Pfeiffer Vacuum HiPace 30 User manual

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OPERATING INSTRUCTIONS
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Original
HIPACE 30
Turbopumpe
Turbopump

Dear Customer,
Thank you for choosing a Pfeiffer Vacuum product. Your new turbopump is designed to
support you by its performance, its perfect operation and without interfering your individual
application. The name Pfeiffer Vacuum stands for high-quality vacuum technology, a
comprehensive and complete range of top-quality products and first-class service. With this
expertise, we have acquired a multitude of skills contributing to an efficient and secure
implementation of our product.
Knowing that our product must not interfere with your actual work, we are convinced that our
product offers you the solution that supports you in the effective and trouble-free execution of
your individual application.
Please read these operating instructions before putting your product into operation for the
first time. If you have any questions or suggestions, please feel free to contact info@pfeiffer-
vacuum.de.
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our website.
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These operating instructions describe all models and variants of your product. Note that your
product may not be equipped with all features described in this document. Pfeiffer Vacuum
constantly adapts its products to the latest state of the art without prior notice. Please take
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Inhaltsverzeichnis
1 Zu dieser Anleitung 7
1.1 Gültigkeit 7
1.1.1 Mitgeltende Dokumente 7
1.1.2 Varianten 7
1.2 Zielgruppe 7
1.3 Konventionen 7
1.3.1 Anweisungen im Text 7
1.3.2 Piktogramme 8
1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt 8
1.3.4 Abkürzungen 9
1.4 Markennachweis 9
2 Sicherheit 10
2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise 10
2.2 Sicherheitshinweise 10
2.3 Sicherheitsmaßnahmen 14
2.4 Einsatzgrenzen des Produkts 15
2.5 Bestimmungsgemäße Verwendung 15
2.6 Vorhersehbarer Fehlgebrauch 16
2.7 Personenqualifikation 16
2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 16
2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 17
2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden 17
3 Produktbeschreibung 18
3.1 Funktion 18
3.1.1 Kühlung 18
3.1.2 Rotorlager 18
3.1.3 Antrieb 18
3.2 Produkt identifizieren 19
3.2.1 Produkttypen 19
3.2.2 Produktmerkmale 19
3.3 Lieferumfang 19
4 Transport und Lagerung 20
4.1 Transport 20
4.2 Lagerung 20
5 Installation 21
5.1 Vorbereitende Arbeiten 21
5.2 Hochvakuumseite anschließen 22
5.2.1 Anforderungen für die Auslegung des Gegenflansches 22
5.2.2 Erdbebensicherheit berücksichtigen 22
5.2.3 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden 23
5.2.4 Dämpfungskörper verwenden 23
5.2.5 Einbaulagen 24
5.2.6 ISO-KF Flansch an ISO-KF befestigen 24
5.2.7 ISO-K Flansch an ISO-K befestigen 25
5.2.8 ISO-K Flansch an ISO-F befestigen 25
5.2.9 CF-Flansch an CF-F befestigen 27
5.3 Vorvakuumseite anschließen 28
5.4 Zubehör anschließen 29
5.5 Elektrische Versorgung anschließen 30
5.5.1 Turbopumpe erden 30
5.5.2 Elektrischen Anschluss herstellen 31
6 Betrieb 33
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6.1 Inbetriebnahme 33
6.2 Betriebsarten 33
6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit 34
6.2.2 Betrieb über Anschluss "E74" 34
6.2.3 Betrieb über Multifunktionsanschluss "X3" 34
6.2.4 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Steuergerät 34
6.2.5 Betrieb über Feldbus 34
6.3 Turbopumpe einschalten 35
6.4 Betriebsüberwachung 35
6.4.1 Betriebsanzeige über LED 35
6.4.2 Temperaturüberwachung 36
6.5 Ausschalten und Fluten 36
6.5.1 Ausschalten 36
6.5.2 Fluten 36
7 Wartung 38
7.1 Allgemeine Wartungshinweise 38
7.2 Wartungsintervalle und- zuständigkeiten 38
7.3 Betriebsmittelspeicher austauschen 39
7.3.1 Betriebsmittelspeicher demontieren 39
7.3.2 Betriebsmittelspeicher montieren 40
7.4 Antriebselektronik austauschen 41
7.4.1 Antriebselektronik demontieren 42
7.4.2 Antriebselektronik installieren 42
7.4.3 Drehzahlvorgabe bestätigen 43
8 Außerbetriebnahme 44
8.1 Stillsetzen für längere Zeit 44
8.2 Wiederinbetriebnahme 44
9 Recycling und Entsorgung 45
9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise 45
9.2 Turbopumpe entsorgen 45
10 Störungen 46
11 Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum 48
12 Ersatzteile HiPace 30 50
13 Zubehör 51
13.1 Zubehörinformationen 51
13.2 Zubehör bestellen 51
14 Technische Daten und Abmessungen 53
14.1 Allgemeines 53
14.2 Technische Daten 53
14.3 Abmessungen 55
EG Konformitätserklärung 57
UK Konformitätserklärung 58
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Tabellenverzeichnis
Tab. 1: Verwendete Abkürzungen im Dokument 9
Tab. 2: Zulässige Umgebungsbedingungen 15
Tab. 3: Produktbezeichnung von HiPace Turbopumpen 19
Tab. 4: Merkmale der Turbopumpen 19
Tab. 5: Anforderungen für die Auslegung des kundenseitigen Hochvakuuman-
schlusses
22
Tab. 6: Verhalten des Saugvermögens bei Splitterschutz oder Schutzgitter 23
Tab. 7: Werkseitige Einstellung der Antriebselektronik von Turbopumpen bei Auslie-
ferung
33
Tab. 8: Verhalten und Bedeutung der LEDs an der Antriebselektronik 36
Tab. 9: Werkseinstellungen für verzögertes Fluten bei Turbopumpen 37
Tab. 10: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen 43
Tab. 11: Störungsbehebung bei Turbopumpen 47
Tab. 12: Übersicht über die verfügbaren Ersatzteile für HiPace 30 50
Tab. 13: Zubehörliste 52
Tab. 14: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten 53
Tab. 15: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz 53
Tab. 16: Technische Daten für HiPace 30 | 24 V 55
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