Inficon VSA100A User manual

GEBRAUCHSANLEITUNG
OPERATING MANUAL
inkl. Konformitätserklärung / incl. Declaration of Conformity
Vacuum Switch
VSA100A
Artikelnummer /
Part Number
399-001
Vacuum Switch
VSA100A
Artikelnummer /
Part Number
399-001
tina29d2-b
GEBRAUCHSANLEITUNG
OPERATING MANUAL
inkl. Konformitätserklärung / incl. Declaration of Conformity
tina29d2-b

Inhalt Seite
1 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.1 Allgemeine Angaben . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.1.1 Verwendungszweck . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.3 Wirkungsweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.4 Ausstattung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.4.1 Lieferumfang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
2 Inbetriebnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2.1 Vakuumanschluß . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2.2 Elektrischer Anschluß . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
3 Wartung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
3.1 Service bei INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
4 Produkt entsorgen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
EG-Konformitätserklärung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Kontaminationserklärung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
The English Operating Manual
starts on page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
Allgemeine Hinweise
Eine Änderung der Konstruktion und der angegebenen
Daten behalten wir uns vor.
Die Abbildungen sind unverbindlich.
2
2tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
Inhalt Seite
1 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.1 Allgemeine Angaben . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.1.1 Verwendungszweck . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.3 Wirkungsweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.4 Ausstattung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.4.1 Lieferumfang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
2 Inbetriebnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2.1 Vakuumanschluß . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2.2 Elektrischer Anschluß . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
3 Wartung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
3.1 Service bei INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
4 Produkt entsorgen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
EG-Konformitätserklärung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Kontaminationserklärung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
The English Operating Manual
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Allgemeine Hinweise
Eine Änderung der Konstruktion und der angegebenen
Daten behalten wir uns vor.
Die Abbildungen sind unverbindlich.

1 Beschreibung
1.1 Allgemeine Angaben
Den Vacuum Switch VSA100A bitte sofort auspacken,
auch wenn er zu einem späteren Zeitpunkt in Betrieb
genommen wird.
Transportverpackungs-Behälter auf äußere Schäden un-
tersuchen. Verpackungsmaterial vollständig entfernen.
Hinweis
Für eventuelle Schadensersatzforderungen den Trans-
portbehälter und das Verpackungsmaterial gut aufbe-
wahren.
Den Vacuum Switch VSA100A einer sorgfältigen Sicht-
prüfung unterziehen, um sicherzustellen, daß auf dem
Transportweg keine Schäden entstanden sind.
Werden Beschädigungen festgestellt, ist umgehend eine
Schadensmeldung an den Spediteur und den Versiche-
rer zu leiten. Falls es notwendig ist, das beschädigte Teil
zu ersetzen, bitte mit unserem Customer Support in
Verbindung setzen.
1.1.1 Verwendungszweck
Der Vacuum Switch VSA100A dient als Druckschalter in
Vakuumsystemen. Er wird z.B. eingesetzt, um beim
Belüften von Vakuumanlagen mit einem Schutzgas die
Gaszufuhr bei einem Druck von 3 mbar unterhalb
Atmosphärendruck automatisch zu unterbrechen.
1.2 Technische Daten
Schaltdruck 6 mbar
(unterhalb Atmosphärendruck)
Rückschaltdruck 3 mbar
(unterhalb Atmosphärendruck)
Schaltungsgenauigkeit ± 2 mbar
Max. zul. Betriebsdruck (abs) 2000 mbar
Betriebstemperatur 0 bis 85 °C
Helium-Permeation < 1·10-6 mbar·l·s-1
Schaltkontakt Wechselkontakt
Schaltvermögen 100 mA / 24 VAC
30 mA / 24 VDC
3
3
tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
1 Beschreibung
1.1 Allgemeine Angaben
Den Vacuum Switch VSA100A bitte sofort auspacken,
auch wenn er zu einem späteren Zeitpunkt in Betrieb
genommen wird.
Transportverpackungs-Behälter auf äußere Schäden
untersuchen. Verpackungsmaterial vollständig entfer-
nen.
Hinweis
Für eventuelle Schadensersatzforderungen den Trans-
portbehälter und das Verpackungsmaterial gut aufbe-
wahren.
Den Vacuum Switch VSA100A einer sorgfältigen Sicht-
prüfung unterziehen, um sicherzustellen, daß auf dem
Transportweg keine Schäden entstanden sind.
Werden Beschädigungen festgestellt, ist umgehend eine
Schadensmeldung an den Spediteur und den Versiche-
rer zu leiten. Falls es notwendig ist, das beschädigte Teil
zu ersetzen, bitte mit unserem Customer Support in
Verbindung setzen.
1.1.1 Verwendungszweck
Der Vacuum Switch VSA100A dient als Druckschalter in
Vakuumsystemen. Er wird z.B. eingesetzt, um beim
Belüften von Vakuumanlagen mit einem Schutzgas die
Gaszufuhr bei einem Druck von 3 mbar unterhalb
Atmosphärendruck automatisch zu unterbrechen.
1.2 Technische Daten
Schaltdruck 6 mbar
(unterhalb Atmosphärendruck)
Rückschaltdruck 3 mbar
(unterhalb Atmosphärendruck)
Schaltungsgenauigkeit ± 2 mbar
Max. zul. Betriebsdruck (abs) 2000 mbar
Betriebstemperatur 0 bis 85 °C
Helium-Permeation < 1·10-6 mbar·l·s-1
Schaltkontakt Wechselkontakt
Schaltvermögen 100 mA / 24 VAC
30 mA / 24 VDC

