KLA Tencor P-16+ User manual

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P-16+ / P-6
User’s Guide
KLA-TENCOR CONFIDENTIAL
Family: Profiler Product Line: Profiler P1X / PX Model: P-16+ / P-6
Software Version 7.31/7.35 MNL, USER PN- 0142530-000 AB

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TRADEMARKS
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respective companies.

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KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide
EC COMPLIANCE
At the time of printing, the P-16+ / P-6 Profiler complies with the
essential requirements of the EC (Electromagnetic Compatibility)
Directives listed below:
EC Directives EC 89/392/EEC
EC 89/336/EEC
EC 93/68/EEC
Machinery, Annex 1 EC 98/37/EEC
Low Voltage, Annex 1 EC 73/23/EEC
Harmonized Electromagnetic Standards EN 50082-2:1995
EN 50081-2:1993
EN 55011:2000
Harmonized Safety Standards EN 60204-1:1992
IEC 61010-1, 2001
EN 61010-1:2001 (2nd Edition)
EN 61000-6-2:2005
EN 61000-6-4:2007
IEC 61010-1
Product Safety Assessment SEMI S2-0703
Ergonomic Assessment SEMI S8-0705
Fire Risk Assessment SEMI S14-0704
RoHS Compliance: All P-16+ and P-6 external
peripherals and computer
components used (main
scanner exempt) comply
with the European Union's
Directive 2002/95/EC,
Restrictions of Hazardous
Substances ("RoHS"
Directive).
COPYRIGHT
This document is a copyrighted work of KLA-Tencor Corporation.
Unauthorized copying of its content is strictly prohibited. KLA-Tencor
provides this document without warranty in any form, either expressed
or implied.

KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide
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Table of Contents
P/N 0142530-000 AB TOC-1
Friday, March 13, 2009
Chapter 1 Introduction & Safety
INSTRUMENT OVERVIEW. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-1
SAFETY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-1
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-1
Safety Symbols and Related Keywords . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-1
Lockout/Tagout Procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-2
Stage and Head Movement Hazards . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-4
Chapter 2 Basic Skills
OVERVIEW . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-1
ERGONOMIC CONSIDERATIONS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-1
POWERING UPTHE PROFILER . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-2
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-2
Power Up Procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-2
LOGGING INTO PROFILER SECURITY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-2
STARTING THE PROFILER APPLICATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-3
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-3
Profiler Start-Up Procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-3
NAVIGATING BETWEEN PROGRAM LEVEL SCREENS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-5
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-5
Navigation Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-6
EXITING THE PROFILER APPLICATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-6
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-6
Profiler Exit Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-6
CLEARING ASTATUS BAR MESSAGE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-7
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-7
Clearing a Status Bar Message Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-7
PROTECTING THE STYLUS ARM ASSEMBLY. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-8
System Provisions for Stylus Protection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-8
Potential Stylus Damage During Scans. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-8
LOADING ASAMPLE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-10
ADJUSTING THE VIDEO IMAGE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-12
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-12
Video Image Adjustment Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-12
USING FILE NAME CONVENTIONS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-13
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-13
Naming and Saving Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-13
SAVING VIDEO IMAGES . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-13
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-13
Naming and Saving Video Images Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-13
EXPORTING DATA GRAPHS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-14
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-14
EXPORTING DATA FROM THE DATABASE FILE MANAGER. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-16

KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide
TOC-2 KLA-Tencor Confidential 0142530-000 AB
3/13/09
Preliminary
Chapter 3 Scan Recipes
INTRODUCTION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
ACCESSING THE SCAN RECIPE CATALOG SCREEN . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2
SCAN RECIPE CATALOG SCREEN COMPONENTS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
Screen Tools. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
Catalog Screen Access Buttons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-9
List Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10
System Status Message . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12
CREATING AND EDITING ASCAN RECIPE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12
Accessing the Scan Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-13
Recipe Editor for 2D and 3D Scans. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-13
Scan Parameter Definition Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14
Feature Detection (Only for 2D Scans) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-31
Filters and Cursors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-38
Filters Cursors Menu for a 3D Recipe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-48
Unit Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-51
General Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-51
Roughness and Waviness Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-55
Bearing Ratio and Cutting Depth . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-63
High Spot Count and Peak Count . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-67
Histogram Leveling and Depth Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-70
HISTOGRAM DEPTH . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-76
CMP ANALYSIS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-77
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-77
Arrays . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-80
Lines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-82
Pads . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-83
FEATURE FIND . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-84
Search For: Trench / Line . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-86
Search For Model Feature . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-88
Search Patterns: Center Outward, Top to Bottom,
or Bottom to Top . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-91
X Scan Size (µm) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-91
Traces . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-91
Y Spacing (µm) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-92
Scan Speed (µm/s) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-92
Sampling (Hz) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-92
Failure Option: Save Search Data, Skip Current Scan, or Scan at Center. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-93
Scan Offset from Center (µm) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-93
Feature Characteristics: Feature Down or Feature Up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-94
Feature Depth / Height (nm) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-94
X Width (µm) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-94
Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-95
Matching Methods: Edge Base or Depth Base. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-96
Matching Scores . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-97
Reference Point (µm) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-98
Diagnostic Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-98
Entering Comments . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-100

