Laserscale BS75A-R User manual

スケールユニット/ Scale Unit/ Skaleneinheit
BS75A-R
取扱説明書/ Instruction Manual/ Bedienungsanleitung
レーザスケール /LASERSCALE
お買い上げいただき、ありがとうございます。
ご使用の前に、この取扱説明書を必ずお読みください。
ご使用に際しては、この取扱説明書どおりお使いください。
お読みになった後は、後日お役に立つこともございますので、必ず保管してください。
Read all the instructions in the manual carefully before use and strictly follow them.
Keep the manual for future references.
Lesen Sie die ganze Anleitung vor dem Betrieb aufmerksam durch und folgen Sie beim
Betrieb des Geräts den Anweisungen. Bewahren Sie diese Bedienungsanleitung zum
späferen Nachlesen griffbereit auf.

[For the customers in U. S. A.]
WARNING
This equipment has been tested and found to comply
with the limits for a Class A digital device, pursuant to
Part 15 of the FCC Rules. These limits are designed
to provide reasonable protection against harmful
interference when the equipment is operated in a
commercial environment. This equipment generates,
uses, and can radiate radio frequency energy and, if
not installed and used in accordance with the
instruction manual, may cause harmful interference to
radio communications. Operation of this equipment in
a residential area is likely to cause harmful
interference in which case the user will be required to
correct the interference at his own expense.
You are cautioned that any changes or modifications
not expressly approved in this manual could void your
authority to operate this equipment.
Important
To ensure that the complete system (including this
peripheral) is capable of complying with the FCC
requirements, it is recommended that the user makes
sure that the individual equipment of the complete
system has a label with the statement “The equipment
has been tested with a Class A computing device and
has been found to comply with part 15 of FCC Rules.”
or the equivalent.

1
このたびは、レーザスケールをお買上げいただき、まことに
ありがとうございます。
本取扱説明書をよくお読みいただき、本品を十分ご活用いた
だければ幸いです。
一般的注意事項
以下は当社製品を正しくお使いいただくための一般的注
意事項です。個々の詳細な取扱上の注意は、本取扱説明
書に記述された諸事項および注意をうながしている説明
事項に従い、正しくお使いください。
•始業または操作時には、当社製品の機能および性能が正
常に作動していることを確認してからご使用くださ
い。
•当社製品が万一故障した場合、各種の損害を防止するた
めの十分な保全対策を施してご使用ください。
•仕様に示された規格以外での使用または改造を施された
製品については、機能および性能の保証はできませんの
でご留意ください。
•当社製品を他の機器と組合せてご使用になる場合は、使
用条件、環境等により、その機能および性能が満足され
ない場合がありますので、十分ご検討の上ご使用くださ
い。
目次
1. 特 長 ............................................................................2
2. 使用上の注意事項 ..........................................................2
3. 各部の名称 .....................................................................3
4. 取付け上の注意事項 .......................................................4
4-1. 取付けにあたって ....................................................... 4
4-2. 取付け時に準備するもの ........................................... 4
4-3. 取付けの前に ............................................................... 5
4-3-1. 補正値について .................................................... 5
4-3-2. 補正値のセット方法 ............................................ 5
5. 取付け・調整方法 ..........................................................6
5-1. 取付面の準備 ............................................................... 6
5-2. スケールの取付け ....................................................... 9
5-3. スライダの取付け ..................................................... 11
5-4. 信号調整 ..................................................................... 12
5-4-1. 信号調整準備 ...................................................... 12
5-4-2. アジマス調整 ...................................................... 12
5-5. 取付け・調整終了 ..................................................... 13
5-6. 内蔵原点について ..................................................... 13
5-7. 原点検出位置 ............................................................. 14
6. 仕 様 .............................................................................. 14
7. 外形寸法図 ................................................................... 15

