Magnescale Laserscale SET-HD100 User manual

SET-HD100
取扱説明書 / Instruction Manual
自己校正型レーザロータリエンコーダ / Self-calibrating Laser Rotary Encoder
お買い上げいただき、ありがとうございます。
ご使用の前に、この取扱説明書を必ずお読みください。
ご使用に際しては、この取扱説明書どおりお使いください。
お読みになった後は、後日お役に立つこともございますので、必ず保管してください。
Read all the instructions in the manual carefully before use and strictly follow them.
Keep the manual for future references.
レーザスケール / LASERSCALE

SET-HD100
[For U.S.A. and Canada]
THIS CLASS A DIGITAL DEVICE COMPLIES WITH PART15
OF THE FCC RULES AND THE CANADIAN ICES-003.
OPERATION IS SUBJECT TO THE FOLLOWING TWO
CONDITIONS.
(1) THIS DEVICE MAY NOT CAUSE HARMFUL
INTERFERENCE, AND
(2) THIS DEVICE MUST ACCEPT ANY INTERFERENCE
RECEIVED, INCLUDING INTERFERENCE THAT
MAY CAUSE UNDERSIGNED OPERATION.
CET APPAREIL NUMÉRIQUE DE LA CLASSE A
EST CONFORME À LA NORME NMB-003 DU CANADA.
CDRH regulations: DHHS 21 CFR
This product complies with CDRH (Center for Devices
and Radiological Health) regulations concerning laser
products.
Products sold within the U.S. must comply with this
standard.
[For EU and EFTA countries]
CE Notice
Marking by the symbol CE indicates compliance with the
EMC directive of the European Community. This marking
shows conformity to the following technical standards.
EN 61000-6-4 :
"Limits and methods of measurement of radio
disturbance characteristics of industrial, scientic and
medical (ISM) radio-frequency equipment"
EN 61000-6-2 :
"Electromagnetic compatibility (EMC) - Part 6-2 :
Generic standards - Immunity for industrial
environments"
For DC power-driven products to meet EN 61000-6-2, the
following operational conditions must be satised.
Cable length for input power source : 2 m or less
EN 60825-1 :
Safety of laser products – Part 1: Equipment classication,
requirements and user's guide.
警告
本装置を機械指令(EN60204-1)の適合を受ける機器
にご使用の場合は、その規格に適合するように方策
を講じてから、ご使用ください。
Warning
When using this device with equipment governed by
Machine Directives EN 60204-1, measures should be
taken to ensure conformance with those directives.
Warnung
Wenn dieses Gerät mit Ausrüstungsteilen verwendet
wird, die von den Maschinenrichtlinien EN 60204-1
geregelt werden, müssen Maßnahmen ergrien werden,
um eine Übereinstimmung mit diesen Normen zu
gewährleisten.

SET-HD100
(J) (1)
安全のために
当社の製品は安全に充分配慮して設計されています。しかし、操作や設置時にまちがった取
扱いをすると、火災や感電などにより死亡や大ケガなど人身事故につながることがあり、危
険です。また、機械の性能を落としてしまうこともあります。
これらの事故を未然に防ぐために、安全のための注意事項は必ず守ってください。操作や設
置、保守、点検、修理などを行なう前に、この「安全のために」を必ずお読みください。
警告表示の意味
このマニュアルでは、次のような表示をしています。表示内容をよく理解してから本文をお
読みください。
 警告
この表示の注意事項を守らないと、火災や感電などにより死亡や大ケガなど人身事故につな
がることがあります。
 注意
この表示の注意事項を守らないと、感電やその他事故によりケガをしたり周辺の物品に損害
を与えることがあります。
注意を促す記号
     