0142530-000 AB KLA-Tencor Confidential TOC-3
3/13/09
KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide
Preliminary
Chapter 4 XY View Screen
INTRODUCTION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-1
STARTING THE XY VIEW APPLICATION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-1
Procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-1
XY View Window Features . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-1
SETTING THE MAGNIFICATION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-9
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-9
Changing the Magnification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-10
Resetting the Zoom to “0.00”. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-10
Saving the Current Zoom Position . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-10
FOCUSING THE VIEW . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-11
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-11
Focus the Optics – Top- or Side-View . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-11
POSITIONING THE SCAN SITE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-13
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-13
USING DIE GRID NAVIGATION (OPTIONAL FEATURE, P-16+ ONLY) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-16
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-16
Creating a Die Grid . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-18
Loading a Die Grid (Turning ON Die Grid Navigation) for a Single Scan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-25
Clearing a Die Grid (Turn OFF Die Grid Navigation) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-28
Navigating Across the Wafer Using the Die Grid . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-28
Enabling the Dropout Die Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-28
Clearing Dropout Dies From the Grid . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-28
Moving to Partial Dies . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-28
Displaying Grid Numbers in the Die Grid Navigation Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-29
To Change the Font and Color of the Grid Numbers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-29
ALIGNING THE SAMPLE. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-29
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-29
Procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-29
Chapter 5 View Scan Window
2D SCREEN FUNCTION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-1
2D Scan Information Field. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-2
Scan Information Field - 2D Sequence Recipe Column . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-3
Real Time Scan Trace Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-4
2D View Scan Screen Tool Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-4
2D View Scan Screen Menu Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-5
3D SCREEN FUNCTION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-9
3D Scan Information Field. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-10
Scan Information Field - 3D Sequence Recipe Column . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-11
3D View Scan Screen Tool Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-11
3D View Scan Screen Menu Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-12
Video Image. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-13
Real Time Scan Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-14
Wafer Image Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-14
Scan Site Image Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-15
ABORTING A SCAN . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-15

KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide
TOC-4 KLA-Tencor Confidential 0142530-000 AB
3/13/09
Preliminary
Chapter 6 Sequence Recipe and Data
INTRODUCTION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
STARTING THE SEQUENCE EDITOR APPLICATION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
CREATING ASEQUENCE RECIPE. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
SEQUENCE EDITOR WINDOW FEATURES . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-19
Sequence Editor Menus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-19
Sequence Editor Toolbar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-19
Displaying the Sequence Information Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-22
EDITING THE OPTIONS FIELD IN THE SEQUENCE EDITOR . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-23
Semi-Automatic. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-23
Set Deskew Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-24
Teaching the Base Angle (P-16+ Only) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-27
RUNNING ASEQUENCE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-28
QUEUE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-28
Setting up a Queue . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-28
Adding Sequence Recipes to the Queue at Runtime . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-30
CORRELATION SCANS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-31
Viewing the Correlation Scan Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-32
VIEWING SAVED SEQUENCE DATA . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-33
Viewing Old Sequence Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-33
Recovering Sequence Data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-33
Calculating Combined Sequence Statistics. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-34
USING MULTI ANALYSIS INSEQUENCE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-34
Viewing Multi Analysis Results . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-35
VIEWING SEQUENCE DATA . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-36
Viewing Wafer Summary Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-36
Sequence Summary Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-36
Viewing Sequence Data with the Corresponding Trace, Site-by-Site . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-37
SEQUENCING WITH MANUAL DESKEW (APPLIES TO BOTH P-16+ AND P-6). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-38
DESKEWING TWICE TOALIGN THETA (P-16+ ONLY) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-39
SEQUENCING WITH PATTERN RECOGNITION DESKEW
(OPTIONAL PATTERN RECOGNITION FEATURE, P-16+ ONLY) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-39
GROPING WITH PATTERN RECOGNITION (P-16+ ONLY) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-44
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-44
Setup Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-44
SEQUENCING WITH SITE-BY-SITE PATTERN RECOGNITION (P-16+ ONLY) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-47
SAVING SEQUENCES. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-47
SAVING THE SEQUENCE DATA . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-48
Chapter 7 Analyzing 3D Scan Data
INTRODUCTION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
STARTING THE 3D ANALYSIS APPLICATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
3D ANALYSIS SCREEN FEATURES . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2
Analysis Screen – Image Orientation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2
Graphics Buttons and Their Function). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-6
Analysis Menu Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-16
LINE-BY-LINE LEVELING . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-32

