Asyst Technologies VersaPort 2200 User manual

Tool Picture
Rev. C Date: 6/12/2007
Printed on Cleanroom Paper
P/N: 2000-1252-01
Copyright ©2007
Asyst Technologies, Incorporated
All rights reserved.
VersaPort 2200
Technical Manual

Released Rev. C 2000-1252-01 Page iii
a
Disclaimers
This manual may not be reproduced, either wholly or in part, for any reason whatsoever, without prior written permission
from Asyst Technologies, Inc. (“Asyst”). Material contained in this manual is provided for informational purposes and is
subject to change without notice.
If this manual is marked “Preliminary” or “Draft,” then Asyst has not yet released a final version of the manual and the
manual is likely to be incomplete and will be revised. Contact Asyst at the address below to obtain a final copy of the
manual.
Manual Information
PCN: 08479
Part Number: 2000-1252-01
Date: 6/12/2007
Release: Rev. C
Printing Description: Printed on Cleanroom Paper.
Asyst Technologies, Inc.
46897 Bayside Parkway
Fremont, California 94538
Telephone: [phone]
FAX: [phone]
Technical Support: 1-800-342-SMIF
Trademarks
Asyst, the Asyst logo(s), and MANUAFACTURING CONNECTIVITY are registered trademarks ® of Asyst Technologies,
Inc.
VERSAPORT, INX, LINK MANAGER, SMART-TAG, SMART-TRAVELER, SMART-COMM, are trademarksTM of Asyst
Technologies, Inc.
All other product and company names mentioned herein may be trademarks and/or service marks of their respective
owners.
Equipment Modification
Any change, alteration, or modification to this equipment, as well as use of this equipment in a manner inconsistent with its
intended use will void this equipment’s warranty and may render this equipment unsafe for use or unfit for its intended
purposes.
Training and Languages
User training for equipment operation and maintenance is conducted in English. Translators are available on an as needed
basis. English versions of the manuals and other technical materials are provided and reviewed during the training. Please
contact the Asyst Training department or http://www.asyst.com for the training schedule and signup requirements.
Warranty
For warranty information, see Asyst’s Standard Terms and Conditions.

Page iv 2000-1252-01 Released Rev. C
VersaPort 2200 Technical Manual
Reader Comments a
Reader Comments
We welcome your comments of this manual. Your comments and suggestions help us
improve our publications.
Please copy and return to:
Asyst Technologies, Inc.
Technical Publications Manager
46897 Bayside Parkway.
Fremont CA 94538
Or fax: Attention—Tech Pubs Manager at 1-510-661-5157
Or E-mail: T[email protected]
Name:
Company:
Contact Phone # (in case we have questions):
Email:
Location of comment (page number or other reference):
Comments: (The more specific the comments, the more useful they are to us.)
Thank you for helping us to make the manuals better and to maintain accuracy.

Released Rev. C 2000-1252-01 Page v
a
Revision History
Date Author Version Revision Information
6/12/2007 R. Tonomura/ S. Sondergaard/
K. Kellerman
C Release ECN 08479
Updated content with engineering
changes, and reviewer comments, and
similar material.
Added procedure for replacing Printed
Circuit Board
Added notes on removing VersaPort from
Host Tool.

Page vi 2000-1252-01 Released Rev. C
VersaPort 2200 Technical Manual
a

Released Rev. C 2000-1252-01 Page vii
a
Acronyms
BOM Bill of Materials
CAP Corrective Action Procedure
CSP Corrective Service Procedure
ECN Engineering Change Notice
IR Infrared
ISIM Indexer Simulation Software
MCBF Mean Cycles Between Failures
MRP Multiple Reticle Pod
MSC Micro Station Controller
PIO Parallel Input/Output
P/N (or PN) Part Number
PSP Preventive Service Procedure
RFID Radio Frequency Identification
SAM Smart Arm Master

VersaPort 2200 Technical Manual
Page viii 2000-1252-01 Released Rev. C
a

Released Rev. C 2000-1252-01 Page ix
a
Table of Contents
Disclaimers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . iii
Manual Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . iii
Trademarks . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . iii
Equipment Modification. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . iii
Training and Languages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . iii
Warranty . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . iii
Reader Comments . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .iv
Revision History . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .v
Acronyms . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .vii
Table Of Contents . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ix
List Of Figures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xv
List Of Tables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xvii
Preface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
Core Products . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
Audience . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
About this Manual . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
Chapter 1: Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
General Safety Identifiers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Responsibility . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
ESD/EMI Precautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
EMO & Electrical Power . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
Equipment Lockout/Tagout Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Laser Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
User . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Service Technician . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Safety Interlocks . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Laser Interlock . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9

