
2GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum
Contents
Contents
1 Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.1 Validity . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2 Intended use . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.3 Product versions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.4 Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2 Technical data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2.1 General data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2.2 Mains connection. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
2.3 Channels . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
2.4 Switching functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.5 Outputs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.6 Scope of delivery . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
2.7 Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
3 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
3.1 Unpacking . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
3.2 Mechanical installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
3.3 Connecting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
4 Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
4.1 Front panel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
4.2 Switching on and off . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
4.3 Operating modes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
4.4 Measurement mode. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
4.5 Parameter mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
5 Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
5.1 Switching function parameters (PArA SP). . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
5.2 Sensor parameters (PArA SEn) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
5.3 General parameters (PArA GEn) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
5.4 Test parameters (PArA tESt). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
6 Computer interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
6.1 Basics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
6.2 Communication . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58