0142530-000 AB KLA-Tencor Confidential TOC-5
3/13/09
KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide
Preliminary
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-32
Activating Line Leveling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-32
CUSTOMIZING THE SCAN IMAGE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-36
Setting the Image Proportions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-36
Setting the Shading Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-36
CUSTOMIZING THE VIEW . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-37
Changing the Image Colors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-37
Changing the Scan Height Colors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-37
Removing Banding with Line Leveling. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-37
USING IMAGE ARITHMETIC TO COMPARE DATA . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-39
SAVING SCAN DATA. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-40
Saving 3D Scan Data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-40
Creating and Saving 2D Slice Data from a 3D Scan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-41
Chapter 8 APEX 2D/3D - Getting Started
INTRODUCTION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-1
LICENCE AGREEMENT. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-1
OVERVIEW OF APEX 2D/3D . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-1
Chapter 9 Stress (Optional feature)
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-1
THEORY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-1
Stoney Equation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-1
Polynomial Fit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-3
Least Square Fit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-4
THE 2D STRESS APPLICATION WINDOW (P-16+ AND P-6) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-5
The Stress Screen Tool Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-5
Stress Recipe Catalog . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-6
Stress Scan Data File Catalog . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-6
CREATING ASTRESS RECIPE. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-6
Number of Stress Points . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-6
Scan Start Position . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-6
Scan Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-7
Substrate Specification. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-7
CREATING STRESS DATA . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-8
Load a Wafer on the Stress Locator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-8
Loading Wafers. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-8
Taking a Pre-Stress Scan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-10
Taking a Post-Stress Scan. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-10
Analyzing Stress Scan Results . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-10
Chapter 10 3D Stress (optional Feature, P-16+ only)
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-1
Definitions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-1
The 3D Stress Application Window. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-3

KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide
TOC-6 KLA-Tencor Confidential 0142530-000 AB
3/13/09
Preliminary
Creating a 3D Stress Recipe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-4
Adding New Substrates to the Substrate Database . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-6
Saving a Stress Recipe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-7
Taking 3D Stress Data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-8
Creating and Analyzing 3D Stress Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-8
Saving the Stress Difference Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-18
Chapter 11 System Security
INTRODUCTION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-1
KLA-Tencor Operating System Security . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-1
LOGIN AND LOGOUT PROCEDURE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-2
CONFIGURING KLA-TENCOR SECURITY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-3
PROCEDURE TO MODIFY SECURITY SETTINGS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-4
GROUP USER ADMIN - MANAGE USERS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-5
PROCEDURE TO CHANGE THE AUTOLOGONUSER PASSWORD . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-6
ACCESS POLICY SETTINGS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-8
PROCEDURE TO CHANGE ACCESS POLICY SETTINGS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-9
APPLICATION LIFECYCLE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-15
PROCEDURE TO CHANGE APPLICATION LIFECYCLE SETTINGS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-16
GLOBAL SETTINGS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-17
PROCEDURE TO CHANGE THE GLOBAL SETTINGS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-19
SECURITY GROUPS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-20
COMPUTER MANAGEMENT/USER ACCOUNTS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-21
PROCEDURE TO CREATE ANEW USER ACCOUNT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-21
PROCEDURE TO ADD USERS TO SECURITY GROUPS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-23
PROCEDURE TO ADD SECURITY GROUPS TO USER ACCOUNTS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-26
Chapter 12 Calibrations
STANDARD CALIBRATION MATRIX . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-1
APPLIED FORCE CALIBRATION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-1
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-1
Applied Force Calibration Procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-2
VIDEO CALIBRATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-3
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-3
Video Calibration Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-3
SCAN POSITION OFFSET CALIBRATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-6
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-6
STEP HEIGHT CALIBRATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-6
Calibration Procedure:. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-7
P-16 SERIES LEVEL CALIBRATIONS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-12
Level Calibration Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-13
Level Calibration Confirmation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-15
P-6 LEVELING . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-19
WAFER CENTER CALIBRATION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-19

