Pfeiffer Vacuum HiPace 60 P User manual

BETRIEBSANLEITUNG
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OPERATING INSTRUCTIONS
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Original
HIPACE 60 P
Turbopumpe
Turbopump

Dear Customer,
Thank you for choosing a Pfeiffer Vacuum product. Your new turbopump is designed to
support you by its performance, its perfect operation and without interfering your individual
application. The name Pfeiffer Vacuum stands for high-quality vacuum technology, a
comprehensive and complete range of top-quality products and first-class service. With this
expertise, we have acquired a multitude of skills contributing to an efficient and secure
implementation of our product.
Knowing that our product must not interfere with your actual work, we are convinced that our
product offers you the solution that supports you in the effective and trouble-free execution of
your individual application.
Please read these operating instructions before putting your product into operation for the
first time. If you have any questions or suggestions, please feel free to contact info@pfeiffer-
vacuum.de.
Further operating instructions from Pfeiffer Vacuum can be found in the Download Center on
our website.
Disclaimer of liability
These operating instructions describe all models and variants of your product. Note that your
product may not be equipped with all features described in this document. Pfeiffer Vacuum
constantly adapts its products to the latest state of the art without prior notice. Please take
into account that online operating instructions can deviate from the printed operating
instructions supplied with your product.
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misuse.
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document are protected by copyright. They may not be copied, altered, reproduced or
published without the prior written permission of Pfeiffer Vacuum.
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Inhaltsverzeichnis
1 Zu dieser Anleitung 7
1.1 Gültigkeit 7
1.1.1 Mitgeltende Dokumente 7
1.1.2 Varianten 7
1.2 Zielgruppe 7
1.3 Konventionen 7
1.3.1 Anweisungen im Text 7
1.3.2 Piktogramme 8
1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt 8
1.3.4 Abkürzungen 9
1.4 Markennachweis 9
2 Sicherheit 10
2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise 10
2.2 Sicherheitshinweise 10
2.3 Sicherheitsmaßnahmen 14
2.4 Einsatzgrenzen des Produkts 15
2.5 Bestimmungsgemäße Verwendung 15
2.6 Vorhersehbarer Fehlgebrauch 16
2.7 Personenqualifikation 16
2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 16
2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 17
2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden 17
3 Produktbeschreibung 18
3.1 Funktion 18
3.1.1 Kühlung 18
3.1.2 Rotorlager 18
3.1.3 Antrieb 19
3.2 Produkt identifizieren 19
3.2.1 Produkttypen 19
3.2.2 Produktmerkmale 19
3.3 Lieferumfang 19
4 Transport und Lagerung 20
4.1 Transport 20
4.2 Lagerung 20
5 Installation 21
5.1 Vorbereitende Arbeiten 21
5.2 Turbopumpe am Unterteil befestigen 22
5.3 Hochvakuumseite anschließen 23
5.3.1 Anforderungen für die Auslegung des Gegenflansches 23
5.3.2 Erdbebensicherheit berücksichtigen 24
5.3.3 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden 24
5.3.4 Dämpfungskörper verwenden 25
5.3.5 Einbaulagen 25
5.3.6 ISO-K Flansch an ISO-K befestigen 25
5.3.7 ISO-K Flansch an ISO-F befestigen 26
5.4 Vorvakuumseite anschließen 28
5.5 Zubehör anschließen 28
5.6 Elektrische Versorgung anschließen 29
5.6.1 Turbopumpe erden 29
5.6.2 Elektrischen Anschluss herstellen 30
6 Betrieb 32
6.1 Inbetriebnahme 32
Inhaltsverzeichnis
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6.2 Betriebsarten 32
6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit 33
6.2.2 Betrieb über Multifunktionsanschluss "X3" 33
6.2.3 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Steuergerät 33
6.2.4 Betrieb über Feldbus 33
6.3 Turbopumpe einschalten 34
6.4 Betriebsüberwachung 34
6.4.1 Betriebsanzeige über LED 34
6.4.2 Temperaturüberwachung 35
6.5 Ausschalten und Fluten 35
6.5.1 Ausschalten 35
6.5.2 Fluten 35
7 Wartung 37
7.1 Allgemeine Wartungshinweise 37
7.2 Wartungsintervalle und- zuständigkeiten 37
7.3 Betriebsmittelspeicher austauschen 38
7.3.1 Betriebsmittelspeicher demontieren 38
7.3.2 Betriebsmittelspeicher montieren 39
7.4 Antriebselektronik austauschen 40
7.5 Drehzahlvorgabe bestätigen 42
8 Außerbetriebnahme 43
8.1 Stillsetzen für längere Zeit 43
8.2 Wiederinbetriebnahme 43
9 Recycling und Entsorgung 44
9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise 44
9.2 Turbopumpe entsorgen 44
10 Störungen 45
11 Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum 47
12 Ersatzteile HiPace 60 P 49