注意 火災注意 感電注意 指はさみ注意 レーザ注意 静電気対策
 作業区域
行為を禁止する記号

分解禁止
行為を指示する記号

 プラグの取外し

SET-HD100
(2) (J)
警告
仕様電源電圧以外で使用しない
表示された電源電圧以外での電圧で使用しないでください。
アースを接地する
アース端子はアース線で接地してください。
➡
守らないと
火災や感電の原因
となる恐れがあり
ます。
分解しない
本体を分解、改造しないでください。 ➡
守らないと
火災やケガの恐れ
があります。
作業時は駆動源を切る
電源などの駆動源は必ず切って作業をしてください。 ➡
守らないと
火災や事故の原因
となる恐れがあり
ます。
濡れた手で取付け作業を行なわない
濡れた手による取付作業は行なわないでください。 ➡
守らないと
感電の原因となる
恐れがあります。
レーザ射出部分をのぞきこまない
本装置は、半導体レーザを使用したクラス 3B(DHHS:IIIb)
レーザ製品です。本装置に使用している半導体レーザの波
長は可視帯域 790nm、最大出力は 5mW です。ヘッドユニッ
ト内部から射出されるレーザ光は、人体に有害です。
光が漏れる可能性がありますので、通電時にヘッドユニッ
トのレーザ光射出部を覗き込まないでください。また、取
付け前にレーザを射出させないでください。
本装置は、以下の規格、基準に適合しています。
国際規格
 EN60825-1 を含む安全基準に適合しています。
日本工業規格 :JISC6802
 レーザ製品の安全基準に適合しています。
CDRH 規定 :DHHS21CFR
 米国食品医薬品局CDRH(CenterforDevicesand
RadiologicalHealth)のレーザ製品に関する規定に適合し
ています。
 米国内で販売される製品はこの基準に適合する必要があ
ります。
➡
守らないと
ケガの恐れがあり
ます。

SET-HD100
(J) (3)
注意
作業の安全確保する
作業を行なう前には、装置の状況をよく確かめて作業の安
全を確保してください。
➡
守らないと
感電の原因となる
恐れがあります。
指挟み込みに注意する
電源などを入れて動かす場合は、周辺機械や装置などに指
を挟まれないように充分注意してください。
➡
守らないと
ケガの恐れがあり
ます。
静電気対策をする。
静電対策を充分に行なってください。充分な静電気対策が
行なわれないと、内部の半導体が破損する可能性がありま
す。
➡
守らないと
周辺機器に損害を
与える恐れがあり
ます。

SET-HD100
(4) (J)
安全ラベル貼付け位置
ヘッドユニット表面
3
2
4
1
5
6
7
  ヘッドユニット裏面
8
インターポレータユニット
9
キャリーケース
10
2
4
3
6
注意ラベル
①
DO NOT OPEN THIS PANEL
②
THIS CLASS A DIGITAL DEVICE COMPLIES WITH PART15 OF THE FCC
RULES AND THE CANADIAN ICES-003.
OPERATION IS SUBJECT TO THE FOLLOWING TWO CONDITIONS :
(1) THIS DEVICE MAY NOT CAUSE HARMFUL INTERFERENCE, AND
(2) THIS DEVICE MUST ACCEPT ANY INTERFERENCE RECEIVED,
INCLUDING INTERFERENCE THAT MAY CAUSE UNDESIRED OPERATION.
CE T APPA R E I L NUMÉRIQUE DE L A CLASSE A EST CONFORME À LA NORME
NMB-003 DU CANADA.
③
AVOID EXPOSURE TO BEAM
CLASS 3B LASER PRODUCT
EN60825-1
WAVE LENGTH : 790nm
MAXIMUM OUTPUT : 5mW
ビームの被曝を避けること
クラス 3B レーザ製品
JIS C 6802
波長 ：790nm
最大出力：5mW
警告不可視レーザ光
WARNING INVISIBLE LASER RADIATION
④
PRODUCT COMPLIES WITH
DHHS RULES 21 CFR
SUBCHAPTER J APPLICABLE AT
DATE OF MANUFACTURE.
Manufactured:
( M o n t h Y e a r )
CERTIFICATION
⑤
CLASS 3B: LASER PRODUCT
クラス 3B: レーザ製品
⑥
INVISIBLE LASER RATIOTION-AVOID
DIRECT EXPOSURE TO BEAM
PEAK POWER 5mV
WAVELENGTH 790nm
CLASS Ⅲb LASER PRODUCT
⑦ ⑧ ⑨
BD350
S/N
DC+24V
MADE IN JAPAN
* * * * * *
⑩
S/N
MADE IN JAPAN
Rotary Encoder System
SET-HD100
* * * * * *

