Thyracont VD10 User manual

VD10
Digitales Vakuum Anzeige-
und Regelgerät
Digital Vacuum Display
and Control Unit
Betriebsanleitung
Operating Instructions

2
vd10s8-de-131129
Inhalt
1Hinweise für Ihre Sicherheit....................................................... 3
2Das Anzeige- und Regelgerät VD10........................................... 4
2.1 Zur Orientierung...................................................................... 4
2.2 Lieferumfang........................................................................... 4
2.3 Produktbeschreibung .............................................................. 5
3Installation .................................................................................. 7
3.1 Hinweise zur Installation ......................................................... 7
3.2 Netzanschluss ........................................................................ 7
3.3 Transmitter-Anschluss RS485................................................. 8
3.4 Transmitter-Anschluss 0-10 V ................................................. 9
3.5 Schalt-Ausgänge ...................................................................10
3.6 USB-Anschluss......................................................................10
4Betrieb .......................................................................................11
4.1 Inbetriebnahme......................................................................11
4.2 Menu PRESSURE - Absolutdruckanzeige..............................12
4.3 Menu SENSOR – Parameter und Funktionen.........................13
4.4 Menu RELAY - Schaltausgänge.............................................16
4.5 Menu DISPLAY - Anzeigeoptionen.........................................18
5Kommunikation .........................................................................19
5.1 Kommunikationsprotokoll .......................................................19
5.2 Befehlsübersicht ....................................................................20
6Wartung und Service.................................................................21
7Technische Daten......................................................................23
Konformitätserklärung ......................................................................24
Hersteller / Manufacturer:
Thyracont Vacuum Instruments GmbH
Max Emanuel Straße 10
D 94036 Passau
Tel.: ++49/851/95986-0
Fax.: ++49/851/95986-40
email: [e-mail]
Internet: http://www.thyracont.com

3
vd10s8-de-131129
1 Hinweise für Ihre Sicherheit
Lesen und befolgen Sie alle Punkte dieser Anleitung
Informieren Sie sich über Gefahren, die vom Gerät ausgehen und Gefahren, die von
Ihrer Anlage ausgehen
Beachten Sie die Sicherheits- und Unfall-Verhütungsvorschriften
Prüfen Sie regelmäßig die Einhaltung aller Schutzmaßnahmen
Installieren Sie das VD10 unter Einhaltung der entsprechenden Umgebungsbedin-
gungen; die Schutzart ist IP20, d.h. die Geräte sind geschützt gegen Eindringen von
Fremdkörpern
Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die einschlägigen
Vorschriften und Schutzmaßnahmen
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen zwischen Werkstoffen und Prozessmedien
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen der Prozessmedien infolge der
Eigenerwärmung des Produkts
Gerät nicht eigenmächtig umbauen oder verändern
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination
Beachten Sie im Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften
und Schutzmaßnahmen
Legen Sie beim Einsenden des Gerätes eine Kontaminationsbescheinigung bei
Geben Sie die Sicherheitsvermerke an andere Benutzer weiter
Piktogramm-Definitionen
Gefahr eines elektrischen Schlages beim Berühren der
Kontakte
Gefahr von Personenschäden
Gefahr von Schäden an Gerät oder Anlage
Wichtige Information über das Produkt, dessen Handhabung
oder den jeweiligen Teil der Betriebsanleitung, auf den beson-
ders aufmerksam gemacht werden soll

4
vd10s8-de-131129
2 Das Anzeige- und Regelgerät VD10
2.1 Zur Orientierung
Diese Betriebsanleitung ist gültig für das Produkt mit der Artikelnummer
VD10S8.
Sie finden die Artikelnummer auf dem Typenschild. Technische Änderungen
ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten.
2.2 Lieferumfang
Zum Lieferumfang gehören:
-VD10 Anzeige- und Regelgerät
-Netzkabel
-Gegenstecker f. Relaisausgang
-Befestigungsschrauben zur Schalttafelmontage (19"-System)
-Betriebsanleitung
Lieferbares Zubehör:
-Smartline Transmitter VSR, 1200 – 1x10-4 mbar
-Smartline Transmitter VSP, 1000 – 1x10-4 mbar
-Smartline Transmitter VSM, 1000 – 5x10-9 mbar
-Smartline Transmitter VSH, 1000 – 5x10-10 mbar
-Messkabel f. Smartline Transmitter 2m, W1515002
-Messkabel f Smartline Transmitter 6m, W1515006
-Transmitter VSP63MV, 1000 – 1x10-4 mbar
-Messkabel f. VSP63MV, 2m, W0606002
-Messkabel f. VSP63MV, 6m, W0606006
-USB-Kabel zum PC-Anschluss, 2m, WUSB0002
-Windows-Software VacuGraph, VGR

