Varian 929-7015M002 User manual

CN929-7015M002
JUNE 2007
(D) BEDIENUNGSHANDBUCH
(GB) INSTRUCTION MANUAL
E-Net Dual
Controller
Model
929-7015M002
vacuum technologies

E-Net Dual
Controller

GEBRAUCHSANLEITUNG …................................................................…………....….. 1
ISTRUCTIONS FOR USE .............................................................................………….. 8
TECHNISCHE ANGABEN …........................................................................…………... 15
BESCHREIBUNG E-NET DUAL CONTROLLER............................................................................. 15
Algorithmus zur Verteilung der verfügbaren Leistung ............................................................ 15
CONTROLLER-MERKMALE............................................................................................................ 16
Ausgangsspannungen............................................................................................................ 17
CONTROLLER-ÜBERSICHT ........................................................................................................... 18
SICHERUNGSGEHÄUSE ................................................................................................................ 19
VERBUNDLEITUNGEN.................................................................................................................... 19
BETRIEBSEINSCHALTMODUS ...................................................................................................... 19
Betriebsschutzmodus .............................................................................................................19
Betriebverlaufmodus............................................................................................................... 20
Fernverbinder E/A .................................................................................................................. 20
Fernanschluss E/A Ausgangssignal....................................................................................... 21
Fernanschluss E/A Verbindereingangssignal......................................................................... 22
Fernleistung Ein...................................................................................................................... 23
Seriensteckverbinder als Extra............................................................................................... 25
GEBRAUCH ..................................................................................................................................... 26
Allgemeines ............................................................................................................................ 25
Abkürzungen .......................................................................................................................... 25
EINSCHALTVORGANG ................................................................................................................... 25
BETRIEBSMODI............................................................................................................................... 26
Meldungen, die zu den Modustasten gehören........................................................................ 26
Hochspannungskommandos.................................................................................................. 26
EINHEIT KONFIGURIEREN............................................................................................................. 27
Meldungen, die zu den Modustasten gehören........................................................................ 27
Meldungen, die zu den Tastenmenü des Serienkanals gehören ........................................... 32
SERIENSCHNITTSTELLE ............................................................................................................... 32
Allegemeines .......................................................................................................................... 32
Allgemeine Definitionen des Hardware-Protokolls ................................................................. 32
Hardwaresignalverwaltung ..................................................................................................... 32
Übermittlungsformat und Auszeit ........................................................................................... 32
Datenaustausch-Fehlerverwaltung......................................................................................... 33
SOFTWARE-PROTOKOLL..............................................................................................................34
Binärpotokoll........................................................................................................................... 35
BEFEHLLISTE.................................................................................................................................. 36
Allgemeine Befehle................................................................................................................. 36
Befehlnummernwert ...............................................................................................................37
HV ein/aus Befehlnummern.................................................................................................... 37
Einheitsnummer und Einheitstyp Befehlnummern.................................................................. 38
Anschlusstatusnummern ........................................................................................................ 38
Hochspannungbefehle............................................................................................................ 39
Fern E/A Befehlnummern....................................................................................................... 40
Konfigurationsbefehle............................................................................................................. 41
Serieneigenschaftenbefehlnummern...................................................................................... 42
Protokollfehler......................................................................................................................... 43
E-Net Dual-Controller Fehlerstatus ........................................................................................ 44

ETHERNET-SCHNITTSTELLE ........................................................................................................ 45
Übersicht ................................................................................................................................ 45
IP-Addressenkonfiguration ..................................................................................................... 45
RS232 Parameterkonfiguration .............................................................................................. 51
ZUBEHÖRTEILE/OPTIONEN .......................................................................................................... 54
TECHNICAL INFORMATION .......................................................................…………... 55
E-NET DUAL CONTROLLER DESCRIPTION ................................................................................. 55
Algorithm for the Distribution of the Available Power ............................................................. 55
CONTROLLER SPECIFICATIONS .................................................................................................. 55
Output Voltages...................................................................................................................... 56
CONTROLLER OUTLINE ................................................................................................................ 58
FUSE HOLDER ................................................................................................................................ 59
INTERCONNECTIONS .................................................................................................................... 59
START MODE OF OPERATION...................................................................................................... 59
Protect Mode of Operation ..................................................................................................... 59
Step Mode of Operation ......................................................................................................... 60
Remote I/O Connector............................................................................................................60
Female Remote I/O Connector Output Signal........................................................................ 61
Female Remote I/O Connector Input Signal........................................................................... 62
Remote Power On.................................................................................................................. 63
Optional Male Serial Connector.............................................................................................. 65
USAGE ............................................................................................................................................. 65
General................................................................................................................................... 65
Abbreviations.......................................................................................................................... 65
STARTUP ......................................................................................................................................... 65
OPERATING MODES ...................................................................................................................... 66
Messages Associated to the Mode Button ............................................................................. 66
High Voltage Commands........................................................................................................ 66
UNIT CONFIGURATION .................................................................................................................. 67
Messages Associated to the Menu Button ............................................................................. 67
Messages Associated to the Menu Button Related to the Serial Channel ............................. 72
SERIAL INTERFACE........................................................................................................................ 72
General................................................................................................................................... 72
General Definitions of the Hardware Protocol ........................................................................ 72
Hardware Signals Management ............................................................................................. 72
Transmission Format and Timeout......................................................................................... 72
Data Exchange Error Management........................................................................................ 73
SOFTWARE PROTOCOL................................................................................................................ 74
Binary Protocol ....................................................................................................................... 75