SET-HD100
(J) (5)
使用上の注意事項
• 本製品は波長 790nm の半導体レーザ(5mW 以下 )を用いたクラス 3B(DHHS:IIIb)レーザ製品です。使用
者、製造者は規格に従った安全予防策をとる必要があります。本製品を使用していただくためには、クラス
3B にしたがった予防策をとる必要があります。
• 電源供給中は、ヘッドユニットのレーザ光射出部を覗き込まないでください。
 本品は半導体レーザ( 波長 790nm)を使用しております。レーザ光は、人体に有害です。
• 電源を供給したまま、接続ケーブルのコネクタを接続したり外したりすることは、絶対に行なわないでくだ
さい。センサの光源の故障の原因となります。
• ヘッドユニットのコネクタピンに触れないよう、ご注意ください。故障の原因となります。
• ケーブルを強く引いたり、無理に曲げてのご使用は避けてください。{ 曲げ半径( 内側 )静止状態 :50mm 以上、
稼動不可 }
• 本製品は同製品であっても、出荷時に提供したヘッドユニット/スケールユニット/インターポレータユ
ニットの組合せ以外では、機能・性能が保証されません。必ず提供時の組合せでご使用ください。組合せは
各ユニットのシリアル番号で確認可能です。( シリアル番号位置 :「9.外形寸法図」参照 )
• 電源投入後 30 分位経過しますと、ヘッドユニットの温度が安定状態となります。その後にご使用ください。
• 外気温の変化など、精度に影響を与える要素が生じた場合は、定期的に自己校正を行なってください。
• 本品は精密測定器のため、過度の衝撃が加わらないよう取扱いには充分注意してください。また、輸送する
ときは必ず製品購入時と同じ包装形態でお願いします。コネクタ部の保護キャップを必ず取付けてください。
設置上のご注意
本機を設置するときは、他の機器からのノイズ、電磁波障害などを防止するため、以下の点に注意してください。
• 接続ケーブルは、動力線と同じダクトには通さないでください。
• 電源はノイズの少ない電源から供給してください。
• 高電圧源、大電流源および大電力リレー等からは必ず 0.5m 以上離してください。
• ヘッドユニットとインターポレータユニット間のケーブルは繰り返し曲げ( ケーブルベアなど )のかかる場
所でのご使用は避けてください。
• ヘッドユニットおよびインターポレータユニットのアース設置は確実に行なってください。アースが不安定
な場合、本来の性能を発揮できないことがあります。
• 万が一、ヘッドユニット取付け部、インターポレータ取付け部、接続機器のフレームグラウンドの間に大き
な電位差が生じる場合、製品の筐体およびケーブルのシールドに流れる電流によって、製品が正常に動作し
ない可能性があります。下図のように各機器をアースするなどの対策を行なってください。

取付けによる
フレーム GND
接続
フレーム GND
ヘッドユニット インターポレータユニット
アース端子
接続機器 供給電源
• 静電破壊を防ぐため、静電気防止リストバンドを装着して作業を行なってください。
• ヘッドユニット、スケールユニット等を取付ける際は、トルクレンチを用いて管理してください。
 締付けトルクの不均一や、強すぎは出力低下やドリフトの原因となります。
[ 推奨締付けトルク ]
M6 ねじ:1.0N·m 0.1N·m( ヘッドユニット )
M4 ねじ:0.6N·m 0.06N·m( スケールユニット )
M4 ねじ:0.3 〜 0.4N·m 程度( スケールユニットのケース取付け時 )
• 本製品は、周囲温度 +10ºC 〜 +30ºC( 結露なし )の範囲内でご使用ください。
 直射日光や熱風の当たる場所や、モータなどの近くで熱源のある場所への取付けは避けてください。精度悪
化の原因となります。
• 水溶性切削液等の液体がスケールユニットに付着しないよう充分な対策を行なってください。
• 取付けられたスケールユニットの上にものを置いたり、作業者がひじや足を掛けるなど、無理な力をかける
ことは絶対に避けてください。
• 製品を落としたりぶつけたりしないでください。過大な衝撃や応力等がかかると故障の原因となります。