13 Zubehör 50
13.1 Zubehörinformationen 50
13.2 Zubehör bestellen 50
14 Technische Daten und Abmessungen 52
14.1 Allgemeines 52
14.2 Technische Daten 52
14.3 Abmessungen 54
EG Konformitätserklärung 56
UK Konformitätserklärung 57
Inhaltsverzeichnis
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Tabellenverzeichnis
Tab. 1: Verwendete Abkürzungen im Dokument 9
Tab. 2: Zulässige Umgebungsbedingungen 15
Tab. 3: Produktbezeichnung von HiPace Turbopumpen 19
Tab. 4: Merkmale der Turbopumpen 19
Tab. 5: Anforderungen für die Befestigung der Turbopumpen am Unterteil 22
Tab. 6: Anforderungen für die Auslegung des kundenseitigen Hochvakuuman-
schlusses
23
Tab. 7: Verhalten des Saugvermögens bei Splitterschutz oder Schutzgitter 24
Tab. 8: Werkseitige Einstellung der Antriebselektronik von Turbopumpen bei Auslie-
ferung
32
Tab. 9: Verhalten und Bedeutung der LEDs an der Antriebselektronik 35
Tab. 10: Werkseinstellungen für verzögertes Fluten bei Turbopumpen 36
Tab. 11: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen 42
Tab. 12: Störungsbehebung bei Turbopumpen 46
Tab. 13: Übersicht über die verfügbaren Ersatzteile für HiPace 60 P 49
Tab. 14: Zubehör 51
Tab. 15: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten 52
Tab. 16: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz 52
Tab. 17: Technische Daten für HiPace 60 P | 24 V 54
Tabellenverzeichnis
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Abbildungsverzeichnis
Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt 9
Abb. 2: Aufbau HiPace 60 P 18
Abb. 3: Beispiel: Sicherheitsverbindungen 24
Abb. 4: Empfohlene Ausrichtung bei Verwendung ölgedichteter Vorpumpen 25
Abb. 5: Flanschverbindung ISO-K zu ISO-K, Klammerschraube 26
Abb. 6: Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Pratze und Gewindebohrung 26
Abb. 7: Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Sechskantschraube und Gewindeboh-
rung
26
Abb. 8: Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Stiftschraube und Gewindebohrung 27
Abb. 9: Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Stiftschraube und Durchgangsbohrung 27
Abb. 10: Beispiel für den Vorvakuumanschluss an HiPace 80 28
Abb. 11: Beispiel für den Zubehöranschluss über Adapter TCS 12 29
Abb. 12: Beispiel: Anschluss des Erdungskabels 30
Abb. 13: Antriebselektronik mit Netzteil verbinden 31
Abb. 14: Betriebsmittelspeicher demontieren 39
Abb. 15: Betriebsmittelspeicher montieren 40
Abb. 16: Demontage und Montage der Antriebselektronik 41
Abb. 17: Ersatzteile HiPace 60 P 49
Abb. 18: Abmessungen HiPace 60 P | DN 63 ISO-K 54
Abb. 19: Abmessungen HiPace 60 P | DN 63 CF-F 54
Abb. 20: Abmessungen HiPace 60 P | DN 40 ISO-KF 55
Abbildungsverzeichnis
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1 Zu dieser Anleitung
WICHTIG
Vor Gebrauch sorgfältig lesen.
Aufbewahren für späteres Nachschlagen.
1.1 Gültigkeit
Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be-
schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den
sicheren Gebrauch des Geräts. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Angaben
in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts. Die Doku-
mentation behält ihre Gültigkeit, sofern kundenseitig keine Veränderungen am Produkt vorgenommen
werden.
1.1.1 Mitgeltende Dokumente
Dokument Nummer
Betriebsanleitung "Antriebselektronik" TC 110 Standard PT 0204 BN
Betriebsanleitung "Antriebselektronik" TC 110 PB PT 0245 BN
Betriebsanleitung "Antriebselektronik" TC 110 E74 PT 0301 BN
Betriebsanleitung "Antriebselektronik" TC 110 RS PT 0351 BN
Konformitätserklärung Bestandteil dieses Dokuments
Sie finden diese Dokumente im Pfeiffer Vacuum Download Center.
1.1.2 Varianten
●HiPace 60 P, DN 63 ISO-K, TC 110
1.2 Zielgruppe
Diese Betriebsanleitung richtet sich an alle Personen, die das Produkt
●transportieren,
●aufstellen (installieren),
●bedienen und betreiben,
●außerbetriebnehmen,
●warten und reinigen,
●lagern oder entsorgen.
Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen durchführen, die eine geeignete
technische Ausbildung besitzen (Fachpersonal) oder eine entsprechende Schulung durch Pfeiffer Vacu-
um erhalten haben.
1.3 Konventionen
1.3.1 Anweisungen im Text
Handlungsanweisungen im Dokument folgen einem generellen und in sich abgeschlossenen Aufbau.
Die notwendige Tätigkeit ist durch einen einzelnen oder mehrere Handlungsschritte gekennzeichnet.
Einzelner Handlungsschritt
Ein liegendes gefülltes Dreieck kennzeichnet den einzigen Handlungsschritt einer Tätigkeit.
►Dies ist ein einzelner Handlungsschritt.
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Abfolge von mehreren Handlungsschritten
Die numerische Aufzählung kennzeichnet eine Tätigkeit mit mehreren notwendigen Handlungsschritten.