2
1. 特長
■ マグネスケール並みの扱い易さと信頼性。
■光波干渉計(レーザ測長器)並みの高精度、高分解能。
■ 温度・気圧・空気の乱れに左右されない安定測長。
■検出精度(内挿誤差)、繰返し精度、ヒステリシス誤差が
いずれも1/100ミクロンオーダの超高精度測長。
2. 使用上の注意事項
•スケールユニットに使用している半導体レーザの波長は
可視帯域から外れた780nm、最大出力は3mWです。
•スケールヘッドから出る光は目には見えませんが人体に
有害ですので、検出ヘッド部のカバーは絶対に取り外さ
ないでください。
光が漏れる可能性がありますので、通電時にスケール挿
入部分を覗き込まないでください。また､スケｰル以外
の物を差し込むことは絶対に行なわないでください。
•スケールには、それぞれ固有のスケールピッチの補正値
が記入されたラベルが貼られています。ご使用前に必
ずこの値を接続する表示ユニットまたはデテクタに設
定してください。(5ページをご参照ください。)
•スケールユニットのコネクタプラグには静電気保護用
キャップが付いていますので、表示ユニットまたはデテク
タ接続時まで取り外さないでください。
また、コネクタプラグの静電気保護キャップ取り外し後
に、コネクタピンに触れないように特に注意してくださ
い。故障の原因となります。
•スケールユニットのコネクタと表示ユニットまたはデテク
タのレセプタクルを完全に接続してから電源スイッチを
ONにしてください。
また、電源をONしたままコネクタを抜き差ししないでく
ださい。
•ケーブルを強く引いたり、無理に曲げてのご使用は避けて
ください。{曲げ半径50mm(内側)以上}
•電源投入後30分位経過しますと、検出ヘッド部の温度が安
定状態となります。その後にご使用ください。
•本品は精密測定器のため、過度の衝撃が加わらないよう取
扱いには十分注意してください。また、輸送するときは必
ず製品購入時と同じ包装形態でお願いします。

3
No.
MADEIN JAPAN
No.
MADE IN JAPAN
3. 各部の名称
取付ネジ
(六角穴付ボルトM4×8)
スケールクランプ
基準プレート
検出ヘッド部
コネクタプラグ
ケーブルクランプ
補正値ラベル
スライダ
スケール
取付ネジ
(六角穴付ボルトM5×40)
スペーサ
スケール
スライダ
コネクタプラグ
ケーブルクランプ
ヘッドケーブル

4
4. 取付け上の注意事項
4-1. 取付けにあたって
•スケ−ルと検出ヘッドは組合せて調整されています。複数
個のスケールユニットを取扱われる場合は、必ず同一梱包
内の組合せでご使用ください。万一スケールと検出ヘッド
の組合せが分からなくなった場合は、包装カートンに記載
されているNo.でご確認ください。
•取付位置(アッベ誤差)と周囲の環境(温度,湿度,振動,塵
挨)について十分ご検討ください。
•検出ヘッドのケーブルは動力線と同一ダクトに通さないで
ください。
•機械可動部の最大移動長さはスケール最大測定長以下にし
てください。
最大測定長＝有効長＋10mm(片側5mm)
(最大測定長を越えた場合はスケールユニットの信号が出
力されず、エラーが発生しますのでご注意ください。)
•スケールユニットは、その取付け後にスケール信号調整を
必要とします。機械への取付けにあたって、調整するため
のスペースを十分とれるよう考慮してください。
(6〜14ページをご参照ください。)
•ご使用前に必ずスケールの補正値を接続する表示ユニット
またはデテクタにセットしてください。
4-2. 取付け時に準備するもの
測定器
•てこ式ダイヤルゲージ ..................................................... 1台
(2/1000mmまたは1/1000mm目盛りのもの)
•ダイヤルゲージスタンド ................................................. 1台
•オシロスコープ ................................................................. 1台
2現象 X-Y表示可能なもの
入力感度 ：DC0.1V/DIV
X-Y周波数帯域 ：1MHz以上
工 具
•六角レンチ(呼び4,3,2) ................................................ 各1本
•プラスドライバー(呼び1番) ............................................ 1本
その他
•付属品 ................................................................................. 1式
•ガーゼ ............................................................................... 少量
•アルコール ....................................................................... 少量