Page x 2000-1252-01 Released Rev. C
VersaPort 2200 Technical Manual
a
Seismic . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
Pinch Points. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
Labeling. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
Description of Labels used on the VersaPort . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
Location of Labels used on VersaPort Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
Chapter 2: Theory of Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
Operating Sequence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
Staging Sequence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
Self Test. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
VersaPort Components. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Mechanical. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Port Door . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Electronics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Electrical Power . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
CPU . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Program Memory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
SRAM . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Quad-Serial I/O . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Interlocks, Parallel, I/O . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Digital I/O . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Interrupt Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Laser Detector System. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
Excessive Wafer Protrusion Sensor, Vertical View . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
Motor Controls . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
Port Plate Elevator and Cassette Shuttle Motors. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Pod Latch and Wafer Seater Motors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Pod-Door Lock/Unlock Motor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Air Exhaust Motor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
Status Indicators . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
Power Indicator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
Ready Indicator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
Pod-in-Place Indicator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
Communications Interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
Serial Communications Interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
Parallel Communications Interface. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
NOVRAM . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31

Released Rev. C 2000-1252-01 Page xi
VersaPort 2200 Technical Manual
a
History . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
Specifications and Outline Drawing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
Chapter 3: Diagnostics and Troubleshooting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
Using Indexer Simulator (ISIM) Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
Problem Identification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
Self-Test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
Error Types . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
Alarm Report Send . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
Error Messages. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
Jumper Post Configurations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
Chapter 4: Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
Safety Requirements. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
General Safety. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
Electrical Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
Mechanical Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
Chemical Safety. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
Tool Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
Notes on Removing and Replacing VersaPort . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
Preventive Service Procedures. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
PSP1 – Verify Laser Sensor DAC Values. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
Verify DAC Values and Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
Calibration/Alignment Procedures. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63
CAP1 – Align Laser Detector System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64
Pre-Service. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64
Remove Minienvironment. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64
Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
Adjust Laser Beam Orientation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
Adjust Wafer Sensor Beam . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67
Adjust Slot Sensor Beam . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69
Adjust Corner Mirror. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
Adjust Wafer Protrusion Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
Adjust Mirrors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72
Adjust Protrusion Mirror . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73
Verify DAC Values and Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73
Post-Service. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75
CAP2 – Align Excessive Wafer Protrusion Sensor, Vertical View . . . . . . . . . . . 76

Page xii 2000-1252-01 Released Rev. C
VersaPort 2200 Technical Manual
a
Pre-Service. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76
Remove minienvironment. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76
Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 77
Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78
Post-Service. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79
CAP3 – Align Wafer Seater Mechanism . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81
Pre-Service. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81
Remove minienvironment. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81
Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82
Post-Service. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86
CAP4 – Calibrate Shuttle Homing Offset . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87
Pre-Service. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87
Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87
Adjust Cassette Shuttle Home Position . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 89
Post-Service. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
CAP5 – Align Pod Hold Down Latches . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92
Pre-Service. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92
Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92
Post-Service. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93
CAP6 – Align Pod-In-Place Switch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 94
Corrective Service Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 98
CSP1 – Pod Latch Motor Replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99
Pre-Service. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99
Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99
Post-Service. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 101
CSP2 – Pod Door Lock Motor Replacement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102
Pre-Service. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102
Remove minienvironment. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102
Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 103
Post-Service. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 106
CSP3 – Laser Diode Replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 107
Pre-Service. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 107
Post-Service. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 108
CSP4 – Cassette Shuttle Motor Replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109
Remove minienvironment. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109
Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 110
Post-Service. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 111
CSP5 – Vertical Drive Motor Replacement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 113
Pre-Service. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 113
Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 113