0142530-000 AB KLA-Tencor Confidential TOC-7
3/13/09
KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide
Preliminary
Chapter 13 Stylus Change Procedure
INTRODUCTION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13-1
STYLUS REMOVAL AND REPLACEMENT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13-2
Stylus Removal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13-3
Stylus Replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13-7
Scan Position Offset Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13-9
Chapter 14 Configuration
OPERATING ENVIRONMENT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-1
SYSTEM GEOMETRY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-1
Level and Tilt . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-2
INTRODUCTION TO SYSTEM CONFIGURATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-5
STAGE CONFIGURATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-6
Theta Soft Home Position. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-7
Teach Lowest Elevator Position. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-7
Elevator Focus Speed . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-9
Elevator Slow Focus Speed . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-9
Move Elevator to Safe Position Before Moving Stage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-9
Elevator Safe Position. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-10
SYSTEM CONFIGURATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-10
Editing the System Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-10
Instrument Setup Configuration Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-11
SAFE AREA CONFIGURATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-12
LICENSE OPTIONS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-15
RECIPE TRANSPORT OPTIONS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-16
Data Export Paths Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-16
SEQUENCE EXECUTION OPTIONS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-17
Open Sequence Execution Options Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-17
PROXIMITY SENSOR CONFIGURATION (P-16+ ONLY) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-17
Configuration Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-17
Options. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-18
PRECISION LOCATORS (P-16+ ONLY) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-19
Wafer Precision Locators. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-19
Three Point Disk Locator. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-21
Precision Locators - Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-24
P-6 PRECISION LOCATORS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14-25
Chapter 15 Preventive Maintenance
INTRODUCTION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .15-1
PERIODIC PREVENTIVE MAINTENANCE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .15-1
Weekly PM Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .15-1
Monthly PM Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .15-2
Semi-Annual PM Procedures. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .15-2

KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide
TOC-8 KLA-Tencor Confidential 0142530-000 AB
3/13/09
Preliminary
Chapter 16 Backup and Restore
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-1
Profiler Backup Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-1
Appendix A Hazardous Materials
INTRODUCTION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A-1
HAZARDOUS MATERIAL CONTENT. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A-1
HAZARDOUS MATERIALS LIST . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A-2
Appendix A P Series Profiler - Preparing for Shipment
INTRODUCTION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B-1
PROCEDURE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B-1

List of Figures
P/N 0142530-000 AB LOF-1
3/13/09
Chapter 1 Introduction & Safety
Figure 1.1 Power Cord Plug Lockout/Tagout . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3
Chapter 2 Basic Skills
Figure 2.1 Logon Dialog . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
Figure 2.2 Program Icons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
Figure 2.3 Profiler Catalog Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
Figure 2.4 Profiler Configuration Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-6
Figure 2.5 Clearing the Status Diagnostic Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
Figure 2.6 Contact Scan Stylus Tip . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-9
Figure 2.7 Scan Recipe Window in the Catalog Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-10
Figure 2.8 XY View Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11
Figure 2.9 Video Control Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-12
Figure 2.10 Export File Formats in Drop-Down Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-14
Figure 2.11 Catalog Screen – Database File Manager Icon . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-14
Figure 2.12 Data Catalog Screen for Export of Data or Recipes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-15
Figure 2.13 Graphics Export Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-15
Figure 2.14 Data Catalog Screen for Export of Data or Recipes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-17
Chapter 3 Scan Recipes
Figure 3.1 Catalog Sequence Recipe Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2
Figure 3.2 Catalog Sequence Recipe Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
Figure 3.3 Title Bar for Catalog Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
Figure 3.4 Menu Bar for Scan Recipe Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-5
Figure 3.5 ToolBar Icons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8
Figure 3.6 Scan Recipe information in the List Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10
Figure 3.7 Tool Bar Buttons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
Figure 3.8 System Status Message Field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12
Figure 3.9 Recipe Editor for a 2D UNTITLED Recipe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14
Figure 3.10 3D Parameters in the Information Display Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14
Figure 3.11 2D Scan Category Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-15
Figure 3.12 X Scan Size (mm) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-15
Figure 3.13 Scan Trace Comparison - Large vs. Small Stylus Radius . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-17
Figure 3.14 Data Collection When Using a Large Radius Stylus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-18
Figure 3.15 Data Collection When Using a Small Radius Stylus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-19
Figure 3.16 2D Scan Options With Sampling Rate Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-19
Figure 3.17 Teach Scan Length, from the 2D Scan Teach Button . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-22
Figure 3.18 3D Scan Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-23
Figure 3.19 Traces - Scan Perimeter with Traces . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-24
Figure 3.20 Scan Time - Scan Parameters Definition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-26
Figure 3.21 Stylus Parameters (2D and 3D) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-27
Figure 3.22 Vertical Ranging - Profile Types . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-30
Figure 3.23 Feature Detection - Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-32
Figure 3.24 Feature Detection Point Locations on a Step . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-33
Figure 3.25 Feature Detection Point Locations for Convex and Concave . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-33