LIST OF COMMANDS...................................................................................................................... 76
General Commands ............................................................................................................... 76
Command Code Value ........................................................................................................... 77
HV on/off Command Coding................................................................................................... 77
Device Number and Device Type Commands Coding........................................................... 78
Interlock Status Coding .......................................................................................................... 78
High Voltage Commands........................................................................................................ 79
Remote I/O Commands Coding ............................................................................................. 80
Configuration Commands....................................................................................................... 81
Serial Property Commands Coding ........................................................................................ 82
Protocol Errors........................................................................................................................ 83
E-Net Dual Controller Error Status ......................................................................................... 84
ETHERNET INTERFACE................................................................................................................. 85
Overview................................................................................................................................. 85
IP Address Configuration........................................................................................................85
RS232 Parameter Configuration ............................................................................................ 91
ACCESSORIES/OPTIONS............................................................................................................... 94

GEBRAUCHSANLEITUNG
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ALLGEMEINES
Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor
Gebrauch sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie
alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen
genau lesen. Bei Nichtbeachtung - auch teilweise - der
enthaltenen Hinweise, unsachgemäßem Gebrauch
durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten
Eingriffen und Mißachtung der einheimischen, hier zur
Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die
Firma Varian keinerlei Haftung.
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen
Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der
Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte
technische Informationen sind im Anhang "Technical
Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheits-
hinweise folgendermaßen hervorgehoben:
!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des
Bedieners auf bestimmte Vorgänge oder Praktiken, die
bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen
hervorrufen können.
ACHTUNG
Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen
den Bediener darauf aufmerksam, daß bei
Nichteinhaltung Schäden an der Anlage entstehen
können.
ANMERKUNG
Die ANMERKUNGEN enthalten wichtige Informationen,
die im Text hervorgehoben werden.
BESCHREIBUNG DES CONTROLLERS
Der Dual-Controller der Firma Varian ist ein Gerät zur
Steuerung von flexiblen Ionenpumpen, das nach den
spezifischen Angaben des Kunden fabrikseitig
vorkonfiguriert wird.
Der Dual-Controller kann in folgender Konfiguration
geliefert werden:
•Vordere Schalttafel mit Tastenfeld, Display (16x2)
und Mikroprozessor-Karte
•Fern-E/A-Karte
•Karte für seriellen Datenaustausch (Option)
•Stromversorgungskarte mit integriertem DSP zur
Verwaltung der Ausgangsspannung.
•Hochspannungskarte(n)
Auf Anfrage ist der E-Net Dual Controller Base mit
positiver oder negativer Polung, mit 1 oder 2 Kanälen
erhältlich.
Der Dual-Controller kann bis zu 2 Ionenpumpen von
20l/s bis 500 l/s mit positiver oder negativer Polung
steuern. Er gewährleistet eine zuverlässige Ablesung von
Druckwerten bis zu 10-11 Torr und verbessert die
Leistung der Pumpe innerhalb des ganzen
Arbeitsbereichs.
Der Dual-Controller kann in Modus LOKAL, FERN-E/A
und SERIAL über die Schnittstellen RS 232-422 und
485 gesteuert werden (die RS232 und RS485 Karte
sind Optionen).
Der E-Net-Anschluss und der Serienanschluss können
zusammen benutzt werden.
Wie dem System Steuerbefehle übergeben werden,
hängt von der Betriebsart des Controllers ab:
•Im LOKAL-Modus werden alle Befehle über die
vordere Schalttafel eingegeben.
•Im Modus Fern-E/A kommen alle Befehle über
Fern-E/A-Signale (Relaiskontakte), die an den
Stecker für Fernsteuerung auf der Rückseite
angeschlossen sind.
•Im SERIAL-Modus kommen die Befehle über einen
lokalen Computer.
GEFAHR!

