MKS 141A Series User manual

112905-P1
Rev C, 8/98
MKS Type 141A/142A
Vacuum Pressure
Switch

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Swagelok®, VCR®, and VCO®are registered trademarks of Swagelok Marketing Company,
Solon, OH
Inconel®is a registered trademark of Inco Alloys International, Inc., Huntington, WV

Table of Contents
iii
Table of Contents
Pressure Transducer Safety Information...............................................................................1
Symbols Used in This Instruction Manual................................................................1
Symbols Found on the Unit.....................................................................................2
Safety Procedures and Precautions...........................................................................3
Informations relatives à la sécurité pour le transducteur de pression.......................................5
Symboles utilisés dans ce manuel d'utilisation..........................................................5
Symboles apparaissant sur l'unité.............................................................................6
Mesures de sécurité et précautions...........................................................................7
Sicherheitshinweise für den Druckmeßwertwandler..............................................................9
In dieser Betriebsanleitung vorkommende Symbole..................................................9
Erklärung der am Gerät angebrachten Symbole ........................................................10
Sicherheitsvorschriften und Vorsichtsmaßnahmen ....................................................11
Medidas de seguridad del transductor de presión...................................................................13
Símbolos usados en este manual de instrucciones......................................................13
Símbolos hallados en la unidad................................................................................14
Procedimientos y precauciones de seguridad ............................................................15
Chapter One: General Information......................................................................................17
Introduction...........................................................................................................17
How This Manual is Organized ...............................................................................18
Customer Support...................................................................................................18
Chapter Two: Installation...................................................................................................19
How To Unpack the Type 141/142 Unit...................................................................19
Unpacking Checklist...................................................................................19
Product Location and Requirements.........................................................................20
Operating Environmental Requirements.......................................................20
Setup.....................................................................................................................21
Dimensions................................................................................................21
Mounting...................................................................................................23

Table of Contents
iv
Electrical Information.............................................................................................24
Chapter Three: Overview...................................................................................................25
General Information................................................................................................25
Labels....................................................................................................................27
Serial Number Label...................................................................................27
Chapter Four: Operation.....................................................................................................29
General Information................................................................................................29
How To Adjust the Relay Set Point..........................................................................29
How To Activate Fail-Safe Operation......................................................................30
Chapter Five: Maintenance.................................................................................................31
General Information................................................................................................31
How To Clean the Unit ...............................................................................31
Maintenance...........................................................................................................31
Appendix A: Product Specifications....................................................................................33
Electrical Specifications..........................................................................................33
Performance Specifications.....................................................................................33
Physical Specifications...........................................................................................34
Environmental Specifications..................................................................................34
Appendix B: Model Code Explanation................................................................................35
Model Code ...........................................................................................................35
Index.................................................................................................................................37

List of Figures and Tables
v
List of Figures and Tables
Figures
Figure 1: Dimensions of a Type 141 Vacuum Pressure Switch..............................................21
Figure 2: Dimensions of a Type 142 Vacuum Pressure Switch..............................................22
Figure 3: Terminal Block Connections................................................................................24
Figure 4: Type 141/142 Block Diagram...............................................................................26
Figure 5: Serial Number Label............................................................................................27
Tables
Table 1: Definition of Symbols Found on the Unit ...............................................................2
Tableau 2: Définition des symboles apparaissant sur l'unité..................................................6
Tabelle 3: Bedeutung der am Gerät angebrachten Symbole...................................................10
Tabla 4: Definición de los símbolos hallados en la unidad....................................................14

List of Figures and Tables
vi

Pressure Transducer Safety Information Symbols Used in This Instruction Manual
1
Pressure Transducer Safety Information
Symbols Used in This Instruction Manual
Definitions of WARNING, CAUTION, and NOTE messages used throughout the manual.
Warning The WARNING sign denotes a hazard to personnel. It calls
attention to a procedure, practice, condition, or the like,
which, if not correctly performed or adhered to, could result in
injury to personnel.
Caution The CAUTION sign denotes a hazard to equipment. It calls attention
to an operating procedure, practice, or the like, which, if not
correctly performed or adhered to, could result in damage to or
destruction of all or part of the product.
Note The NOTE sign denotes important information. It calls attention to a
procedure, practice, condition, or the like, which is essential to highlight.