Elektrischer Anschluß Standardleitung 3 m
Vakuumanschluß DN 16 KF
Schutzart IP 44
Medienberührende WerkstoffeEdelstahl 1.4305, 1.4310
Edelstahl 1.4300 PTFE-beschichtet
EPDM
Internes Volumen 2 cm3
Gewicht 315 g
1.3 Wirkungsweise
Bei einem Differenzdruck von ca. 6 mbar während des
Abpumpvorganges oder 3 mbar während des Belüf-
tungsvorgangs unterhalb Atmosphärendruck betätigt
eine elastische Membrane einen Schaltkontakt (Wech-
selkontakt), mit dem Folgegeräte direkt angesteuert wer-
den können. Die elektrischen Anschlüsse befinden sich
unter einer Plastikabdeckung.
1.4 Ausstattung
1.4.1 Lieferumfang
Vacuum Switch VSA100A
kpl. mit Leitung 3 m Artikelnummer 399-001
Gebrauchsanleitung tina29d2
4
4tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
Elektrischer Anschluß Standardleitung 3 m
Vakuumanschluß DN 16 KF
Schutzart IP 44
Medienberührende WerkstoffeEdelstahl 1.4305, 1.4310
Edelstahl 1.4300 PTFE-beschichtet
EPDM
Internes Volumen 2 cm3
Gewicht 315 g
1.3 Wirkungsweise
Bei einem Differenzdruck von ca. 6 mbar während des
Abpumpvorganges oder 3 mbar während des Belüf-
tungsvorgangs unterhalb Atmosphärendruck betätigt
eine elastische Membrane einen Schaltkontakt (Wech-
selkontakt), mit dem Folgegeräte direkt angesteuert
werden können. Die elektrischen Anschlüsse befinden
sich unter einer Plastikabdeckung.
1.4 Ausstattung
1.4.1 Lieferumfang
Vacuum Switch VSA100A
kpl. mit Leitung 3 m Artikelnummer 399-001
Gebrauchsanleitung tina29d2

2 Inbetriebnahme
Hinweis
Bei Lecksuche mit Helium-Lecksuchgeräten kann beim
Besprühen des Druckschalters mit Helium ein Nachweis
erfolgen. Dieser beruht i.a. nicht auf einer Leckage des
VSA100A, sondern auf Permeation des Heliums durch
die EPDM-Membrane.
2.1 Vakuumanschluß
Der VSA100A wird mit einem Kleinflansch DN 16 KF an
der Vakuumanlage verbunden.
Der VSA100A sollte vorzugsweise auf dem Flansch ste-
hend montiert werden. Eine geneigte Montage, max. ho-
rizontal, ist möglich. Nicht gestattet ist eine hängende
Montage, da sich dann Kondensate im Druckschalter
sammeln können. Dadurch wird die Messung beeinflußt
und eventuell der Druckschalter beschädigt.
Maßzeichnung des VSA100A siehe Abb. 1.
2.2 Elektrischer Anschluß
Die Kontaktbelegung ist der Abb. 2 zu entnehmen.
Der VSA100Awird mit angeschlossener Standardleitung
5
5
tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
2 Inbetriebnahme
Hinweis
Bei Lecksuche mit Helium-Lecksuchgeräten kann beim
Besprühen des Druckschalters mit Helium ein Nachweis
erfolgen. Dieser beruht i.a. nicht auf einer Leckage des
VSA100A, sondern auf Permeation des Heliums durch
die EPDM-Membrane.
2.1 Vakuumanschluß
Der VSA100A wird mit einem Kleinflansch DN 16 KF an
der Vakuumanlage verbunden.
Der VSA100A sollte vorzugsweise auf dem Flansch ste-
hend montiert werden. Eine geneigte Montage, max. ho-
rizontal, ist möglich. Nicht gestattet ist eine hängende
Montage, da sich dann Kondensate im Druckschalter
sammeln können. Dadurch wird die Messung beeinflußt
und eventuell der Druckschalter beschädigt.
Maßzeichnung des VSA100A siehe Abb. 1.
2.2 Elektrischer Anschluß
Die Kontaktbelegung ist der Abb. 2 zu entnehmen.
Der VSA100Awird mit angeschlossener Standardleitung
72
50
DN16 KF
Ø48.5
Abb. 1 Maßzeichnung VSA100A
Atmosphärendruck
(Ruhelage)
Abb. 2 Kontaktbelegung des Mikroschalters
1 (sw)
1 (sw)
3 (br)
2 (gr)
2 (gr)
3 (br) Unterdruck
(Arbeitslage)
72
50
DN16 KF
Ø48.5
Abb. 1 Maßzeichnung VSA100A
Atmosphärendruck
(Ruhelage)
Abb. 2 Kontaktbelegung des Mikroschalters
1 (sw)
1 (sw)
3 (br)
2 (gr)
2 (gr
3 (br) Unterdruck
(Arbeitslage)

