
Table of contents
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Table of contents
1 About this manual. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.1 Validity. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2 Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
2 Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.1 Safety precautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.2 Protective equipment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.3 Proper use . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.4 Improper use. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
3 Transport and storage. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
3.1 Transport. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
3.2 Storage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
4 Product description. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.1 Product identification. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
4.2 Function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
4.3 Range of application . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
5 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
5.1 Set-up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
5.2 Preparatory work. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
5.3 Earthing. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.4 Anchoring the pumping station . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.5 Connecting the high vacuum side. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
5.6 Connecting the exhaust side. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
5.7 Connecting an external turbopump. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
5.8 Transportation lock . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
5.9 Filling up the operating fluid . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
5.10 Connecting accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
5.11 Connecting to the mains power supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
6 Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
6.1 Commissioning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
6.2 Operation modes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
6.3 Function description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
6.4 Saving energy . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
6.5 Operation with gas ballast valve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
6.6 Operation with fore-vacuum valve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
6.7 Switching off and venting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
7 Maintenance / replacement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
7.1 Maintenance intervals and responsibilities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
7.2 Removal of components for their maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
7.3 Changing the operating fluid . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
8 Decommissioning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
8.1 Shutting down for longer periods . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
8.2 Re-starting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
8.3 Disposal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
9 Malfunctions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
9.1 Rectifying malfunctions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
10 Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
11 Spare parts. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30