Granville-Phillips 835 Series User manual

Instruction manual part number 835000
Revision E - August 2013
Series 835
Instruction Manual
Granville-Phillips®Series 835
Vacuum Quality MonitorTM

This Instruction Manual is for use with all Series 835
Vacuum Quality Monitors. A list of applicable catalog
numbers is provided on the following page.
This product is RoHS compliant.
Granville-Phillips®Series 835
Vacuum Quality MonitorTM
Series 835
Instruction Manual
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Catalog numbers for Series 835 VQM®Controllers, Gauges, and Accessories
Product/Description Catalog Number
VQM Controller for one MS Gauge, benchtop mount . . . . . . . . . . 835500-U#-#(*)
USB 2.0, 1-145 or 1-300 amu, with power supply & cord.
1= 1 - 145 amu (120 resolution)
3= 1 - 300 amu (180 resolution)
Cables, VQM Controller to Mass Spectrometer Gauge: . . . . . . . 835300-##M(**)
835 Software Suite (Viewer Application, LabVIEW VI). . . . . . . . . . . . . . . 835400
835 MS Gauge, Channel Electron Multiplier Detector . . . . . . . . . . 835100-YG-# X
Y= Yttria-coated Iridium filament
G= 2.75inch (NW35CF) flange
1= 1 - 145 amu
3= 1 - 300 amu
N= Nude
D= In demountable envelope
Total Pressure Measurement Micro-Ion ATM Module. . . . . . . . . . . 390802-2-YG-T
Absolute & Ratiometric Pressure, 10-9 to ATM, RS-485,
gauge filament protection, digital display, dual Yttria-coated Iridium
ion gauge filaments, 2.75-inch (NW35CF) ConFlat-type flange, Torr
Cables - 835 VQM Controller to Micro-Ion ATM Module: . . . . 802301-##M(***)
Accessories
Field Replaceable Filament Assembly Kit:. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .830105-Y-K
For use with Series 830 & 835 Gauges.
Field Replaceable Electron Multiplier Kit: . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 835110-K
For use with Series 835 Gauges only.
Cable for log/linear analog output (1/8" miniature phone jack) . . . . . .801202-10M
Interconnect from a G-P Series 370 Ion Gauge Controller
to the analog input on the VQM Controller, 10 meters long
Demountable Envelope (4-inch nipple) for Nude Gauge . . . . . . . . . . . . . 801270
T-Flange, 2.75 inch (NW35CF) flanges . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 801272
Hardware/Bolt Kit: . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 801274-1
Includes 6 flange bolts and washers, 3 plate nuts, and 1 copper gasket
Wrench, 1/4", 12 pt. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 801275
Heater Jacket, 120 VAC, for the 835 Gauge:. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 801203-1
Heater Jacket, 240 VAC, for the 835 Gauge:. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 801204-#(*)
(*) # -1 = North American 115 VAC & Japan 100 VAC, -2 = North American 240 VAC,
-3 = Universal European 220 VAC, -4 = United Kingdom 240 VAC
(**) # -01 = 1 meter (3.28 ft), -03 = 3 meters (9.84 ft), -20 = 20 meters (65.6 ft)
(***) # -01 = 1 meter (3.28 ft), -03 = 3 meters (9.84 ft)
Windows, Windows XP, and Windows 7 are registered trademarks of Microsoft Corporation.
LabVIEW is a registered trademark of National Instruments Corporation.
SIMION is a registered trademark of Scientific Instrument Services, Inc.

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Series 835 Vacuum Quality Monitor
Instruction Manual - 835000 - Rev. E
Chapter 1 Safety Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.1 Safety Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.2 Equipment Grounding . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
1.3 Implosion / Explosion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
1.4 Damage Requiring Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
1.5 Service Guidelines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
1.6 FCC Verification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
Chapter 2 Introduction & Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
2.1 General Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
2.2 Receiving Inspection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
2.3 Glossary of Terms . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
2.4 Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
2.4.1 Dimensional Illustrations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
2.4.2 VQM Controller Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
2.4.3 Mass Spectrometer Gauge Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
2.4.4 Viewer Software Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
2.4.5 Host/PC Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
2.4.6 Trigger Input/Output Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
2.4.7 Analog Input/Output Specifications. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
2.5 Compliance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
2.6 Warranty Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Chapter 3 Hardware Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
3.1 Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
3.2 Terms used in this chapter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
3.3 Unpacking the Components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
3.3.1 Before You Open the Boxes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
3.3.2 Checklist of Components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
3.4 MS Gauge Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
3.4.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
3.4.2 Installation Requirements. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
3.4.3 Operational Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
3.4.4 Mounting Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
3.5 Micro-Ion Gauge Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
3.5.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
3.5.2 Installation Requirements. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
3.5.3 Mounting Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
3.6 VQM Controller, MS Gauge & Micro-Ion Gauge Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
3.6.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
3.6.2 Connection Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
3.6.3 MS Gauge Connection Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
3.6.4 Micro-Ion Gauge Connection Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
3.7 VQM Controller - 24 Vdc Power Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
3.7.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
3.7.2 Connection Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
3.7.3 Connection Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
3.8 System Grounding Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
3.8.1 VQM Controller Ground Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
3.8.2 System Ground Test Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
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