von 3 m geliefert. Eine Änderung der Leitungslänge ist
möglich.
Die elektrischen Anschlußklemmen und die Zugentla-
stung sind nach Abschrauben der Kreuzschlitzschrau-
ben und Abklappen der Haube zugänglich.
Die Kontakte sind am VSA100A mit 1, 2 und 3 bezeich-
net (siehe Kontaktbelegung Abb. 2).
Die Zuleitung ist kundenseitig mit max. 100 mA abzusi-
chern.
Alle Arbeiten sind nur unter Beachtung der einschlägi-
gen Vorschriften und Einhaltung der Schutzmassnah-
men zulässig.
3 Wartung
Der VSA100A ist wartungsfrei.
3.1 Service bei INFICON
Vorsicht Kontaminierte Produkte (z.B. radioakti-
ver, toxischer, ätzender oder mikrobiolo-
gischer Art) können Gesundheits- und
Umweltschäden verursachen.
Eingesandte Produkte sollen nach Möglichkeit frei von
Schadstoffensein. Versandvorschriften der beteiligten
Länder und Transportunternehmen beachten. Ausgefüll-
te Kontaminierungserklärung (siehe Anhang) beilegen.
Nicht eindeutig als „frei von Schadstoffen“ deklarierte
Produkte werden kostenpflichtig dekontaminiert.
Ohne ausgefüllte Kontaminierungserklärung eingesand-
te Produkte werden kostenpflichtig zurückgesandt.
6
6tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
von 3 m geliefert. Eine Änderung der Leitungslänge ist
möglich.
Die elektrischen Anschlußklemmen und die Zugentla-
stung sind nach Abschrauben der Kreuzschlitzschrau-
ben und Abklappen der Haube zugänglich.
Die Kontakte sind am VSA100A mit 1, 2 und 3 bezeich-
net (siehe Kontaktbelegung Abb. 2).
Die Zuleitung ist kundenseitig mit max. 100 mA abzusi-
chern.
Alle Arbeiten sind nur unter Beachtung der einschlägi-
gen Vorschriften und Einhaltung der Schutzmassnah-
men zulässig.
3 Wartung
Der VSA100A ist wartungsfrei.
3.1 Service bei INFICON
Vorsicht Kontaminierte Produkte (z.B. radioakti-
ver, toxischer, ätzender oder mikrobiolo-
gischer Art) können Gesundheits- und
Umweltschäden verursachen.
Eingesandte Produkte sollen nach Möglichkeit frei von
Schadstoffensein. Versandvorschriften der beteiligten
Länder und Transportunternehmen beachten. Ausgefüll-
te Kontaminierungserklärung (siehe Anhang) beilegen.
Nicht eindeutig als „frei von Schadstoffen“ deklarierte
Produkte werden kostenpflichtig dekontaminiert.
Ohne ausgefüllte Kontaminierungserklärung eingesand-
te Produkte werden kostenpflichtig zurückgesandt.

4Produkt entsorgen
Vorsicht Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können Gesund-
heits- und Umweltschäden verursachen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über
eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit konta-
minierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten
und die Schutzmassnahmen einhalten.
Vorsicht Umweltgefährdende Stoffe
Produkte oder Teile davon (mechani-
sche und Elektrokomponenten, Be-
triebsmittel usw.) können Umweltschä-
den verursachen.
Umweltgefährdende Stoffe gemäss den örtlichen Vor-
schriften entsorgen.
Unterteilen der Bauteile
Nach dem Zerlegen des Produkts sind die Bauteile ent-
sorgungstechnisch in folgende Kategorien zu untertei-
len:
Kontaminierte Bauteile
Kontaminierte Bauteile (radioaktiv, toxisch, ätzend,
mikrobiologisch usw.) müssen entsprechend den län-
derspezifischen Vorschriften dekontaminiert, entspre-
chend ihrer Materialart getrennt und entsorgt werden.
Nicht kontaminierte Bauteile
Diese Bauteile sind entsprechend ihrer Materialart zu
trennen und der Wiederverwertung zuzuführen.
7
7
tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
4Produkt entsorgen
Vorsicht Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können Gesund-
heits- und Umweltschäden verursa-
chen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über
eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit konta-
minierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten
und die Schutzmassnahmen einhalten.
Vorsicht Umweltgefährdende Stoffe
Produkte oder Teile davon (mechani-
sche und Elektrokomponenten, Be-
triebsmittel usw.) können Umweltschä-
den verursachen.
Umweltgefährdende Stoffe gemäss den örtlichen Vor-
schriften entsorgen.
Unterteilen der Bauteile
Nach dem Zerlegen des Produkts sind die Bauteile ent-
sorgungstechnisch in folgende Kategorien zu untertei-
len:
Kontaminierte Bauteile
Kontaminierte Bauteile (radioaktiv, toxisch, ätzend,
mikrobiologisch usw.) müssen entsprechend den län-
derspezifischen Vorschriften dekontaminiert, entspre-
chend ihrer Materialart getrennt und entsorgt werden.
Nicht kontaminierte Bauteile
Diese Bauteile sind entsprechend ihrer Materialart zu
trennen und der Wiederverwertung zuzuführen.