5
4-3. 取付けの前に
4-3-1. 補正値について
スケールのホログラム格子ピッチPGは約0.55μmですが、
検出信号ピッチPSは原理的にこの1/4の約0.14μmです。こ
の値はスケールごとに若干の違いがあります。そのため、正
確な移動量を得るためには各スケール固有のピッチ補正を加
える必要があります。
補正値とは20℃温度下でのスケールユニット固有の検出ピッチ
PS＝0.1379MMMMμmの下4桁を表します。
ご使用前に必ずスケールの補正値を表示ユニットまたはデテ
クタにセットしてください。
20℃と異なる温度環境でご使用になる場合
使用温度が20℃と異なる場合には、次のように補正値の
修正を行なうことにより、温度補正を行なうことができ
ます。使用温度が23℃の場合の例を示します。
例) 補正値ラベルに示された補正値がzxcvの場合
0.1379zxcv×{1＋(23−20)×(−0.7×10−6)}
＝0.1379zx/b
20℃との温度差
スケールの温度膨張係数(14ページ参照)
温度補正後の補正値はzx/bとなります。この値を
セットしてください。
4-3-2. 補正値のセット方法
表示ユニット(BRシリーズ)またはデテクタ(BDシリーズ)取
扱説明書の「補正値の設定」の項をご覧ください。
注意
表示ユニット(BRシリーズ)およびデテクタ(BDシリーズ)の
補正値は出荷時オールゼロが設定されています。この状態で
はアラームが出力されご使用になれません。必ずスケールの
補正値を正しく設定してからご使用ください。

6
次の手順で行なってください。(詳細は該当ページをご参照ください。)
5-1. 取付面の準備 .....................................................................................................................6
5-2. スケールの取付け .............................................................................................................9
5-3. スライダの取付け ...........................................................................................................11
5-4. 信号調整 ...........................................................................................................................12
5-4-1.信号調整準備 ............................................................................................................12
5-4-2.アジマス調整 ............................................................................................................12
5-5. 取付け・調整終了 ...........................................................................................................13
5. 取付け・調整方法
Rmax=6.3S - 1.6S
13.5 0.2
+
-
Rmax=12.5S
68
50 0.3
-
+
25 0.2
-
+
23
(7)
16 0.2
-
+
8
13
(21)
44.5 0.3
+
-
55 0.3
-
+
72
0.01 M
0.03
0.01
6.3S-1.6S
0.01mm以下
0.01mm以下
12.5S
0.03mm以下
5-1. 取付面の準備
q 取付面の範囲(図中斜線部)と面精度を確認してください。
w取付けネジ座標の精度を確認してください。
BS75A-30R/RS
スケール取付面
4-M4,深6
スケール取付面
スライダ取付面
2-M5,深10
スライダ取付面
単位：mm
注意
“M”はマシンガイド(機械の走り)を示します。
粗さ(Rmax)
平面度
機械の走りに対する平行度
粗さ(Rmax)
スケール取付面に対する平行度
スケール取付面
スライダ取付面

7
Rmax=6.3S - 1.6S
13.5 0.2
+
-
Rmax=12.5S
L2
23
(7)
16 0.2
-
+
8
13
(21)
44.5 0.3
+
-
55 0.3
-
+
72
L1
L2
25 0.2
-
+
50 0.3
-
+
25 0.2
-
+25 0.2
-
+
0.01 M
0.03
0.01
Rmax=6.3S - 1.6S
13.5 0.2
+
-
Rmax=12.5S
23
(7)
16 0.2
-
+
8
13
(21)
44.5 0.3
+
-
55 0.3
-
+
72
100
88 0.3
-
+
25 0.2
-
+
25 0.2
-
+
40
0.01 M
0.03
0.01
BS75A-60R/RS
BS75A-110R/RS,160R/RS,210R/RS
注意
“M”はマシンガイド(機械の走り)を示します。
スライダ取付面
スライダ取付面
スケール取付面
6-M4,深6
スライダ取付面
2-M5,深10
8-M4,深6
スケール取付面
2-M5,深10
スケール取付面
単位：mm
注意
“M”はマシンガイド(機械の走り)を示します。
型名
BS75A-110R/RS
BS75A-160R/RS
BS75A-210R/RS
L1
148
198
248
L2
50
75
100
単位：mm
スケール取付面
スライダ取付面