GEBRAUCHSANLEITUNG
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LAGERUNG
Bei Transport und Lagerung der Controller müssen
folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden:
•Temperatur: -20 °C bis +70 °C
•Rel. Luftfeuchtigkeit: 0-95 %
(nicht kondensierend))
VOR DER INSTALLATION
Der Controller wird mit einer speziellen
Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transport-
schäden müssen sofort der zuständigen örtlichen
Verkaufsstelle gemeldet werden.
Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden.
Es ist vollständig recyclebar und entspricht der EG-
Richtlinie 85/399 für Umweltschutz.
Verpackung des Controllers
INSTALLATION
!
Der Dual-Controller wird mit einem Netzkabel mit 3
Leitern und mit einem den internationalen Normen
entsprechenden Netzstecker geliefert. Es sollte immer
dieses Netzkabel benutzt werden, das an eine
vorschriftsmäßig geerdete Steckdose anzuschließen ist,
um Stromentladungen zu vermeiden.
Im Inneren des Controllers entstehen hohe
Spannungen, die schwere Schäden verursachen und
lebensgefährlich sein können. Vor jedem Montage-
bzw. Wartungseingriff muß deshalb der Netzstecker
gezogen werden.
ACHTUNG!
Der Controller kann auf einen Tisch oder ein Gestell
montiert werden. In beiden Fällen muß eine
ungehinderte Zirkulation der Kühlluft durch die im
Gehäuse vorne und unten eingelassen Luftöffnungen
gewährleistet sein.
Wenn der Controller in einem Gestell montiert wird,
MUSS er in einer vier Rackeinheiten hohen Adapter-
Einheit installiert werden, um zu vermeiden, daß der
Controller nicht in das Gestell fällt. Die vordere
Schalttafel des Dual-Controllers ist nicht geeignet, das
gesamte Gewicht der Einheit zu tragen.
Der Controller darf nicht in Umgebungen installiert u/o
benutzt werden, die Witterungseinflüssen (Regen,
Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen
ausgesetzt sind und in denen Explosions- und erhöhte
Brandgefahr besteht.
ANMERKUNG
Wenn der Controller in einem Gestell installiert werden
soll, müssen alle vier Füße abmontiert und über- und
unterhalb wenigstens 30 mm (1,2 Zoll) Platz gelassen
werden.
Während des Betriebs müssen folgende
Umgebungsbedingungen eingehalten werden:
•Temperatur: 0 °C to +35 °C
•Rel. Luftfeuchtigkeit: 0 - 95 %
(nicht kondensierend)
GEFAHR!

GEBRAUCHSANLEITUNG
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Für den Anschluß des Controllers an die Pumpe muß
das optional gelieferte Kabel benutzt werden.
Detailliertere Hinweise zu weiteren Anschlußarten
sowie zum Einsatz von Zusatzkarten finden Sie im
Anhang "Technical Information".
Erdung
ANMERKUNG
Die Verriegelung des Kabels wird auf der Masse der
Pumpe geschlossen. Wenn die Verbindung
unterbrochen wird, wird die Hochspannung deaktiviert.
Die Verriegelung mit dem entsprechenden
Gegenstecker schließen, wenn ein Kabel ohne
Verriegelungsstecker benutzt wird.
GEBRAUCH
In diesem Kapitel sind die wichtigsten Betriebsvorgänge
aufgeführt. Für weitere Hinweise bezüglich Anschluß und
Montage des bestellbaren Zubehörs verweisen wir auf das
Kapitel "USAGE" im Anhang zu "Technical Information".
Vor Benutzung des Controllers müssen sämtliche
elektrischen und pneumatischen Anschlüsse ausgeführt
und die Betriebsanleitung der angeschlossenen Pumpe
durchlesen werden.
!
Steht die Pumpe auf einem Tisch, muss auf stabilen
Stand geachtet werden, da sonst die Gefahr von
Verletzungen und Geräteschäden besteht. Die Pumpe
nie einschalten, wenn der Eingangsflansch nicht am
System angeschlossen bzw. nicht mit dem
Schließflansch abgedeckt ist.
Schalter und Anzeigen auf der vorderen
Schalttafel
Die folgende Abbildung zeigt die vordere Schalttafel
des Dual-Controllers und die Tabelle erläutert die
Bedeutung und Funktion der Schalter und Anzeigen.
Vordere Schalttafel
Legende:
1. von hinten beleuchtetes Flüssigkristall-Display (16
Zeichen x 2 Zeilen)
2. grüne LEDs zur anzeige der gewählten Betriebsart:
- LED LOKAL an, wenn der lokale Modus gewählt ist
- LED SERIELL an, wenn der Modus SERIELL gewählt
ist
- LED REMOTE an, wenn der Modus Fern-E/A
gewählt ist
GEFAHR!
PUMPEN-ERDE
KABEL PUMPE
LEITUNG

