Pfeiffer Vacuum HIPACE 300 PLUS User manual

BETRIEBSANLEITUNG
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OPERATING INSTRUCTIONS
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Original
HIPACE 300 PLUS
Turbopumpe
Turbopump

Dear Customer,
Thank you for choosing a Pfeiffer Vacuum product. Your new turbopump is designed to
support you by its performance, its perfect operation and without interfering your individual
application. The name Pfeiffer Vacuum stands for high-quality vacuum technology, a
comprehensive and complete range of top-quality products and first-class service. With this
expertise, we have acquired a multitude of skills contributing to an efficient and secure
implementation of our product.
Knowing that our product must not interfere with your actual work, we are convinced that our
product offers you the solution that supports you in the effective and trouble-free execution of
your individual application.
Please read these operating instructions before putting your product into operation for the
first time. If you have any questions or suggestions, please feel free to contact info@pfeiffer-
vacuum.de.
Further operating instructions from Pfeiffer Vacuum can be found in the Download Center on
our website.
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These operating instructions describe all models and variants of your product. Note that your
product may not be equipped with all features described in this document. Pfeiffer Vacuum
constantly adapts its products to the latest state of the art without prior notice. Please take
into account that online operating instructions can deviate from the printed operating
instructions supplied with your product.
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the use of the product that contradicts its proper use or is explicitly defined as foreseeable
misuse.
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document are protected by copyright. They may not be copied, altered, reproduced or
published without the prior written permission of Pfeiffer Vacuum.
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Inhaltsverzeichnis
1 Zu dieser Anleitung 7
1.1 Gültigkeit 7
1.1.1 Mitgeltende Dokumente 7
1.1.2 Varianten 7
1.2 Zielgruppe 7
1.3 Konventionen 7
1.3.1 Anweisungen im Text 7
1.3.2 Piktogramme 8
1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt 8
1.3.4 Abkürzungen 9
1.4 Markennachweis 9
2 Sicherheit 10
2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise 10
2.2 Sicherheitshinweise 10
2.3 Sicherheitsmaßnahmen 14
2.4 Einsatzgrenzen des Produkts 15
2.5 Bestimmungsgemäße Verwendung 15
2.6 Vorhersehbarer Fehlgebrauch 16
2.7 Personenqualifikation 16
2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 16
2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 17
2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden 17
3 Produktbeschreibung 18
3.1 Funktion 18
3.1.1 Kühlung 18
3.1.2 Rotorlager 18
3.1.3 Antrieb 18
3.2 Produkt identifizieren 19
3.2.1 Produkttypen 19
3.2.2 Produktmerkmale 19
3.3 Lieferumfang 19
4 Transport und Lagerung 20
4.1 Transport 20
4.2 Lagerung 20
5 Installation 21
5.1 Vorbereitende Arbeiten 21
5.2 Turbopumpe am Unterteil befestigen 22
5.3 Hochvakuumseite anschließen 22
5.3.1 Anforderungen für die Auslegung des Gegenflansches 22
5.3.2 Erdbebensicherheit berücksichtigen 23
5.3.3 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden 24
5.3.4 Dämpfungskörper verwenden 24
5.3.5 Einbaulagen 25
5.3.6 ISO-K Flansch an ISO-K befestigen 25
5.3.7 ISO-K Flansch an ISO-F befestigen 26
5.3.8 ISO-F Flansch an ISO-F befestigen 27
5.3.9 CF-Flansch an CF-F befestigen 28
5.4 Vorvakuumseite anschließen 30
5.5 Zubehör anschließen 31
5.6 Elektrische Versorgung anschließen 31
5.6.1 Turbopumpe erden 32
5.6.2 Elektrischen Anschluss herstellen 32
Inhaltsverzeichnis
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6 Betrieb 34
6.1 Inbetriebnahme 34
6.2 Betriebsarten 34
6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit 35
6.2.2 Betrieb über Multifunktionsanschluss "X3" 35
6.2.3 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Steuergerät 35
6.2.4 Betrieb über Anschluss "E74" 35
6.2.5 Betrieb über Feldbus 35
6.3 Turbopumpe einschalten 36
6.4 Betriebsüberwachung 36
6.4.1 Betriebsanzeige über LED 36
6.4.2 Temperaturüberwachung 37
6.5 Ausschalten und Fluten 37
6.5.1 Ausschalten 37
6.5.2 Fluten 37
7 Wartung 39
7.1 Allgemeine Wartungshinweise 39
7.2 Checkliste für Inspektion und Wartung 39
7.3 Betriebsmittelspeicher austauschen 40
7.3.1 Betriebsmittelspeicher demontieren 41
7.3.2 Betriebsmittelspeicher montieren 42
7.4 Antriebselektronik austauschen 43
7.4.1 Antriebselektronik demontieren 43
7.4.2 Antriebselektronik installieren 44
7.4.3 Drehzahlvorgabe bestätigen 45
8 Außerbetriebnahme 46
8.1 Stillsetzen für längere Zeit 46
8.2 Wiederinbetriebnahme 46
9 Recycling und Entsorgung 47
