Pfeiffer Vacuum HISCROLL 6 User manual

BETRIEBSANLEITUNG
DE
OPERATING INSTRUCTIONS
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Original
HISCROLL 6 | 12 | 18
Scrollpumpe mit integriertem Drucksensor
Scroll pump with integrated pressure sensor

Dear Customer,
Thank you for choosing a Pfeiffer Vacuum product. Your new scroll pump is designed to
support you with its performance, perfect operation and without impacting your individual
application. The name Pfeiffer Vacuum stands for high-quality vacuum technology, a
comprehensive and complete range of top-quality products and first-class service. From this
extensive, practical experience we have gained a large volume of information that can
contribute to efficient deployment and to your personal safety.
In the knowledge that our product must avoid consuming work output, we trust that our
product can offer you a solution that supports you in the effective and trouble-free
implementation of your individual application.
Please read these operating instructions before putting your product into operation for the
first time. If you have any questions or suggestions, please feel free to contact info@pfeiffer-
vacuum.de.
Further operating instructions from Pfeiffer Vacuum can be found in the Download Center on
our website.
Disclaimer of liability
These operating instructions describe all models and variants of your product. Note that your
product may not be equipped with all features described in this document. Pfeiffer Vacuum
constantly adapts its products to the latest state of the art without prior notice. Please take
into account that online operating instructions can deviate from the printed operating
instructions supplied with your product.
Furthermore, Pfeiffer Vacuum assumes no responsibility or liability for damage resulting from
the use of the product that contradicts its proper use or is explicitly defined as foreseeable
misuse.
Copyright
This document is the intellectual property of Pfeiffer Vacuum and all contents of this
document are protected by copyright. They may not be copied, altered, reproduced or
published without the prior written permission of Pfeiffer Vacuum.
We reserve the right to make changes to the technical data and information in this document.
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Inhaltsverzeichnis
1 Zu dieser Anleitung 8
1.1 Gültigkeit 8
1.1.1 Mitgeltende Dokumente 8
1.1.2 Varianten 8
1.2 Zielgruppe 8
1.3 Konventionen 8
1.3.1 Piktogramme 8
1.3.2 Anweisungen im Text 9
1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt 9
1.3.4 Abkürzungen 11
2 Sicherheit 12
2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise 12
2.2 Sicherheitshinweise 12
2.3 Sicherheitsmaßnahmen 16
2.4 Einsatzgrenzen des Produkts 16
2.5 Bestimmungsgemäße Verwendung 17
2.6 Vorhersehbarer Fehlgebrauch 17
2.7 Personenqualifikation 17
2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 18
2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 18
2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden 18
3 Produktbeschreibung 19
3.1 Funktion 19
3.1.1 Antrieb 20
3.1.2 Kühlung 20
3.1.3 Wellenlager 20
3.1.4 Gasballast 20
3.1.5 Drucksensor 20
3.2 Anschlüsse 21
3.3 Produkt identifizieren 21
3.4 Produktmerkmale 21
3.5 Lieferumfang 21
4 Transport und Lagerung 22
4.1 Vakuumpumpe transportieren 22
4.2 Vakuumpumpe lagern 23
5 Installation 24
5.1 Vakuumpumpe aufstellen 24
5.2 Vakuumseite anschließen 24
5.3 Auspuffseite anschließen 25
5.4 Externe Gasballastversorgung anschließen 26
5.5 Netzanschluss herstellen 27
6 Schnittstellen 29
6.1 Schnittstellenübersicht 29
6.2 Schnittstelle "remote" 29
6.2.1 Eingänge 30
6.2.2 Ausgänge 30
6.2.3 RS-485 31
6.3 Steuergerät anschließen 31
6.4 Schnittstelle RS-485 verwenden 31
6.5 Pfeiffer Vacuum Protokoll für RS-485-Schnittstelle 32
6.5.1 Telegrammrahmen 32
6.5.2 Telegrammbeschreibung 32
Inhaltsverzeichnis
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6.5.3 Telegramm Beispiel 1 33
6.5.4 Telegramm Beispiel 2 33
6.5.5 Datentypen 33
7 Parametersatz 35
7.1 Allgemeines 35
7.2 Stellbefehle 35
7.3 Statusabfragen 37
7.4 Sollwertvorgaben 37
8 Betrieb 39
8.1 Vakuumpumpe in Betrieb nehmen 39
8.2 Vakuumpumpe einschalten 39
8.3 Anschlüsse mit dem Pfeiffer Vacuum Parametersatz konfigurieren 39
8.3.1 Digitalausgänge konfigurieren 39
8.3.2 Digitaleingang konfigurieren 40
8.3.3 Schnittstellen auswählen 40
8.3.4 Zubehör konfigurieren 40
8.4 Betriebsart auswählen 41
8.5 Geschwindigkeitsmodi 41
8.5.1 Normalbetrieb 42
8.5.2 Standby-Betrieb 42
8.5.3 Drehzahlstellbetrieb 42
8.5.4 Auto-Boost 43
8.5.5 Auto-Standby 43
8.5.6 Auto-Start 43
8.6 Druckregelbetrieb 43
8.7 Effektiven Druck mit Korrekturfaktoren ermitteln 44
8.8 Gasballast verwenden 45
