Gamma Vacuum DIGITEL MPCq User manual

DIGITEL MPCq Controller
Instruction manual
www.gammavacuum.com
900034_C Original instructions

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Contents
1. Safety and compliance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.1. Denition of Warnings and Cautions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.2. Safety symbols. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.3. Warnings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.4. Safety notices. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2. General information. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
2.1. Approvals. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
3. Unpacking the controller. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
3.1. Inspect for any obvious damage. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
3.2. Check the equipment received. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
4. Installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.1. Required items. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.2. Installation procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
5. Controller conguration. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.1. Input mains AC voltage (110 V a.c. vs. 220 V a.c.). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.2. Supply conguration. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.3. Output voltage polarity for each HV channel (positive vs negative). . . . . . . 14
5.4. Type of the HV output connectors. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.5. Number of HV output connectors per HV supply. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.6. Communication interface. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.7. Remote TSP control. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
6. HV control or ion pump operation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
6.1. Prior to using an ion pump. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
6.2. Prior to turning on HV and starting an ion pump. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
6.3. Turn HV on and o. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
7. Pressure measurement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
8. Front panel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
8.1. Description. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
9. Touchscreen user interface. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
9.1. Home screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
9.2. Main menu (Page 1). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
9.3. Main menu (Page 2). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
9.4. Supply setup. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
9.5. Display setup. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
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9.6. System setup. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
9.7. Analog output. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
9.8. Digital input setup. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
9.9. Digital output setup. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
9.10. Relay setup. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
9.11. Serial port setup. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
9.12. Probus setup. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
9.13. Ethernet interface setup. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
9.14. TSP sublimation view. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
9.15. TSP sublimation view with controls. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
9.16. TSP setup. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
9.17. TSP pressure window setup. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
10. Error/status codes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
10.1. Error example ‘STANDBY, Error 02, vacuum loss, detected’. . . . . . . . . . . . . 31
11. Rear panel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
11.1. Connector pair, HV output connectors and safeconn connectors. . . . . . . 33
11.2. Connector J115, NET (Probus, optional). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
11.3. Connector J505, CTRL. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
11.4. Connector J114, ETH. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
11.5. Connector J510, TSP FIL (TSP, optional). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
11.6. Connector J104, Misc I/O. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
11.7. Connector J112, SER. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
12. Serial communication. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
12.1. Gamma protocol over serial connection. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
12.2. Gamma protocol response packet structure over serial connection. . . . . 38
12.3. CRC checksum example. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
12.4. Examples - Gamma protocol over serial connection. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
12.5. Gamma protocol commands. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
13. Ethernet communication. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
13.1. Gamma protocol over ethernet connection. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
13.2. Examples - Gamma protocol over ethernet connection. . . . . . . . . . . . . . . . 49
14. Probus communication. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
15. Technical specications. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
16. Warranty and service. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
16.1. Service. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
16.1.1. Cleaning procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
16.1.2. Service requests. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
16.1.3. Direct support. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
16.2. Warranty. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
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16.2.1. General terms. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
16.2.2. Warranty claims. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
16.3. Returning material. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
16.3.1. Return procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
16.3.2. Required documentation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
17. Disposal. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
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List of Figures
Figure 1: MPCq front panel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
Figure 2: Home screen (two HV supplies installed). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
Figure 3: Home screen (with internal TSP supply installed). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
Figure 4: Home screen with control buttons invoked. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
Figure 5: Main menu (Page 1). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
Figure 6: Main menu (Page 2). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
Figure 7: Supply setup screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
Figure 8: Display setup screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Figure 9: System setup screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Figure 10: Analog output screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Figure 11: Digital input setup screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
Figure 12: Digital output screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
Figure 13: Relay setup screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
Figure 14: Serial port setup screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
Figure 15: Probus setup screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
Figure 16: Ethernet setup screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Figure 17: TSP sublimation view screen (no control buttons). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
Figure 18: TSP sublimation view screen with controls. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
Figure 19: TSP setup screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
Figure 20: TSP pressure window screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
Figure 21: Display error/status codes screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
Figure 22: MPCq rear panel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
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1. Safety and compliance
1.1. Denition of Warnings and Cautions
NOTICE:
For safe operation from the start, read these instructions carefully before
you install or commission the equipment and keep them safe for future use.
Read all the safety instructions in this section and the rest of this manual
carefully and make sure that you obey these instructions. The equipment
must only be operated and maintained by trained personnel in the proper
condition and as described in this instruction manual.
Obey local and state requirements and regulations. If you have any
questions about safety, operation or maintenance of the device, please
contact our nearest subsidiary.
Important safety information is highlighted as warning and caution
instructions. Obey these instructions.
WARNING:
If you do not obey a warning, there is a risk of injury or death. Dierent
symbols are used according to the type of hazard.
CAUTION:
If you do not obey a caution, there is a risk of minor injury, damage to
equipment, related equipment or process.
NOTICE:
Information about properties or instructions for an action which, if ignored,
will cause damage to the pump or the system.
We reserve the right to change the design and the stated data. The
illustrations are not binding.
Keep the instructions for future use.
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900034_C - Safety and compliance