GEBRAUCHSANLEITUNG
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3. Schalter HV ENABLE ist unabhängig von der gewählten
Betriebsart aktiv. Um die HV von der vorderen Schalltafel,
den Fern-E/As oder über die serielle Verbindung aus
einzuschalten, muss dieser Schalter auf EIN stehen.
4. Tasten HV1 ein/aus und HV2 ein/aus benutzt zum Ein-
/Ausschalten der Operation der Hochspannungskreise.
5. LEDs; wenn die LED EIN an ist, ist der betreffende
Hochspannungskreis aktiviert. Ist die LED PROT an,
wurde für die betreffende Pumpe der Schutzmodus
gewählt.
6. Gruppe von 6 Funktionstasten mit folgenden Funktionen:
−ENTER Taste zum Bestätigen der mit der CHANGE
Taste vorgenommenen Wahl
−CHANGE CONFIG Taste zur Anzeige aller
verfügbaren Optionen
−MENU Taste zum Zugriff auf das
Konfigurationsmenü
−MODE Taste zur Wahl der Betriebsart
−Tasten START PROT 1 und START PROT 2 zur
Wahl des Anlaufschutz-Modus für die betreffende
Pumpe
Hintere Schalttafel des Dual-Controllers
Die folgende Abbildung zeigt die Schalter und
Anschlußstellen der hinteren Schalttafel des Dual-
Controllers. Die Konfiguration, die auf der folgenden
Abbildung, besteht aus zwei H.V-Karten, zwei Set
Point-/Remote-Control-Karten, einer RS 232 Rechner-
schnittstellenkarte sowie dem E-Net-Anschluss.
Hintere Schalttafel
1. Sicherungsfach
2. HV2 Fischer-Stecker
3. Verriegelung für das HV-Kabel am HV2-Stecker
4. HV1 Fischer-Stecker
5. Verriegelung für das HV-Kabel am HV1-Stecker
6. 37-poliger Stecker für Fern-E/A HV2
7. 37-poliger Stecker für Fern-E/A HV1
8. RJ45 Ethernet Stecker
9. 9-poliger Stecker der seriellen Schnittstelle
10. Stecker für Netzkabel
11. Hauptschalter
BEDIENUNG
Betriebsarten
Der Dual-Controller kann in den folgenden Modi
arbeiten:
•LOCAL (LOKAL)
•FERN-E/A (Ein-/Ausgang) (REMOTE I/O)
•SERIAL (SERIELL)
Bei LOCAL (LOKAL) werden alle Befehle über die
vordere Schaltafel gegeben.
Bei FERN-E/A (REMOTE I/O) kommen alle Befehle von
einem abgesetzten Computer über den E/A-Stecker auf
der hinteren Schalttafel.
Im SERIAL mode (SERIENMODUS): Von einem
externen Rechner aus werden sämtliche Befehle über
die RS 232 Serienanschlussleitung oder über Ethernet
gegeben.
ANMERKUNG
Das System speichert, welche Betriebsart gewählt ist,
und setzt daher bei Wiederanlauf nach einem
Stromausfall mit der Betriebsart fort, die vor der
Unterbrechung gewählt war.
ANMERKUNG
Wenn eine Betriebsart gewählt ist, nimmt das System
nur die in diesem Modus gültigen Befehle an. Es kann
aber gleichzeitig Informationen anzeigen und Signale
und Daten von allen Schnittstellen entgegennehmen.
Der Controller kann in folgenden Betriebsarten
betrieben werden:
•START-Modus
•PROTECTED-Modus
In der Betriebsart START arbeitet der Controller
unabhängig vom Pumpenzustand bei voller Leistung bis
zum voreingestellten Kurzschlußstromwert. Diese
Betriebsart muß zur Steuerung von Pumpen bei
Hochdruck gewählt werden.
In der Betriebsart PROTECTED werden der
Stromausgangswert des Controllers begrenzt und die
Hochspannung abgeschaltet, sobald der Strom den
voreingestellten Schwellenwert länger als 0,2 Sekunden
überschreitet.
Bei Normalbetrieb ist dies der bevorzugte Modus, da
bei Versagen von Ionenpumpe oder Kabel wegen
Kurzschluss oder Überlastung der Starkstrom
abschaltet.
Detaillierte Angaben zu den beiden Betriebsarten finden
sich im Anhang “Technical Information".

GEBRAUCHSANLEITUNG
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Stufenbetrieb
Stufenbetrieb muss gewählt werden, um die
Pumpenleistung zu erhöhen und bei sehr niedrigem
Druck ohne Einfluss des Leckstroms ablesen zu
können. Im Stufenbetrieb wählt der Dual-Controller die
beste Ausgangsspannung entsprechend dem Pumpen-
eingangsdruck (siehe die folgende Abbildung).
Änderung der Ausgangsspannung in
Funktion des Drucks
Einschalten des Controllers von der vorderen
Schalttafel (LOKAL-Modus)
ANMERKUNG
Um die Hochspannung einschalten zu können, muss die
externe Verriegelung geschlossen sein (Stecker
eingesteckt). Wenn kein Anschluss nach außen gemacht
werden soll, die mit der Einheit gelieferten Brücke zum
Schließen einsetzen.
Zum Einschalten des Controllers und zur Aktivierung von
Spannung an den Hochspannungssteckern wie folgt
vorgehen:
•Das Kabel von der Pumpe und den
Rückkoppelungsstift der Verriegelung am
Hochspannungskabel in die betreffenden Stecker
auf der hinteren Schalttafel einsetzen.
•Den Netzschalter auf der hinteren Schalttafel auf
EIN stellen.
•Den Schalter ENABLE HV auf der vorderen
Schalttafel auf EIN stellen.
•Drücken Sie die Tasten CHANGE CONFIG und HV
ON/OFF gemeinsam (ON LED leuchtet).
ANMERKUNG
Wenn nur ein Hochspannungskreis installiert ist, gelten beide
Zeilen auf dem Display für die Pumpe Nr. 1. Sind zwei Kreise
installiert, bezieht sich jede auf eine der beiden Pumpen.
Starten der Pumpe
Zum Starten der Pumpe die jeweiligen Tasten
CHANGE CONFIG und HV ON/OFF gemeinsam
drücken; die ON-LED-Anzeige leuchtet auf.
Stoppen der Pumpe
Zum Anhalten der Pumpe die jeweiligen Tasten
CHANGE CONFIG und HV ON/OFF gemeinsam
drücken; die ON-LED-Anzeige geht aus.
WARTUNG
Die Dual-Controller sind wartungsfrei. Eventuell
erforderliche Eingriffe müssen von dazu befugtem
Fachpersonal ausgeführt werden. Bei Störungen kann
der Varian-Reparaturdienst in Anspruch genommen
werden oder schließen Sie einen Vertrag für “Varian
Advanced Exchange Service” ab, mit dem ein defekter
Controller gegen einen general-überholten
ausgetauscht wird.
Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung
der einschlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen.
ENTSORGUNG
Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten.
Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der
EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic
Equipment) angebracht.
Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt
an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit
Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem
speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des
Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den
Wiederverkäufer - kontaktieren, um den
Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die
Verkaufsbedingungen geprüft hat.

