Brooks CTI-Cryogenics Manual

CTI-Cryogenics
High Capacity Helium Compressor
Installation, Operation and
Maintenance Instructions
8040600 Revision A

CTI-Cryogenics High Capacity Helium Compressor
Installation, Operation and Maintenance Instructions
Brooks Automation
8040600 Revision A
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January 15, 2013 Part Num 8040600 Revision A
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High Capacity Helium Compressor Contents
Installation, Operations, and Maintenance
Brooks Automation 8040600
Revision A 1
Contents
Figures. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . vii
Tables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ix
Introduction
CTI-CRYOGENICS Helium Refrigeration System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-3
Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-5
Dimensions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-5
Weight . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-6
Electrical . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-6
Cooling Water. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-7
General. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-9
Electrical Box Front Panel Component Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-11
Low Helium Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-11
Power On. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-12
CB2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-12
Module 1, 2, and 3 Status Indicators . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-12
Emergency Off Button. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-12
Supply Pressure Gauge. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-12
Electrical Box Rear Panel Component Description. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-13
Logic Module Panel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-13
RS-232 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-13
LED Indicator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-13
ID . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-14
P2 and MNS LED . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-14
MAC ID . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-14
CCJ1/CCP2 Connectors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-15
Reverse Phase . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-15

Contents High Capacity Helium Compressor
Installation, Operations, and Maintenance
8040600 Brooks Automation
2Revision A
Main Circuit Breaker . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-15
High Capacity Helium Compressor Rear Panel Component Description . . . . . .1-16
Helium In Return . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-16
Helium Out Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-16
Water Out . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-16
Water In. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-16
Return Pressure Gauges . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-16
Helium Charge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-16
Typical On-Board 8F Cryopump for 300mm PVD System . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-18
Safety
Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-2
Signal Word Descriptions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-3
Safety Shape Descriptions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-4
References . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-4
Unpacking and Inspection
Shipping Carton Inspection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-2
Removal from Shipping Carton. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-2
Alternate Removal Method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-4
High Capacity Helium Compressor Inspection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-6
Compressor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-6
Helium Static Pressure Verification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-6
Shipping Carton Contents . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-6
Removing the Wheel Assemblies (Optional). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-6
Installation
Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-2
Supply and Return Water Line Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-4
Hard Water Lines. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-4
Flexible Water Lines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-4
Electrical Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-5
Power Cable Preparation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-5
Phase Check . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-8
RS-232 Cable Connections (Optional). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-9

High Capacity Helium Compressor Contents
Installation, Operations, and Maintenance
Brooks Automation 8040600
Revision A 3
Emergency Off (EMO) System Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-9
Multiple On-Board 8F Cryopump for 300mm PVD Flexline Connections . . . . . .4-10
Helium Line Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-10
Operation
Adjusting System Helium Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-1
Static Helium System Pressure Verification. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-2
Start-up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-2
Shutdown . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-3
Replacement of Helium Circuit Components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-3
Maintenance
Scheduled Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-2
Suggested Maintenance Equipment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-2
Adsorber Replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-2
Adjusting System Helium Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-5
Reducing Helium Pressure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-5
Increasing Helium Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-5
Adding Helium . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-5
Troubleshooting
Troubleshooting the High Capacity Helium Compressor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-2
Technical Inquiries. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-2
Appendices
Appendix A: Customer Support Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-2
Customer Support Center Locations. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-2
Guaranteed Up-Time Support (GUTS®) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-2
Product Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-2
E-mail. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-2
Appendix B: Diagrams . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-3
Index . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1