Released Rev. C 2000-1252-01 Page xiii
VersaPort 2200 Technical Manual
a
Post-Service. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 115
CSP6 – Replace Printed Circuit Board . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 116
Appendix A: ISIM . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 123
Indexer Simulator (ISIM) Menu List. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 123
Appendix B: Communications Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 137
Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 137
Software Configuration of the VersaPort . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 137
SECS Communication . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 138
SECS Guidelines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 138
Serial Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 138
Communications Protocol . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 138
SECS Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 140
Stream and Function Codes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 142
Data Dictionary . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 150
ECID Descriptions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 161
External Host (ECID 4). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 161
PIO Interlock (ECID 6) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 162
MSC INTERLOCK (ECID 13) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 162
SORT MODE (ECID 16). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 163
MIN WAFER POS (ECID 32) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 163
STAGE POS (ECID 33) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 163
SLOT COUNT (ECID 34) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 163
SLOT PITCH (ECID 35) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 163
SINGLE PORT (ECID 37) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 163
HOST OPTION (ECID 38) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 164
Cassette Size Option (ECID 39). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 165
DEVICE I.D. (ECID 40) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 165
BAUD RATE (ECID 41) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 165
SECS Communication Timeout T1 (ECID 50) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 165
SECS Communication Timeout T2 (ECID 51) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 165
SECS Communication Timeout T3 (ECID 52) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 166
Cassette Present Confirmation (ECID 63) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 166
MRP Type (ECID 166) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 166
Microstation Controller (MSC) Communications Specification . . . . . . . . . . 167
Tracking Lots through the Tag Reader. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 167
Controlling Lots through the MSC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 167
Example of Data Exchange for a Simple "Are You There" Request . . . . . . 168
Sample SECS Messages between Host Tool and VPort . . . . . . . . . . . . 169

Page xiv 2000-1252-01 Released Rev. C
VersaPort 2200 Technical Manual
a
ASCII Serial Text Interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 180
ASCII Port Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 180
Communication port: . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 180
Communication parameters: . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 180
Syntax: . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 181
Message Summary . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 182
Quick Reference. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 182
ASCII Details . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 183
Parallel Communication . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 197
Summary of Control Signals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 197
Control Signal Descriptions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 197
Event Flow . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 200
Appendix C: Material Safety Data Sheets . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 203
Loctite 222 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 203
Loctite 242 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 203
Loctite 290 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 204
Loctite 680 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 204
Krytox GPL-20X and 50X Fluorinated Grease. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 205
Appendix D: Wiring Diagrams and Drawings . . . . . . . . . . . . . . . . . . 207
Index. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 269

Released Rev. C 2000-1252-01 Page xv
a
List of Figures
Figure 1 VersaPort Label Placement (BOLTS model, user side) . . . . . . . . . . . . 15
Figure 2 VersaPort Label Placement (BOLTS model, process tool side). . . . . . 15
Figure 3 VersaPort Label Placement (Standard model) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
Figure 4 VersaPort components (with BOLTS interface) . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
Figure 5 VersaPort components (standard) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
Figure 6 VersaPort Connector Panel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Figure 7 Laser Detector System. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
Figure 8 Laser Detector Example (viewed through port plate). . . . . . . . . . . . . . 26
Figure 9 Status Indicators. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
Figure 10 Outline Drawing, Side View . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
Figure 11 Outline Drawing, Rear View . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
Figure 12 Outline Drawing, Front View . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
Figure 13 Outline Drawing, Overhead View . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
Figure 14 Outline Drawing, I/O Panel Detail . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
Figure 15 Recommended Mounting Method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
Figure 16 BOLTS Interface. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
Figure 17 VersaPort Mounted on BOLTS Interface in Free Standing Position. . . 41
Figure 18 VersaPort Terms. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
Figure 19 Laser Detector System (bottom view) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
Figure 20 Laser Beam Orientation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
Figure 21 Laser Bracket Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67
Figure 22 Spring Tension . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
Figure 23 Mirror adjustment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
Figure 24 Wafer Excessive Protrusion Sensor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78
Figure 25 Excessive Protrusion Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79
Figure 26 Wafer Seater Mechanism, top view . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82
Figure 27 Wafer Seater Mechanism, side view . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 83
Figure 28 Wafer Seater Mechanism, bottom view . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 84
Figure 29 200mm Port Door (Bottom View), Pod in Place Switch . . . . . . . . . . . . 95
Figure 30 200mm Port Plate Pod-In-Place Switch (side and top views) . . . . . . . 96
Figure 31 Gasket Inside Port Door Cover . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105
Figure 32 Routing Cable Through Opening in Port Door Cover. . . . . . . . . . . . . 105
Figure 33 VersaPort Base, Connector Panel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .116
Figure 34 VersaPort Bottom Plate, Screw Locations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .117
Figure 35 VersaPort Circuit Board . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .119
Figure 36 ISIM Main Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 123
Figure 37 F1 – AUTO Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 124
Figure 38 F2 – MANUAL Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 126
Figure 39 F3 – MSC (SAM) Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 128
Figure 40 F5 – STATUS Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 129
Figure 41 F6 - CONFIG Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 131
Figure 42 F7 - Tag8400 Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 134
Figure 43 F9 - SMIF OPTION Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 135
Figure 44 SECS Message Block . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 138
Figure 45 OPEN Cycle Event Diagram . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 200
Figure 46 CLOSE Cycle Event Diagram . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 201