GEBRAUCHSANLEITUNG
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FEHLERMELDUNGEN
In einigen Störungsfällen zeigt das Selbstdiagnosesystem des Controllers die in der nachstehenden Tabelle
zusammengefaßten Meldungen an.
MELDUNG BESCHREIBUNG STÖRUNGSBEHEBUNG
FEHLER HOCHSPANNUNG 1 ODER 2
HV(X) ERROR
PANEL INTERLOCK Hochspannung durch eine Verriegelung von der
vorderen Schaltfläche oder Gehäuse
ausgeschaltet. (“HV ENABLE” auf AUS gesetzt
oder Gehäuse entfernt)
1. Den Schalter “HV ENABLE” auf EIN setzen
und die Prozedur zum Einschalten der
Hochspannung wiederholen.
2. Sicherstellen, dass das Gehäuse richtig
montiert ist.
HV(X) ERROR
REMOTE INTERLOCK Hochspannung von einer Verriegelung von den
Fern-E/As abgeschaltet.
1. Sicherstellen, dass die Rückkoppelungs-
Stöpsel mit den Verriegelungsbrücken
installiert sind.
2. Sicherstellen, dass die externe Verriegelung
geschlossen ist.
HV(X) ERROR
CABLE INTERLOCK HV von einer Verriegelung eines
Hochspannungskabel abgeschaltet.
1. Wenn die Pumpe ein Hochspannungskabel
mit einer Sicherheitsverriegelung benutzt,
sicherstellen, dass der Stecker auf der
Pumpenseite richtig eingesetzt ist und der
Rückkoppelungsstift auf der Seite des
Controllers in die entsprechende Buchse
auf der hinteren Schalttafel eingesteckt ist.
2. Wenn die Pumpe ein einpoliges Hochspan-
nungskabel ohne Verriegelung benutzt,
sicherstellen, dass die Brücke richtig
zwischen der HV-Steckdose des
Verriegelungskabels und Erde eingesetzt
ist.
HV(X) ERROR
HV NOT FOUND Der Hochspannungskreis kann nicht gefunden
werden.
Die Einschaltprozedur für Dual-Controller-
Hochspannung wiederholen. Bleibt der Fehler
bestehen, Varian zwecks Reparatur oder
Austausch kontaktieren.
HV(X) ERROR
HV FAULT Hochspannung wegen Fehler im
Hochspannungskreis abgeschaltet.
Varian zwecks Reparatur oder Austausch
kontaktieren.
HV(X) ERROR
HV OVERTEMP. Die Wärmesensoren im Dual-Controller messen
eine Temperatur, die über der Sicherheitsschwelle
liegt.
1. Sicherstellen, dass die
Umgebungstemperatur nicht über der für
den Dual-Controller zulässigen
Höchsttemperatur von 45 ºC liegt.
2. Sicherstellen, dass die Ventilationsschlitze
im Gehäuse nicht behindert sind.
3. Sicherstellen, dass die Ventilatorflügel sich
frei drehen können und die im Dual-
Controller umgeleitete Luft nicht durch
Staub oder Fremdkörper blockiert ist.
Warten Sie einige Minuten, bis die
Temperatur im Gerät gesunken ist, und
wiederholen die Prozedur zum Einschalten
der Hochspannung.
HV(X) ERROR
REMOTE I/O
NOT FOUND
Die Karte für Fern-E/As kann nicht gefunden
werden.
Die Einschaltprozedur für Dual-Controller-
Hochspannung wiederholen. Bleibt der Fehler
bestehen, Varian zwecks Reparatur oder
Austausch kontaktieren.