8.8.1 Gasballastventil mit Drucksensor steuern 46
8.8.2 Gasballastventil ohne Drucksensor steuern 47
8.9 Betriebsanzeige über LED 48
8.10 Vakuumpumpe ausschalten 48
9 Wartung 49
9.1 Wartungsinformationen 49
9.2 Checkliste für Inspektion und Wartung 49
9.3 Auspuffseitiges Rückschlagventil austauschen 50
9.3.1 Rückschlagventil demontieren 51
9.3.2 Rückschlagventilentil montieren 51
9.4 Gasballastventil austauschen 52
9.4.1 Gasballastventil demontieren 52
9.4.2 Gasballastventil montieren 53
9.5 Tip Seal wechseln 54
9.5.1 Spiralgehäuse demontieren 54
9.5.2 Tip Seal austauschen 56
9.5.3 Pumpengehäuse zusammenbauen 58
9.6 Abschlussprüfung 59
10 Außerbetriebnahme 60
10.1 Stillsetzen für längere Zeit 60
10.2 Wiederinbetriebnahme 60
11 Recycling und Entsorgung 61
11.1 Allgemeine Entsorgungshinweise 61
11.2 Scrollpumpe entsorgen 61
12 Störungen 62
12.1 Allgemeines 62
12.2 Fehlercodes 63
Inhaltsverzeichnis
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12.3 Warn- und Fehlermeldungen bei Betrieb mit Steuergeräten 64
13 Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum 66
14 Ersatzteile 68
15 Zubehör 70
15.1 Zubehörinformationen 70
15.2 Zubehör bestellen 70
16 Technische Daten und Abmessungen 72
16.1 Allgemeines 72
16.2 Technische Daten 72
16.3 Medienberührende Werkstoffe 75
16.4 Abmessungen 76
EG Konformitätserklärung 78
UK Konformitätserklärung 79
Inhaltsverzeichnis
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Tabellenverzeichnis
Tab. 1: Verwendete Abkürzungen 11
Tab. 2: Zulässige Umgebungsbedingungen 17
Tab. 3: Schnittstellen der Antriebselektronik 21
Tab. 4: Merkmale der Scrollpumpen 21
Tab. 5: Anschlussbelegung des 15-poligen Anschlusses "remote" 30
Tab. 6: Merkmale der Schnittstelle RS-485 31
Tab. 7: Erläuterung und Bedeutung der Parameter 35
Tab. 8: Stellbefehle 36
Tab. 9: Statusabfragen 37
Tab. 10: Sollwertvorgaben 38
Tab. 11: Parameter [P.019] und [P:024] konfigurieren 40
Tab. 12: Parameter [P:063] konfigurieren 40
Tab. 13: Parameter [P:060] 40
Tab. 14: Korrekturfaktoren für den Druckbereich < 1 hPa 44
Tab. 15: Schalterstellungen Gasballastventil HiScroll 46
Tab. 16: Verhalten und Bedeutung der LEDs an der Antriebselektronik 48
Tab. 17: Verhalten und Bedeutung der LED Standby 48
Tab. 18: Instandhaltungsintervalle 50
Tab. 19: Störungsbehebung bei Scrollpumpen 63
Tab. 20: Fehlermeldungen der Antriebselektronik 64
Tab. 21: Warnmeldungen der Antriebselektronik 64
Tab. 22: Warn- und Fehlermeldungen 65
Tab. 23: Ersatzteilpaket 68
Tab. 24: Ersatzteilpaket 69
Tab. 25: Zubehör für HiScroll 71
Tab. 26: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten 72
Tab. 27: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz 72
Tab. 28: Technische Daten für HiScroll 6 73
Tab. 29: Technische Daten für HiScroll 12 74
Tab. 30: Technische Daten für HiScroll 18 75
Tab. 31: Werkstoffe mit Prozessmedienkontakt 75
Tabellenverzeichnis
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Abbildungsverzeichnis
Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt 10
Abb. 2: Schematischer Verdichtungszyklus von Scrollpumpen 19
Abb. 3: Aufbau HiScroll, Ausführung mit Drucksensor 20
Abb. 4: Anschlagpunkte für den Transport der Scrollpumpe 22
Abb. 5: Mindestabstände und zulässige Neigung 24
Abb. 6: Beispiel für den Vakuumanschluss 25
Abb. 7: Beispiel für den Auspuffanschluss 26
Abb. 8: Externe Gasballastversorgung anschließen 27
Abb. 9: Netzanschluss herstellen 28
Abb. 10: Schnittstellen der Antriebselektronik 29
Abb. 11: Anschlussdiagramm des 15-poligen Anschlusses "remote" 29
Abb. 12: Anschluss eines Steuergeräts über Anschluss "remote" 31
Abb. 13: Vernetzung über Anschluss RS-485 mit Verbindungskabeln und Zubehör 32
Abb. 14: Belegung Zubehöranschluss 41
Abb. 15: Geschwindigkeitsmodi 42
Abb. 16: Angezeigter Druck 45
Abb. 17: Druckabhängige Gasballastventilsteuerung im Automatikmodus 47
Abb. 18: Gasballastventilsteuerung im Automatikmodus 47
Abb. 19: Ventil demontieren 51
Abb. 20: Ventil montieren 51
Abb. 21: Gasballastventil demontieren 52
Abb. 22: Gasballastventil demontieren 53
Abb. 23: Gasballastventil zusammenbauen 53
Abb. 24: Gasballastventil montieren 54
Abb. 25: Lüfterhaube der Scrollpumpe lösen 55
Abb. 26: Lüfterhaube der Scrollpumpe abnehmen 55
Abb. 27: Spiralgehäuse der Scrollpumpe abnehmen 56
Abb. 28: Tip Seal der Scrollpumpe austauschen 57
Abb. 29: Tip Seal Nut im Spiralgehäuse 57
Abb. 30: Gehäuseteile zusammenbauen 58
Abb. 31: HiScroll Wartungssatz 1 68
Abb. 32: HiScroll Ventilsatz 69
Abb. 33: HiScroll 6 | Version mit Drucksensor 76
Abb. 34: HiScroll 12 | HiScroll 18 | Version mit Drucksensor 77
Abbildungsverzeichnis
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1 Zu dieser Anleitung
WICHTIG
Vor Gebrauch sorgfältig lesen.