8
8tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
EG-Konformitätserklärung
Im Sinne der Maschinenrichlinie 98/37/EG, Anhang IIb.
Hiermit erklären wir, INFICON, daß die nachfolgend
bezeichneten Produkte aufgrund ihrer Konzipierung und
Bauart sowie in der von uns in Verkehr gebrachten Aus-
führung den einschlägigen grundlegenden Sicherheits-
und Gesundheitsanforderungen der EG-Richtlinien ent-
sprechen.
Gleichzeitig bestätigen wir Konformität zur Niederspan-
nungsrichtlinie 73/23/EWG.
Produkt:
Vacuum Switch VSA100A
Artikelnummern
399-001
Normen
Harmonisierte und internationale / nationale Normen
sowie Spezifikationen:
• DIN VDE 0630
• EN 60204-1
Balzers, den 11.10.2004
—————————————————————
Reto Süssli, Product Marketing Manager
Balzers, den 11.10.2004
—————————————————————
Dr. Georg Sele, Technical Support Manager;
Quality Representative
EG-Konformitätserklärung
Im Sinne der Maschinenrichlinie 98/37/EG, Anhang IIb.
Hiermit erklären wir, INFICON, daß die nachfolgend
bezeichneten Produkte aufgrund ihrer Konzipierung und
Bauart sowie in der von uns in Verkehr gebrachten Aus-
führung den einschlägigen grundlegenden Sicherheits-
und Gesundheitsanforderungen der EG-Richtlinien ent-
sprechen.
Gleichzeitig bestätigen wir Konformität zur Niederspan-
nungsrichtlinie 73/23/EWG.
Produkt:
Vacuum Switch VSA100A
Artikelnummern
399-001
Normen
Harmonisierte und internationale / nationale Normen
sowie Spezifikationen:
• DIN VDE 0630
• EN 60204-1
Balzers, den 11.10.2004
—————————————————————
Reto Süssli, Product Marketing Manager
Balzers, den 11.10.2004
—————————————————————
Dr. Georg Sele, Technical Support Manager;
Quality Representative