GEBRAUCHSANLEITUNG
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MELDUNG BESCHREIBUNG STÖRUNGSBEHEBUNG
HV(X) ERROR
R. I/O FAULT Fehler im Kreis für Fern-E/As 1. Sicherstellen, dass die externen Anschlüsse
der Fern-E/As so verbunden sind wie in
diesem Handbuch angegeben.
2. Die Einschaltprozedur für Dual-Controller-
Hochspannung wiederholen. Bleibt der
Fehler bestehen, Varian zwecks Reparatur
oder Austausch kontaktieren.
HV(X) ERROR
PROTECT Bei gewählter Betriebsart “PROTECT” trat ein
Überstrom auf.
Wenn nötig den START-Modus wählen, so dass
der Controller arbeiten kann, bis der
Kurzschluss-Strom erreicht wird
HV(X) ERROR
SHORT CIRCUIT Im Hochspannungsausgang wurde ein
Kurzschluss entdeckt.
1. Die Unversehrtheit der
Hochspannungskabel prüfen.
2. Das Kabel von der Ionenpumpe abnehmen
und prüfen, ob es in der Pumpe oder im
Kabel einen Kurzschluss gibt.
HV(X) ERROR
OVER VOLT/CURR Im Hochspannungsausgang wurden falsche
Spannungs- und Stromwerte entdeckt.
Dieser Fehler zeigt falsches Funktionieren des
Hochspannungs-Steuerkreises an.
Die Einschaltprozedur für Dual-Controller-
Hochspannung wiederholen. Bleibt der Fehler
bestehen, Varian zwecks Reparatur oder
Austausch kontaktieren.
HV(X) ERROR
ZERO MEAS Der Mikroprozessor des Dual-Controllers hat
festgestellt, das an dem Hochspannungsausgang,
der aktiv sein sollte, sowohl Spannung als auch
Strom fehlen.
Die Einschaltprozedur für Dual-Controller-
Hochspannung wiederholen. Bleibt der Fehler
bestehen, Varian zwecks Reparatur oder
Austausch kontaktieren.
SYSTEMFEHLER
SYSTEM ERROR
ER 1 ÷ 10 Nur für Diagnosen durch den Varian Service. Den Hauptschalter des Dual-Controllers aus – und
wieder einschalten. Bleibt der Fehler bestehen, Varian zwecks Reparatur oder Austausch
kontaktieren.

INSTRUCTIONS FOR USE
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GENERAL INFORMATION
This equipment is intended for professional use. Prior to
using this equipment the user must carefully read this
Instruction Manual in its entirety and any additional
information provided by Varian. Varian declines all
responsibility for damage caused by the total or partial
misuse of the instructions provided herein, by the
improper use of the equipment by untrained personnel,
by unauthorized interventions or by negligence in
complying with any specific national rule or regulation.
The following sections provide you with all the
information needed to guarantee the operator’s safety
when using the equipment. Detailed information is
provided in the appendix entitled “Technical
Information”.
The following conventions are used in this manual:
!
Danger messages call the operator’s attention to a
specific procedure or operation that could cause serious
injury if not performed correctly.
WARNING
Warning messages are provided before procedures that
could cause damage to the equipment if not complied
with.
NOTE
Notes provide you with important information extracted
from the text.
CONTROLLER DESCRIPTION
Varian’s E-Net Dual Controller is a flexible ion pump
controller, which is pre-configured at the factory
according to the customer’s requirements.
The E-Net Dual Controller is available with:
•Front panel with keypad, display (16x2) and
microprocessor card.
•Remote I/O card.
•Serial data exchange card (optional).
•Power supply card with integrated DSP for output
voltage management.
•High voltage card(s).
The E-Net Dual Controller is available with positive or
negative polarity, with 1 or 2 channels, on request.
The E-Net Dual Controller can control up to two ion
pumps, from 20 l/s to 500 l/s with positive or negative
polarity.
Reliable pressure are measured at up to 10-11 Torr.
Variable voltages allow the pump performance to be
optimized on the entire operational field.
The E-Net Dual Controller can be controlled in the
LOCAL mode, REMOTE I/O mode and in the SERIAL
mode via the RS 232-422 and 485 ports (the RS422
and RS485 are optional) or via E-Net port.
The E-Net port and the serial port can be used not
together.
The ways in which the operating commands are
entered into the system differ depending on the
controller’s mode of operation:
•In the LOCAL mode all the commands are entered
through the front panel
•In the REMOTE I/O mode all the commands are
entered through remote I/O signals (Relay
contacts) which are connected to the Remote
Control connector on the rear panel
•In the SERIAL mode all the commands are through
a local computer.
DANGER!

INSTRUCTIONS FOR USE
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STORAGE
The following environmental conditions must be met
when transporting and storing the controller:
•Temperature: -20 °C to +70 °C
•Relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)
PRIOR TO INSTALLATION
The controller comes in a special protective packaging;
if there is any sign of damage that could have been
caused during transportation, contact your local sales
office immediately.
When unpacking the controller, be particularly careful to
avoid dropping it or knocking it against anything.
The packaging material is totally recyclable and
complies with EEC directives 85/399 for the safeguard
of the environment.
Controller Packaging
INSTALLATION
!
The E-Net Dual Controller is equipped with a three-wire
power cord with an internationally approved plug.
Always use this power cord and insert the plug into an
appropriately grounded power outlet to avoid
electrostatic discharges.
High voltages that could cause serious injury or even
death are generated inside the controller. Before
performing controller installation or maintenance,
disconnect the unit from the power outlet.
WARNING
The controller can be used either as a desktop unit or
as a rack module. In any case it must be positioned in a
way that the air can circulate freely through the
ventilation slots on the cover.
If the controller is used as a rack module, it MUST be
inserted into a four-rack high adapter to prevent it from
falling inside the rack itself. The E-Net Dual Controller
front panel is not designed to support the weight of the
unit.
Do not install or use the controller in an environment
exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), in the
presence of dust, corrosive gases or in a highly
flammable or explosive environment.
NOTE
If the controller is installed in a rack, remove its four feet
and place it so as to leave at least 30 mm
(1.2 inches) of free space above and below.
The controller must be used in the following
environmental conditions:
•Temperature: 0 °C to +35 °C
•Relative humidity: 0 - 90% (non-condensing)
DANGER!