1. Handlungsschritt 1
2. Handlungsschritt 2
3. ...
1.3.2 Piktogramme
Im Dokument verwendete Piktogramme kennzeichnen nützliche Informationen.
Hinweis
Tipp
QR-Code verlinkt auf weiterführende Online-Informationen.
Wir empfehlen die Ansicht auf einem Tabletcomputer. Beachten Sie anfallende Datenmen-
gen.
1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt
Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung.
Oil
S/N
Mod.
HiPace 60 P
PM PXX XXX
- - - - - - - -
P/N
n, f
Mass
PM XXX XXX -T
90000 1/min, 1500 Hz
_ _._ kg
D-35614 Asslar Berliner Str. 43
Made in Germany 2023/07
C US
UL / CSA 61010-1
TÜV Rheinland
Type 12
IP44
Typenschild
Das Typenschild der Turbopumpe befindet sich am Unterteil
der Vakuumpumpe.
Typenschild der Antriebselektronik
Das Typenschild der Antriebselektronik befindet sich auf deren
Oberseite
Hinweis Betriebsanleitung
Dieser Aufkleber weist darauf hin, vor allen Tätigkeiten diese
Betriebsanleitung zu lesen.
Schutzklasse
Dieser Aufkleber beschreibt die Schutzklasse 1 für das Pro-
dukt. Die Platzierung zeigt die Position für den Erdungsan-
schluss an.
warranty seal
Verschlusssiegel
Das Produkt ist ab Werk versiegelt. Beschädigung oder Entfer-
nen eines Verschlusssiegels führt zum Verlust der Gewährleis-
tung.
Zu dieser Anleitung
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4
5
3
12
Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt
1 Hinweis Betriebsanleitung 5 Hinweis Erdungsanschluss
2 Typenschild Antriebselektronik 4 Typenschild der Turbopumpe
3 Verschlusssiegel
1.3.4 Abkürzungen
Abkürzung Bedeutung im Dokument
CF Flansch: Anschlussverbindung metallgedichtet gemäß ISO 3669
dBetrag des Durchmessers (in mm)
DC Gleichstrom
DN Nomineller Durchmesser als Größenbeschreibung
fBetrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz)
HPU Handheld Programming Unit. Assistent zur Steuerung und Kontrolle der Pumpenpara-
meter
HV Hochvakuumflansch, Hochvakuumseite
ISO Flansch: Anschlussverbindung gemäß ISO 1609 und ISO 2861
LED Leuchtdiode
FE Funktionserde (functional earth)
FKM Fluor-Polymer-Kautschuk
[P:xxx] Steuerparameter der Antriebselektronik. Fettgedruckt als dreistellige Nummer in ecki-
gen Klammern. Häufig in Verbindung mit einer Kurzbezeichnung angezeigt.
Beispiel: [P:312] Softwareversion
SW Schlüsselweite
TTemperatur (in °C)
TC Antriebselektronik der Turbopumpe (turbo controller)
TPS Spannungsversorgung (turbo power supply)
VV Vorvakuumflansch, Vorvakuumanschluss
X3 15-polige D-Sub-Anschlussbuchse an der Antriebselektronik der Turbopumpe
Tab. 1: Verwendete Abkürzungen im Dokument
1.4 Markennachweis
●Torx® ist eine Marke von Acument Intellectual Properties, LLC.
●Profibus® ist eine Marke der Profibus Nutzerorganisation e.V.
Zu dieser Anleitung
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2 Sicherheit
2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise
Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt.
GEFAHR
Unmittelbar bevorstehende Gefahr
Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu
schweren Verletzungen führt.
►Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation
WARNUNG
Möglicherweise bevorstehende Gefahr
Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-
zungen führen kann.
►Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation
VORSICHT
Möglicherweise bevorstehende Gefahr
Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zu leichten Verletzungen führen
kann.
►Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation
HINWEIS
Gefahr von Sachschäden
Wird verwendet, um auf Handlungen aufmerksam zu machen, die nicht auf Personenschäden bezo-
gen sind.
►Anweisung zur Vermeidung von Sachschäden
Hinweise, Tipps oder Beispiele kennzeichnen wichtige Informationen zum Produkt oder zu
diesem Dokument.
2.2 Sicherheitshinweise
Alle Sicherheitshinweise in diesem Dokument beruhen auf Ergebnissen der Risikobeurteilung gemäß
Maschinenrichtlinie 2006/42/EG Anhang I und EN ISO 12100 Kapitel 5. Soweit zutreffend wurden alle
Lebensphasen des Produkts berücksichtigt.
Risiken beim Transport
WARNUNG
Gefahr schwerer Verletzungen durch herabfallende Gegenstände
Durch das Herabfallen von Gegenständen besteht die Gefahr von Verletzungen an Gliedmaßen bis
hin zu Knochenbrüchen.
►Seien Sie beim Transport der Produkte von Hand besonders vorsichtig und aufmerksam.
►Stapeln Sie die Produkte nicht.
►Tragen Sie Schutzausrüstungen, z. B. Sicherheitsschuhe.
Sicherheit
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