9
9
tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
Artdes Produkts
Typenbezeichnung
Artikelnummer
Seriennummer
Rechtsverbindliche Erklärung
Hiermit versichern wir, dass die Angaben korrekt und vollständig sind und wir allfällige Folgekosten akzeptieren.
Der Versand des kontaminierten Produkts erfüllt die gesetzlichen Bestimmungen.
Firma/Institut
Strasse PLZ, Ort
Telefon Telefax
E-Mail
Name
Datum und rechtsverbindliche Unterschrift Firmenstempel
Verteiler:
Original an den Adressaten - 1 Kopie zu den Begleitpapieren - 1 Kopie fürden Absender
Dieses Formular kann von unserer
Webseite heruntergeladen werden.
Verwendete(s) Betriebsmittel (Vor dem Transport abzulassen.)
Grund fürdie Einsendung
Die Instandhaltung, die Instandsetzung und/oder die Entsorgung von Vakuumgeräten und -komponenten wird nur durchgeführt, wenn eine
korrekt und vollständig ausgefüllte Kontaminationserklärung vorliegt. Sonst kommt es zu Verzögerungen der Arbeiten.
Diese Erklärung darf nur von autorisiertem Fachpersonal ausgefüllt (in Druckbuchstaben) und unterschrieben werden.
1) oder so gering, dass von
denSchadstoffrückständen
keine Gefahr ausgeht
Schadstoffe und/oder Reaktionsprodukte
Schadstoffe oder prozessbedingte, gefährliche Reaktionsprodukte, mit denen das Produkt in Kontakt kam:
Massnahmen bei Freiwerden
der Schadstoffe
Erste Hilfe bei Unfällen
Handels-/Produktname
Hersteller
Chemische Bezeichnung
(evtl. auch Formel)
Das Produkt ist frei von
gesundheitsgefährdenden
Stoffen. ja
q
Einsatzbedingte Kontaminierung des Produkts
toxisch nein
q
1) ja
q
ätzend nein
q
1) ja
q
mikrobiologisch nein
q
ja
q
2)
explosiv nein
q
ja
q
2)
radioaktiv nein
q
ja
q
2)
sonstige Schadstoffe nein
q
1) ja
q
2) Derart kontaminierte
Produkte werden nur
bei Nachweis einer
vorschriftsmässigen
Dekontaminierung
entgegengenommen.
Einsatz in Kupfer-Prozess
nein
q
ja
q
Produkt in Plastik einschweissen und
mit entsprechendem Hinweis versehen.
KontaminationserklärungKontaminationserklärung
Artdes Produkts
Typenbezeichnung
Artikelnummer
Seriennummer
Rechtsverbindliche Erklärung
Hiermit versichern wir, dass die Angaben korrekt und vollständig sind und wir allfällige Folgekosten akzeptieren.
Der Versand des kontaminierten Produkts erfüllt die gesetzlichen Bestimmungen.
Firma/Institut
Strasse PLZ, Ort
Telefon Telefax
E-Mail
Name
Datum und rechtsverbindliche Unterschrift Firmenstempel
Verteiler:
Original an den Adressaten - 1 Kopie zu den Begleitpapieren - 1 Kopie fürden Absender
Dieses Formular kann von unserer
Webseite heruntergeladen werden.
Verwendete(s) Betriebsmittel (Vor dem Transport abzulassen.)
Grund fürdie Einsendung
Die Instandhaltung, die Instandsetzung und/oder die Entsorgung von Vakuumgeräten und -komponenten wird nur durchgeführt, wenn eine
korrekt und vollständig ausgefüllte Kontaminationserklärung vorliegt. Sonst kommt es zu Verzögerungen der Arbeiten.
Diese Erklärung darf nur von autorisiertem Fachpersonal ausgefüllt (in Druckbuchstaben) und unterschrieben werden.
1) oder so gering, dass von
denSchadstoffrückständen
keine Gefahr ausgeht
Schadstoffe und/oder Reaktionsprodukte
Schadstoffe oder prozessbedingte, gefährliche Reaktionsprodukte, mit denen das Produkt in Kontakt kam:
Massnahmen bei Freiwerden
der Schadstoffe
Erste Hilfe bei Unfällen
Handels-/Produktname
Hersteller
Chemische Bezeichnung
(evtl. auch Formel)
Das Produkt ist frei von
gesundheitsgefährdenden
Stoffen. ja
q
Einsatzbedingte Kontaminierung des Produkts
toxisch nein
q
1) ja
q
ätzend nein
q
1) ja
q
mikrobiologisch nein
q
ja
q
2)
explosiv nein
q
ja
q
2)
radioaktiv nein
q
ja
q
2)
sonstige Schadstoffe nein
q
1) ja
q
2) Derart kontaminierte
Produkte werden nur
bei Nachweis einer
vorschriftsmässigen
Dekontaminierung
entgegengenommen.
Einsatz in Kupfer-Prozess
nein
q
ja
q
Produkt in Plastik einschweissen und
mit entsprechendem Hinweis versehen.

Contents Page
1 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.1 General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.1.1 Intended Use . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.2 Technical Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.3 Function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
1.4 Equipment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
1.4.1 Scope of delivery . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2 Start-up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.1 Vacuum Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.2 Electrical Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
3 Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
3.1 Service at INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
4 Disposal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
EEC Declaration of Conformity . . . . . . . . . . . . . . 16
Declaration of Contamination . . . . . . . . . . . . . . . 17
Die deutsche Gebrauchsanleitung
beginnt auf Seite . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
General Note
The right of alterations in the design and the technical
data is reserved.
The illustrations are not binding.
10
10 tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
Contents Page
1 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.1 General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.1.1 Intended Use . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.2 Technical Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.3 Function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
1.4 Equipment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
1.4.1 Scope of delivery . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2 Start-up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.1 Vacuum Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.2 Electrical Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
3 Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
3.1 Service at INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
4 Disposal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
EEC Declaration of Conformity . . . . . . . . . . . . . . 16
Declaration of Contamination . . . . . . . . . . . . . . . 17
Die deutsche Gebrauchsanleitung
beginnt auf Seite . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
General Note
The right of alterations in the design and the technical
data is reserved.
The illustrations are not binding.