Symbols Found on the Unit Pressure Transducer Safety Information
2
Symbols Found on the Unit
The following table describes symbols that may be found on the unit.
Definition of Symbols Found on the Unit
|
On (Supply)
IEC 417, No.5007 Off (Supply)
IEC 417, No.5008 Earth (ground)
IEC 417, No.5017
Protective earth
(ground)
IEC 417, No.5019
Frame or chassis
IEC 417, No.5020 Equipotentiality IEC 417, No.5021 Direct current IEC 417, No.5031
Alternating current
IEC 417, No.5032
Both direct and
alternating current
IEC 417, No.5033-a
Class ll equipment
IEC 417, No.5172-a
Three phase
alternating current
IEC 617-2 No.020206
Caution, refer to
accompanying
documents
ISO 3864, No.B.3.1
Caution, risk of
electric shock
ISO 3864, No.B.3.6
Caution, hot surface
IEC 417, No.5041
Table 1: Definition of Symbols Found on the Unit

Pressure Transducer Safety Information Safety Procedures and Precautions
3
Safety Procedures and Precautions
Observe the following general safety precautions during all phases of operation of this
instrument. Failure to comply with these precautions or with specific warnings elsewhere
in this manual violates safety standards of intended use of the instrument and may impair
the protection provided by the equipment. MKS Instruments, Inc. assumes no liability for
the customer’s failure to comply with these requirements.
DO NOT SUBSTITUTE PARTS OR MODIFY INSTRUMENT
Do not install substitute parts or perform any unauthorized modification to the instrument.
Return the instrument to an MKS Calibration and Service Center for service and repair to ensure
that all safety features are maintained.
SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY
Operating personnel must not attempt component replacement and internal adjustments. Any
service must be made by qualified service personnel only.
USE CAUTION WHEN OPERATING WITH HAZARDOUS MATERIALS
If hazardous materials are used, users must take responsibility to observe the proper safety
precautions, completely purge the instrument when necessary, and ensure that the material used is
compatible with the materials in this product, including any sealing materials.
PURGE THE INSTRUMENT
After installing the unit, or before removing it from a system, purge the unit completely with a
clean, dry gas to eliminate all traces of the previously used flow material.
USE PROPER PROCEDURES WHEN PURGING
This instrument must be purged under a ventilation hood, and gloves must be worn for protection.
DO NOT OPERATE IN AN EXPLOSIVE ENVIRONMENT
To avoid explosion, do not operate this product in an explosive environment unless it has been
specifically certified for such operation.
USE PROPER FITTINGS AND TIGHTENING PROCEDURES
All instrument fittings must be consistent with instrument specifications, and compatible with the
intended use of the instrument. Assemble and tighten fittings according to manufacturer's
directions.
CHECK FOR LEAK-TIGHT FITTINGS
Carefully check all vacuum component connections to ensure leak-tight installation.

Safety Procedures and Precautions Pressure Transducer Safety Information
4
OPERATE AT SAFE INLET PRESSURES
Never operate at pressures higher than the rated maximum pressure (refer to the product
specifications for the maximum allowable pressure).
INSTALL A SUITABLE BURST DISC
When operating from a pressurized gas source, install a suitable burst disc in the vacuum system
to prevent system explosion should the system pressure rise.
KEEP THE UNIT FREE OF CONTAMINANTS
Do not allow contaminants to enter the unit before or during use. Contamination such as dust,
dirt, lint, glass chips, and metal chips may permanently damage the unit or contaminate the
process.
ALLOW PROPER WARM UP TIME FOR TEMPERATURE-CONTROLLED UNITS
Temperature-controlled units will only meet specifications when sufficient time is allowed for the
unit to meet, and stabilize at, the designed operating temperature. Do not zero or calibrate the
unit until the warm up is complete.