Aufbewahren für späteres Nachschlagen.
1.1 Gültigkeit
Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be-
schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den
sicheren Gebrauch des Geräts. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Angaben
in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts. Die Doku-
mentation behält ihre Gültigkeit, sofern kundenseitig keine Veränderungen am Produkt vorgenommen
werden.
1.1.1 Mitgeltende Dokumente
Dokument Nummer
Betriebsanleitung Gasballastventil, automatisiert PU 0104 BN
Konformitätserklärung Bestandteil dieser Anleitung
Sie finden dieses Dokument im Pfeiffer Vacuum Download Center.
1.1.2 Varianten
●HiScroll 6, Scrollpumpe, mit Drucksensor
●HiScroll 6, Scrollpumpe, mit Drucksensor, ohne GB
●HiScroll 6, Scrollpumpe, mit Drucksensor und automatisiertem GB
●HiScroll 12, Scrollpumpe, mit Drucksensor
●HiScroll 12, Scrollpumpe, mit Drucksensor, ohne GB
●HiScroll 12, Scrollpumpe, mit Drucksensor und automatisiertem GB
●HiScroll 18, Scrollpumpe, mit Drucksensor
●HiScroll 18, Scrollpumpe, mit Drucksensor, ohne GB
●HiScroll 18, Scrollpumpe, mit Drucksensor und automatisiertem GB
1.2 Zielgruppe
Diese Betriebsanleitung richtet sich an alle Personen, die das Produkt
●transportieren,
●aufstellen (installieren),
●bedienen und betreiben,
●außerbetriebnehmen,
●warten und reinigen,
●lagern oder entsorgen.
Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen durchführen, die eine geeignete
technische Ausbildung besitzen (Fachpersonal) oder eine entsprechende Schulung durch Pfeiffer Vacu-
um erhalten haben.
1.3 Konventionen
1.3.1 Piktogramme
Im Dokument verwendete Piktogramme kennzeichnen nützliche Informationen.
Zu dieser Anleitung
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Hinweis
Tipp
1.3.2 Anweisungen im Text
Handlungsanweisungen im Dokument folgen einem generellen und in sich abgeschlossenen Aufbau.
Die notwendige Tätigkeit ist durch einen einzelnen oder mehrere Handlungsschritte gekennzeichnet.
Einzelner Handlungsschritt
Ein liegendes gefülltes Dreieck kennzeichnet den einzigen Handlungsschritt einer Tätigkeit.
►Dies ist ein einzelner Handlungsschritt.
Abfolge von mehreren Handlungsschritten
Die numerische Aufzählung kennzeichnet eine Tätigkeit mit mehreren notwendigen Handlungsschritten.
1. Handlungsschritt 1
2. Handlungsschritt 2
3. ...
1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt
Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung.
C US
TÜV Rheinland
UL/CSA 61010-1
IP40/Type 1
Mod. HiScroll 6
P/N PD S10 010
S/N - - - - - - - -
Made in Germany 2023/04
S(N2)max. 6.1 m3/h
Mass 19 kg
nmax. 3000 1/min
100-127 VAC ±10% 50/60 Hz 4.0 A
200-240 VAC ±10% 50/60 Hz 2.0 A
SCCR: 500 A @ 250 VAC,
10 kA @ 125 VAC
D-35614 Asslar Berliner Str. 43
Typenschild
Das Typenschild befindet sich gut sichtbar auf einer Längsseite
der Vakuumpumpe.
C US
TÜV Rheinland
Mod. HiScroll 12
P/N PD S20 010
S/N - - - - - - - -
Made in Germany 2023/04
S(N2)max. 12.1 m3/h
Mass 24 kg
nmax. 1870 1/min
100-127 VAC ±10% 50/60 Hz 8.0 A
200-240 VAC ±10% 50/60 Hz 4.0 A
SCCR: 500 A @ 250 VAC,
10 kA @ 125 VAC
D-35614 Asslar Berliner Str. 43
UL/CSA 61010-1
IP40/Type 1
Typenschild
Das Typenschild befindet sich gut sichtbar auf einer Längsseite
der Vakuumpumpe.
Zu dieser Anleitung
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C US
TÜV Rheinland
Mod. HiScroll 18
P/N PD S30 010
S/N - - - - - - - -
Made in Germany 2023/04
S(N2)max. 18.1 m3/h
Mass 23 kg
nmax. 1870 1/min
100-127 VAC ±10% 50/60 Hz 10.0 A
200-240 VAC ±10% 50/60 Hz 6.0 A
SCCR: 500 A @ 250 VAC,
10 kA @ 125 VAC
D-35614 Asslar Berliner Str. 43
UL/CSA 61010-1
IP40/Type 1
Typenschild
Das Typenschild befindet sich gut sichtbar auf einer Längsseite
der Vakuumpumpe.
