Cooling Stage Parts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-21
Cooling Stage Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-24
Software Control. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-27

C-v
Cooling Stages Basic Operations. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-30
Water Cooled Temperature Stage Operation Termination . . . . . . . . . . 9-32
Wet STEM . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-33
Wet STEM Basic operations. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-34
Heating Stage 1000 °C / Heating Stage 1500 °C . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-35
Heating Stages Parts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-35
Heating Stage Installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-40
Software Control. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-41
Heating Stages Basic Operations. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-44
HS Maintenance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-48
CryoCleanerEC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-50
Parts and Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-50
CryoCleaner Operation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-51
Maintenance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-53
Spare Vessel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-53
Plasma Cleaner . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-54
Sample Cleaning Procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-55
104 - Plasma Cleaning Alignment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-56
Quanta Morphologi . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-57
Sample preparation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-57
Image acquisition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-58
Recommended settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-59
Symmetrical Low Vacuum Detector (SLVD) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-60
Mapping tool. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-61
Image Analysis. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-62
Measurement Accuracy Verification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-62
Remote Imaging. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-65
Connection to the Microscope PC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-65
Microscope PC's desktop Sharing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-66
Controlling the microscope remotely . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-66
Beam Deceleration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-67
Detection Principles . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-67
Stage Modification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-68
Beam Deceleration Applications. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-69
Beam Deceleration Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-69
Specimen Holder Kit Option. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-71
Location positions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-71
Older Interface Adapter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-72
Interface pillar. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-72
Multi-Holders. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-73
Polished Mount Holders . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-74
Clamp Stubs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-74
Torx Drivers. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-74
Quick Loader . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-75
General description. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-75
Installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-78
Operations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-79

C-vi

1-1
1PREFACE
User Manuals
THE USER SAFETY MANUAL
provides important information required during an operation and a
maintenance for a product and personal safety. Be sure to read this
document (which is delivered as the PDF file and in the printed form
also) at least.
THE USER OPERATION MANUAL
for your Scanning Electron Microscope is divided into the following
chapters:
1. PREFACE
provides information about the manual structure.
2. SYSTEM OVERVIEW
gives the basics about your system capabilities.
3. SYSTEM OPERATION
gives the basics about the vacuum system and procedures for
several system on/off modes, including Log On/Off, Standby Mode,
Overnight Mode, Complete Shutdown, and Emergency Shutdown.
4. SOFTWARE CONTROL
describes the interface that controls system operation, giving the
function of each tool, menu item and control page.
5. OPERATING PROCEDURES
gives procedures for how to use the system.
6. ALIGNMENTS
explains how to align the column and stage to achieve optimal
performance.
7. STAGES
gives a full description of the stage functionality and its software
control.
8. MAINTENANCE
gives step by step cleaning and maintenance procedures.
9. SYSTEM OPTIONS
explains relevant options that are integrated into or accessory
to the system.

Preface: How to Use this Manual
1-2
How to Use this Manual
This manual is available in two forms, the electronic PDF file and the
printed form (option).
It is recommended to read this manual before operating any of the
microscope function. Most importantly, you should locate the topics
necessary to operate the microscope in the proper way to safely
achieve the best results.
In the electronic PDF file you can take advantage of the searching and
navigation possibilities offered by this file format. In the printout the
following conventions are observed to be of help:
• You can search for the information in the main table of contents at
the beginning of the User’s manual, where tables and figures
(excluding explanatory ones) are also listed.
• Major headings have been hung in the left column to help you scan
for the basics within a chapter. That column provides space for
some explanatory figures and for your own notes as well.
• Some software functions use short-cuts, which are given beside
the heading in the brackets (for instance: Save (Ctrl + S))and in
the summary table available from the Help menu.
• Pages are numbered by this way:
[Chapter No.]-[Page No.] within the Chapter. Instead of
[Chapter No.] you can find an abbreviation C, which means
content pages.
• Tables and figures (excluding explanatory ones)
are numbered within each chapter in this way:
FIGURE [Chapter No.]-[Figure No. within the Chapter]
TABLE [Chapter No.]-[Table No. within the Chapter]
• A reference to the specific element is highlighted in bold and it
guides to its particular UI placement. For instance:
“Clear the Stage module / Coordinates tab / Zcoordinate check
box.”