9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise 47
9.2 Turbopumpe entsorgen 47
10 Störungen 48
11 Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum 50
12 Ersatzteile 52
13 Zubehör 53
13.1 Zubehörinformationen 53
13.2 Zubehör bestellen 53
14 Technische Daten und Abmessungen 55
14.1 Allgemeines 55
14.2 Technische Daten 55
14.3 Medienberührende Werkstoffe 57
14.4 Abmessungen 57
EG Konformitätserklärung 59
UK Konformitätserklärung 60
Inhaltsverzeichnis
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Tabellenverzeichnis
Tab. 1: Verwendete Abkürzungen im Dokument 9
Tab. 2: Zulässige Umgebungsbedingungen 15
Tab. 3: Produktbezeichnung von HiPace Turbopumpen 19
Tab. 4: Merkmale der Turbopumpen 19
Tab. 5: Anforderungen für die Befestigung der Turbopumpen am Unterteil 22
Tab. 6: Anforderungen für die Auslegung des kundenseitigen Hochvakuuman-
schlusses
23
Tab. 7: Reduzierung des Saugvermögens bei Verwendung eines Splitterschutzes
oder Schutzgitters
24
Tab. 8: Werkseitige Einstellung der Antriebselektronik von Turbopumpen bei Auslie-
ferung
34
Tab. 9: Verhalten und Bedeutung der LEDs an der Antriebselektronik 37
Tab. 10: Werkseinstellungen für verzögertes Fluten bei Turbopumpen 38
Tab. 11: Wartungsintervalle 40
Tab. 12: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen 45
Tab. 13: Störungsbehebung bei Turbopumpen 49
Tab. 14: Verfügbare Ersatzteile 52
Tab. 15: Zubehör 54
Tab. 16: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten 55
Tab. 17: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz 55
Tab. 18: Technische Daten für HiPace 300 Plus | 24 V 57
Tab. 19: Werkstoffe mit Prozessmedienkontakt 57
Tabellenverzeichnis
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Abbildungsverzeichnis
Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt 8
Abb. 2: Aufbau HiPace 300 Plus 18
Abb. 3: Beispiel: Sicherheitsverbindungen 24
Abb. 4: Vorgeschriebene Ausrichtung 25
Abb. 5: Flanschverbindung ISO-K zu ISO-K, Klammerschraube 25
Abb. 6: Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Sechskantschraube und Gewindeboh-
rung
26
Abb. 7: Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Stiftschraube und Gewindebohrung 26
Abb. 8: Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Stiftschraube und Durchgangsbohrung 27
Abb. 9: Flanschverbindung ISO-F, Sechskantschraube und Gewindebohrung 27
Abb. 10: Flanschverbindung ISO-F, Stiftschraube und Gewindebohrung 28
Abb. 11: Flanschverbindung ISO-F, Stiftschraube und Durchgangsbohrung 28
Abb. 12: Flanschverbindung CF-F, Sechskantschraube und Durchgangsbohrung 29
Abb. 13: Flanschverbindung CF-F, Siftschraube und Gewindebohrung 29
Abb. 14: Flanschverbindung CF-F, Siftschraube und Durchgangsbohrung 29
Abb. 15: Beispiel für den Vorvakuumanschluss an HiPace 300 30
Abb. 16: Beispiel für den Zubehöranschluss über Adapter TCS 12 31
Abb. 17: Beispiel: Anschluss des Erdungskabels 32
Abb. 18: Antriebselektronik mit Netzteil verbinden 33
Abb. 19: Betriebsmittelspeicher demontieren 41
Abb. 20: Betriebsmittelspeicher montieren 42
Abb. 21: Demontage der Antriebselektronik TC 110 44
Abb. 22: Montage der Antriebselektronik TC 110 44
Abb. 23: Ersatzteile HiPace 300 Plus 52
Abb. 24: Abmessungen HiPace 300 | TC 110 | DN 100 ISO-K 57
Abb. 25: Abmessungen HiPace 300 | TC 110 | DN 100 ISO-F 58
Abb. 26: Abmessungen HiPace 300 | TC 110 | DN 100 CF-F 58
Abbildungsverzeichnis
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1 Zu dieser Anleitung
WICHTIG
Vor Gebrauch sorgfältig lesen.
Aufbewahren für späteres Nachschlagen.
1.1 Gültigkeit
Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be-
schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den
sicheren Gebrauch des Geräts. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Angaben
in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts. Die Doku-
mentation behält ihre Gültigkeit, sofern kundenseitig keine Veränderungen am Produkt vorgenommen
werden.
1.1.1 Mitgeltende Dokumente
Dokument Nummer
Betriebsanleitung "Antriebselektronik" TC 110 Standard PT 0204 BN
Betriebsanleitung "Antriebselektronik" TC 110 PB PT 0245 BN
Betriebsanleitung "Antriebselektronik" TC 110 E74 PT 0301 BN
Betriebsanleitung "Antriebselektronik" TC 110 RS PT 0351 BN
Konformitätserklärung Bestandteil dieses Dokuments
Sie finden diese Dokumente im Pfeiffer Vacuum Download Center.
1.1.2 Varianten
●HiPace 300 Plus, DN 100 ISO-K, TC 110
●HiPace 300 Plus, DN 100 CF-F, TC 110
●HiPace 300 Plus, DN 100 ISO-F, TC 110
1.2 Zielgruppe
Diese Betriebsanleitung richtet sich an alle Personen, die das Produkt
●transportieren,
●aufstellen (installieren),
●bedienen und betreiben,
●außerbetriebnehmen,
●warten und reinigen,
●lagern oder entsorgen.
Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen durchführen, die eine geeignete
technische Ausbildung besitzen (Fachpersonal) oder eine entsprechende Schulung durch Pfeiffer Vacu-
um erhalten haben.
