Brooks ATM 100 User manual

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Brooks Automation
Atmospheric Single-Arm Robot
User’s Manual
for the Atmospheric Top Mount
(ATM 100, 200, 300, 400, 500),
the Atmospheric Bottom Mount
(ABM 100, 200, 400, 500),
and the Flat Panel Display
(FPD 400, 500, 700)
Revision 1
Artisan Technology Group - Quality Instrumentation ... Guaranteed | (888) 88-SOURCE | www.artisantg.com

Atmospheric Single-Arm Robot
User’s Manual
BrooksAutomation
Revision 1
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AcuLigner, AcuLine, AcuTran, AcuTrav, AquaTran, Atmospheric Dual Arm Controller, Atmospheric Express,
Atmospheric Pre-aligner, Atmospheric Single-Arm Robot, BiSymmetrik, Dual Controller, ExpressLock, EQT 32,
EQT 200, FabExpress, FrogLeg, Gemini, Gemini Express, Gemini Express Tandem, Hercules, Hercules
Express, InCooler, InLigner, InLine Express, Integrated Front End, Leapfrog, Linear eXchange, Linear Track,
MagnaTran 7, MagnaTran 8 2-Axis, MagnaTran 8 3-Axis, MagnaTran 8 DFR, Marathon, Marathon Express, Mar-
athon Express Tandem, MultiTran, PASIV, PowerPak, Reliance ATR, Reliance DFR, Reliance WCR, Smart Con-
troller, TCM, Time Optimal Trajectory, TopCooler, Ultrasort, VacuTran, VCD, VCE, WAVE, WAVE II, and Z-Bot
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September 12, 2005 Revision 1 Per EC #33327 Part Number 127206
This manual is available in the following formats:
CD-ROM: Part Number 127207
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Printed in the U.S.A.
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Atmospheric Single-Arm Robot
User’s Manual
Brooks Automation
Revision 1 i
Contents
Figures. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ix
Tables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xi
Changes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xiii
Introduction
Atmospheric Single-Arm Robot Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-2
Robot Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-4
Robot Systems . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-5
User Interfaces . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-7
Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-8
About This Manual . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-10
Note, Hazards, andPictograms . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-11
Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-12
Robot Specifications. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-12
Site Requirements for Moving the Atmospheric Single-Arm Robot . . . . .1-12
Environmental Specifications. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-12
Center of Gravity . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-13
Electrical Specifications. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-14
Mechanical Specifications. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-14
Vacuum Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-15
Seismic Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-15
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Contents Atmospheric Single-Arm Robot
User’s Manual
Brooks Automation
ii Revision 1
Safety
Regulatory Compliance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-2
Safety Considerations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-3
Personnel Safety Guidelines. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-3
Equipment Safety Guidelines. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-4
Robot Safeguards . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-6
Emergency Stop (EMS/MOFF) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-7
EMC and ESD Protection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-9
ESD/EMI Precautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-9
Safety Labels . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-10
Laser Warning Labels . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-10
High Voltage Label . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-11
Pinch Point Label for SEMI S2 Systems . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-11
Fuse Label . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-11
Underwriter Lab Label . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-12
Manufacturing Labels . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-12
SEMI S2 Systems . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-13
Safety Interlocks . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-14
Mechanical Hazards . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-15
Electrical Hazards . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-17
Lockout/Tagout. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-17
Electrical Hazard Classifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-18
Laser Hazards. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-20
Gas Hazards . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-21
Chemical Hazards . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-22
Thermal Hazards . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-23
Vacuum Hazards . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-24
Fire and Explosion Hazards . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-25
Environmental Hazards . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-26
Noise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-26
Vibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-26
Teach Pendant . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-27
Using the EMERGENCY STOP . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-27
Using the Dead-Man Switch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-27
Matrix of Emergency and Corrective Response Actions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-29
Material Safety Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-30
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Atmospheric Single-Arm Robot Contents
User’s Manual
Brooks Automation
Revision 1 iii
Isopropyl Alcohol Safety Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-31
MSDSs for C Grease. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-32
MSDS for LG 2 Grease. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-34
MSDS for Braycote 803 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-36
Installation
Site Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-2
Space . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-2
Environmental . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-2
Facilities Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-2
Unpacking and Inspection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-4
Unpacking Instructions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-4
Installation Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-6
Tools and Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-6
Mounting. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-6
Moving the Robot or Robotic system . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-7
Attaching the Robot to the Frame . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-8
Leveling the Robot. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-8
Connecting the Robot and Controller. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-11
Overcurrent Protection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-12
Facilities Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-13
Communication Connections. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-14
Connecting the Teach Pendant . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-15
Installing the EQT 32 Interface. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-16
Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-18
Verifing Connections. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-18
Adjusting the Vacuum Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-19
Verifying Vacuum Sensor Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-19
Safety Verification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-20
Teaching and Operating . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-21
Robot Axis and Station Naming Conventions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-21
Check-out . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-23
Alignment and Calibration. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-24
Subsystems
System Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-2
Smart Controller. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-3
Wafer Pre-Aligner . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-3
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Contents Atmospheric Single-Arm Robot
User’s Manual
Brooks Automation
iv Revision 1
Linear Track . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-3
User Interfaces . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-4
Robot Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-5
End Effectors. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-5
Laser Scanner . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-5
Operational Interfaces
Interface Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-2
Power Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-4
Electrical Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-4
High Voltage Barriers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-4
Controller Fuses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-4
Ground Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-4
Robot Cables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-5
Operation
Theory of Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-2
Moving and Homing a Robot Axis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-3
Teaching Stations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-4
Setting the Optional Z-Axis Brake. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-5
Teaching a Robot Only . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-6
Teaching a Robot and Pre-Aligner . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-7
Scanner Mapping . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-9
Teaching the Scanner Mapping . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-11
Teaching the Scanner in Special Situations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-13
Robot Parameter File . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-14
Adjusting Robot Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-15
Flipper End Effector. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-16
Accessing Galil Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-16
Finding the Home Switch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-16
Applying Tension to the Spring. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-17
Defining the Flip . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-17
Saving the Positions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-18
Testing the Flipper. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-19
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Atmospheric Single-Arm Robot Contents
User’s Manual
Brooks Automation
Revision 1 v
Adjustments and Calibration
Atmospheric Single-Arm Robot Alignment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-2
Required Tools and Test Equipment. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-2
Alignment Strategy . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-2
Alignment Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-3
Leveling the Atmospheric Single-Arm Robot . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-4
Adjusting the Vacuum Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-4
Flipper Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-6
Setting up the Flipper . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-6
Tuning PID Motor Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-9
To tune the PID . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-9
Robot Radial Home Flag, Index, and Offset Adjustments. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-11
Tools and Equipment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-11
To Adjust the Physical Position of the Home Flag:. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-11
To Check and Adjust the Physical Position at the Index Position . . . . . . .7-13
To Set the Home Offset . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-14
Command Reference
Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-2
Software Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-2
Macros . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-2
Coordinate File . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-3
Robot Parameter File . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-3
Commands and Macros for Robots. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-4
Coordinate File . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-4
Maintenance
Preventive Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-2
Parts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-2
Preventive Maintenance Schedule and Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-3
Cleaning. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-4
Robot Leadscrew Lubrication Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-6
Tools Required Depending on your Robot . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-6
Removal of the robot to be lubricated. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-6
Determining which grease to use on your robot. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-7
Vacuum Hose Replacement for the Outer Arm Link . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-11
Required Parts and Tools . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-11
Artisan Technology Group - Quality Instrumentation ... Guaranteed | (888) 88-SOURCE | www.artisantg.com