5
vd10s8-de-131129
2.3 Produktbeschreibung
Das VD10 dient zum Anzeigen und Regeln von Absolutdruck in Verbindung mit
Thyracont Vakuum-Transmittern der Smartline.
Es können bis zu 4 Messkanäle gleichzeitig angezeigt und geregelt werden.
Über eine serielle Schnittstelle lässt sich der Regler vom PC aus steuern.
1 LCD Graphikdisplay
2 Taste Set
3 Taste Menu
4 Funktionstasten
5 Pfeiltasten auf/ab
6 Gerätesicherung 2,0AT
7 Netzschalter
8 Netzanschluss 95 – 265 VAC, 50/60 Hz
9 USB Schnittstelle
10 2x Signaleingang 0-10V für VSP63MV
11 Transmitter-Anschluss RS485 für Smartline Transmitter
12 Relaiskontakte

6
vd10s8-de-131129
Bestimmungsgemäße Verwendung
Das VD10 dient in Verbindung mit Transmittern der Firma Thyracont zur
Messung und Regelung von Absolutdruck. Es darf nur an geeignete und hierfür
vorgesehene Komponenten angeschlossen werden.
Nicht bestimmungsgemäße Verwendung
Als nicht bestimmungsgemäß gilt der Einsatz zu Zwecken, die von oben
genannten abweichen, insbesondere:
-der Anschluss an Geräte oder Komponenten, die laut ihrer Betriebs-
anleitung hierfür nicht vorgesehen sind
-der Anschluss an Geräte, die berührbare, spannungsführende Teile
aufweisen.
Bei nicht bestimmungsgemäßem Einsatz erlischt jeglicher Haftungs- und
Gewährleistungsanspruch
Die Verantwortung im Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien
liegt beim Betreiber.

7
vd10s8-de-131129
3 Installation
3.1 Hinweise zur Installation
Keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät
vornehmen! Vor dem Anschließen der Spannungsversorgung da-
rauf achten, dass der auf dem Typenschild des VD10 angegebene
Spannungsbereich mit der örtlichen Netzspannung übereinstimmt.
Aufstellungsort: Innenräume
Für nicht vollklimatisierte Betriebsräume gilt:
Temperatur: +0°C ... +40°C
Rel. Luftfeuchte: 5 - 85%, nicht betauend
Luftdruck: 860 - 1060 hPa
3.2 Netzanschluss
Der Netzstecker darf nur in eine Netzsteckdose mit Schutzkontakt
eingesteckt werden. Hierzu sind 3-polige Netzkabel mit fachge-
rechtem Schutzleiteranschluss zu verwenden.
Netzanschlussbuchse:
6: Gerätesicherung 2,0 AT
7: Netzschalter
8: Netzanschluss

8
vd10s8-de-131129
3.3 Transmitter-Anschluss RS485
Das VD10 muss sich im ausgeschalteten Zustand befinden, wenn
Transmitter angeschlossen werden.
Nichtbeachten dieser Anweisung kann zu Schäden am Gerät füh-
ren.
An diesen Anschluss des Geräts können Thyracont Smartline-Transmitter für
Absolutdruck mit digitalem Signalausgang RS485 angeschlossen werden. Die
Transmitter werden vom VD10 mit Strom versorgt.
18
15
9
SubD,
Pin 1:
Pin 2,3:
Pin 4:
Pin 5:
Pin 6-9:
Pin 10:
Pin 11:
Pin 12:
Pin 13-15:
15polig, männlich
Identifikation
n.c.
Spannungsversorgung 24 VDC
Spannungsversorgung GND
n.c.
RS485 +
RS485 -
Shield
n.c.
Transmitter am digitalen RS485-Anschluss können beliebig den Kanalnummern
1 bis 4 zugeordnet werden. Dazu befindet sich an den Transmittern ein Adress-
Schalter.
Sind auch analoge Transmitter-Anschlüsse belegt, so können die dort fest
zugeordneten Kanalnummern nicht mehr für Transmitter am RS485-Anschluss
verwendet werden (siehe Abschnitt 3.4).
Die Kommunikation über RS485 läuft gemäß Thyracont-Schnittstellenprotokoll.