Warnung heiße Oberfläche
Dieser Aufkleber warnt vor Verletzungen durch hohe Tempera-
turen bei ungeschützer Berührung während des Betriebs.
Hinweis Betriebsanleitung
Dieser Aufkleber weist darauf hin, vor allen Tätigkeiten diese
Betriebsanleitung zu lesen.
warranty seal
Verschlusssiegel
Das Produkt ist ab Werk versiegelt. Beschädigung oder Entfer-
nen eines Verschlusssiegels führt zum Verlust der Gewährleis-
tung.
1
3
4
2
Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt
1Hinweis: Betriebsanleitung lesen
2Typenschild
3Warnzeichen heiße Oberfläche
4Verschlusssiegel
Zu dieser Anleitung
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1.3.4 Abkürzungen
Abkürzung Erklärung
ATM Atmosphärendruck
BA Betriebsanleitung
fBetrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz)
FKM Fluorkautschuk
GB Gasballast
HV Hochvakuum
[P:xxx] Parameter sind fettgedruckt als dreistellige Nummer in eckigen Klammern dargestellt.
Beispiel: [P:xxx] Softwareversion
PC Personal computer
PTFE Polytetrafluorethylen
RCD Fehlerstrom-Schutzeinrichtung (Residual Current Device)
RPT Digitaler Drucksensor (RPT 010)
RS-485 Standard für eine physische Schnittstelle für die asynchrone serielle Datenübertragung
(Recommended Standard)
SA Serviceanleitung
USB Universal Serial Bus
Tab. 1: Verwendete Abkürzungen
Zu dieser Anleitung
11/158

2 Sicherheit
2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise
Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt.
GEFAHR
Unmittelbar bevorstehende Gefahr
Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu
schweren Verletzungen führt.
►Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation
WARNUNG
Möglicherweise bevorstehende Gefahr
Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-
zungen führen kann.
►Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation
VORSICHT
Möglicherweise bevorstehende Gefahr
Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zu leichten Verletzungen führen
kann.
►Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation
HINWEIS
Gefahr von Sachschäden
Wird verwendet um auf Handlungen aufmerksam zu machen, die nicht auf Personenschäden bezo-
gen sind.
►Anweisung zur Vermeidung von Sachschäden
Hinweise, Tipps oder Beispiele kennzeichnen wichtige Informationen zum Produkt oder zu
diesem Dokument.
2.2 Sicherheitshinweise
Alle Sicherheitshinweise in diesem Dokument beruhen auf Ergebnissen der Risikobeurteilung gemäß
Maschinenrichtlinie 2006/42/EG Anhang I und EN ISO 12100 Kapitel 5. Soweit zutreffend wurden alle
Lebensphasen des Produkts berücksichtigt.
Risiken beim Transport
WARNUNG
Gefahr schwerer Verletzungen durch pendelnde, kippende oder herabfallende Gegenstände
Beim Transport besteht die Möglichkeit von Quetschungen und Stoßen an pendelnden, kippenden
oder herabfallenden Gegenständen. Es besteht die Gefahr von Verletzungen an Gliedmaßen bis hin
zu Knochenbrüchen und Kopfverletzungen.
►Sichern Sie ggf. den Gefahrenbereich ab.
►Achten Sie auf den Schwerpunkt der Last beim Transport.
►Achten Sie auf gleichmäßige Bewegungen und moderate Geschwindigkeiten.
►Beachten Sie den sicheren Umgang mit den Transportmitteln.
►Unterlassen Sie Schrägzug von Anschlagmitteln.
►Stapeln Sie die Produkte nicht.
►Tragen Sie Schutzausrüstungen, z. B. Sicherheitsschuhe.
Sicherheit
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Risiken bei der Installation
GEFAHR
Lebensgefahr durch elektrischen Schlag
Unzureichende oder fehlerhafte Erdung des Geräts führt zu berührungsempfindlichen Spannungen
auf dem Gehäuse. Erhöhte Ableitströme verursachen bei Berührung einen lebensgefährlichen elektri-
schen Schlag.
►Kontrollieren Sie die Anschlussleitungen vor der Installation auf spannungsfreien Zustand.
►Führen Sie den elektrischen Anschluss nach den örtlich geltenden Bestimmungen aus.
►Stellen Sie sicher, dass die örtliche Netzspannung und Frequenz mit den Angaben des Typen-
schildes übereinstimmen.
►Achten Sie darauf, dass die Netzkabel und Verlängerungskabel den Anforderungen für doppelte
Isolierung zwischen Eingangsspannung und Ausgangsspannung gemäß IEC 61010 und
IEC 60950 entspricht.
►Verwenden Sie nur 3-polige Netzkabel und Verlängerungskabel mit fachgerechtem Anschluss
der Schutzerdung (Schutzleiter).
►Stecken Sie den Netzstecker nur in eine Steckdose mit Schutzkontakt.
►Schließen Sie das Netzkabel immer vor allen anderen Kabeln an, um eine kontinuierliche
Schutzerdung zu gewährleisten.
GEFAHR
Lebensgefahr durch elektrischen Schlag
Beim Anlegen von Spannungen, die die vorgeschriebene Sicherheitskleinspannung (gemäß
IEC 60449 und VDE 0100) überschreiten, kommt es zur Zerstörung der Isolationsmaßnahmen. Es
besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag an den Kommunikationsschnittstellen.
►Schließen Sie nur geeignete Geräte an das Bussystem an.