INSTRUCTIONS FOR USE
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To attach the controller to the pump use the specific
cable supplied as option.
Refer to the appendix entitled “Technical Information”
for detailed information on these and other connections.
Ground Connections
NOTE
The cable interlock closes on pump ground. The high
voltage is disabled if the connection is interrupted.
Close the interlock using the appropriate counter-
connector when using a cable which is not equipped
with the interlock connector.
USAGE
This section provides you with the major operating
procedures. For more information and for the
procedures that concern connections or specific
options, refer to the section “USAGE” in the “Technical
Information” appendix. Before using the controller,
perform all electrical and pneumatic connections and
refer to the manual of the connected pump.
!
To avoid injury to persons or damage to the equipment,
if the pump needs to be placed on a table make sure
that the table is stable. Never activate the pump if the
input flange is not connected to the system or if it is not
closed with the blank-off flange.
Controls and Indicators on the E-Net Dual
Controller Front Panel
The following figure shows the E-Net Dual Controller
front panel. The following table gives the definition and
function of the controls and indicators.
Front Control Panel
Legend:
1. Back-lit Liquid Crystal Display, 16 characters x 2 rows
2. Green LEDs, indicating the selected operating mode:
- Local LED on when the LOCAL operating mode
is selected
- Serial LED on when the SERIAL operating mode
is selected
- Remote LED on when the REMOTE I/O operating
mode is selected
DANGER!

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3. HV ENABLE switch, active regardless of the operating
mode selected. To power on the HV from the front control
panel, from Remote I/O or from the serial line, the HV
ENABLE switch must be set to the ON position.
4. HV1 on/off and HV2 on/off buttons, used to
enable/disable the operation of the high voltage circuits.
5. LEDs; when the ON LED is lit the corresponding HV
circuit is enabled. While when the PROT LED is lit the
Protect operating mode has been selected for the
corresponding pump.
6. Group of six function buttons with the following functions:
- ENTER button, used to confirm a selection that has
been made with the CHANGE button
- CHANGE CONFIG button, used to display all of the
different options available
- MENU button, used to enter into the configuration
menu
- MODE button, used to select the operating mode
- START PROT 1 and START PROT 2 buttons, used
to select the Start Protect operating mode for the
corresponding pump.
Rear Panel of the E-Net Dual Controller
The following figure shows the controls and connections
on the rear panel of the E-Net Dual Controller.
The configuration shown in the following figure consists
of two H.V. cards, two Set Point/Remote Control cards,
one RS 232 Computer Interface card and the
E-Net Port.
Rear Panel
1. Fuse holder compartment
2. Fischer HV2 connector
3. Interlock for the HV cable on connector HV2
4. Fischer HV1 connector
5. Interlock for the HV cable on connector HV1
6. 37-pin connector for Remote I/O HV2
7. 37-pin connector for Remote I/O HV1
8. RJ45 Ethernet connector
9. 9-pin serial interface connector
10. Power cord socket
11. Main power switch
OPERATING PROCEDURES
Operating Modes
The E-Net Dual Controller can work in the following
operating modes:
•LOCAL
•REMOTE I/O (input/output)
•SERIAL.
In the LOCAL mode all the commands are given
through the front panel.
In the REMOTE I/O mode all the commands are given
from a remote computer through the input/output
connector located on the rear panel.
In the SERIAL mode. All the commands are given from
an external computer through the RS 232 serial line or
by Ethernet.
NOTE
The selected mode of operation is stored by the system
and therefore even if a power failure occurs, when the
power is restored, the E-Net Dual Controller will return
to the mode of operation that it was in prior to the
blackout.
NOTE
When any one mode of operation is selected, the
system will only accept the commands of that related
mode while being able to simultaneously display
information and acquire signals and data from all the
interfaces.
The unit is designed to work in the following modes:
•START mode
•PROTECTED mode
In the START mode the controller provides all the
power regardless of the pump’s conditions, until
reaching the short circuit current. This mode of
operation must be used to start the pump at High
Pressure.
In the PROTECTED mode the controller limits the
output current and switches off the high voltage when
the current exceeds the threshold current for more that
0.2 seconds.
In normal operation, this is the preferred mode, as any
failure of the ion pump or cable due to short circuit or
high load will cause the high current to switch off.
Refer to the appendix entitled “Technical Information"
for detailed information on the modes of operation.