9
vd10s8-de-131129
1
2
3
4
5
6
3.4 Transmitter-Anschluss 0-10 V
Das VD10 muss sich im ausgeschalteten Zustand befinden, wenn
Transmitter angeschlossen werden.
Nichtbeachten dieser Anweisung kann zu Schäden am Gerät füh-
ren.
An diesen beiden Buchsen des Geräts können Thyracont Pirani Transmitter für
Absolutdruck Typ VSP63MV mit 0 - 10 V Signalausgang angeschlossen werden.
Die Transmitter werden vom VD10 mit Strom versorgt.
Amphenol
Pin 1:
Pin 2:
Pin 3:
Pin 4:
Pin 5:
Pin 6:
C91E, 6pol, weiblich
Identifikation
n.c.
Signaleingang, 0-10V
GND
24 VDC, max. 8W
AGND
Für die beiden analogen Transmitter-Anschlüsse existiert eine feste
Kanalzuordnung zu Kanal 1 bzw. Kanal 2.
Ist also ein Analoganschluss belegt, so kann die betreffende
Kanalnummer nicht mehr für Transmitter am digitalen RS485-
Anschluss verwendet werden!
Beispiele:
Kanal 1: analog, VSP63MV Kanal 2, 3, 4 können digital belegt werden
Kanal 2: analog, VSP63MV Kanal 1, 3, 4 können digital belegt werden
Kanal 1, 2: analog, VSP63MV Kanal 3, 4 können digital belegt werden

10
vd10s8-de-131129
3.5 Schalt-Ausgänge
Beigelegten Gegenstecker zum Verdrahten verwenden.
Stecker nur in spannungsfreiem Zustand anschließen, anste-
cken oder abziehen.
Ausgänge mit max. 2 A / 40 VDC bzw. 3 A /250 VAC belasten.
Phoenix Combicon, 16polig
Darstellung der Kontakte in
Ruhelage, d.h. Schaltfunktion
"aus"
Zur externen Steuerung stehen die Schaltfunktionen des VD10 in Form von 8
Relais-Schaltausgängen (Schließer) SP1 bis SP8 zur Verfügung.
Die Schaltausgänge können den verschiedenen Messkanälen oder
Funktionstasten frei zugeordnet werden (vgl. Abschnitt 4.4)
3.6 USB-Anschluss
1:
2:
3:
4:
5:
Minibuchse Typ B
VCC, +5V
Data –
Data +
GND
GND
Der USB-Anschluss kann mit einem PC verbunden werden, um in z.B. in Verbin-
dung mit der Windows-Software VacuGraphTM Messungen zu dokumentieren.

11
vd10s8-de-131129
4 Betrieb
4.1 Inbetriebnahme
Zunächst den oder die verwendeten Vakuumtransmitter an die entsprechenden
Signaleingänge RS485 bzw. 0-10V anschließen.
Die benötigten Steuerleitungen der Schaltausgänge sind entsprechend den
Anforderungen zu verkabeln.
Zuletzt das Netzkabel anstecken.
Nach dem Einschalten des Netzschalters führt das Gerät zunächst einen
Selbsttest durch und zeigt im Display die Versionsnummer der Gerätesoftware
an.
Anschließend werden die angeschlossenen Transmitter erfasst,
hierbei erscheint die Anzeige "scan".
Angeschlossene Transmitter werden nur beim Einschalten des
VD10 erkannt!
Das Gerät befindet sich nun im Anzeigemodus / Menu PRESSURE.
Falls der Regler –wie in Abschnitt 4.5 beschrieben- startaktiv konfiguriert wurde
(start active "on"), steuert das VD10 simultan mit der Anzeige der Druck-Istwerte
bereits die Relais-Schaltausgänge.
Tastenbeschreibung:
Menu-Auswahl (Umschalten auf das nächste Menu)
Start/Stop-Funktion für Regelung (s. Abschnitt 4.2)
Bestätigung eingestellter Werte und Umschalten auf die nächste Einga-
beposition (blinkend invers dargestellt)
Eingabewert inkrementieren
Eingabewert dekrementieren
Funktionstaste F1
Funktionstaste F2
set
F1
F2