WARNUNG
Lebensgefahr durch elektrischen Schlag aufgrund nicht sachgerechter Installation
Das Gerät verwendet berührungsgefährliche Spannung als elektrische Versorgung. Durch unsichere
oder nicht sachgerechte Installation entstehen lebensgefährliche Situationen durch elektrischen
Schlag im Umgang mit dem Gerät.
►Sorgen Sie für die sichere Integration in einen Not‑Aus‑Sicherheitskreis.
►Nehmen Sie keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vor.
WARNUNG
Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wasserschaden
Das Gerät besitzt die Schutzart IP40 gemäß DIN EN 60529: 2014 und ist nicht gegen Wassereintritt
geschützt. Auf dem Fußboden betriebene Vakuumpumpen führen zu Kriechströmen in eindringen-
dem und umgebendem Wasser. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Kontakt mit
spannungsführendem Wasser.
►Trennen Sie im Fall eines Wasserschadens die komplette Netzversorgung des betroffenen Be-
reichs.
►Sorgen Sie für die betreiberseitige elektrische Absicherung (z. B. RCD) eines gefährdeten Be-
reichs.
►Achten Sie bei der Wahl des Aufstellungsortes auf eine mögliche Gefährdung durch Wasser-
schaden.
WARNUNG
Lebensgefahr durch Vergiftung bei Austritt toxischer Prozessgase ohne Auspuffleitung
Die Vakuumpumpe lässt bei normaler Verwendung Auspuffgase und Dämpfe ungehindert ins Freie
entweichen. Bei Prozessen mit toxischen Medien besteht Verletzungs- und Lebensgefahr durch Ver-
giftung.
►Beachten Sie die entsprechenden Vorschriften im Umgang mit toxischen Stoffen.
►Führen Sie toxische Prozessgase sicher über eine Auspuffleitung ab.
Sicherheit
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VORSICHT
Verletzungsgefahr durch Bersten aufgrund hohen Drucks in der Auspuffleitung
Fehlerhafte oder unzureichende Auspuffleitungen führen zu Gefahrensituationen, z. B. Erhöhung des
Auspuffdrucks. Es besteht Berstgefahr. Verletzungen durch herumfliegende Bruchstücke, hohen ent-
weichenden Druck und Schäden am Gerät sind nicht ausgeschlossen.
►Verlegen Sie die Auspuffleitung ohne Absperrorgane.
►Beachten Sie den maximal zulässigen Druck von 1500 hPa (absolut).
►Beachten Sie die zulässigen Drücke und Druckdifferenzen des Produkts.
►Prüfen Sie die Auspuffleitung regelmäßig auf Funktion.
Risiken beim Betrieb
WARNUNG
Vergiftungsgefahr durch Austritt toxischer Prozessmedien aus dem Auspuff
Die Vakuumpumpe lässt im Betrieb ohne Auspuffleitung Auspuffgase und Dämpfe ungehindert ins
Freie entweichen. Es besteht Verletzungs- und Lebensgefahr durch Vergiftung bei Prozessen mit to-
xischen Prozessmedien.
►Beachten Sie die entsprechenden Vorschriften im Umgang mit toxischen Prozessmedien.
►Führen Sie toxische Prozessmedien sicher über eine Auspuffleitung ab.
►Verwenden Sie zum Abscheiden toxischer Prozessmedien entsprechende Filtereinrichtungen.
WARNUNG
Vergiftungsgefahr durch fehlerhafte Verwendung des Gasballastsystems
Das Gasballastsystem der Scrollpumpe ist nur in den gültigen, eingerasteten Stellungen ″0″, ″1″ und
″2″ vakuumdicht. Bei Betrieb des Ventils in Zwischenstufen besteht die Gefahr, dass Prozessmedien
unkontrolliert ins Freie entweichen. Bei der Verwendung von toxischen Prozessmedien besteht Ver-
giftungsgefahr.
►Wechseln Sie die Positionen des Ventils nur zum Einstellen der Gasballaststufen.
►Betreiben Sie das Gasballastventil nur in den bestimmungsgemäßen Raststellungen.
WARNUNG
Lebensgefahr durch elektrischen Schlag während des Betriebs aufgrund von Transportschä-
den
Beschädigungen an der Transportverpackung kann das Eindringen von Feuchtigkeit oder elektrisch
leitenden Medien in die Vakuumpumpe begünstigen. Mit dem Netz verbundene Geräte stehen mögli-
cherweise unter Spannung. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung span-
nungsführender Komponenten.
►Überzeugen Sie sich vor der Inbetriebnahme vom einwandfreien Zustand Ihrer Vakuumpumpe.
►Achten Sie auf Rückstände von Flüssigkeiten oder Kondensat.
►Nehmen Sie die Vakuumpumpe bei offensichtlichen äußeren Beschädigungen nicht in Betrieb.
WARNUNG
Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wasserschaden
Das Gerät besitzt die Schutzart IP40 gemäß DIN EN 60529: 2014 und ist nicht gegen Wassereintritt
geschützt. Auf dem Fußboden betriebene Vakuumpumpen führen zu Kriechströmen in eindringen-
dem und umgebendem Wasser. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Kontakt mit
spannungsführendem Wasser.
►Trennen Sie im Fall eines Wasserschadens die komplette Netzversorgung des betroffenen Be-
reichs.
►Sorgen Sie für die betreiberseitige elektrische Absicherung (z. B. RCD) eines gefährdeten Be-
reichs.
►Achten Sie bei der Wahl des Aufstellungsortes auf eine mögliche Gefährdung durch Wasser-
schaden.