1 Description
1.1 General
Unpack the Vacuum Switch VSA100A immediately after
delivery, even if it is to be put into operation at a later
date.
Examine the transport box for any external damage.
Then completely remove the packaging materials.
Note
The transport box and packaging materials must be kept
in the event of complaints about damage.
Check that the Vacuum Switch VSA100A is complete
and carefully examine it visually to ensure that no
damage has occurred during transport.
If any damage is discovered, report it immediately to the
forwarding agent and insurer. If the damaged part has to
be replaced, please get in touch with our Customer
Support.
1.1.1 Intended Use
The Vacuum Switch VSA100A is used as a pressure
switch in vacuum systems. It is used e.g. to automatical-
ly interrupt the gas supply when venting vacuum sy-
stems with a purge gas at a pressure of 3 mbar below at-
mospheric pressure.
1.2 Technical Data
Switching pressure 6 mbar
(below atmospheric pressure)
Return switching pressure 3 mbar
(below atmospheric pressure)
Switching inaccuracy ± 2 mbar
Max. operating pressure (abs) 2000 mbar
Operating temperature 0 to 85 °C
Helium permeation < 1·10-6 mbar·l·s-1
Switching contact changeover contact
Switching capacity 100 mA / 24 VAC
30 mA / 24 VDC
11
11
tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
1 Description
1.1 General
Unpack the Vacuum Switch VSA100A immediately after
delivery, even if it is to be put into operation at a later
date.
Examine the transport box for any external damage.
Then completely remove the packaging materials.
Note
The transport box and packaging materials must be kept
in the event of complaints about damage.
Check that the Vacuum Switch VSA100A is complete
and carefully examine it visually to ensure that no
damage has occurred during transport.
If any damage is discovered, report it immediately to the
forwarding agent and insurer. If the damaged part has to
be replaced, please get in touch with our Customer
Support.
1.1.1 Intended Use
The Vacuum Switch VSA100A is used as a pressure
switch in vacuum systems. It is used e.g. to automatical-
ly interrupt the gas supply when venting vacuum sy-
stems with a purge gas at a pressure of 3 mbar below at-
mospheric pressure.
1.2 Technical Data
Switching pressure 6 mbar
(below atmospheric pressure)
Return switching pressure 3 mbar
(below atmospheric pressure)
Switching inaccuracy ± 2 mbar
Max. operating pressure (abs) 2000 mbar
Operating temperature 0 to 85 °C
Helium permeation < 1·10-6 mbar·l·s-1
Switching contact changeover contact
Switching capacity 100 mA / 24 VAC
30 mA / 24 VDC

tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
Electrical connection standard cable 3 m
Vacuum connection DN 16 KF
Protection type IP44
Materials in contact with the medium
Stainless steel 1.4305, 1.4310
Stainless steel 1.4300 PTFE coated
EPDM
Internal volume 2 cm3
Weight 315 g
1.3 Function
At a differential pressure of 6 mbar when pumping down
or 3 mbar when venting below atmospheric pressure, an
elastic diaphragm actuates a changeover contact which
in turn may be used to directly switch any ancillary
equipment. The electrical connections are placed under
a plastic cover.
1.4 Equipment
1.4.1 Scope of delivery
Vacuum Switch VSA100A
complete with cable, 3 m Part Number 399-001
Operating Manual tina29d2
tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
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Electrical connection standard cable 3 m
Vacuum connection DN 16 KF
Protection type IP44
Materials in contact with the medium
Stainless steel 1.4305, 1.4310
Stainless steel 1.4300 PTFE coated
EPDM
Internal volume 2 cm3
Weight 315 g
1.3 Function
At a differential pressure of 6 mbar when pumping down
or 3 mbar when venting below atmospheric pressure, an
elastic diaphragm actuates a changeover contact which
in turn may be used to directly switch any ancillary equip-
ment. The electrical connections are placed under a pla-
stic cover.
1.4 Equipment
1.4.1 Scope of delivery
Vacuum Switch VSA100A
complete with cable, 3 m Part Number 399-001
Operating Manual tina29d2

tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
2Start up
Note
When leak detecting with a helium leak detector,
spraying the pressure switch with helium may result in a
helium proof. This is in general not due to a leak of the
VSA100A, but is permeation of helium through the
EPDM diaphragm.
2.1 Vacuum Connection
The VSA100A is connected to the vacuum system via a
DN 16 KF small flange.
The VSA100A should preferably be mounted standing
on its flange. Inclined mounting is also permissible,
including the horizontal position. Downward installation
is not permissible because in such a case condensate
may collect in the pressure switch. This affects the
measurements and may damage the pressure switch.
Dimensional diagram of VSA100A, see Fig. 1.
2.2 Electrical Connection
The contact assignment is given in Fig. 2.
The VSA100A is supplied with a connected 3 m long
tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
13
13
72
50
DN16 KF
Ø48.5
Fig. 1 Dimensional diagram VSA100A
Atmospheric pressure
(rest position)
Fig. 2 Contact assignment of microswitch
1 (black)
1 (black)
3 (brown)
2 (grey)
2 (grey)
3 (brown) Low pressure
(operating position)
2Start up
Note
When leak detecting with a helium leak detector,
spraying the pressure switch with helium may result in a
helium proof. This is in general not due to a leak of the
VSA100A, but is permeation of helium through the
EPDM diaphragm.
2.1 Vacuum Connection
The VSA100A is connected to the vacuum system via a
DN 16 KF small flange.
The VSA100A should preferably be mounted standing
on its flange. Inclined mounting is also permissible,
including the horizontal position. Downward installation
is not permissible because in such a case condensate
may collect in the pressure switch. This affects the
measurements and may damage the pressure switch.
Dimensional diagram of VSA100A, see Fig. 1.
2.2 Electrical Connection
The contact assignment is given in Fig. 2.
The VSA100A is supplied with a connected 3 m long
72
50
DN16 KF
Ø48.5
Fig. 1 Dimensional diagram VSA100A
Atmospheric pressure
(rest position)
Fig. 2 Contact assignment of microswitch
1 (black)
1 (black)
3 (brown)
2 (grey)
2 (grey)
3 (brown) Low pressure
(operating position)