12
vd10s8-de-131129
4.2 Menu PRESSURE - Absolutdruckanzeige
Im Anzeigemodus wird im Display der momentan gemessene Absolutdruck dar-
gestellt. Die Druckanzeige erfolgt oberhalb 1 mbar (Torr...) numerisch, unterhalb in
Exponentialdarstellung.
Darüberhinaus werden Kanalnummer (ch: …), Reglerstatus (active/inactive) und
-je nach Darstellungsart- die Relaiszustände angezeigt.
Der Status der Relais-Schaltausgänge wird hierbei über die Ziffern 1 bis 8 angezeigt,
wobei die Ziffern am unteren Display-Rand groß dargestellt werden, sobald das
zugehörige Relais eingeschaltet ist.
Folgende Anzeigearten können gewählt werden (s. Abschnitt 4.5):
Einzelkanal-Anzeige digital
Einzelkanal-Anzeige analog
Mehrkanal-Anzeige digital

13
vd10s8-de-131129
Bei Einzelkanal-Anzeige kann mit den Pfeiltasten zwischen den
Messkanälen umgeschaltet werden.
Menu-Auswahl (Umschalten zum nächsten Menu)
Im Menu PRESSURE kann mit der set-Taste die Regelung aktiviert bzw.
gestoppt werden.
4.3 Menu SENSOR – Parameter und Funktionen
Im Menu Sensor werden Kanalnummer, Sensortyp und die jeweils zugehörigen
Sensorparameter bzw. Sensorfunktionen angezeigt.
Eingabewert mit den Pfeiltasten einstellen.
Eingabe bzw. eingestellten Wert bestätigen und Umschalten zum nächs-
ten Parameter (blinkend invers dargestellt)
channel: Kanal auswählen
type: Transmittertyp (nicht editierbar)
set
set

14
vd10s8-de-131129
corr: Gasart-Korrekturfaktor einstellen
Bei Totaldruck-Transmittern, die ein gasartabhängiges Messprinzip
verwenden, kann zur Anpassung der Druckanzeige ein Gasart-
Korrekturfaktor eingegeben werden. Dadurch wird im Bereich unter
0,1 mbar wieder eine korrekte Druckanzeige erzielt.
Der Wert des einzustellenden Faktors ist der Betriebsanleitung des
verwendeten Transmitters oder geeigneter Fachliteratur zu entneh-
men. Der Wertebereich des Korrekturfaktors reicht von 0,20 bis
8,00.
Bei Kombisensoren können separate Faktoren für beide Sensoren
eingegeben werden, der Sensortyp wird hochgestellt hinter dem
Zahlenwert des Faktors angezeigt, z.B. PI für Pirani, CC für Magnet-
ron (Kaltkathode) oder BA für Bayard Alpert (Heißkathode).
trMode: Übergangsmodus wählen
Bei Totaldruck-Transmittern mit Kombisensoren ist einstellbar, ob im
Übergangsbereich beider Sensoren eine harte Umschaltung zwi-
schen den Sensoren ("switch") oder eine kontinuierliche
Wertangleichung ("trans") erfolgen soll.
ion/fil: Ionisationssensor aktivieren/deaktivieren
Bei Totaldruck-Transmittern mit Kombisensorik kommt für den
Hochvakuumbereich ein Ionisationssensor (Heiß- oder Kaltkathode)
zum Einsatz.
Bei bestimmten Prozess-Schritten kann es gewünscht sein, das von
der Transmitterelektronik automatisch gesteuerte Einschalten des
Ionisationssensors zu unterdrücken.
"off" kein Einschalten des Ionisationssensors
"on" automatisches Ein- und Abschalten
Bei deaktiviertem Ionisationssensor verhalten sich die Transmitter-
typen VSM und VSH wie reine Pirani-Messumformer mit
Messbereich 1000 - 1x10-4 mbar. Entsprechend bedeutet die Aus-
gabe "ur" in diesem Fall, dass der Druckwert unterhalb 1x10-4 mbar
liegt.
Die unter ion/fil vorgenommenen Einstellungen werden nur
temporär gespeichert. Nach Ausfall oder Ausschalten der
Spannungsversorgung befinden sich die Transmitter immer im
Modus " Ionisationssensor aktiv" !