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Preliminary
Figure 3.26 Detection Variables - Feature Detection - Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-35
Figure 3.27 Scan Trace (Red) with First Derivative (Dark Blue) Overlaid on the Same Graph . . . . . . . . . 3-37
Figure 3.28 Filters Parameters - Noise Filter Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-38
Figure 3.29 Cursor Parameters - Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-39
Figure 3.30 Analysis Screen with Trace in Need of Leveling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-40
Figure 3.31 Cursor Boundary Setting on Unleveled Trace . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-41
Figure 3.32 Setting Measurement Cursors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-42
Figure 3.33 Measurement Cursor on Level Trace . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-42
Figure 3.34 Cursor Parameters - Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-43
Figure 3.35 Measurement Cursors - Relative to Feature Detection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-44
Figure 3.36 Median Filter Application in Glitch Removal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-46
Figure 3.37 2D and 3D Median Filter Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-47
Figure 3.38 Y Lead Screw Filter Application . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-48
Figure 3.39 3D Measurement Cursor Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-49
Figure 3.40 Recipe Editor - Choosing 3D Cursors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-50
Figure 3.41 Recipe Screen with Unit Output Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-51
Figure 3.42 General Parameters - Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-52
Figure 3.43 Waviness vs. Roughness . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-56
Figure 3.44 Roughness/Waviness Filter Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-56
Figure 3.45 Recipe Editor Showing 2D and 3D Roughness/Waviness Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-57
Figure 3.46 3D Roughness Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-61
Figure 3.47 Bearing Ration and Cutting Depth Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-63
Figure 3.48 2D Bearing Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-64
Figure 3.49 Depth for 2D Bearing Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-64
Figure 3.50 Cutting Depth . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-65
Figure 3.51 Bearing Ratio and Cutting Depth Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-67
Figure 3.52 High Spot Count . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-68
Figure 3.53 Peak Count . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-69
Figure 3.54 2D Peak Count (PC) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-69
Figure 3.55 Histogram Leveling Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-72
Figure 3.56 Histograms of Scans A and B . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-73
Figure 3.57 Multiple Bins (Mode) Used to Define a Plane . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-73
Figure 3.58 Flat Surface Scan of a Single Object . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-74
Figure 3.59 Most Populous Plane Trace Variation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-75
Figure 3.60 Histogram of a Scan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-76
Figure 3.61 Histogram Depth . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-77
Figure 3.62 CMP Analysis - Lines or Array . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-78
Figure 3.63 CMP Analysis - PADS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-79
Figure 3.64 Sample Array . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-80
Figure 3.65 ER and CR . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-81
Figure 3.66 Sample Array of Lines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-82
Figure 3.67 Sample Pad . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-83
Figure 3.68 Feature Find Parameter Definition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-85
Figure 3.69 Trench / Line Features . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-87
Figure 3.70 Trench / Line Scan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-88
Figure 3.71 Edge of an Array of 5 µm Lines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-89
Figure 3.72 Model Feature Search for the Edge of an Array of 5 mm Lines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-89
Figure 3.73 Model Feature Scan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-90
Figure 3.74 5µm Lines Measurement Pattern . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-94
Figure 3.75 Feature Find Definition for Model Feature . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-96
Figure 3.76 Dual Damascene Example for Model Feature using Depth Based Matching . . . . . . . . . . . . .3-97

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Preliminary
Figure 3.77 Recipe Information Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-100
Chapter 4 XY View Screen
Figure 4.1 XY View Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
Figure 4.2 Move Extents Dialog Box. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
Figure 4.3 Move To Position Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
Figure 4.4 Distance Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
Figure 4.5 View Menu and the Stage and Zoom Coordinate Field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-10
Figure 4.6 Save Zoom Position Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-11
Figure 4.7 P-16+ MicroHead Measurement Head. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-12
Figure 4.8 P-16+ Focusing the Optics (Dual-View Optics). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-13
Figure 4.9 Coordinate System of the KLA-Tencor Profiler Stage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-14
Figure 4.10 XY View Screen Tool Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-15
Figure 4.11 XY View Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-16
Figure 4.12 Teach Die Grid Screen with Loaded Die Grid . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-17
Figure 4.13 Scan Catalog Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-19
Figure 4.14 Warning – Automatic Null . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-19
Figure 4.15 Teach Die Grid Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-20
Figure 4.16 Teach Die Grid - Teach First Position . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-21
Figure 4.17 Teach Die Grid - Teach Feature . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-22
Figure 4.18 Teach Die Grid - Lower Right Corner . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-23
Figure 4.19 Teach Die Grid - With Feature in Navigation Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-24
Figure 4.20 Teach Die Grid - Die Grid Simulation in Navigation Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-24
Figure 4.21 Sequence Editor with Die Grid Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-26
Figure 4.22 Load Sequence Die Grid . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-27
Figure 4.23 Die Grid Menu From the Menu Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-28
Figure 4.24 Setting Alignment Angle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-30
Figure 4.25 Move Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-31
Chapter 5 View Scan Window
Figure 5.1 2D Single Scan View Scan Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
Figure 5.2 2D Scan Window - Scan Information Field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-2
Figure 5.3 2D Scan Window - Scan Information Field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-3
Figure 5.4 Scan screen - real time Trace Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
Figure 5.5 2D View Scan Screen Menu Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5
Figure 5.6 3D View Scan Screen During a Single Scan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-9
Figure 5.7 3D View Scan Screen During a Scan Sequence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-10
Figure 5.8 3D Scan Window - Scan Information Field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-10
Figure 5.9 3D Scan Window - Scan Information Field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-11
Figure 5.10 View Scan Screen Menu Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-12
Figure 5.11 Top View Image of the 3D Scan In Progress . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-14
Figure 5.12 Sequence Scan Screen with Die Measurement Site Map . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-15
Chapter 6 Sequence Recipe and Data
Figure 6.1 Sequence Editor Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
Figure 6.2 Sequence Recipe Catalog Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-3
Figure 6.3 Scan Sequence Catalog . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-4
Figure 6.4 Sequence Editor for NEW Recipe with Pattern Recognition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-5
Figure 6.5 Options Section in the Sequence Editor (Optional feature, P-16+ only) . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-6