standard cable. The length of this cable may be chan-
ged.
The electrical connection terminals and the strain relief
are accessible after unscrewing the cross head screws
and folding out the cap.
The contacts at the VSA100A are marked 1, 2 and 3
(see contact assignment Fig. 2).
The supply line has to be fuse-protected with max.
100 mA by the end-user.
Adhere to the applicable regulations and take the neces-
sary precautions for all work you are going to do.
3 Maintenance
The VSA100A requires no maintenance.
3.1 Service at INFICON
Warning Contaminated products (e.g. radioac-
tive, toxic, caustic or microbiological
hazard) can be detrimental to health and
environment.
Products returned to Inficon should preferably be free of
harmful substances. Adhere to the forwarding regulati-
ons of all involved countries and forwarding companies
and enclose a duly completed declaration of contamina-
tion (see Annex).
Products that are not clearly declared as „free of harmful
substances“ are decontaminated at the expense of the
customer.
Products not accompanied by a duly completed declara-
tion of contamination are returned to the sender at his
own expense.
14
14 tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
standard cable. The length of this cable may be chan-
ged.
The electrical connection terminals and the strain relief
are accessible after unscrewing the cross head screws
and folding out the cap.
The contacts at the VSA100A are marked 1, 2 and 3
(see contact assignment Fig. 2).
The supply line has to be fuse-protected with max.
100 mA by the end-user.
Adhere to the applicable regulations and take the neces-
sary precautions for all work you are going to do.
3 Maintenance
The VSA100A requires no maintenance.
3.1 Service at INFICON
Warning Contaminated products (e.g. radioac-
tive, toxic, caustic or microbiological
hazard) can be detrimental to health and
environment.
Products returned to Inficon should preferably be free of
harmful substances. Adhere to the forwarding regulati-
ons of all involved countries and forwarding companies
and enclose a duly completed declaration of contamina-
tion (see Annex).
Products that are not clearly declared as „free of harmful
substances“ are decontaminated at the expense of the
customer.
Products not accompanied by a duly completed declara-
tion of contamination are returned to the sender at his
own expense.

4 Disposal
Warning Contaminated parts
Contaminated parts can be detrimental
to health and environment.
Before beginning to work, find out whether any parts are
contaminated. Adhere to the relevant regulations and
take the necessary precautions when handling contami-
nated parts.
Warning Substance detrimental to the environ-
ment
Products or parts thereof (mechanical
and electric components, operating
fluids etc.) can be detrimental to the
environment.
Dispose of such substance in accordance with the rele-
vant local regulations.
Separating the components
After disassembling the product, separate its compo-
nents according to the following criteria:
Contaminated components
Contaminated components (radioactive, toxic, caustic
or biological hazard etc.) must be decontaminated in
accordance with the relevant national regulations,
separated according to their materials, and disposed
of.
Other components
Such components must be separated according to
their materials and recycled.
15
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4 Disposal
Warning Contaminated parts
Contaminated parts can be detrimental
to health and environment.
Before beginning to work, find out whether any parts are
contaminated. Adhere to the relevant regulations and
take the necessary precautions when handling contami-
nated parts.
Warning Substance detrimental to the environ-
ment
Products or parts thereof (mechanical
and electric components, operating
fluids etc.) can be detrimental to the
environment.
Dispose of such substance in accordance with the rele-
vant local regulations.
Separating the components
After disassembling the product, separate its compo-
nents according to the following criteria:
Contaminated components
Contaminated components (radioactive, toxic, caustic
or biological hazard etc.) must be decontaminated in
accordance with the relevant national regulations,
separated according to their materials, and disposed
of.
Other components
Such components must be separated according to
their materials and recycled.

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EEC Declaration of Conformity
as defined by the Directive relating to machinery
98/37/EG, Appendix IIb.
We -INFICON - herewith declare that the products defined
below meet the basic requirements regarding safety and
health of the relevant EEC directives by design, type and
the versions which are brought in to circulation by us.
We also declare that the equipment mentioned below
complies with the provisions of the Directive relating to
electrical equipment designed for use within certain vol-
tage limits 73/23/ EEC.
Product:
Vacuum Switch VSA100A
Part Number
399-001
Standards
Harmonized and international / national standards and
specifications:
• DIN VDE 0630
• EN 60204-1
Balzers, 11 October 2004
—————————————————————
Reto Süssli, Product Marketing Manager
Balzers, 11 October 2004
—————————————————————
Dr. Georg Sele, Technical Support Manager;
Quality Representative
EEC Declaration of Conformity
as defined by the Directive relating to machinery
98/37/EG, Appendix IIb.
We -INFICON - herewith declare that the products defined
below meet the basic requirements regarding safety and
health of the relevant EEC directives by design, type and
the versions which are brought in to circulation by us.
We also declare that the equipment mentioned below
complies with the provisions of the Directive relating to
electrical equipment designed for use within certain vol-
tage limits 73/23/ EEC.
Product:
Vacuum Switch VSA100A
Part Number
399-001
Standards
Harmonized and international / national standards and
specifications:
• DIN VDE 0630
• EN 60204-1
Balzers, 11 October 2004
—————————————————————
Reto Süssli, Product Marketing Manager
Balzers, 11 October 2004
—————————————————————
Dr. Georg Sele, Technical Support Manager;
Quality Representative