15
vd10s8-de-131129
degas: Degas-Funktion Heißkathode
Ablagerungen und adsorbierte Gasmoleküle auf den Elektroden eines
Heißkathodensensors (VSH) können zu erhöhtem Ausgasen im Ultra-
hochvakuum führen sowie Instabilitäten im Mess-Signal verursachen. In
diesem Fall ist es angebracht, bei einem Druck unterhalb 2.0x10-6mbar
die Anode des Sensors durch Ausheizen zu reinigen. Die Anode er-
wärmt sich dabei durch ohmsche Heizung auf bis zu 800°C.
Zum Ausheizen den Parameter auf "on" setzen und mit der set-Taste
bestätigen. Der Ausheizvorgang wird nach ca. 3 Minuten selbständig
beendet, kann jedoch jederzeit ausgeschaltet werden indem der Degas-
Parameter wieder auf "off" gestellt wird.
Während des Ausheizvorgangs werden keine aktuellen Mess-
werte ausgegeben!
Das Einschalten der Degas-Funktion ist bei deaktivierter Heiß-
kathode (fil "off") nicht möglich.
adjust: Transmitter nachjustieren
Die Transmitter sind ab Werk bei Versorgungsspannung 24V ste-
hend, d.h. mit dem Flansch nach unten, abgeglichen.
Andere Einbaulagen, Einsatz unter anderen klimatischen Bedingun-
gen, extreme Temperaturschwankungen, Alterung oder
Verschmutzung können ein Nachjustieren erforderlich machen.
Bei den Transmittern VSM und VSH mit Kombisensoren betrifft
das Nachjustieren ausschließlich den Pirani-Sensor. Heiß- und
Kaltkathodensensoren werden nicht justiert.
Um optimale Ergebnisse beim Nachjustieren zu erzielen, emp-
fehlen wir vor jedem Abgleich eine Warmlaufphase von
mindestens 5 Minuten beim jeweiligen Kalibrierdruck zu beach-
ten. Beim Nullabgleich sollte der Ist-Druck kleiner 5,0x10-5mbar
sein.
Zum Nachjustieren auf Atmosphärendruck den Parameter auf "Hi" set-
zen und mit der set-Taste bestätigen.
Zum Nachjustieren auf Nulldruck den Parameter auf "Lo" setzen und mit
der set-Taste bestätigen.

16
vd10s8-de-131129
4.4 Menu RELAY - Schaltausgänge
Im Menu RELAY erfolgen die Zuordnung der Relais-Schaltausgänge sowie die
Einstellung der Relais-Parameter.
rel:Relais-Nummer auswählen
- - >: Relais-Zuordung einstellen
Jedes Relais kann alternativ einem Messkanal ("ch1" bis "ch4") oder
einer Funktionstaste ("F1" oder "F2") zugeordnet bzw. direkt auf "on"
oder "off" gesetzt werden.
Ist ein Relais der Funktionstaste F1 oder F2 zugeordnet, so kann es
über die Taste am Gerät manuell geschaltet werden.
Die Einstellung "on" wird wirksam, sobald die Regelung eingeschal-
tet ist.
set: Sollwert einstellen
Der Sollwert ist über den gesamten Messbereich einstellbar. Es ist
jedoch darauf zu achten, dass der Sollwert mindestens um den Wert
der eingestellten Hysterese von den Messbereichsgrenzen entfernt
liegt.
hyst: Schalt-Hysterese einstellen
Die Hysterese kann bis zu 90% des Sollwertes betragen.
Zu kleine Werte für die Hysterese können ein "Flackern" des zuge-
hörigen Relais zur Folge haben!

17
vd10s8-de-131129
mode: Schaltverhalten
Für das Schaltverhalten eines Relais können die Einstellungen
"normal" oder "invers" gewählt werden. Zur Erläuterung siehe Abbil-
dung unten.
Ist die Regelung aktiv, werden die Relais entsprechend dieser Konfiguration
geschaltet.
Der Status der Relais-Schaltausgänge wird über die Ziffern 1 bis 8 angezeigt,
wobei die Ziffern am unteren Display-Rand groß dargestellt werden, sobald das
zugehörige Relais eingeschaltet ist.
Werden zwei Relais mit Schaltverhalten "normal" und "invers"
einem Kanal zugeordnet, so lässt sich damit eine Dreipunkt-
Regelung für diesen Kanal realisieren.