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Figure 6.6 Die Grid Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-7
Figure 6.7 Load Die Grid Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-7
Figure 6.8 Sequence Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-8
Figure 6.9 Sequence Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-8
Figure 6.10 Pattern Rec. Deskew Teach: Site 1 Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-9
Figure 6.11 Deskew Options Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-10
Figure 6.12 Data Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-11
Figure 6.13 Sequence Editor Set Up for New Recipe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-12
Figure 6.14 Sequence Editor - Teach Scan Location . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-13
Figure 6.15 Teach Location for First Recipe Scan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-14
Figure 6.16 Sequence Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-15
Figure 6.17 Sequence Editor with Die Grid Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-16
Figure 6.18 XY View with Sequence Scan Sites . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-17
Figure 6.19 Sequence Editor Message Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-17
Figure 6.20 Sequence Editor with New Scan Sites . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-18
Figure 6.21 Sequence Editor – Sequence Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-22
Figure 6.22 Sequence Information Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-22
Figure 6.23 Sequence Editor – Mode Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-23
Figure 6.24 Sequence Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-25
Figure 6.25 Data Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-25
Figure 6.26 Sequence Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-27
Figure 6.27 Queue Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-29
Figure 6.28 Runtime View with the Sequence Queue . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-30
Figure 6.29 Correlation Scan Sequence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-31
Figure 6.30 Correlation Sub-scan Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-33
Figure 6.31 Sequence Parameter Data window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-36
Figure 6.32 Sequence Summary Options Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-37
Figure 6.33 Deskew Options Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-39
Figure 6.34 Profiler Sequence Editor Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-42
Figure 6.35 Pattern Rec. Deskew Teach Window After Teach . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-43
Figure 6.36 Pattern Recognition and Deskew Options Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-44
Figure 6.37 Groping Retry Layers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-45
Figure 6.38 Analysis Screen with File Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-49
Figure 6.39 Save Data Set Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-49
Chapter 7 Analyzing 3D Scan Data
Figure 7.1 Scan Catalog Screen with Scan Data Active. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-1
Figure 7.2 3D Analysis Screen with 3D Object Displayed . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2
Figure 7.3 Analysis Tool Bar Image Rotation Buttons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2
Figure 7.4 Manual Image Rotation Handles . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-4
Figure 7.5 Image Rotation Using the Rotate Image Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-5
Figure 7.6 Right-Click Menu – Mouse Tools . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-6
Figure 7.7 Analysis Tool Bar Graphics Buttons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-6
Figure 7.8 Analysis Screen - Tool Activation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-7
Figure 7.9 Analysis Screen - Zoom Active . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-8
Figure 7.10 Analysis Screen with Zoom Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-8
Figure 7.11 Analysis Screen – Using the Zoom In Icon . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-9
Figure 7.12 Analysis Screen – Zoomed In Area . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-10
Figure 7.13 Analysis Screen – Unzoom Using Right-Click Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-10
Figure 7.14 Analysis Screen Menu Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-16