8
Rmax=6.3S - 1.6S
0.01 M
13.5 0.2
+
-
0.03
Rmax=12.5S
L2
23
(7)
16 0.2
-
+
8
13
(21)
44.5 0.3
+
-
55 0.3
-
+
72
L1
L2
25 0.2
-
+
50 0.3
-
+
25 0.2
-
+25 0.2
-
+
25 0.2
-
+25 0.2
-
+
L2L2
0.01
Rmax=6.3S - 1.6S
13.5 0.2
+
-
Rmax=12.5S
100
23
(7)
16 0.2
-
+
8
13
(21)
44.5 0.3
+
-
55 0.3
-
+
72
L1
25 0.2
-
+
88 0.3
-
+
25 0.2
-
+25 0.2
-
+
100 40
0.01 M
0.03
0.01
25 0.2
-
+
BS75A-260R/RS,310R/RS
BS75A-360R/RS,410R/RS
型名
BS75A-360R/RS
BS75A-410R/RS
L1
398
448
L2
75
100
スライダ取付面
注意
“M”はマシンガイド(機械の走り)を示します。
型名
BS75A-260R/RS
BS75A-310R/RS
L1
298
348
注意
“M”はマシンガイド(機械の走り)を示します。
スケール取付面
2-M5,深10
スライダ取付面
スケール取付面
スライダ取付面
12-M4,深6
2-M5,深10
単位：mm
単位：mm
スケール取付面
スライダ取付面
スケール取付面
10-M4,深6

9
wスケールクランプを図のように取付けネジを用い、がた
がある程度(仮締めから1〜2回転戻す程度)にセットし
ます。
BS75A-30R/RS
BS75A-60R/RS,260R/RS,310R/RS
BS75A-110R/RS,160R/RS,210R/RS,360R/RS,410R/RS
0.01 M
基準
M4×8
平座金
基準プレート
スケールクランプ
基準プレート
スペーサ
M4×8(2本)
突き当て基準面
M4×8(2本)
突き当て基準面
M4×8
平座金
基準プレート
スケールクランプ
5-2. スケールの取付け
q用意された取付面にほこり等が無いことを確認後、基準
プレートを下図のようにマシンガイドに対し平行に取付
けます。(締め付けトルク1.4N･m)
図中、左側が基準穴となっています。てこ式ダイヤル
ゲージで平行度の確認を行ないながら右側で調整してく
ださい。
注意
基準プレートはスケールを取付ける際の突き当て基準とな
り、スケール精度を再現する上で重要なものです。必ず仕様
通り取付けてください。
BS75A-60R/RS,260R/RS,310R/RS
BS75A-30R/RS,110R/RS,160R/RS,210R/RS,
360R/RS,410R/RS

10
eスケールの取付面および突当面にほこり、汚れが無いこ
とを確認してください。汚れがある場合はアルコールを
含ませたガーゼで拭き取ってください。
rスケールをスケールクランプと取付面の間に挿入し、突
き当て基準面に軽く押し当てます(注意)。基準面に押し
当てながら図に示すスケールクランプ(2個使いのものは
左側、3個使いのものは中央のスケールクランプ)の取付
ネジをA→B→A･･･の順序で交互に少しずつ締め付けて
いきます。
(最終締付けトルク 1.4N･m)
BS75A-30R/RS
BS75A-60R/RS,260R/RS,310R/RS
BS75A-110R/RS,160R/RS,210R/RS,360R/RS,410R/RS
B
A
B
A
B
A
良不可
取付面
突当面
B
A
B
A
B
A
注意
スケールを基準面に突き当てるときは、下図左のように基準
面に対向するスケール端面を指で軽く(9.8N以下の力)押さ
えてください。下図のようにスケールの中央部を押さえる
(4.9N以上の力)など､スケールに変形を加えたまま固定しま
すと所定の精度を得ることができません。
(以下の手順でもこの点に十分ご注意ください。万一強い曲
げ力が加わったと思われる場合は、スケールクランプを緩め
再度正しく取付けてください。)
tスケールを熱的に安定化させるために、この状態で１時
間以上放置してください。
y残りのスケールクランプをA→B→A････の順序で交互に
少しずつ締め付けます。
(最終締付トルク 1.4N･m)
BS75A-60R/RS,260R/RS,310R/RS
BS75A-110R/RS,160R/RS,210R/RS,360R/RS,410R/RS