1.3 Konventionen
1.3.1 Anweisungen im Text
Handlungsanweisungen im Dokument folgen einem generellen und in sich abgeschlossenen Aufbau.
Die notwendige Tätigkeit ist durch einen einzelnen oder mehrere Handlungsschritte gekennzeichnet.
Einzelner Handlungsschritt
Ein liegendes gefülltes Dreieck kennzeichnet den einzigen Handlungsschritt einer Tätigkeit.
►Dies ist ein einzelner Handlungsschritt.
Zu dieser Anleitung
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Abfolge von mehreren Handlungsschritten
Die numerische Aufzählung kennzeichnet eine Tätigkeit mit mehreren notwendigen Handlungsschritten.
1. Handlungsschritt 1
2. Handlungsschritt 2
3. ...
1.3.2 Piktogramme
Im Dokument verwendete Piktogramme kennzeichnen nützliche Informationen.
Hinweis
Tipp
1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt
Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung.
Oil
S/N
Mod.
HiPace 300 Plus
PM P0X XXX
- - - - - - - -
P/N
n, f
Mass
PM XXX XXX -T
60000 1/min, 1000 Hz
7.0 kg
D-35614 Asslar Berliner Str. 43
Made in Germany 2023/02
C US
UL / CSA 61010-1
TÜV Rheinland
Type 12
IPx4
Typenschild
Das Typenschild der Turbopumpe befindet sich am Unterteil
der Vakuumpumpe.
Typenschild der Antriebselektronik
Das Typenschild der Antriebselektronik befindet sich auf deren
Außenseite direkt neben den LEDs
Hinweis Betriebsanleitung
Dieser Aufkleber weist darauf hin, vor allen Tätigkeiten diese
Betriebsanleitung zu lesen.
Schutzklasse
Dieser Aufkleber beschreibt die Schutzklasse 1 für das Pro-
dukt. Die Platzierung zeigt die Position für den Erdungsan-
schluss an.
warranty seal
Verschlusssiegel
Das Produkt ist ab Werk versiegelt. Beschädigung oder Entfer-
nen eines Verschlusssiegels führt zum Verlust der Gewährleis-
tung.
1
34
2
Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt
1 Hinweis Betriebsanleitung 3 Hinweis Erdungsanschluss
2 Verschlusssiegel 4 Typenschild der Turbopumpe
Zu dieser Anleitung
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1.3.4 Abkürzungen
Abkürzung Bedeutung im Dokument
CF Flansch: Anschlussverbindung metallgedichtet gemäß ISO 3669
dBetrag des Durchmessers (in mm)
DC Gleichstrom
DN Nomineller Durchmesser als Größenbeschreibung
fBetrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz)
HPU Handheld Programming Unit. Assistent zur Steuerung und Kontrolle der Pumpenpara-
meter
HV Hochvakuumflansch, Hochvakuumseite
ISO Flansch: Anschlussverbindung gemäß ISO 1609 und ISO 2861
LED Leuchtdiode
FE Funktionserde (functional earth)
FKM Fluor-Polymer-Kautschuk
[P:xxx] Steuerparameter der Antriebselektronik. Fettgedruckt als dreistellige Nummer in ecki-
gen Klammern. Häufig in Verbindung mit einer Kurzbezeichnung angezeigt.
Beispiel: [P:312] Softwareversion
SW Schlüsselweite
TTemperatur (in °C)
TC Antriebselektronik der Turbopumpe (turbo controller)
TPS Spannungsversorgung (turbo power supply)
VV Vorvakuumflansch, Vorvakuumanschluss
X3 15-polige D-Sub-Anschlussbuchse an der Antriebselektronik der Turbopumpe
Tab. 1: Verwendete Abkürzungen im Dokument
1.4 Markennachweis
●Torx® ist eine Marke von Acument Intellectual Properties, LLC.
●Profibus® ist eine Marke der Profibus Nutzerorganisation e.V.
Zu dieser Anleitung
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2 Sicherheit
2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise
Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt.
GEFAHR
Unmittelbar bevorstehende Gefahr
Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu
schweren Verletzungen führt.
►Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation
WARNUNG
Möglicherweise bevorstehende Gefahr
Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-
zungen führen kann.
►Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation
VORSICHT
Möglicherweise bevorstehende Gefahr
Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zu leichten Verletzungen führen
kann.
►Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation
HINWEIS
Gefahr von Sachschäden
Wird verwendet um auf Handlungen aufmerksam zu machen, die nicht auf Personenschäden bezo-
gen sind.
►Anweisung zur Vermeidung von Sachschäden
Hinweise, Tipps oder Beispiele kennzeichnen wichtige Informationen zum Produkt oder zu
diesem Dokument.
2.2 Sicherheitshinweise
Alle Sicherheitshinweise in diesem Dokument beruhen auf Ergebnissen der Risikobeurteilung gemäß
Maschinenrichtlinie 2006/42/EG Anhang I und EN ISO 12100 Kapitel 5. Soweit zutreffend wurden alle
Lebensphasen des Produkts berücksichtigt.
Risiken beim Transport
WARNUNG
Gefahr schwerer Verletzungen durch herabfallende Gegenstände
Durch das Herabfallen von Gegenständen besteht die Gefahr von Verletzungen an Gliedmaßen bis
hin zu Knochenbrüchen.
►Seien Sie beim Transport der Produkte von Hand besonders vorsichtig und aufmerksam.