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3/13/09
KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide
Preliminary
Figure 7.15 Parameters Menu from the Analysis Screen Menu Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-25
Figure 7.16 3D Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-26
Figure 7.17 3D Recipe Editor with Roughness/Waviness Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-27
Figure 7.18 Bearing Ratio/Cutting Depth in Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-28
Figure 7.19 Recipe Editor - 3D Cursors Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-33
Figure 7.20 3D Line by Line Leveling Cursor Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-33
Figure 7.21 3D Line by Line Leveling Cursor Field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-34
Figure 7.22 Line Leveling Top View Analysis Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-35
Figure 7.23 Recipe Editor with 3D Cursors Window Displayed . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-36
Figure 7.24 Set Viewing Parameters Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-37
Figure 7.25 Line Leveling Dialog Box After Cursors Positioned . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-38
Figure 7.26 Image Arithmetic Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-39
Figure 7.27 Analysis Screen - Analysis Tool Bar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-41
Figure 7.28 3D Analysis Tool Bar with Slice Tool Activated . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-41
Figure 7.29 Analysis Screen with View . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-42
Figure 7.30 Analysis Screen with Slice Tool Active . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-43
Figure 7.31 Analysis Screen with Both 2D and 3D Images . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-43
Figure 7.32 Analysis Screen with Both 2D and 3D Images . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-44
Figure 7.33 Analysis Window with File Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-44
Chapter 8 APEX 2D/3D - Getting Started
Figure 8.1 Empty Document . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-1
Figure 8.2 General Toolbar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-2
Figure 8.3 Studiables Directory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-2
Chapter 9 Stress (Optional feature)
Figure 9.1 Stress Calculation Regions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-2
Figure 9.2 13 Point Least Square Fit Calculation Illustration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-4
Figure 9.3 Precision Locator on the Stage (P-16+) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-9
Chapter 10 3D Stress (optional Feature, P-16+ only)
Figure 10.1 The 3D Stress Catalog Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-3
Figure 10.2 3D Stress Buttons Found in the 3D Stress Catalog Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-3
Figure 10.3 3D Stress Recipe Editor Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-4
Figure 10.4 Edit Substrates Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-6
Figure 10.5 Substrate Properties Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-7
Figure 10.6 Edit Substrate Buttons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-7
Figure 10.7 Recipe Dropdown Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-8
Figure 10.8 3D Stress Catalog Window and Stress Data Button . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-9
Figure 10.9 Pre and Post Measurement Data Designation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-9
Figure 10.10 Film Thickness Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-10
Figure 10.11 Default Format of the 3D Stress Analysis Window in Apex . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-11
Figure 10.12 Stress Map Calculated by Apex Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-12
Figure 10.13 3D Stress Toolbar in Apex Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-12
Figure 10.14 3D Stress Dialogue Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-15
Figure 10.15 Angular Data Image in Apex Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-16
Figure 10.16 Save As Window for Saving Only the Xml Data Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-17
Figure 10.17 3D Stress File Selection Dialogue Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-18

KLA-Tencor P-16+ / P-6 User’s Guide
LOF-6 KLA-Tencor Confidential 0142530-000 AB
3/13/09
Preliminary
Chapter 11 System Security
Figure 11.1 Log On Dialog . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-1
Figure 11.2 Log On Dialog at Runtime . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-2
Figure 11.3 Security Configuration Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-3
Figure 11.4 XML Configuration Saved . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-5
Figure 11.5 Group User Admin - Manage Users . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-5
Figure 11.6 Load from OS Import Users . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-6
Figure 11.7 Choose Users From Local System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-6
Figure 11.8 Edit Users . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-7
Figure 11.9 Change User Password . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-7
Figure 11.10 Save Users to Local System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-8
Figure 11.11 Access Policy Settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-9
Figure 11.12 Edit Access Policy Setting for Windows Shutdown Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-10
Figure 11.13 Saving the Access Policy Setting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-10
Figure 11.14 Application Lifecycle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-15
Figure 11.15 Add Programs to the Control List . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-16
Figure 11.16 Save Changes to the Control List . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-17
Figure 11.17 Global Settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-18
Figure 11.18 Modify Global Settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-19
Figure 11.19 Persist Autologon to Operating System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-19
Figure 11.20 My Computer/Manage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-21
Figure 11.21 User Account Management . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-22
Figure 11.22 New User Interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-22
Figure 11.23 Security Group Management . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-23
Figure 11.24 Profiler Security Group Members . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-24
Figure 11.25 Add a User to a Security Group . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-25
Figure 11.26 Windows XP User:Engineer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-26
Figure 11.27 Add a Security Group to a User . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-26
Figure 11.28 Examples of Operator and Engineer Security Group Access . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-27
Chapter 12 Calibrations
Figure 12.1 Catalog Screen - Choose Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-2
Figure 12.2 Calibrations Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-2
Figure 12.3 Applied Force Calibration Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-2
Figure 12.4 Manual Load from the Video Calibration Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-4
Figure 12.5 Message Prompt and Focus Button . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-5
Figure 12.6 XY Video Display Message Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-6
Figure 12.7 Step Height Calibration Factors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-7
Figure 12.8 Navigation Window Right-Click Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-8
Figure 12.9 Move To Position Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-8
Figure 12.10 Calibration Menu in the Calibration Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-9
Figure 12.11 Step Height Calibration Options Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-10
Figure 12.12 Saving the New Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-12
Figure 12.13 Calibration Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-13
Figure 12.14 Level Calibration Warning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-14
Figure 12.15 Tilt Calibration System Status Load Wafer Message . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-14
Figure 12.16 Tilt Axis Angle Calibration Value Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-15
Figure 12.17 Activating Focus in the XY VIEW Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-16
Figure 12.18 Move To Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-16