Page xvi 2000-1252-01 Released Rev. C
VersaPort 2200 Technical Manual
List of Figures a

Released Rev. C 2000-1252-01 Page xvii
a
List of Tables
Table 1 List of VersaPort Labels . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
Table 2 Serial Port Pin Usage. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
Table 3 Parallel Communications Interface - Asyst Compatible . . . . . . . . . . . . 30
Table 4 VersaPort Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
Table 5 General Problems . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
Table 6 Recoverable Errors (ALCD =6) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
Table 7 Non-Recoverable Errors (ALCD =5) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
Table 8 VersaPort Control Interface Circuit Board - Dual PCB Style . . . . . . . . 52
Table 9 VersaPort Piggyback Circuit Board Jumper Post. . . . . . . . . . . . . . . . . 54
Table 10 Versaport Control Interface Circuit Board - Single PCB Style . . . . . . . 54
Table 11 Auto Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 124
Table 12 Manual Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 126
Table 13 MSC (SAM) Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 128
Table 14 Status Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 129
Table 15 Configuration Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 131
Table 16 Tag8400 Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 134
Table 17 SMIF Option Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 135
Table 18 List of Control Characters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 138
Table 19 SECS Message Summary . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 140
Table 20 Data Dictionary. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 150
Table 21 ASCII Command Summary . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 182
Table 22 Event Messages. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 183
Table 23 Equipment Constant Acknowledgments. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 185
Table 24 Equipment Constant Codes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 187
Table 25 Formatted Status Data (Form Code 0). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 189
Table 26 FSD Message List, Form Code = 0 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 190
Table 27 Host Command Replies . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 192
Table 28 HCS Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 193
Table 29 RCS Reply Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 195
Table 30 RCS Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 196
Table 31 Input Signals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 197
Table 32 Output Signals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 197
Table 33 VersaPort Wiring Diagrams and Drawings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 207

Page xviii 2000-1252-01 Released Rev. C
VersaPort 2200 Technical Manual
List of Tables a

Released Rev. C 2000-1252-01 Page 1
a
Preface
Introduction
This manual describes the Asyst VersaPort 2200 product line, which includes the
following:
Core Products
• VersaPort Platform Mount Standard. This version of the VersaPort can be
configured for operation mounted to a Process Tool platform or mounted to a
SEMI-standard BOLTS interface frame. The Standard VersaPort has a fixed port
door.
• VersaPort Platform Mount Shuttle. This version can be configured for operation
mounted to a Process Tool platform or mounted to a SEMI-standard BOLTS
interface frame. The Shuttle VersaPort has a horizontal shuttle.
Options
• BOLTS Interface. The SEMI-standard BOLTS interface frame can be used with
either of the core products above and, optionally, one of the options below.
• Reticle option
• RFID option
• MOCA
NOTE . . .
THE RETICLE, RFID, AND MOCA OPTIONS CAN BE USED WITH EITHER
PLATFORM MOUNT—STANDARD OR SHUTTLE—OR WITH THE VERSAPORT
MOUNTED TO ABOLTS INTERFACE. THE OPTIONS, HOWEVER, CANNOT BE
USED SIMULTANEOUSLY WITH EACH OTHER (I.E., THE RETICLE OPTION CANNOT
BE USED WITH THE MOCA, AND SO FORTH).
The VersaPort port door has provisions to support a copper interlock with the use of kit
P/N 9700-5836-01, sold separately.
Audience
This manual should be used by trained operators, service technicians and engineers to
set up, operate, and perform service and maintenance on the Asyst VersaPort 2200.

Page 2 2000-1252-01 Released Rev. C
VersaPort 2200 Technical Manual
About this Manual a
About this Manual
The VersaPort Technical Manual is organized as follows:
Chapter 1, Safety and Labeling, provides descriptions of all safety related information and
labeling.
Chapter 2, Theory of Operation, describes the VersaPort operating sequence, its
components, motor controls, and status indicators, and an overview of the
communications interface. Also provided are detailed technical specifications and outline
drawings.
Chapter 3, Diagnostics and Troubleshooting, provides diagnostic fault isolation for
troubleshooting operation errors and malfunctions.
Chapter 4, Service, describes service requirements and procedures.
Appendix A, ISIM, provides information on the indexer simulator.
Appendix B, Communications Software, describes the VersaPort software configuration,
SECS communication protocol and messages, and the ASCII serial text interface.
Appendix C, Material Safety Data Sheets, lists manufacturing data on materials used,
such as Loctite.
Appendix D, Assembly Drawings, includes all wiring diagrams and drawings of the
VersaPort.