►Stapeln Sie die Produkte nicht.
►Tragen Sie Schutzausrüstungen, z. B. Sicherheitsschuhe.
Sicherheit
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Risiken bei der Installation
GEFAHR
Lebensgefahr durch elektrischen Schlag
Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum
Todesfall.
►Achten Sie darauf, dass das Netzteil den Anforderungen für doppelte Isolierung zwischen Netz-
eingangsspannung und Ausgangsspannung gemäß IEC 61010-1, IEC 60950-1 und IEC 62368-1
entspricht.
►Achten Sie darauf, dass das Netzteil den Anforderungen für Ableitströme gemäß IEC 61010-1,
IEC 60950-1 und IEC 62368-1 entspricht.
►Verwenden Sie möglichst original Netzteile oder ausschließlich Netzteile, die den geltenden Si-
cherheitsbestimmungen entsprechen.
WARNUNG
Lebensgefahr durch fehlende Netztrenneinrichtung
Die Vakuumpumpe und die Antriebselektronik sind nicht mit einer Netztrenneinrichtung (Hauptschal-
ter) ausgestattet.
►Installieren Sie eine Netztrenneinrichtung gemäß SEMI-S2.
►Sehen Sie einen Leistungsschalter mit einem Ausschaltvermögen von min. 10.000 A vor.
WARNUNG
Verletzungsgefahr aufgrund nicht sachgerechter Installation
Durch unsichere oder nicht sachgerechte Installation entstehen gefährliche Situationen.
►Nehmen Sie keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vor.
►Sorgen Sie für die Integration in einen Not‑Aus‑Sicherheitskreis.
WARNUNG
Gefahr von Schnittverletzungen an beweglichen, scharfkantigen Teilen bei Eingriff in den offe-
nem Hochvakuumflansch
Bei offenem Hochvakuumflansch ist der Zugang zu scharfkantigen Teilen möglich. Eine manuelle
Rotation des Rotors vergrößert die Gefahrensituation. Es besteht die Gefahr von Schnittverletzun-
gen, bis hin zum Abtrennen von Körperteilen (z. B. Fingerkuppen). Es besteht die Gefahr des Ein-
zugs von Haaren und losen Kleidungsstücken. Hineinfallende Gegenstände zerstören die Turbopum-
pe im späteren Betrieb.
►Entfernen Sie die original Schutzdeckel erst unmittelbar vor dem Anschluss des Hochvakuumf-
lanschs.
►Greifen Sie nicht in den Hochvakuumanschluss.
►Tragen Sie Schutzhandschuhe während der Installation.
►Nehmen Sie die Turbopumpe nicht mit offenen Vakuumanschlüssen in Betrieb.
►Führen Sie die mechanische Installation immer vor dem elektrischen Anschluss aus.
►Verhindern Sie den Zugang zum Hochvakuumanschluss der Turbopumpe von der Betreiberseite
(z. B. offene Vakuumkammer).
WARNUNG
Lebensgefahr durch Vergiftung bei Austritt von toxischen Prozessmedien an beschädigten
Anschlüssen
Plötzliches Verdrehen der Turbopumpe im Störungsfall führt zu Beschleunigungen von Anbauten. Es
besteht das Risiko von Beschädigungen und Leckagen an kundenseitigen Anschlüssen (z.B. Vorva-
kuumleitung). Der Austritt von Prozessmedien ist die Folge. Bei Prozessen mit toxischen Medien be-
steht Verletzungs- und Lebensgefahr durch Vergiftung.
►Halten Sie an der Turbopumpe anzuschließende Massen möglichst gering.
►Verwenden Sie ggf. flexible Leitungen für den Anschluss an der Turbopumpe.
Sicherheit
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WARNUNG
Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall
Plötzliches Blockieren des Rotors erzeugt gemäß ISO 27892 hohe zerstörende Drehmomente. Diese
führen bei Verwendung eines Dämpfungskörpers höchstwahrscheinlich zum Abreißen der Turbo-
pumpe. Die dabei freigesetzte Energie kann die gesamte Turbopumpe oder Bruchstücke aus deren
Inneren durch den Raum schleudern. Potentiell gefährliche Gase können entweichen. Es besteht die
Gefahr von schwersten Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden.
►Ergreifen Sie bauseitig geeignete Sicherungsmaßnahmen zur Kompensation der auftretenden
Drehmomente.
►Halten Sie vor der Installation eines Dämpfungskörpers unbedingt Rücksprache mit Pfeiffer Va-
cuum.
WARNUNG
Gefahr von Schnittverletzungen durch unvorhergesehenen automatischen Hochlauf
Das Verwenden von Gegensteckern für die Antriebselektronik (Zubehör), ermöglicht den sofortigen
Hochlauf der Vakuumpumpe nach Herstellen der Spannungsversorgung. Das Aufstecken von Ge-
gensteckern vor oder während der Installation führt zu der Gefahr von Schnittverletzungen an rotier-
enden scharfkantigen Teilen im offenliegenden Hochvakuumflansch.
►Verwenden Sie die Gegenstecker nur nach der mechanischen Installation.
►Schalten Sie die Turbopumpe nur unmittelbar vor dem Betrieb ein.