Informations relatives à la sécurité pour le
transducteur de pression Symboles utilisés dans ce manuel d'utilisation
5
Informations relatives à la sécurité pour le transducteur
de pression
Symboles utilisés dans ce manuel d'utilisation
Définitions des indications AVERTISSEMENT, ATTENTION, et REMARQUE utilisées dans ce
manuel.
Avertissement L'indication AVERTISSEMENT signale un danger pour le
personnel. Elle attire l'attention sur une procédure, une
pratique, une condition, ou toute autre situation
présentant un risque d'accident pour le personnel, en
cas d'exécution incorrecte ou de non respect des
consignes.
Attention L'indication ATTENTION signale un danger pour l'appareil.
Elle attire l'attention sur une procédure d'exploitation, une
pratique, ou toute autre situation, présentant un risque
d'endommagement ou de destruction d'une partie ou de la
totalité de l'appareil, en cas d'exécution incorrecte ou de non
respect des consignes.
Remarque L'indication REMARQUE signale une information importante. Elle
attire l'attention sur une procédure, une pratique, une condition, ou
toute autre situation, présentant un intérêt particulier.

Symboles apparaissant sur l'unité Informations relatives à la sécurité pour le
transducteur de pression
6
Symboles apparaissant sur l'unité
Le tableau suivant décrit les symboles pouvant apparaître sur l'unité.
Définition des symboles apparaissant sur l'unité
|
Marche
(sous tension)
IEC 417, No.5007 Arrêt (hors tension) IEC 417, No.5008 Terre (masse) IEC 417, No.5017
Terre de protection
(masse)
IEC 417, No.5019
Masse
IEC 417, No.5020 Equipotentialité IEC 417, No.5021 Courant continu IEC 417, No.5031 Courant alternatif IEC 417, No.5032
Courant continu et
alternatif
IEC 417, No.5033-a Matériel de classe II IEC 417, No.5172-a
Courant alternatif
triphasé
IEC 617-2, No.020206
Attention : se reporter
à la documentation
ISO 3864, No.B.3.1
Attention : risque de
choc électrique
ISO 3864, No.B.3.6
Attention : surface
brûlante
IEC 417, No.5041
Tableau 2: Définition des symboles apparaissant sur l'unité

Informations relatives à la sécurité pour le
transducteur de pression Mesures de sécurité et précautions
7
Mesures de sécurité et précautions
Prendre les précautions générales de sécurité suivantes pendant toutes les phases
d'exploitation de cet appareil. Le non respect des ces précautions ou des avertissements
contenus dans ce manuel constitue une violation des normes de sécurité relatives à
l'utilisation de l'appareil et peut diminuer la protection fournie par l'appareil. MKS
Instruments, Inc. n'assume aucune responsabilité concernant le non respect des consignes
par les clients.
PAS DE SUBSTITUTION DE PIÈCES OU DE MODIFICATION DE L'APPAREIL
Ne pas installer des pièces de substitution ou effectuer des modifications non autorisées sur
l'appareil. Renvoyer l'appareil à un centre de service et de calibrage MKS pour tout dépannage ou
réparation afin de garantir le l'intégrité des dispositifs de sécurité.
DÉPANNAGE UNIQUEMENT PAR DU PERSONNEL QUALIFIÉ
Le personnel d'exploitation ne doit pas essayer de remplacer des composants ou de faire des
réglages internes. Tout dépannage doit être uniquement effectué par du personnel qualifié.
PRÉCAUTION EN CAS D'UTILISATION AVEC DES PRODUITS DANGEREUX
Si des produits dangereux sont utilisés, l'utilisateur est responsable de la prise des mesures de
précaution appropriées, de la purge complète de l'appareil quand cela est nécessaire, et de la
garantie que les produits utilisés sont compatibles avec les composants de cet appareil, y compris
les matériaux d'étanchéité.
PURGE DE L'APPAREIL
Après l'installation de l'unité, ou avant son enlèvement d'un système, purger l'unité complètement
avec un gaz propre et sec afin d'éliminer toute trace du produit de flux utilisé précédemment.
UTILISATION DES PROCÉDURES APPROPRIÉES POUR LA PURGE
Cet appareil doit être purgé sous une hotte de ventilation, et il faut porter des gants de protection.
PAS D'EXPLOITATION DANS UN ENVIRONNEMENT EXPLOSIF
Pour éviter toute explosion, ne pas utiliser cet appareil dans un environnement explosif, sauf en
cas d'homologation spécifique pour une telle exploitation.
UTILISATION D'ÉQUIPEMENTS APPROPRIÉS ET PROCÉDURES DE SERRAGE
Tous les équipements de l'appareil doivent être cohérents avec ses spécifications, et compatibles
avec l'utilisation prévue de l'appareil. Assembler et serrer les équipements conformément aux
directives du fabricant.