Sicherheit
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VORSICHT
Verletzungsgefahr durch Bersten aufgrund hohen Drucks in der Auspuffleitung
Fehlerhafte oder unzureichende Auspuffleitungen führen zu Gefahrensituationen, z. B. Erhöhung des
Auspuffdrucks. Es besteht Berstgefahr. Verletzungen durch herumfliegende Bruchstücke, hohen ent-
weichenden Druck und Schäden am Gerät sind nicht ausgeschlossen.
►Verlegen Sie die Auspuffleitung ohne Absperrorgane.
►Beachten Sie den maximal zulässigen Druck von 1500 hPa (absolut).
►Beachten Sie die zulässigen Drücke und Druckdifferenzen des Produkts.
►Prüfen Sie die Auspuffleitung regelmäßig auf Funktion.
VORSICHT
Verletzungsgefahr durch Verbrennung bei Austritt heißer Prozessgase ohne Auspuffleitung
Die Vakuumpumpe lässt im Betrieb ohne Auspuffleitung Auspuffgase und Dämpfe ungehindert ins
Freie entweichen. Bei Prozessen mit hohen Temperaturen besteht Verbrennungsgefahr an heißen
Auspuffgasen.
►Führen Sie ggf. heiße Prozessgase sicher über eine Auspuffleitung ab.
►Tragen Sie ggf. persönliche Schutzausrüstung
Risiken bei der Wartung
WARNUNG
Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wartungs- und Servicearbeiten
Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponen-
ten, die auch dann noch besteht, nachdem die Vakuumpumpe ausgeschaltet ist.
►Trennen Sie die Vakuumpumpe sicher vom Netz.
►Warten Sie den Stillstand der Vakuumpumpe ab (Drehzahl = 0).
►Warten Sie nach dem Abschalten der Vakuumpumpe noch 5 Min., bis die Kondensatoren entla-
den sind.
WARNUNG
Gesundheitsgefahr durch Vergiftung an toxisch kontaminierten Bauteilen oder Geräten
Toxische Prozessmedien führen zur Kontamination der Geräte oder Teilen davon. Bei Wartungsar-
beiten besteht Gesundheitsgefahr durch Kontakt mit diesen giftigen Substanzen. Die unzulässige Be-
seitigung toxischer Substanzen führt zu Umweltschäden.
►Treffen Sie geeignete Sicherheitsvorkehrungen und verhindern Sie Gesundheitsgefährdungen
und Umweltbelastungen durch toxische Prozessmedien.
►Dekontaminieren Sie die betreffenden Teile vor der Ausführung von Wartungsarbeiten.
►Tragen Sie Schutzausrüstung.
WARNUNG
Quetsch- und Schnittgefahr an ungeschützten Teilen durch unvorhergesehenen automati-
schen Hochlauf während der Wartung.
Während Tätigkeiten an offenliegenden mechanischen Komponenten besteht die Gefahr von
Quetschungen oder Schnittverletzungen durch plötzlichen Hochlauf.
►Schalten Sie die Vakuumpumpe vor allen Wartungsarbeiten und Eingriffen aus.
►Belüften Sie die Vakuumpumpe auf Atmosphärendruck.
►Trennen Sie die Vakuumpumpe sicher vom Netz.
►Sichern Sie die Vakumpumpe gegen Wiedereinschalten.
►Ziehen Sie das Netzkabel von der Vakuumpumpe ab.
Sicherheit
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Risiken bei Störungen
WARNUNG
Lebensgefahr durch elektrischen Schlag im Störungsfall
Im Störungsfall stehen die mit dem Netz verbundenen Geräte möglicherweise unter Spannung. Es
besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponenten.
►Halten Sie den Netzanschluss immer frei zugänglich, um die Verbindung jederzeit trennen zu
können.
VORSICHT
Verbrennungsgefahr an heißen Oberflächen im Störungsfall
Ausfall der Lüftung durch Transportschäden oder nicht beachteten Vorschädigungen führt zu uner-
laubt hohen Temperaturen. Es besteht Verbrennungsgefahr bei versehentlicher Berührung. Es be-
steht die Gefahr von Sachschäden bis hin zur Zerstörung der Vakuumpumpe.
►Trennen Sie die Vakuumpumpe vom Netz.
►Lassen Sie die Vakuumpumpe vor allen Wartungsarbeiten abkühlen.
►Tragen Sie ggf. persönliche Schutzausrüstung.
2.3 Sicherheitsmaßnahmen
Informationspflicht zu möglichen Gefahren
Der Halter oder Betreiber des Produkts ist verpflichtet, jede Bedienperson auf Gefahren,
die von diesem Produkt ausgehen, aufmerksam zu machen.
Jede Person, die sich mit der Installation, dem Betrieb oder der Instandhaltung des Pro-
dukts befasst, muss die sicherheitsrelevanten Teile dieses Dokuments lesen, verstehen
und befolgen.
Verletzung der Konformität durch Veränderungen am Produkt
Die Konformitätserklärung des Herstellers erlischt, wenn der Betreiber das Originalprodukt
verändert oder Zusatzeinrichtungen installiert.
●Nach Einbau in eine Anlage ist der Betreiber verpflichtet, vor deren Inbetriebnahme die
Konformität des Gesamtsystems im Sinne der geltenden europäischen Richtlinien zu
überprüfen und entsprechend neu zu bewerten.
