Fischione 1060 SEM Mill User manual

MODEL
SEM Mill
Instruction
Manual
E.A. Fischione Instruments, Inc.
9003 Corporate Circle
Export, PA 15632
724-325-5444
www.fischione.com
Part Number 041-0557-02 Revision 03 November 2012

Software version 1.6.0 E.A. Fischione Instruments, Inc.
Model 1060 SEM Mill Instruction Manual

E.A. Fischione Instruments, Inc. Software Version 1.6.0 i
Model 1060 SEM Mill Instruction Manual
Contents
Warnings, Cautions, and Legal Notices . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
Legal Notices. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2
Security Warning and Disclaimer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
Warranty . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Period . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Details . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Exclusions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Limitation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
Using this Manual . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
Model 1060 SEM Mill Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Features . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
Selecting a Location and Unpacking the Instrument. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
Assessing Utility and Environmental Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
Gasses. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
Electrical Power. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
Networking. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
Ventilation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
Unpacking the Instrument . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
Setting up the Instrument . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
Setting up the Basic Edition Instrument . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
Setting up the Premium Edition Instrument . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Setting up the Instrument Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
Installing the Microscope Post . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
Attaching the Stereo Microscope . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26

ii Software version 1.6.0 E.A. Fischione Instruments, Inc.
Model 1060 SEM Mill Instruction Manual
Attaching the High Magnification Microscope with CCD Camera . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Attaching the High Magnification Microscope with Image Capture . . . . . . . . . . . . . . . . 30
Positioning the Stack Light . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
Setting up the Cold Trap . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
Model 1060 SEM Mill Accessory Kit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
Using the Interface Controls. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
Basic Edition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
Premium Edition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
Starting the Instrument . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
Turning off the Instrument . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
Restarting the Instrument after an Incorrect Shut Down . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
Controlling the Ion Beam Angle. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
Basic Edition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
Premium Edition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
Sample Rotary Orientation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
Using the Touch Screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
Entering Data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
Touch Screen Tab Organization . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
Main Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
Beams Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
Termination Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
Motion Tab. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
Utility Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
General Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
Imaging Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
Accessing Utility Tab Service Functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
Motion Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
Laser Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
Ion Guns Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
System Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
About Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
Using the Operator Console Application . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
Launching the Operator Console Application . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
From the Computer Desktop . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
From the Windows Start Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
Working with User Accounts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
Logging into a User Account . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
Opening the User Manager Application . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62
Understanding User Account Types and Privileges . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64
Custom Privileges. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
Operator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
User . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65

E.A. Fischione Instruments, Inc. Software Version 1.6.0 iii
Model 1060 SEM Mill Instruction Manual
Superuser . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
Administrator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
Managing Users . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
Adding a User Account. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
Editing an Existing User Account . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
Deleting a User Account . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
Working with the Operator Console Interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
Entering Numeric Values . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
Using the Selector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
Using the Keyboard . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
Using Keyboard/Mouse Shortcuts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
Keyboard Shortcuts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
Mouse Shortcuts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72
Viewing Tooltips . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72
Understanding the Operator Console Tab Organization . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72
Tab Organization . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72
Instrument Graphic . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74
Timer, Load Lock, and Sample Position . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76
Active Recipe Area . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 77
Status Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78
Main Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79
Displays and Controls Specific to the Main Tab. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79
Imaging Tab. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
Displays and Controls Specific to the Imaging Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
Tracking Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86
Displays and Controls Specific to the Tracking Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86
Data Logging Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87
Displays and Controls Specific to the Data Logging Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87
Service Tab. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 89
Additional Tabs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
State Machine . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
Setting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
Tracking . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
Logging . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
Displays and Controls Specific to the Service Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92
Setup Tab. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92
Displays and Controls Specific to the Setup Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93
Info Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 96
Displays and Controls Specific to the Info Tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 97
Defining Projects, Samples, and Protocols . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 98
Setting the Current Project . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99
Defining and Saving Recipes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 100
Understanding Recipe Basics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 100
Documenting Recipes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102
Saving a New Recipe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102