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Step Mode of Operation
The Step mode has to be chosen in order to increase
the performance of the pump and to read at very low
pressure without influence of leakage current.
In Step mode the E-Net Dual Controller chooses the
best output voltage according to the pressure into the
pump (see the following figure).
Output voltage change-over vs pressure
Powering On the Controller from the Front
Panel (LOCAL Mode)
NOTE
To switch on the H.V. the external interlock must be
closed (connector inserted).
If no external connection is made, insert the interlock-
closing jumper that are provided with the unit.
Proceed as follows to power on the controller and
enable the voltage on the H.V. connectors:
•Insert the cable from the pump and the interlock
loopback pin of the H.V. cable into the related
connectors on the rear panel.
•Set the power switch on the rear panel to the ON
position.
•Set the ENABLE HV switch on the front panel to
the ON position.
•Press the CHANGE CONFIG and HV ON/OFF
buttons together (ON LED lit).
NOTE
With only one H.V. circuit installed both rows on the
display are dedicated to pump number one, while with
two circuits installed each row is dedicated to a different
pump.
Starting the Pump
To start the pump, press the corresponding CHANGE
CONFIG and HV ON/OFF buttons together; the ON
LED will come on.
Stopping the Pump
To stop the pump press the corresponding CHANGE
CONFIG and HV ON/OFF buttons together; the ON
LED will go off.
MAINTENANCE
The E-Net Dual Controller does not require any
maintenance. Any form of servicing on the unit must be
performed by authorized personnel.
If servicing is needed, contact Varian Technical Support
or subscribe to the “Varian Advanced Exchange
Service” where the faulty controller is replaced by a
refurbished one.
If the controller needs to be scraped, proceed to do so
in compliance with the specific national norms.
DISPOSAL
Meaning of the "WEEE" logo found in labels
The following symbol is applied in accordance with the
EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment)
Directive.
This symbol (valid only in countries of the European
Community) indicates that the product it applies to
must NOT be disposed of together with ordinary
domestic or industrial waste but must be sent to a
differentiated waste collection system.
The end user is therefore invited to contact the supplier
of the device, whether the Parent Company or a
retailer, to initiate the collection and disposal process
after checking the contractual terms and conditions of
sale.

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ERROR MESSAGES
For certain types of failure, the controller performs an autodiagnostic test and displays one of the messages indicated in
the following table.
MESSAGE DESCRIPTION CORRECTIVE ACTION
HIGH VOLTAGE 1 OR 2 ERRORS
HV(X) ERROR
PANEL INTERLOCK
HV switched-off by an interlock received from the
front panel or cover. (“HV ENABLE” switch set to
OFF or unit cover removed)
1. Set the “HV ENABLE” switch to ON and
repeat the H.V. power on procedure.
2. Make sure that the cover is installed correctly.
HV(X) ERROR
REMOTE INTERLOCK
HV powered off due to an interlock received from
Remote I/O.
1. Check that the loopback plugs with the
external interlock jumpered are installed.
2. Make sure that the external interlock is
closed.
HV(X) ERROR
CABLE INTERLOCK
HV power off caused by an HV cable interlock. 1. If the pump uses an HV cable with safety
interlock, check that the connector at the
pump end is inserted correctly and that the
loopback pin at the unit end is inserted into
the related socket on the rear panel.
2. If the pump uses an single pole HV cable
without interlock, check that the jumper is
correctly inserted between the Interlock cable
HV plug and ground.
HV(X) ERROR
HV NOT FOUND
HV circuit has not been detected. Repeat the Dual power on procedure; if the
problem persists, contact Varian for repair or
exchange.
HV(X) ERROR
HV FAULT
HV powered off caused by an HV circuit failure. Contact Varian for repair or exchange.
HV(X) ERROR
HV OVERTEMP.
Temperature sensors inside the Dual have
detected a temperature which exceeds the safety
threshold.
1. Make sure that the environmental
temperature of E-Net Dual Controller
operation is not over 45 º.
2. Make sure that the ventilation slots on the
cover are not obstructed.
3. Make sure that the fan blades rotate freely
and that the air channeled inside the Dual
controller is not blocked by dust or foreign
matter.
Wait a few minutes for the temperature inside
the unit to cool down and then repeat the
HV power on procedure.
HV(X) ERROR
REMOTE I/O
NOT FOUND
Remote I/O card not detected. Repeat the Dual power on procedure; if the
problem persists, contact Varian for repair or
exchange.
HV(X) ERROR
R. I/O FAULT
Remote I/O circuit failure. 1. Make sure that the Remote I/O external
connectors are connected as indicated in
this manual.
2. Repeat the Dual power on procedure; if the
problem persists, contact Varian for repair or
exchange.
HV(X) ERROR
PROTECT
The overcurrent protection was triggered with the
“PROTECT” mode of operation selected.
If necessary, select the START mode so that the
controller can work until the short circuit current is
reached.
HV(X) ERROR
SHORT CIRCUIT
A short circuit was detected on the H.V. output. 1. Check the integrity of the HV cable.
2. Remove cable from ion pump and check if
there is a short circuit in pump or cable.