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tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
tina29d2-b (2004-10) VSA100A.ga
The service, repair, and/or disposal of vacuum equipment and components will only be carried out if a correctly completed declaration has
been submitted. Non-completion will result in delay.
This declaration may only be completed (in block letters) and signed by authorized and qualified staff.
Description of product
Type
Part number
Serial number
Reason for return
Legally binding declaration:
We hereby declare that the information on this form is complete and accurate and that we will assume any further costs that may
arise. The contaminated product will be dispatched in accordance with the applicable regulations.
Organization/company
Address Post code, place
Phone Fax
Email
Name
Date and legally binding signature Company stamp
Copies:
Original for addresee - 1 copy for accompanying documents - 1 copy for file of sender
Operating fluid(s) used (Must be drained before shipping.)
Harmful substances, gases and/or by-products
Please list all substances, gases, and by-products which the product may have come into contact with:
Trade/product name Chemical name
(or symbol)
Precautions associated
with substance
Action if human contact
The product is free of any sub-
stances which are damaging to
health. yes
q
Used in copper process
no
q
yes
q
Seal product in plastic bag and
mark it with a corresponding label.
This form can be downloaded
from our website.
2) Products thus contami-
nated will not be ac-
cepted without written
evidence of decontami-
nation.
1) or not containing any amount
of hazardous residues that
exceed the permissible ex-
posure limits
Process related contamination of product:
toxic no
q
1) yes
q
caustic no
q
1) yes
q
biological hazard no
q
yes
q
2)
explosive no
q
yes
q
2)
radioactive no
q
yes
q
2)
other harmful substances no
q
1) yes
q
Declaration of ContaminationDeclaration of Contamination
The service, repair, and/or disposal of vacuum equipment and components will only be carried out if a correctly completed declaration has
been submitted. Non-completion will result in delay.
This declaration may only be completed (in block letters) and signed by authorized and qualified staff.
Description of product
Type
Part number
Serial number
Reason for return
Legally binding declaration:
We hereby declare that the information on this form is complete and accurate and that we will assume any further costs that may
arise. The contaminated product will be dispatched in accordance with the applicable regulations.
Organization/company
Address Post code, place
Phone Fax
Email
Name
Date and legally binding signature Company stamp
Copies:
Original for addresee - 1 copy for accompanying documents - 1 copy for file of sender
Operating fluid(s) used (Must be drained before shipping.)
Harmful substances, gases and/or by-products
Please list all substances, gases, and by-products which the product may have come into contact with:
Trade/product name Chemical name
(or symbol)
Precautions associated
with substance
Action if human contact
The product is free of any sub-
stances which are damaging to
health. yes
q
Used in copper process
no
q
yes
q
Seal product in plastic bag and
mark it with a corresponding label.
This form can be downloaded
from our website.
2) Products thus contami-
nated will not be ac-
cepted without written
evidence of decontami-
nation.
1) or not containing any amount
of hazardous residues that
exceed the permissible ex-
posure limits
Process related contamination of product:
toxic no
q
1) yes
q
caustic no
q
1) yes
q
biological hazard no
q
yes
q
2)
explosive no
q
yes
q
2)
radioactive no
q
yes
q
2)
other harmful substances no
q
1) yes
q

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INFICON Ltd.
LI-9496 Balzers, Principality of Liechtenstein
UNITED STATES FRANCE GERMANY LIECHTENSTEIN UNITED KINGDOM CHINA JAPAN KOREA SINGAPORE TAIWAN
Due to INFICON s continuing program of product improvements, specifications are subject to change without notice.
Visit our website for contact information and other sales offices worldwide. www.inficon.com
INFICON Ltd.
LI-9496 Balzers, Principality of Liechtenstein
UNITED STATES FRANCE GERMANY LIECHTENSTEIN UNITED KINGDOM CHINA JAPAN KOREA SINGAPORE TAIWAN
Due to INFICON s continuing program of product improvements, specifications are subject to change without notice.
Visit our website for contact information and other sales offices worldwide. www.inficon.com
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Languages:
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Black Box SWI035A quick start guide

Black Box
Black Box LPH3061A quick start guide

HTRONIC
HTRONIC WSS 1 user manual

Metropolitan Industries
Metropolitan Industries ion Technologies Ion+ Connect Operation manual

BJ Live
BJ Live BJ Enabler 1R-LV user guide

Rocket Fish
Rocket Fish RF-G1185 Quick setup guide