1.2. Safety symbols
The safety symbols on the products show the areas where care and
attention is necessary.
The safety symbols that follow are used on the product or in the product
documentation.
Warning/Caution
An appropriate safety instruction must be followed or caution
to a potential hazard exists.
Warning - Dangerous voltage
Identies possible hazards from dangerous voltages.
Warning - Heavy object
Identies a possible hazard from a heavy object.
Warning - Read the manual
1.3. Warnings
WARNING:
Shock hazard. Can
cause injury or death.
Remove power before
servicing.
AVERTISSEMENT :
Risque de choc
électrique. Peut
entraîner des blessures,
voire la mort. Coupez
l'alimentation électrique
avant l'entretien.
警告:
感電事故。怪我や死亡事
故の原因になります。保
守を行う前に、電源を切
ってください。
ADVERTENCIA:
Peligro de descarga.
Pueden producirse
lesiones o incluso la
muerte. Desconecte la
alimentación antes de
realizar cualquier tarea
de mantenimiento.
WARNUNG:
Stromschlaggefahr. Es
besteht Verletzungs-
und Todesgefahr. Vor
Wartungsarbeiten vom
Strom trennen.
警告：
触电危险。可能导致人员
伤亡。维护之前先断电。
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900034_C - Safety and compliance

WARNING:
Heavy object. To avoid
muscle strain or back
injury, use lifting aids
and proper lifting
techniques when
removing or replacing.
AVERTISSEMENT :
Objet lourd. Pour éviter
les blessures
musculaires ou
dorsales, utilisez des
engins de levage et des
techniques de levage
appropriées lors du
retrait ou du
remplacement d’un
objet lourd.
警告:
重量のある装置、部品。
筋挫傷、背中や腰の怪我
を避けるために、取り外
しや交換はリフトを使用
した適切な吊り上げ方法
で行ってください。
ADVERTENCIA:
Objeto pesado. Para
evitar distensiones
musculares o lesiones
en la espalda, utilice
ayudas para la
elevación y técnicas de
elevación adecuadas
durante la retirada o
sustitución del equipo.
WARNUNG:
Schwerer Gegenstand.
Um
Muskelverspannungen
oder
Rückenverletzungen zu
vermeiden, verwenden
Sie beim Entfernen
oder Ersetzen
Hebehilfen und
geeignete
Hebetechniken.
警告：
重物。为了避免肌肉劳损
或背部损伤，执行卸除或
更换操作时，应使用起重
工具，并采用适当的起重
技巧。
WARNING:
Read and understand
operator’s manual
before using this
machine. Failure to
follow operating
instructions could result
in injury or damage to
equipment.
AVERTISSEMENT :
Lisez et comprenez le
mode d’emploi avant
d’utiliser cette machine.
Le non-respect des
instructions d’utilisation
peut entraîner des
blessures ou
endommager
l’équipement.
警告:
本機械を使用する前に、
取扱説明書をよく読み、
十分に理解してくださ
い。操作手順に従わない
場合、怪我や機器が損傷
する原因となることがあ
ります。
ADVERTENCIA:
Lea y comprenda el
manual del operador
antes de utilizar este
equipo. Si no se siguen
las instrucciones de
funcionamiento,
podrían producirse
lesiones o daños en el
equipo.
WARNUNG:
Sie müssen diese
Bedienungsanleitung
lesen und verstehen,
bevor Sie diese
Maschine benutzen. Die
Nichtbeachtung der
Gebrauchsanleitung
kann zu Verletzungen
oder Schäden an der
Anlage führen.
警告：
使用本设备之前，请阅读
并理解操作员手册。不遵
守操作手册说明可能导致
人员受伤和设备损坏。
1.4. Safety notices
1. Gamma vacuum controllers designed for ion pump operation are capable
of delivering 7 kV under open-circuit or low-pressure operating
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900034_C - Safety and compliance

conditions. Gamma vacuum products are designed and manufactured to
provide protection against electrical and mechanical hazards for the
operator and the area surrounding the product.
2. Installation procedures are for use by qualied, authorized personnel
who have experience working with 50 V or greater. To avoid personal
injury, do not perform any installation or service unless qualied to do so.
3. There are no serviceable parts inside the controller power-supply, and
voltages as high as 7 kV may be present. Do not open the supply case
under any circumstances. In the event of the power‑supply requiring
attention, return it to Gamma Vacuum.
4. Do not disconnect the high-voltage cable with the power on. After turning
the power o, allow at least one minute before disconnecting electrical
equipment.
5. Do not operate the controller without a proper electrical ground or near
water. The controller may be damaged and its safety reduced if it is
operated outside of its specications.
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