11
No.
MADE IN JAPAN
u両端にスケールクランプを同様に締め付けます。
(最終締め付けトルク 1.4N･m)
BS75A-260R/RS,310R/RS
BS75A-360R/RS,410R/RS
iスケール面に油や塵挨の付着がないことを確認します。
汚れがある場合は、アルコールを含ませたガーゼで拭き
取ります。
5-3. スライダの取付け
q取付ける機械のテーブルを移動させ、スケールのほぼ中
央位置にスライダの取付け中央位置を合わせます。
wスライダを付属の取付ネジにより仮止めします。
スライダ取付ネジ
(六角穴付ボルトM5×40)
スライダ
スケール
スケールクランプ
平座金(呼び5)
スペーサ
スペーサ
B
A
A
B
B
A
A
B

12
5-4-2. アジマス調整
下図に示したような方向をアジマス方向と呼ぶことにしま
す。スライダの向きを調整すると、規定値(振幅1.6Vp-p)以上
の安定した出力信号を得ることができます。
図1
qスライダ取付ネジをゆるめます。
w図1のA側のネジを締め付けて支点とし、スライダを図の
ように回転させ、リサージュの振幅が最大となる場所を
みつけます。
eリサージュの振幅が最大となるスライダ位置で、スライ
ダ取付ネジを2本交互に徐々に締め付けます。
(締付トルク2.8N･m)
rスケールとスライダが干渉していないこと、および図
1に示すB部のスキマが1±0.3mmであることを確認し
てください。
A
A
B
B
A
5-4. 信号調整
5-4-1. 信号調整準備
表示ユニット(BRシリーズ)またはデテクタ(BDシリーズ)と
スケールユニットBS75A-Rを接続します。
qスケールユニットのヘッドコネクタ部保護キャップを取
り外し、表示ユニットまたはデテクタのHEADINに接続
します。
注意
•コネクタピンには絶対に手を触れないでください。静電気
により内部の電気部品が壊れる恐れがあります。輸送時な
どコネクタを接続しないときは、必ず保護キャップを取付
けてください。
•ヘッドコネクタの着脱は、必ずデテクタの電源を切ってか
ら行なってください。
w表示ユニットまたはデテクタのシグナル調整部のカバー
を外します。
eオシロスコープのCH1プローブをS(SIN)とG(GND)に接
続します。
rオシロスコープのCH2プローブをC(COS)とG(GND)に接
続します。
BS75A-RとデテクタユニットBD50の接続
tオシロスコープのCH1、CH2のINPUTCOUPLINGスイッ
チをGNDに合わせ、信号がスクリーン中央にくるよう
にオシロスコープのPOSITIONを調整します。
yオシロスコープのCH1およびCH2のINPUTCOUPLING
スイッチをDCにします。
uTIME/DIVスイッチをX-YMODEにします。
iCH1、CH2の偏向感度(VOLTS/DIV)を0.5V/DIVにしま
す。
oデテクタの電源をONにします。
tスケールを移動させて全長に渡りリサージュの振幅A,B
(下図参照)が1.6Vp-p以上であることを確認します。
注意
調整を繰返しても1.6Vp-pの出力が得られない場合は、スケー
ルとスライダの取付面精度(参照6〜8ページ)、およびスケー
ル面上にゴミの付着がないか再度ご確認ください。
1 ±0.3
干渉の確認
スライダ
アジマス方向
アジマス方向
スケール
デテクタBD50
BD50
A/B
OUT
CHECK
HEAD
IN
GND
AC IN
POWER
REF IN
BINARY
DND
FUSE
L
N
CH1
CH2
G
S
C
G
CH1
CH2
オシロスコープ
シグナル調整部詳細部
BS75A-Rスケールユニット
ヘッドコネクタ
HEADIN
プローブ