18
vd10s8-de-131129
4.5 Menu DISPLAY - Anzeigeoptionen
Im Menu DISPLAY werden Anzeigenoptionen sowie der Startmodus der
Regelung eingestellt.
unit: Anzeige-Einheit wählen
Einstellbar sind mbar, Torr, Pa, hPa.
display
mode: Anzeige-Art wählen
digital Einkanal-Anzeige digital
analog Einkanal-Anzeige analog (Bargraph)
multi Mehrkanal-Anzeige digital
(vgl. Abschnitt 4.2)
start
active: Startmodus der Regelung
on Die Regelung ist start-aktiv, d.h. die Relais werden angesteu-
ert, sobald das Gerät eingeschaltet und der automatische Selbsttest
beendet ist.
off Die Regelung muss nach Einschalten des Geräts manuell ge-
startet und gestoppt werden.
(vgl. Abschnitt 4.1 und 4.2)
Ein Starten oder Stoppen der Regelung per Softwarebefehl über
die serielle Schnittstelle ist unabhängig von den hier gemachten
Einstellungen in jedem Falle möglich.

19
vd10s8-de-131129
5 Kommunikation
5.1 Kommunikationsprotokoll
Die Kommunikation über die serielle Schnittstelle des VD10 erfolgt gemäß
Thyracont-Protokoll. Die Befehle werden in folgendem Rahmen als Zeichenfolge
im ASCII-Code übertragen:
Address Code
Data cks CR
Address: 3 Bytes, dezimal;
Code: 1 Byte, Befehlsparameter, Großbuchstaben für Lesen,
Kleinbuchstaben für Schreiben
Data: Datenfeld, max. 6 Bytes; kann je nach Code auch fehlen
cks: 1 Byte, Checksumme, definiert als Summe über alle ASCII Codes
der Felder Adresse, Code und Data, modulo 64 plus 64.
CR: Carriage Return (0Dh, 13d)
Datenformate:
BOOLEAN 1 Byte
STRING: max. 6 Bytes
UNSIGNED INT: 6 Bytes mit führenden Nullen
FLOAT: 6 Bytes, Exponentialformat
4 Bytes Mantisse (entspricht Mantissenwert x 1000)
2 Bytes Exponent, Offset 20
FLOAT-Werte werden in hPa (mbar) übertragen!
Beispiel: Der Wert "460016" in einem Float-Datenfeld steht für 4.6x10-4 mbar.
Schnittstellen-Parameter:
9600 baud, 8 Datenbits, 1 Stopbit, keine Parität

20
vd10s8-de-131129
5.2 Befehlsübersicht
Über die serielle Schnittstelle des VD10 sind folgende Funktionen verfügbar:
Befehlstyp Code Datentyp Funktion
Gerätetyp T STRING lesen
Messwert M FLOAT lesen
Regelung start/stop A, a BOOLEAN lesen A, schreiben a
Tastaturverriegelung K, k BOOLEAN lesen K, schreiben k
Zur Abfrage von Transmitter-Typ oder Messwerten der Kanäle 1 bis 4 sind
entsprechend die Adress-Einstellungen "001" bis "004" zu verwenden.
Folgende Datenstrings sind als Antwort auf eine Typanfrage möglich:
"V10205" Messkanal VD10 mit VSR
"V10206" Messkanal VD10 mit VSP
"V10207" Messkanal VD10 mit VSM
"V10208" Messkanal VD10 mit VSH
Für die Befehls-Parameter "a/A" und "k/K" kann Adresse "001" verwendet
werden.
Beispiele:
Aktion Telegramm an
VD10
Antwort-Telegramm
vom VD10
Messwert
Kanal
4
lesen
"00
4
M
a
C
R
"
"001M260014
N
C
R
"
(  2.6x10-6 mbar)
Regelung starten "001a1c
C
R" "001a1c
C
R"
Für weitere Informationen beachten Sie bitte die gesonderte Beschreibung des
Thyracont-Kommunikationsprotokolls.