Contents Atmospheric Single-Arm Robot
User’s Manual
Brooks Automation
vi Revision 1
Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-11
Checking the Integrity of the Belts in the Robot . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-14
Tools Required: . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-14
Procedure for the Inspection of the Robot Outer Link . . . . . . . . . . . . . . . . .9-14
Diagnostics for the Single-Arm Robot . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-16
Using EQT to Run Diagnostics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-17
Test 1: NVS-Ram Test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-18
Test 2: Galil and I/O Test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-19
Testing Input G. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-19
Test 3: Encoder Read . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-21
Test 4: Limit and Home Test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-22
Test 7: Servo Test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-23
Test 8: Home Test and Set. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-24
Adjusting the Distance to Index on an ABM 400 Series with Track. . . . . .9-25
Test 9: R-Home Test and Set. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-27
Test 10: Scaling Factor Test. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-28
Test 11: Vacuum Valve and Vacuum Sensor Test. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-29
Test 13: Scanning Test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-30
Using the Teach Pendant to Run Diagnostics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-31
STEP #1 (NVSRAM Test) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-31
STEP #2 (GALIL & I/O TEST) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-32
STEP #3 (ENCODER READ TEST) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-35
STEP #4 (LIMIT & HOME TEST) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-35
STEP #5 (AMP. BOARD SETUP). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-36
STEP #6 (AMP. MODULE SETUP) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-36
STEP #7 (SERVO TEST) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-36
STEP #8 (HOME TEST & SET). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-36
STEP #9 (R-HOME TEST & SET). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-38
STEP #10 (SCALING FACTOR TEST) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-41
STEP #11 (VAC. VALVE/SENSOR) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-41
STEP #12 (ROBOT I/O’S) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-42
STEP #13 (SCANNING) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-42
Troubleshooting
Troubleshooting Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-2
Troubleshooting Robot Start up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-3
Robot Start Up Procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-3
Robot Will Not Home Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-6
Robot Will Not Servo On . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-8
Using the Teach Pendant and EQT 32 to Troubleshoot . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-10
Common Problems . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-11
Artisan Technology Group - Quality Instrumentation ... Guaranteed | (888) 88-SOURCE | www.artisantg.com

Atmospheric Single-Arm Robot Contents
User’s Manual
Brooks Automation
Revision 1 vii
Frequently Asked Questions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-12
What do I do if I get a new robot? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-12
What do I do if I get a new controller? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-12
Checking Robot Status . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-14
Using the STAT/STAT2 Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-15
Checking NVSRAM with RNCS Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-18
Checking Limit Switch Status with the RLS Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-19
Using the GLST Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-23
Problem Causes and Suggested Actions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-25
Aftermath Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-29
Contact Brooks Automation Technical Support . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-31
Appendices
Appendix A: Factory Default Settings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-2
Appendix B: Approved Laser Scanners. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-3
Available Configurations of the HAMA Laser Sensors . . . . . . . . . . . . . . .11-4
Drawings
Artisan Technology Group - Quality Instrumentation ... Guaranteed | (888) 88-SOURCE | www.artisantg.com