13
No.
MADE IN JAPAN
5-5. 取付け・調整終了
ケーブルを付属のケーブルクランプと小ネジ(M4×8)で固定
します。
注意
締付け部の安定化とスケール周辺の熱的安定化をはかるた
め、取付け後3時間程度放置してからご使用ください。
5-6. 内蔵原点について
qレーザスケールスケールユニットの光学式内蔵原点は一
方向原点を採用しています。したがって、スケールとス
ライダの相対的な移動方向で、原点検出を下図のとおり
行なってください。検出時、原点信号は立ち上がりとな
ります。
(逆方向で原点検出を行なうと原点精度が悪化します。)
標準仕様の場合
w原点検出位置は標準仕様の場合、スケール有効長の中央
を基準に、左右50mmピッチで刻まれています。各有効
長における原点位置については、14ページをご参照くだ
さい。
e原点の検出については、ドグを用いて検出する方法と、
付属の原点マスクラベルにより、不必要な原点をマスク
する方法があります。
r所定の精度を得るため、原点検出時の速度変動
を0.2mm/S以下に押さえてください。
スケール
ケーブルクランプ
原点マスクラベル
スケール
スライダ
スケール
小ネジ(M4×8)

14
項目
有効長
最大測定長
全長
精度(20℃にて)
繰返精度(2σ)
もどり誤差
位置
繰返精度
方向
温度膨張係数
使用温度範囲
保存温度範囲
ケーブル長
光源
検出方式
5-7. 原点検出位置
6. 仕様
BS75A-R/RS
30〜410mm(9種類)
有効長＋10mm(左右各5mmずつ)
有効長＋36mm
0.05＋0.2L/100µmp-p(RS)
0.1＋0.4L/100µmp-p(R)
L＝有効長(mm)
0.05µm(BD60接続時)
0.05µm(BD60接続時)
中心および中心から左右へ50mmごと
±0.1µm（検出速度変動0.2mm/s以下）
片方向
−0.7×10−6℃−1
10〜30℃(結露不可)
−10〜50℃
3m
半導体レーザ(インクリ,原点各1)
回折格子走査式
原
点
LN
―
―
1
1
2
2
3
3
3
RN
―
―
―
1
1
2
2
2
3
BS75A-30R/RS
BS75A-60R/RS
BS75A-110R/RS
BS75A-160R/RS
BS75A-210R/RS
BS75A-260R/RS
BS75A-310R/RS
BS75A-360R/RS
BS75A-410R/RS
原点数
中央1
中央1
2
3
4
5
6
6
7
スケール全長L(mm)
66
96
146
196
246
296
346
396
446
中央
30
1
0
1
4
2
4
2
1
1
5
1
1
60
1
0
2
6
2
6
2
1
1
5
1
1
110
1
2
3
8
2
8
2
1
1
5
1
1
160
1
2
3
8
2
8
2
1
1
5
1
1
210
1
2
3
8
2
8
2
1
1
5
1
1
260
1
2
4
10
2
10
2
1
1
5
1
1
310
1
2
4
10
2
10
2
1
1
5
1
1
410
1
4
5
12
2
12
2
1
1
10
1
1
360
1
4
5
12
2
12
2
1
1
10
1
1
有 効 長
基準プレート
スペーサ
スケールクランプ
六角穴付ボルト M4×8
六角穴付ボルト M5×40
平座金(呼び4)
平座金(呼び5)
ケーブルクランプ
小ネジ M4×8
原点マスクラベル
取扱説明書
精度表
付属品
×
50 RN
×
50 LN
L

15
L1
L2 L2
60
50
25
25
55
70
2
4.6
7.8
20
40
(39)
2019
7
9(3.5) 7
44.5 512
23 14
13.5
25
12
38
50
25
42
60
21
16
4
9
14
10
25
38
5
3-Ø5
2-Ø5
+0.05
0
Ø4
+0.05
0
Ø4
+0.05 0
25
L3L3
25 25
0.4
13.8
1.4
13.5 0.2
+
-
L2
25
25
2020
L2
88
25
42
60
+0.05
0
Ø4
14
25 15
98
5-Ø5
9
N
2
4
6
6
6
8
8
10
10
7. 外形寸法図
BS75A-30〜410R/RS
型名
BS75A-30R/RS
BS75A-60R/RS
BS75A-110R/RS
BS75A-160R/RS
BS75A-210R/RS
BS75A-260R/RS
BS75A-310R/RS
BS75A-360R/RS
BS75A-410R/RS
L1
66
96
146
196
246
296
346
396
446
L3
―
―
―
―
―
―
―
75
100
2M-5スライダ取付ネジ
N-M4スケールクランプ取付ネジ
基準穴 基準穴
2-M4基準プレート取付ネジ
穴
L2
―
―
50
75
100
120
120
75
100
単位：mm
BS75A-60R/RS,260R/RS,310R/RSの場合
2-M4基準プレート取付ネジ
ケーブル長 3000
N-M4スケールクランプ取付ネジ
基準プレート t=2
基準プレート t=2 スペーサ t=2 スケールクランプ t=2