Allgemeine Sicherheitsmaßnahmen im Umgang mit dem Produkt
►Beachten Sie alle geltenden Sicherheits- und Unfallverhütungsvorschriften.
►Überprüfen Sie regelmäßig die Einhaltung aller Schutzmaßnahmen.
►Setzen Sie kein Körperteil dem Vakuum aus.
►Gewährleisten Sie immer die sichere Verbindung zum Schutzleiter (PE).
►Lösen Sie während des Betriebs keine Steckerverbindungen.
►Beachten Sie die genannten Ausschaltprozeduren.
►Warten Sie vor Arbeiten an der Vakuumpumpe den völligen Stillstand ab (Drehzahl f = 0).
►Setzen Sie das Gerät nicht mit offenem Vakuumanschluss in Betrieb.
►Halten Sie Leitungen und Kabel von heißen Oberflächen (> 70 °C) fern.
►Befüllen oder betreiben Sie das Gerät niemals mit Reinigungsmittel oder Resten davon.
►Nehmen Sie keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vor.
►Beachten Sie die Schutzart des Geräts vor dem Einbau oder Betrieb in anderen Umgebungen.
2.4 Einsatzgrenzen des Produkts
Aufstellungsort Innenräume, geschützt vor Staubablagerungen und Witte-
rungseinflüssen in nicht-explosionsfähiger, trockener Umge-
bung
Luftdruck 750 hPa bis 1060 hPa
Aufstellungshöhe max. 2500 m
Sicherheit
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Empfohlener dauerhafter Ansaugdruck 200 hPa1)
Ebenheit der Aufstellfläche ±10 %
Rel. Luftfeuchte max. 90 %, nicht kondensierend
Umgebungstemperatur 5 °C bis 40 °C
Transporttemperatur -25 °C bis 55 °C
Lagertemperatur -10 °C bis 50 °C
Schutzklasse I
Überspannungskategorie II
Zul. Schutzart IP40
Type 1 gemäß UL 50E
Verschmutzungsgrad 2
Tab. 2: Zulässige Umgebungsbedingungen
2.5 Bestimmungsgemäße Verwendung
►Verwenden Sie die Scrollpumpe ausschließlich zur Vakuumerzeugung.
►Verwenden Sie die Scrollpumpe nur in geschlossenen Innenräumen.
►Verwenden Sie die Scrollpumpe zum Absaugen von trockenen und inerten Gasen.
►Verwenden Sie die Scrollpumpe mit Gasballast zum Absaugen von feuchten Gasen.
2.6 Vorhersehbarer Fehlgebrauch
Bei Fehlgebrauch des Produkts erlischt jeglicher Haftungs- und Gewährleistungsanspruch. Als Fehlge-
brauch gilt jede, auch unabsichtliche Verwendung, die dem Zweck des Produkts zuwider läuft.
●Transport, Installation oder Betrieb der Vakuumpumpe in unzulässiger Raumlage
●Herstellen der Spannungsversorgung ohne ordnungsgemäße Installation
●Anschluss der Vakuumpumpe an nicht geeignete Betriebsspannungen
●Pumpen von explosionsfähigen Medien
●Pumpen von korrosiven Medien
●Pumpen von Stäuben
●Pumpen von Flüssigkeiten
●Betrieb mit unzulässig hohem Gasdurchsatz
●Betrieb mit unzulässigen Gasballastmengen
●Betrieb mit unzulässig eingestellten Stufen des Gasballastventils
●Betrieb mit einer zu hohen eingestrahlten Wärmeleistung
●Betrieb bei unzulässig hohem Auspuffdruck
●Betrieb in unzulässig hohen Magnetfeldern
●Einsatz zur Druckerzeugung
●Einsatz in Bereichen mit ionisierender Strahlung
●Einsatz in explosionsgefährdeten Bereichen
●Einsatz in Anlagen, in denen stoßartige Belastungen und Vibrationen oder periodische Kräfte auf
die Geräte einwirken
●Verwenden von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt sind
●Trennen, Austauschen oder Wiederverwenden der Elektronikeinheit (Antriebselektronik).
2.7 Personenqualifikation
Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete
technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum
an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben.
Personen schulen
1. Schulen Sie technisches Personal am Produkt.
2. Lassen Sie zu schulendes Personal nur unter Aufsicht durch geschultes Personal mit und an dem
Produkt arbeiten.
1) Höhere dauerhafte Ansaugdrücke können zu einem höheren Verschleiß führen
Sicherheit
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3. Lassen Sie nur geschultes technisches Personal mit dem Produkt arbeiten.
4. Stellen Sie sicher, dass beauftragtes Personal vor Arbeitsbeginn diese Betriebsanleitung und alle
mitgeltenden Dokumente gelesen und verstanden hat, insbesondere Sicherheits-, Wartungs- und
Instandsetzungsinformationen.
2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen
Fachkraft für mechanische Arbeiten
Alle mechanischen Arbeiten darf ausschließlich eine ausgebildete Fachkraft ausführen. Fachkraft im
Sinne dieser Dokumentation sind Personen, die mit Aufbau, mechanischer Installation, Störungsbehe-
bung und Instandhaltung des Produkts vertraut sind und über folgende Qualifikationen verfügen:
●Qualifizierung im Bereich Mechanik gemäß den national geltenden Vorschriften
●Kenntnis dieser Dokumentation
Fachkraft für elektrotechnische Arbeiten
Alle elektrotechnischen Arbeiten darf ausschließlich eine ausgebildete Elektrofachkraft ausführen.