Mesures de sécurité et précautions Informations relatives à la sécurité pour le
transducteur de pression
8
VÉRIFICATION DE L'ÉTANCHÉITÉ DES CONNEXIONS
Vérifier attentivement toutes les connexions des composants pour le vide afin de garantir
l'étanchéité de l'installation.
EXPLOITATION AVEC DES PRESSIONS D'ENTRÉE NON DANGEREUSES
Ne jamais utiliser des pressions supérieures à la pression nominale maximum (se reporter aux
spécifications de l'unité pour la pression maximum admissible).
INSTALLATION D'UN DISQUE D'ÉCHAPPEMENT ADAPTÉ
En cas d'exploitation avec une source de gaz pressurisé, installer un disque d'échappement adapté
dans le système à vide, afin d'éviter une explosion du système en cas d'augmentation de la
pression.
MAINTIEN DE L'UNITÉ À L'ABRI DES CONTAMINATIONS
Ne pas laisser des produits contaminants pénétrer dans l'unité avant ou pendant l'utilisation. Des
produits contaminants tels que des poussières et des fragments de tissu, de glace et de métal
peuvent endommager l'unité d'une manière permanente ou contaminer le processus.
RESPECT DU TEMPS D'ÉCHAUFFEMENT APPROPRIÉ POUR LES UNITÉS Á
TEMPÉRATURE CONTRÔLÉE
Les unités à température contrôlée atteignent leurs spécifications uniquement quand on leur laisse
un temps suffisant pour atteindre d'une manière stable la température d'exploitation. Ne pas
remettre à zéro ou calibrer l'unité tant que l'échauffement n'est pas terminé.

Sicherheitshinweise für den Druckmeßwertwandler In dieser Betriebsanleitung vorkommende Symbole
9
Sicherheitshinweise für den Druckmeßwertwandler
In dieser Betriebsanleitung vorkommende Symbole
Bedeutung der mit WARNUNG!, VORSICHT! und HINWEIS gekennzeichneten Absätze in
dieser Betriebsanleitung.
Warnung! Das Symbol WARNUNG! weist auf eine Gefahr für das
Bedienpersonal hin. Es macht auf einen Arbeitsablauf, eine
Arbeitsweise, einen Zustand oder eine sonstige Gegebenheit
aufmerksam, deren unsachgemäße Ausführung bzw.
ungenügende Berücksichtigung zu Verletzungen führen kann.
Vorsicht! Das Symbol VORSICHT! weist auf eine Gefahr für das Gerät hin. Es
macht auf einen Bedienungsablauf, eine Arbeitsweise oder eine
sonstige Gegebenheit aufmerksam, deren unsachgemäße Ausführung
bzw. ungenügende Berücksichtigung zu einer Beschädigung oder
Zerstörung des Gerätes oder von Teilen des Gerätes führen kann.
Hinweis Das Symbol HINWEIS macht auf wichtige Informationen bezüglich eines
Arbeitsablaufs, einer Arbeitsweise, eines Zustands oder einer sonstige
Gegebenheit aufmerksam.