Risiken beim Betrieb
WARNUNG
Verbrennungsgefahr an heißen Oberflächen bei Verwendung von Zusatzeinrichtungen zum
Heizen für den Betrieb
Die Verwendung von Zusatzeinrichtungen zum Heizen der Vakuumpumpe oder zur Prozessoptimie-
rung erzeugt sehr hohe Temperaturen an berührbaren Oberflächen. Es besteht Verbrennungsgefahr.
►Richten Sie ggf. einen Berührungsschutz ein.
►Bringen Sie ggf. dafür vorgesehene Warnaufkleber an den Gefahrenstellen an.
►Sorgen Sie für ausreichend Abkühlung vor Arbeiten an der Vakuumpumpe oder in deren Umge-
bung.
►Tragen Sie Schutzausrüstung, z.B. Handschuhe.
WARNUNG
Gefahr schwerer Verletzungen bei Zerstörung der Vakuumpumpe durch Überdruck
Gaseintritt mit sehr hohem Überdruck führt zur Zerstörung der Vakuumpumpe. Es besteht die Gefahr
schwerer Verletzungen durch herausgeschleuderte Objekte.
►Überschreiten Sie nicht den zulässigen Einlassdruck von 1500 hPa (abs.) an Ansaugseite oder
Flut- und Sperrgasanschluss.
►Stellen Sie sicher, dass prozessbedingt hohe Überdrücke nicht direkt in die Vakuumpumpe ge-
langen.
VORSICHT
Gefahr von Verletzungen durch Kontakt mit Vakuum beim Belüften
Während des Belüftens der Vakuumpumpe besteht die Gefahr geringer Verletzungen durch unmittel-
baren Kontakt von Körperteilen mit dem Vakuum, z.B. Hämatome.
►Drehen Sie die Flutschraube beim Belüften nicht vollständig aus dem Gehäuse.
►Halten Sie Abstand zu automatischen Fluteinrichtungen, wie Flutventilen.
Sicherheit
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Risiken bei der Wartung, Außerbetriebnahme und Entsorgung
WARNUNG
Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wartungs- und Servicearbeiten
Das Gerät ist nur bei gezogenem Netzstecker und stillstehender Turbopumpe völlig spannungsfrei.
Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponen-
ten.
►Schalten Sie vor allen Arbeiten den Hauptschalter aus.
►Warten Sie den Stillstand der Turbopumpe ab (Drehzahl f = 0).
►Ziehen Sie den Netzstecker vom Gerät ab.
►Sichern Sie das Gerät gegen unbeabsichtigtes Wiedereinschalten.
WARNUNG
Gesundheitsgefahr durch Vergiftung an toxisch kontaminierten Bauteilen oder Geräten
Toxische Prozessmedien führen zur Kontamination der Geräte oder Teilen davon. Bei Wartungsar-
beiten besteht Gesundheitsgefahr durch Kontakt mit diesen giftigen Substanzen. Die unzulässige Be-
seitigung toxischer Substanzen führt zu Umweltschäden.
►Treffen Sie geeignete Sicherheitsvorkehrungen und verhindern Sie Gesundheitsgefährdungen
und Umweltbelastungen durch toxische Prozessmedien.
►Dekontaminieren Sie die betreffenden Teile vor der Ausführung von Wartungsarbeiten.
►Tragen Sie Schutzausrüstung.
WARNUNG
Schnittverletzungen an beweglichen, scharfkantigen Teilen bei Eingriff in den offenem Hoch-
vakuumanschluss
Unsachgemäße Behandlung der Turbopumpe vor Wartungsarbeiten führt zu Gefahrensituationen mit
Verletzungsrisiko. Es besteht die Gefahr von Schnittverletzungen durch Zugang an scharfkantigen,
rotierenden Teilen beim Ausbau der Turbopumpe.
►Warten Sie den Stillstand der Turbopumpe ab (Drehzahl f = 0).
►Schalten Sie die Turbopumpe ordentlich aus.
►Sichern Sie die Turbopumpe gegen Wiedereinschalten.
►Verschließen Sie offene Anschlüsse unmittelbar nach dem Ausbau durch die original Schutzde-
ckel.
WARNUNG
Vergiftungsgefahr durch Kontakt mit gesundheitsschädlichen Stoffen
Der Betriebsmittelspeicher und Teile der Turbopumpe enthalten möglicherweise giftige Substanzen
aus den gepumpten Medien.
►Dekontaminieren Sie betreffende Teile vor der Ausführung von Wartungsarbeiten.
►Verhindern Sie Gesundheitsgefährdungen oder Umweltbelastungen durch entsprechende Si-
cherheitsvorkehrungen.
►Beachten Sie das Sicherheitsdatenblatt des Betriebsmittels.
►Entsorgen Sie den Betriebsmittelspeicher nach den geltenden Vorschriften.
Risiken bei Störungen
WARNUNG
Lebensgefahr durch elektrischen Schlag im Störungsfall
Im Störungsfall stehen die mit dem Netz verbundenen Geräte möglicherweise unter Spannung. Es
besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponenten.
►Halten Sie den Netzanschluss immer frei zugänglich, um die Verbindung jederzeit trennen zu
können.
Sicherheit
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WARNUNG
Lebensgefahr durch Abreißen der Turbopumpe im Störungsfall
Plötzliches Blockieren des Rotors erzeugt gemäß ISO 27892 hohe zerstörende Drehmomente. Diese
führen bei nicht ordnungsgemäßer Befestigung zum Abreißen der Turbopumpe. Die dabei freige-
setzte Energie kann die gesamte Turbopumpe oder Bruchstücke aus deren Inneren durch den Raum
schleudern. Potentiell gefährliche Gase können entweichen. Es besteht die Gefahr von schwersten
Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden.
►Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe.
►Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches.
►Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate-
rial für die Installation.
WARNUNG
Lebensgefahr durch Vergiftung bei Austritt von toxischen Prozessmedien an beschädigten
Anschlüssen
Plötzliches Verdrehen der Turbopumpe im Störungsfall führt zu Beschleunigungen von Anbauten. Es
besteht das Risiko von Beschädigungen und Leckagen an kundenseitigen Anschlüssen (z.B. Vorva-
kuumleitung). Der Austritt von Prozessmedien ist die Folge. Bei Prozessen mit toxischen Medien be-
steht Verletzungs- und Lebensgefahr durch Vergiftung.
►Halten Sie an der Turbopumpe anzuschließende Massen möglichst gering.
►Verwenden Sie ggf. flexible Leitungen für den Anschluss an der Turbopumpe.
WARNUNG
Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall
Plötzliches Blockieren des Rotors erzeugt gemäß ISO 27892 hohe zerstörende Drehmomente. Diese
führen bei Verwendung eines Dämpfungskörpers höchstwahrscheinlich zum Abreißen der Turbo-
pumpe. Die dabei freigesetzte Energie kann die gesamte Turbopumpe oder Bruchstücke aus deren
Inneren durch den Raum schleudern. Potentiell gefährliche Gase können entweichen. Es besteht die
Gefahr von schwersten Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden.
►Ergreifen Sie bauseitig geeignete Sicherungsmaßnahmen zur Kompensation der auftretenden
Drehmomente.
►Halten Sie vor der Installation eines Dämpfungskörpers unbedingt Rücksprache mit Pfeiffer Va-
cuum.
2.3 Sicherheitsmaßnahmen
Informationspflicht zu möglichen Gefahren
Der Halter oder Betreiber des Produkts ist verpflichtet, jede Bedienperson auf Gefahren,
die von diesem Produkt ausgehen, aufmerksam zu machen.
Jede Person, die sich mit der Installation, dem Betrieb oder der Instandhaltung des Pro-
dukts befasst, muss die sicherheitsrelevanten Teile dieses Dokuments lesen, verstehen
und befolgen.
Verletzung der Konformität durch Veränderungen am Produkt
Die Konformitätserklärung des Herstellers erlischt, wenn der Betreiber das Originalprodukt
verändert oder Zusatzeinrichtungen installiert.
●Nach Einbau in eine Anlage ist der Betreiber verpflichtet, vor deren Inbetriebnahme die
Konformität des Gesamtsystems im Sinne der geltenden europäischen Richtlinien zu
überprüfen und entsprechend neu zu bewerten.
Allgemeine Sicherheitsmaßnahmen im Umgang mit dem Produkt
►Beachten Sie alle geltenden Sicherheits- und Unfallverhütungsvorschriften.
►Überprüfen Sie regelmäßig die Einhaltung aller Schutzmaßnahmen.
►Setzen Sie kein Körperteil dem Vakuum aus.
►Gewährleisten Sie immer die sichere Verbindung zum Schutzleiter (PE).
Sicherheit
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►Lösen Sie während des Betriebs keine Steckerverbindungen.
►Beachten Sie die genannten Ausschaltprozeduren.
►Warten Sie vor Arbeiten am Hochvakuumanschluss den völligen Stillstand des Rotors ab (Dreh-
zahl f = 0).
►Setzen Sie das Gerät nicht mit offenem Hochvakuumanschluss in Betrieb.
►Halten Sie Leitungen und Kabel von heißen Oberflächen (> 70 °C) fern.
►Befüllen oder betreiben Sie das Gerät niemals mit Reinigungsmittel oder Resten davon.
►Nehmen Sie keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vor.
►Beachten Sie die Schutzart des Geräts vor dem Einbau oder Betrieb in anderen Umgebungen.
2.4 Einsatzgrenzen des Produkts
Aufstellungsort wettergeschützt (Innenräume)
Luftdruck 530 hPa bis 1060 hPa
Aufstellungshöhe max. 5000 m
Rel. Luftfeuchte max. 80 %, bei T < 31 °C,
bis max. 50 % bei T < 40 °C
Schutzklasse III
Überspannungskategorie II
Zul. Schutzart IP44,
Type 12 gemäß UL 50E
Verschmutzungsgrad 2
Umgebungstemperatur 5 °C bis 30 °C bei Konvektionskühlung ohne
Gasdurchsatz
5 °C bis 35 °C bei Luftkühlung
5 °C bis 40 °C bei Wasserkühlung
Zulässiges umgebendes Magnetfeld 5,5 mT
Maximal eingestrahlte Wärmeleistung 2,4 W
Maximal zulässige Rotortemperatur der Turbopumpe 90 °C
Maximal zulässige Ausheiztemperatur am Hochvaku-
umflansch 120 °C
Tab. 2: Zulässige Umgebungsbedingungen
Anmerkungen zu Umgebungsbedingungen
Die angegebenen zulässigen Umgebungstemperaturen gelten für den Betrieb der Turbo-
pumpe bei maximal zulässigem Vorvakuumdruck oder bei maximalem Gasdurchsatz in Ab-
hängigkeit der Kühlungsart. Die Turbopumpe ist durch eine redundante Temperaturüber-
wachung eigensicher.