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Preliminary
Figure 12.19 Move To Position Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-17
Figure 12.20 Teach Lowest Elevator Position Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-17
Figure 12.21 Move To Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-18
Figure 12.22 Move To Position Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-18
Figure 12.23 P6 Precision Standard Locator Chuck . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-19
Chapter 13 Stylus Change Procedure
Figure 13.1 Profiler [Catalog] - Click on the Calibration Icon . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-3
Figure 13.2 Stylus Force Calibration Button . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-3
Figure 13.3 Configuration Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-4
Figure 13.4 Stylus ID Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-5
Figure 13.5 Message Box for Stylus Name Affirmation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-5
Figure 13.6 Message Box for Stylus Change Permission . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-6
Figure 13.7 Supporting Stylus Mount During Stylus Change . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-6
Figure 13.8 Sensor Assembly - Loosening Stylus Clamp Screw . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-7
Figure 13.9 Sensor Assembly - Seating the New Stylus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-7
Figure 13.10 Supporting Stylus and Mount During Tightening Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-8
Figure 13.11 Sensor Assembly - Seating the New Stylus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-8
Figure 13.12 Message Box for Stylus Change Permission . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-9
Figure 13.13 KLA-Tencor ProCal Wafer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-10
Figure 13.14 Message Box Requesting SPO Standard Placement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-10
Figure 13.15 Manual Load from the Scan Offset Calibration Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-11
Figure 13.16 Scan Position Offset Calibration Options dialog box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-11
Figure 13.17 Window Buttons - _OFF150- Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-12
Figure 13.18 Scan Position Offset Calibration Options dialog box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-13
Figure 13.19 Set Default Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-13
Figure 13.20 Scan Parameter Definition - _OFF150 - Recipe Editor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-14
Figure 13.21 ZOOM IN - Scan Offset Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-14
Figure 13.22 KLA-Tencor ProCal Wafer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-16
Figure 13.23 Aligning the Tool with Screen Crosshair . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-16
Figure 13.24 Align Screen Crosshair with 150 mm Crosshair Pattern . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-17
Figure 13.25 Manual Load from the Scan Offset Calibration Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-17
Figure 13.26 Scan: _OFF150 Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-18
Figure 13.27 Trace Path Through Upper Triangle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-18
Figure 13.28 Data Analysis Window. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-19
Figure 13.29 Scan Data Portion of the Analysis Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-19
Figure 13.30 Coarse Scan Data Analysis Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-20
Figure 13.31 “Unknown Situation” Corrective Action . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-20
Figure 13.32 Pre Acceptance Analysis Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-21
Figure 13.33 Analysis Screen with Cursors Manually Placed . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-21
Figure 13.34 Scan Offset Calibration, Analysis Information Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-22
Figure 13.35 Hand Selecting the Triangle Data in Analysis Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-23
Figure 13.36 Accepting Adjusted Scan Results . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-23
Chapter 14 Configuration
Figure 14.1 System Geometry . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-1
Figure 14.2 Example Sample Stage Tilt Calibration Scan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-3
Figure 14.3 Example Sample Stage X-Direction Cross-Section Calculation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-4
Figure 14.4 Example Y-Direction Cross-Section Calculation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-4
Figure 14.5 Stylus Details . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-5

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Preliminary
Figure 14.6 Choose Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-6
Figure 14.7 Stage Configuration Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-7
Figure 14.8 Configuration Screen - Lowest Elevator Position . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-8
Figure 14.9 Configuration Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-10
Figure 14.10 System Configuration Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-11
Figure 14.11 Instrument Setup Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-11
Figure 14.12 Configuration Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-12
Figure 14.13 Safe Area Configuration - Sample Configuration Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-13
Figure 14.14 Safe Area Configuration - Edit Safe Area Values . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-14
Figure 14.15 License Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-15
Figure 14.16 Recipe Transport Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-16
Figure 14.17 Sequence Execution Options Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-17
Figure 14.18 Proximity Sensor Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-18
Figure 14.19 Lightweight Stage Table Top . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-20
Figure 14.20 Precision Locator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-20
Figure 14.21 Three Point Disk Locator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-21
Figure 14.22 Three Point Disk Locator Base Plate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-22
Figure 14.23 Center Hub Screw . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-22
Figure 14.24 Disk Support for the Three Point Disk Locator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-23
Figure 14.25 P-6 Precision Standard Locator Chuck . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-25
Figure 14.26 P-6 Stress Chuck . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-26
Chapter 15 Preventive Maintenance
Chapter 16 Backup and Restore
Figure 16.1 Windows Run Function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-1
Figure 16.2 Profiler Backup Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-2
Figure 16.3 Profiler Backup Command Confirmation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-3
Figure 16.4 Profiler Backup Complete . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-3
Figure 16.5 Profiler BackupFiles . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-4
Figure 16.6 Profiler Restore Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-5
Figure 16.7 Profiler Restore Directory Selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-5
Figure 16.8 Profiler Restore Directory Selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-6
Figure 16.9 Profiler Restore Command Confirmation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-6
Figure 16.10 Profiler Restore Complete . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-7
Appendix A Hazardous Materials
Figure A.1 Hazardous Content Symbol . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A-2
Appendix A P Series Profiler - Preparing for Shipment
Figure 1.1 P-6 Hook . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B-3