Erklärung der am Gerät angebrachten Symbole Sicherheitshinweise für den Druckmeßwertwandler
10
Erklärung der am Gerät angebrachten Symbole
Nachstehender Tabelle sind die Bedeutungen der Symbole zu entnehmen, die am Gerät
angebracht sein können.
Bedeutung der am Gerät angebrachten Symbole
|
Ein (Netz)
IEC 417, No.5007 Aus (Netz) IEC 417, No.5008 Erde IEC 417, No.5017 Schutzerdung IEC 417, No.5019
Rahmen, Chassis
IEC 417, No.5020
Aquipotential-
anschluß
IEC 417, No.5021 Gleichstrom IEC 417, No.5031 Wechselstrom IEC 417, No.5032
Gleichstrom und
Wechselstrom
IEC 417, No.5033-a Geräteklasse II IEC 417, No.5172-a Drehstrom IEC 617-2, No.020206
Vorsicht! Bitte
Begleitdokumente
lesen!
ISO 3864, No.B.3.1
Vorsicht!
Stromschlaggefahr!
ISO 3864, No.B.3.6
Vorsicht!
Heiße Oberfläche!
IEC 417, No.5041
Tabelle 3: Bedeutung der am Gerät angebrachten Symbole

Sicherheitshinweise für den Druckmeßwertwandler Sicherheitsvorschriften und Vorsichtsmaßnahmen
11
Sicherheitsvorschriften und Vorsichtsmaßnahmen
Folgende allgemeine Sicherheitsvorschriften sind während allen Betriebsphasen dieses
Instruments zu befolgen. Eine Mißachtung der Sicherheitsvorschriften und sonstiger
Warnhinweise in dieser Betriebsanleitung verletzt die für dieses Instrument und seine
Bedienung geltenden Sicherheitsstandards, und kann die Schutzvorrichtungen an diesem
Gerät wirkungslos machen. MKS Instruments, Inc. haftet nicht für Mißachtung dieser
Sicherheitsvorschriften seitens des Kunden.
Niemals Teile austauschen oder Änderungen am Gerät vornehmen!
Ersetzen Sie keine Teile mit baugleichen oder ähnlichen Teilen, und nehmen Sie keine
eigenmächtigen Änderungen am Gerät vor. Schicken Sie das Instrument zwecks Wartung und
Reparatur an den MKS-Kalibrierungs- und -Kundendienst ein. Nur so wird sichergestellt, daß alle
Schutzvorrichtungen voll funktionsfähig bleiben.
Wartung nur durch qualifizierte Fachleute!
Das Auswechseln von Komponenten und das Vornehmen von internen Einstellungen darf nur
von qualifizierten Fachleuten durchgeführt werden, niemals vom Bedienpersonal.
Vorsicht beim Arbeiten mit gefährlichen Stoffen!
Wenn gefährliche Stoffe verwendet werden, muß der Bediener die entsprechenden
Sicherheitsvorschriften genauestens einhalten, das Instrument, falls erforderlich, vollständig
ausblasen, sowie sicherstellen, daß der Gefahrstoff die am Gerät verwendeten Materialien,
insbesondere Dichtungen, nicht angreift.
Ausblasen des Instrumentes
Nach dem Installieren oder vor dem Ausbau aus einem System muß das Instrument unter Einsatz
eines reinen Trockengases vollständig ausgeblasen werden, um alle Rückstände des
Vorgängermediums zu entfernen.
Anweisungen zum Ausblasen des Instrumentes
Das Instrument darf nur unter einer Ablufthaube ausgeblasen werden. Schutzhandschuhe sind zu
tragen.
Gerät nicht zusammen mit explosiven Stoffen, Gasen oder Dämpfen benutzen!
Um der Gefahr einer Explosion vorzubeugen, darf dieses Gerät niemals zusammen mit (oder in
der Nähe von) explosiven Stoffen aller Art eingesetzt werden, sofern es nicht ausdrücklich für
diesen Zweck zugelassen ist.