17
NOTES TO USERS
Read all Instructions carefully before starting Use.
Save this MANUAL for future reference.
CAUTION
Use of controls or adjustments or perfomance of procedures other than those specifled herein may result in
hazardous radiation exposure.
DANGER INVISIBLE LASER
RADIATION WHEN OPEN. AVOID
DIRECT EXPOSURE TO BEAM.
CAUTION
2-933-274-01
DO NOT REMOVE COVER REFER SERVICING TO
QUALIFIED PERSONNEL.
ATTENTION
NE PAS DEMONTER LE CAPOT. LAISSER REVISER
A PERSONNEL DIPLOMEE.
GENERAL PRECAUTIONS
When using Magnescale Co., Ltd. products, observe the
following general precautions along with those given
specifically in this manual to ensure proper use of the
products.
•Before and during operations, be sure to check that our
products function properly.
•Provide adequate safety measures to prevent damages
in case our products should develop malfunction.
•Use outside indicated specifications or purposes and
modification of our products will void any warranty of the
functions and performance as specified of our products.
•When using our products in combination with other
equipment, the functions and performance as noted in
this manual may not be attained, depending upon
operating environmental conditions. Make full study of
the compatibility in advance.
CERTIFICATION
PRODUCT COMPLIES WITH DHHS RULES 21
CFR SUBCHAPTER J APPLICABLE AT DATE
OF MANUFACTURE.
Magnescale Co., Ltd.
Shinagawa Intercity Tower A-18F, 2-15-1,
Konan, Minato-ku, Tokyo 108-6018, Japan
MANUFACTURED AT ISEHARA PLANT
Magnescale Co., Ltd.
2-933-725-∗∗

18
TABLE OF CONTENTS 1. FEATURES
••
••
•Simple use and high reliability common for all Magnescale
Co., Ltd.
••
••
•High-accuracy measuring using high-precision hologram
grating.
••
••
•Stable measuring unaffected by temperature, disturbed air
and air pressure.
••
••
•Detecting accuracy (interpolation error), repeatability
and hysteresis error are all held to within 0.05 micron
metre (2.0 µinch).
NOTES TO USERS ......................................................... 17
GENERAL PRECAUTIONS ............................................ 17
CAUTION ......................................................................... 17
1. FEATURES .................................................................. 18
2. OPERATING PRECAUTIONS..................................... 19
3. NAMES OF PARTS ..................................................... 20
4. MOUNTING PRECAUTIONS ...................................... 21
4-1. When Mounting .................................................... 21
4-2. Mounting Requirements ....................................... 21
4-3. Before Mounting ................................................... 22
4-3-1. Compensation Value ..................................... 22
4-3-2. Compensation Value Setting ......................... 22
5. MOUNTING AND ADJUSTMENT ............................... 23
5-1. Mounting Surface Preparations ............................ 23
5-2. Scale Mounting ..................................................... 26
5-3. Slider Mounting .................................................... 28
5-4. Signal Adjustment ................................................ 29
5-4-1. Signal Adjustment Preparations .................... 29
5-4-2. Azimuth Adjustment ....................................... 30
5-5. Completion of Mounting and Adjustment ............. 31
5-6. Built-in reference point ......................................... 31
5-7. Reference ponit detection locations ..................... 32
6. SPECIFICATIONS ....................................................... 32
7. OUTSIDE DIMENSIONS ............................................. 33
Please read this manual thoroughly for optimal use of this
unit.