●Die Reduzierung des Vorvakuumdrucks oder des Gasdurchsatzes ermöglicht den Be-
trieb der Turbopumpe auch bei höheren Umgebungstemperaturen.
●Bei Überschreiten der maximal zulässigen Betriebstemperatur der Turbopumpe redu-
ziert die Antriebselektronik zuerst die Antriebsleistung und schaltet gegebenenfalls an-
schließend ab.
2.5 Bestimmungsgemäße Verwendung
►Verwenden Sie die Turbopumpe ausschließlich zur Vakuumerzeugung.
►Verwenden Sie die Turbopumpe nur in Verbindung mit einer geeigneten Vorpumpe, die den erfor-
derlichen maximalen Vorvakuumdruck bereitstellen oder unterschreiten kann.
►Verwenden Sie die Turbopumpe nur in geschlossenen Innenräumen.
►Verwenden Sie die Turbopumpe nur zum Absaugen von trockenen und inerten Gasen.
Sicherheit
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2.6 Vorhersehbarer Fehlgebrauch
Bei Fehlgebrauch des Produkts erlischt jeglicher Haftungs- und Gewährleistungsanspruch. Als Fehlge-
brauch gilt jede, auch unabsichtliche Verwendung, die dem Zweck des Produkts zuwider läuft, insbe-
sondere:
●Herstellen der Spannungsversorgung ohne ordnungsgemäße Installation
●Installieren mit nicht spezifiziertem Befestigungsmaterial
●Pumpen von explosiven Medien
●Pumpen von korrosiven Medien
●Pumpen von kondensierenden Dämpfen
●Pumpen von Flüssigkeiten
●Pumpen von Stäuben
●Betreiben mit unzulässig hohem Gasdurchsatz
●Betreiben mit unzulässig hohem Vorvakuumdruck
●Betreiben mit einer zu hohen eingestrahlten Wärmeleistung
●Betreiben in unzulässig hohen Magnetfeldern
●Betreiben im falschen Gasmodus
●Fluten mit unzulässig hohen Flutraten
●Einsetzen zur Druckerzeugung
●Einsetzen in Bereichen mit ionisierender Strahlung
●Betreiben in explosionsgefährdeten Bereichen
●Einsetzen in Anlagen, in denen stoßartige Belastungen und Vibrationen oder periodische Kräfte
auf die Geräte einwirken
●Herbeiführen gefährdender Betriebszustände durch eine dem Prozess zuwiderlaufende Vorein-
stellung der Antriebselektronik
●Verwenden von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt sind
2.7 Personenqualifikation
Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete
technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum
an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben.
Personen schulen
1. Schulen Sie technisches Personal am Produkt.
2. Lassen Sie zu schulendes Personal nur unter Aufsicht durch geschultes Personal mit und an dem
Produkt arbeiten.
3. Lassen Sie nur geschultes technisches Personal mit dem Produkt arbeiten.
4. Stellen Sie sicher, dass beauftragtes Personal vor Arbeitsbeginn diese Betriebsanleitung und alle
mitgeltenden Dokumente gelesen und verstanden hat, insbesondere Sicherheits-, Wartungs- und
Instandsetzungsinformationen.
2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen
Fachkraft für mechanische Arbeiten
Alle mechanischen Arbeiten darf ausschließlich eine ausgebildete Fachkraft ausführen. Fachkraft im
Sinne dieser Dokumentation sind Personen, die mit Aufbau, mechanischer Installation, Störungsbehe-
bung und Instandhaltung des Produkts vertraut sind und über folgende Qualifikationen verfügen:
●Qualifizierung im Bereich Mechanik gemäß den national geltenden Vorschriften
●Kenntnis dieser Dokumentation
Fachkraft für elektrotechnische Arbeiten
Alle elektrotechnischen Arbeiten darf ausschließlich eine ausgebildete Elektrofachkraft ausführen.
Elektrofachkraft im Sinne dieser Dokumentation sind Personen, die mit elektrischer Installation, Inbe-
triebnahme, Störungsbehebung und Instandhaltung des Produkts vertraut sind und über folgende Quali-
fikationen verfügen:
●Qualifizierung im Bereich Elektrotechnik gemäß den national geltenden Vorschriften
●Kenntnis dieser Dokumentation
Die Personen müssen darüber hinaus mit den gültigen Sicherheitsvorschriften und Gesetzen sowie den
anderen in dieser Dokumentation genannten Normen, Richtlinien und Gesetzen vertraut sein. Die ge-
nannten Personen müssen die betrieblich ausdrücklich erteilte Berechtigung haben, Geräte, Systeme
Sicherheit
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und Stromkreise gemäß den Standards der Sicherheitstechnik in Betrieb zu nehmen, zu programmie-
ren, zu parametrieren, zu kennzeichnen und zu erden.
Unterwiesene Personen
Alle Arbeiten in den übrigen Bereichen Transport, Lagerung, Betrieb und Entsorgung dürfen ausschließ-
lich ausreichend unterwiesene Personen durchführen. Diese Unterweisungen müssen die Personen in
die Lage versetzen, die erforderlichen Tätigkeiten und Arbeitsschritte sicher und bestimmungsgemäß
durchführen zu können.
2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur
Weiterbildungskurse
Pfeiffer Vacuum bietet Weiterbildungskurse zu Wartung Level 2 und 3 an.