Elektrofachkraft im Sinne dieser Dokumentation sind Personen, die mit elektrischer Installation, Inbe-
triebnahme, Störungsbehebung und Instandhaltung des Produkts vertraut sind und über folgende Quali-
fikationen verfügen:
●Qualifizierung im Bereich Elektrotechnik gemäß den national geltenden Vorschriften
●Kenntnis dieser Dokumentation
Die Personen müssen darüber hinaus mit den gültigen Sicherheitsvorschriften und Gesetzen sowie den
anderen in dieser Dokumentation genannten Normen, Richtlinien und Gesetzen vertraut sein. Die ge-
nannten Personen müssen die betrieblich ausdrücklich erteilte Berechtigung haben, Geräte, Systeme
und Stromkreise gemäß den Standards der Sicherheitstechnik in Betrieb zu nehmen, zu programmie-
ren, zu parametrieren, zu kennzeichnen und zu erden.
Unterwiesene Personen
Alle Arbeiten in den übrigen Bereichen Transport, Lagerung, Betrieb und Entsorgung dürfen ausschließ-
lich ausreichend unterwiesene Personen durchführen. Diese Unterweisungen müssen die Personen in
die Lage versetzen, die erforderlichen Tätigkeiten und Arbeitsschritte sicher und bestimmungsgemäß
durchführen zu können.
2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur
Weiterbildungskurse
Pfeiffer Vacuum bietet Weiterbildungskurse zu Wartung Level 2 und 3 an.
Entsprechend ausgebildete Personen sind:
●Wartung Level 1
─Kunde (ausgebildete Fachkraft)
●Wartung Level 2
─Kunde mit technischer Ausbildung
─Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker
●Wartung Level 3
─Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung
─Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker
2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden
Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produkts bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches
Angebot an Schulungen und technischen Trainings an.
Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum.
Sicherheit
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3 Produktbeschreibung
3.1 Funktion
Die Pfeiffer Vacuum Scrollpumpe ist eine im Schöpfraum trocken arbeitende Vakuumpumpe zur Erzeu-
gung eines Grob- bzw. Feinvakuums nach dem physikalischen Pumpprinzip einer Spiralvakuumpumpe.
Die Pumpe verfügt über eine integrierte Antriebs- und Steuereinheit. Ein dreistufiges Gasballastsystem
unterstützt die Vermeidung von Kondensation in der Vakuumpumpe.
1
2
3
IN
OUT
A
B
CD
E
Abb. 2: Schematischer Verdichtungszyklus von Scrollpumpen
IN Gaseinlass 2 Orbitierende Spirale
OUT Gasauslass 3 Gasverdichtung
1 Feststehende Spirale A bis E Abschnitte steigender Verdichtung im Pumpzyklus
Spiralvakuumpumpen bestehen aus einer feststehenden und einer orbitierenden Spirale. Durch die Be-
wegung der orbitierenden Spirale entstehen variierende Hohlräume am Pumpeneinlass, die das Gas
ansaugen. Die Bewegung des Rotors verdichtet das Gas fortlaufend bis zum Ausstoß in die Atmosphä-
re am Pumpenauslass. Der Schöpfraum ist völlig frei von Schmiermitteln.
Produktbeschreibung
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Abb. 3: Aufbau HiScroll, Ausführung mit Drucksensor
1 Schutzdeckel für Vakuumanschluss DN 25 9 Zubehöranschluss "C"
2 Ringschraube 10 Zubehöranschluss "D"
3 Blinddeckel bei Ausführung ohne GB 11 Anschluss-Buchse "remote"
4 Lüfterhaube 12 Antriebselektronik
5 Vakuumanschluss 13 Standfuß mit Befestigungsbohrung
6 Gasballastventil bei Ausführung mit manuellem GB 14 Lüfter
7 Ausführung mit automatisiertem GB (Option) 15 Schutzdeckel für Auspuff DN 25
8 Auspuffanschluss 16 Netzanschlussstecker
3.1.1 Antrieb
Die Vakuumpumpe verfügt über einen hocheffezienten Synchronmotor mit sensorloser Steuerung nach
dem patentierten INFORM-Verfahren nach Prof. Schrödl.
Die integrierte Antriebselektronik ermöglicht die Steuerung und Überwachung von Pumpenfunktionen
über die Schnittstelle "remote" durch ein Anzeige- und Bediengerät.
3.1.2 Kühlung
●Luftkühlung
Die Antriebselektronik regelt die Kühlleistung des eingebauten Lüfters abhängig vom Kühlbedarf.
3.1.3 Wellenlager
Kugelgelagerte Exzenterwelle. Der trockenlaufende Arbeitsraum der Vakuumpumpe ist hermetisch von
der Wellenlagerung getrennt.
●2× Rillenkugellager, wartungsfrei
3.1.4 Gasballast
Je nach Pumpenausführung besitzt die Vakuumpumpe ein Gasballastsystem zur manuellen oder auto-
matisierten Inertgaszufuhr in den Schöpfraum. Gasballast unterstützt die Verringerung von anfallendem
Kondensat im Pumpsystem.
3.1.5 Drucksensor
Die Vakuumpumpe ist serienmäßig mit einem Drucksensor im Pumpsystem ausgestattet. Der digitale
Piezo/Pirani Sensor RPT 010 misst den Ansaugdruck der Vakuumpumpe. Bestimmte beschriebene
Funktionen der Vakuumpumpe sind nur mit eingebautem Drucksensor verfügbar.
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