SET-HD100
(6) (J)
保存上のご注意
• 未使用時は、低湿度環境に保存してください。
 本製品は、結露したり高温高湿度に保存したりすると、光学部品が変質し故障の原因となります。特にクリー
ンルームの電源停止時には結露が起こりやすいので、お気をつけください。輸送時には、接続コネクタ部の
保護キャップをつけてください。また、湿気を防ぐためのシリカゲルを入れて密閉するなどの手当ても必ず
行なってください。
輸出時の取扱いについて
• 本製品は、リスト規制：角度の測定装置 輸出管理令別表第1の2項(12)2、省令第 1 条十七号ハに該当します。
輸出に関しましては、関連法規を確認し許可を得て輸出してください。製品のみならず、取扱説明書、校正
証明書も同等の取扱いが必要です。
一般的注意事項
以下は当社製品を正しくお使いいただくための一般的注意事項です。個々の詳細な取扱上の注意は、本取扱説
明書に記述された諸事項および注意をうながしている説明事項に従い、正しくお使いください。
• 始業または操作時には、当社製品の機能および性能が正常に作動していることを確認してからご使用くださ
い。
• 当社製品が万一故障した場合、各種の損害を防止するための充分な保全対策を施してご使用ください。
• 仕様に示された規格以外での使用または改造を施された製品については、機能および性能の保証はできませ
んのでご留意ください。
• 当社製品を他の機器と組合せてご使用になる場合は、使用条件、環境などにより、その機能および性能が満
足されない場合がありますので、充分ご検討の上ご使用ください。
本製品を使用したことによって生じた損害、逸失利益、および第三者からのいかなる請求等につきましては、
弊社は一切その責任を負いかねます。

(J) i
SET-HD100
目次
1. 概要............................................................................................1
1-1. はじめに......................................................................................................1
1-2. 主な特長......................................................................................................1
1-3. 製品構成......................................................................................................1
1-4. 同梱内容......................................................................................................2
2. 各部の名称と働き.....................................................................3
2-1. ヘッドユニット...........................................................................................3
2-2. スケールユニット.......................................................................................3
2-3. インターポレータユニット.......................................................................4
2-3-1. フロントパネル.............................................................................4
2-3-2. リアパネル.....................................................................................5
3. 取付けと接続.............................................................................6
3-1. 取付け..........................................................................................................6
3-1-1. 準備するもの.................................................................................6
3-1-2. 取付け作業の流れ..........................................................................6
3-1-3. 取付け手順例.................................................................................7
3-2. 接続............................................................................................................10
3-2-1. 準備するもの...............................................................................10
3-2-2. 接続手順.......................................................................................10
4. 操作..........................................................................................11
4-1. 自己校正を実行して行なう計測..............................................................11
4-2. 前回の自己校正値データを利用した計測..............................................12
5. キャリーケースへの収納........................................................13
6. 保守および定期校正...............................................................17
6-1. お手入れ....................................................................................................17
6-2. 定期校正....................................................................................................17
7. トラブルインフォメーション................................................18
8. 仕様..........................................................................................19
8-1. システム仕様............................................................................................19
8-2. 取付け誤差範囲と環境および回転精度の条件......................................19
8-3. ヘッドユニット仕様.................................................................................20
8-4. スケールユニット仕様.............................................................................20
8-5. インターポレータユニット仕様..............................................................21
8-6. 接続ケーブル............................................................................................21

ii (J)
SET-HD100
9. 外形寸法図...............................................................................22
9-1. ヘッドユニット/スケールユニット.....................................................22
9-2. インターポレータユニット.....................................................................24