Sicherheitsvorschriften und Vorsichtsmaßnahmen Sicherheitshinweise für den Druckmeßwertwandler
12
Anweisungen zum Installieren der Armaturen
Alle Anschlußstücke und Armaturenteile müssen mit der Gerätespezifikation übereinstimmen,
und mit dem geplanten Einsatz des Instrumentes kompatibel sein. Der Einbau, insbesondere das
Anziehen und Abdichten, muß gemäß den Anweisungen des Herstellers vorgenommen werden.
Verbindungen auf Undichtigkeiten prüfen!
Überprüfen Sie sorgfältig alle Verbindungen der Vakuumkomponenten auf undichte Stellen.
Gerät nur unter zulässigen Anschlußdrücken betreiben!
Betreiben Sie das Instrument niemals unter Drücken, die den maximal zulässigen Druck (siehe
Produktspezifikationen) übersteigen.
Geeignete Berstscheibe installieren!
Wenn mit einer unter Druck stehenden Gasquelle gearbeitet wird, sollte eine geeignete
Berstscheibe in das Vakuumsystem installiert werden, um eine Explosionsgefahr aufgrund von
steigendem Systemdruck zu vermeiden.
Verunreinigungen im Gerät vermeiden!
Stellen Sie sicher, daß Verunreinigungen jeglicher Art weder vor dem Einsatz noch während des
Betriebs in das Instrumenteninnere gelangen können. Staub- und Schmutzpartikel, Glassplitter
oder Metallspäne können das Gerät dauerhaft beschädigen oder Prozeß und Meßwerte
verfälschen.
Bei Geräten mit Temperaturkontrolle korrekte Anwärmzeit einhalten!
Temperaturkontrollierte Instrumente arbeiten nur dann gemäß ihrer Spezifikation, wenn
genügend Zeit zum Erreichen und Stabilisieren der Betriebstemperatur eingeräumt wird.
Kalibrierungen und Nulleinstellungen sollten daher nur nach Abschluß des Anwärmvorgangs
durchgeführt werden.

Medidas de seguridad del transductor de presión Símbolos usados en este manual de instrucciones
13
Medidas de seguridad del transductor de presión
Símbolos usados en este manual de instrucciones
Definiciones de los mensajes de advertencia, precaución y de las notas usados en el manual.
Advertencia El símbolo de advertencia indica la posibilidad de que se
produzcan daños personales. Pone de relieve un
procedimiento, práctica, estado, etc. que en caso de no
realizarse u observarse correctamente puede causar daños
personales.
Precaución El símbolo de precaución indica la posibilidad de producir daños al
equipo. Pone de relieve un procedimiento operativo, práctica,
estado, etc. que en caso de no realizarse u observarse
correctamente puede causar daños o la destrucción total o parcial
del equipo.
Nota El símbolo de notas indica información de importancia. Este símbolo
pone de relieve un procedimiento, práctica o condición cuyo
conocimiento es esencial destacar.

Símbolos hallados en la unidad Medidas de seguridad del transductor de presión
14
Símbolos hallados en la unidad
La tabla siguiente contiene los símbolos que puede hallar en la unidad.
Definición de los símbolos hallados en la unidad
|
Encendido
(alimentación eléctrica)
IEC 417, N° 5007
Apagado
(alimentación eléctrica)
IEC 417, N° 5008 Puesta a tierra IEC 417, N° 5017 Protección a tierra IEC 417, N° 5019
Caja o chasis
IEC 417, N° 5020 Equipotencialidad IEC 417, N° 5021 Corriente continua IEC 417, N° 5031 Corriente alterna IEC 417, N° 5032
Corriente continua y
alterna
IEC 417, N° 5033-a Equipo de clase II IEC 417, N° 5172-a
Corriente alterna
trifásica
IEC 617-2, N° 020206
Precaución. Consulte
los documentos
adjuntos
ISO 3864, N° B.3.1
Precaución. Riesgo
de descarga eléctrica
ISO 3864, N° B.3.6
Precaución.
Superficie
caliente
IEC 417, N° 5041
Tabla 4: Definición de los símbolos hallados en la unidad