Entsprechend ausgebildete Personen sind:
●Wartung Level 1
─Kunde (ausgebildete Fachkraft)
●Wartung Level 2
─Kunde mit technischer Ausbildung
─Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker
●Wartung Level 3
─Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung
─Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker
2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden
Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produkts bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches
Angebot an Schulungen und technischen Trainings an.
Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum.
Sicherheit
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3 Produktbeschreibung
3.1 Funktion
Die Turbopumpe bildet mit der Antriebselektronik eine kompakte Einheit. Als Spannungsversorgung
dienen Pfeiffer Vacuum Netzteile.
Die Baureihe mit der Eigenschaftsbezeichnung "Plus" kennzeichnet Turbopumpen mit besonders vibra-
tionsarmen Lauf und niedrigem magnetischen Streufeld.
4
35
6
2
1
7
98
10
13 1112
14
15
Abb. 2: Aufbau HiPace 300 Plus
1 Schutzdeckel für Hochvakuumanschluss 9 LED-Betriebsanzeige
2 Flutschraube 10 Sperrgasanschluss
3 Erdungsanschluss 11 Kühlwasserblockblende
4 Pumpengehäuse, Edelstahl 12 Schutzdeckel für Vorvakuumanschluss
5 Turborotor 13 Pumpenunterteil
6 Hochvakuumanschluss, DN 100 CF-F 14 Antriebselektronik TC 110
7 Vorvakuumanschluss, DN 16 ISO-KF 15 Pumpengehäuse, Aluminium
8 Multifunktionsanschluss "X3"
3.1.1 Kühlung
●Konvektionskühlung
●Luftkühlung (optional)
●Wasserkühlung (optional)
Die Antriebselektronik regelt die Antriebsleistung bei Übertemperaturen automatisch herunter.
3.1.2 Rotorlager
Hybridgelagerte Turbopumpe
●Hochvakuumseite: verschleißfreies Permanentmagnetlager
●Vorvakuumseite: Kugellager mit Keramikkugeln
Die dauerhafte Schmierung der Rotorlagerung auf der Vorvakuumseite gewährleistet ein Betriebsmittel-
speicher.
3.1.3 Antrieb
●Antriebselektronik TC 110
Produktbeschreibung
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3.2 Produkt identifizieren
►Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer
alle Angaben des Typenschilds bereit.
►Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi-
pedia.com mit der Firmen ID-Nr. 000021320.
3.2.1 Produkttypen
Die Produktbezeichnung von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen der Serie HiPace besteht aus ihrer Famili-
enbezeichnung, der Größe, die sich am Saugvermögen der Vakuumpumpe orientiert und gegebenen-
falls aus einer zusätzlichen Eigenschaftsbezeichnung.
Familie Größe/Modell Eigenschaft
HiPace 10 bis 2800 keine = Standardausführung
mini = kompakte Bauweise
U = Überkopfversion
C = Korrosivgasausführung
P = Prozess
M = aktive Magnetlagerung
T = Temperaturmanagement
Plus = Vibrationsarm, geringes Magnetfeld
E = hohe Effizienz
H = hohe Kompression
I = Ionenimplantation
Tab. 3: Produktbezeichnung von HiPace Turbopumpen
3.2.2 Produktmerkmale
Merkmal Ausführung
HV-Flansch DN 100 ISO-K DN 100 ISO-F DN 100 CF-F
Flanschmaterial Aluminium Aluminium Edelstahl
Tab. 4: Merkmale der Turbopumpen
3.3 Lieferumfang
●Turbopumpe mit Antriebselektronik
●Schutzdeckel für Hochvakuumanschluss
●Schutzdeckel für Vorvakuumanschluss
●Betriebsanleitung
Produktbeschreibung
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4 Transport und Lagerung
4.1 Transport
WARNUNG
Gefahr schwerer Verletzungen durch herabfallende Gegenstände
Durch das Herabfallen von Gegenständen besteht die Gefahr von Verletzungen an Gliedmaßen bis
hin zu Knochenbrüchen.
►Seien Sie beim Transport der Produkte von Hand besonders vorsichtig und aufmerksam.
►Stapeln Sie die Produkte nicht.
►Tragen Sie Schutzausrüstungen, z. B. Sicherheitsschuhe.
Empfehlung
Pfeiffer Vacuum empfiehlt, die Transportverpackung und die original Schutzdeckel aufzu-
bewahren.
Produkt sicher transportieren
►Transportieren Sie die Turbopumpe nur in den zulässigen Temperaturgrenzen.
►Achten Sie auf das auf dem Typenschild angegebene Gewicht.
►Transportieren oder versenden Sie die Turbopumpe möglichst in ihrer Orinialverpackung.
►Tragen Sie die Turbopumpe möglichst mit beiden Händen.
►Entfernen Sie die Schutzdeckel erst unmittelbar vor der Installation.
4.2 Lagerung
Empfehlung
Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Lagerung der Produkte in ihrer original Transportverpackung.
Turbopumpe lagern
1. Verschließen Sie die Flanschöffnungen mit den original Schutzdeckeln.
2. Verschließen Sie weitere Anschlüsse (z. B. Flutanschluss) mit entsprechenden Originalteilen.
3. Lagern Sie die Turbopumpe nur in Innenräumen in den zulässigen Temperaturgrenzen.
4. In Räumen mit feuchter oder aggressiver Atmosphäre: Schweißen Sie die Turbopumpe zusam-
men mit einem Trockenmittel in einen Kunststoffbeutel luftdicht ein.
Transport und Lagerung
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