Pfeiffer Vacuum HIPACE 700 P User manual

BETRIEBSANLEITUNG
DE
OPERATING INSTRUCTIONS
EN
Original
HIPACE 700 P
Turbopumpe
Turbopump

Dear Customer,
Thank you for choosing a Pfeiffer Vacuum product. Your new turbopump is designed to
support you by its performance, its perfect operation and without interfering your individual
application. The name Pfeiffer Vacuum stands for high-quality vacuum technology, a
comprehensive and complete range of top-quality products and first-class service. With this
expertise, we have acquired a multitude of skills contributing to an efficient and secure
implementation of our product.
Knowing that our product must not interfere with your actual work, we are convinced that our
product offers you the solution that supports you in the effective and trouble-free execution of
your individual application.
Please read these operating instructions before putting your product into operation for the
first time. If you have any questions or suggestions, please feel free to contact info@pfeiffer-
vacuum.de.
Further operating instructions from Pfeiffer Vacuum can be found in the Download Center on
our website.
Disclaimer of liability
These operating instructions describe all models and variants of your product. Note that your
product may not be equipped with all features described in this document. Pfeiffer Vacuum
constantly adapts its products to the latest state of the art without prior notice. Please take
into account that online operating instructions can deviate from the printed operating
instructions supplied with your product.
Furthermore, Pfeiffer Vacuum assumes no responsibility or liability for damage resulting from
the use of the product that contradicts its proper use or is explicitly defined as foreseeable
misuse.
Copyright
This document is the intellectual property of Pfeiffer Vacuum and all contents of this
document are protected by copyright. They may not be copied, altered, reproduced or
published without the prior written permission of Pfeiffer Vacuum.
We reserve the right to make changes to the technical data and information in this document.
2/124

Inhaltsverzeichnis
1 Zu dieser Anleitung 7
1.1 Gültigkeit 7
1.1.1 Mitgeltende Dokumente 7
1.1.2 Varianten 7
1.2 Zielgruppe 7
1.3 Konventionen 7
1.3.1 Anweisungen im Text 7
1.3.2 Piktogramme 8
1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt 8
1.3.4 Abkürzungen 9
1.4 Markennachweis 9
2 Sicherheit 10
2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise 10
2.2 Sicherheitshinweise 10
2.3 Sicherheitsmaßnahmen 14
2.4 Einsatzgrenzen des Produkts 15
2.5 Bestimmungsgemäße Verwendung 15
2.6 Vorhersehbarer Fehlgebrauch 15
2.7 Personenqualifikation 16
2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 16
2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 17
2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden 17
3 Produktbeschreibung 18
3.1 Funktion 18
3.1.1 Kühlung 18
3.1.2 Rotorlager 18
3.1.3 Antrieb 18
3.2 Produkt identifizieren 19
3.2.1 Produkttypen 19
3.2.2 Produktmerkmale 19
3.3 Lieferumfang 19
4 Transport und Lagerung 20
4.1 Transport 20
4.2 Lagerung 20
5 Installation 21
5.1 Vorbereitende Arbeiten 21
5.2 Turbopumpe am Unterteil befestigen 22
5.3 Hochvakuumseite anschließen 22
5.3.1 Gegenflansch auslegen 22
5.3.2 Erdbebensicherheit berücksichtigen 23
5.3.3 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden 24
5.3.4 Dämpfungskörper verwenden 24
5.3.5 Einbaulagen 25
5.3.6 ISO-K Flansch an ISO-K befestigen 25
5.3.7 ISO-K Flansch an ISO-F befestigen 25
5.3.8 ISO-F Flansch an ISO-F befestigen 27
5.3.9 CF-Flansch an CF-F befestigen 28
5.4 Vorvakuumseite anschließen 30
5.5 Kühlwasseranschluss 31
5.6 Zubehör anschließen 32
5.7 Elektrische Versorgung anschließen 33
5.7.1 Turbopumpe erden 33
Inhaltsverzeichnis
3/124

5.7.2 Elektrischen Anschluss herstellen 34
6 Betrieb 35
6.1 Inbetriebnahme 35
6.2 Betriebsarten 36
6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit 36
6.2.2 Betrieb über Multifunktionsanschluss "remote" 36
6.2.3 Betrieb über Anschluss "E74" 36
6.2.4 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Steuergerät 36
6.2.5 Betrieb über Feldbus 36
6.3 Turbopumpe einschalten 37
6.4 Betriebsüberwachung 37
6.4.1 Betriebsanzeige über LED 37
6.4.2 Temperaturüberwachung 38
6.5 Ausschalten und Fluten 38
6.5.1 Ausschalten 38
6.5.2 Fluten 38
7 Wartung 40
7.1 Allgemeine Wartungshinweise 40
7.2 Wartungsintervalle und- zuständigkeiten 40
7.3 Betriebsmittelspeicher austauschen 41
7.3.1 Betriebsmittelspeicher demontieren 41
7.3.2 Betriebsmittelspeicher montieren 42
7.4 Antriebselektronik austauschen 43
7.4.1 Antriebselektronik demontieren 44
7.4.2 Antriebselektronik installieren 45
7.4.3 Drehzahlvorgabe bestätigen 45
8 Außerbetriebnahme 47
8.1 Stillsetzen für längere Zeit 47
8.2 Wiederinbetriebnahme 47
9 Recycling und Entsorgung 48
9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise 48
9.2 Turbopumpe entsorgen 48
10 Störungen 49
11 Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum 52
12 Ersatzteile HiPace 700 P 54
13 Zubehör 55
13.1 Zubehörinformationen 55
13.2 Zubehör bestellen 55
14 Technische Daten und Abmessungen 58
14.1 Allgemeines 58
14.2 Technische Daten 58
14.3 Medienberührende Werkstoffe 60
14.4 Abmessungen 60
EG Konformitätserklärung 62
UK Konformitätserklärung 63
Inhaltsverzeichnis
4/124

Tabellenverzeichnis
Tab. 1: Verwendete Abkürzungen im Dokument 9
Tab. 2: Zulässige Umgebungsbedingungen 15
Tab. 3: Produktbezeichnung von HiPace Turbopumpen 19
Tab. 4: Merkmale der Turbopumpen 19
Tab. 5: Anforderungen für die Befestigung der Turbopumpen am Unterteil 22
Tab. 6: Anforderungen für die Auslegung des kundenseitigen Hochvakuuman-
schlusses
23
Tab. 7: Reduzierung des Saugvermögens bei Verwendung eines Splitterschutzes
oder Schutzgitters
24
Tab. 8: Anforderungen an die Zusammensetzung von Kühlwasser 31
Tab. 9: Anforderungen an den Kühlwasseranschluss 31
Tab. 10: Voreingestellte Zubehöranschlüsse an Antriebselektronik TC 400 33
Tab. 11: Werkseitige Einstellung der Antriebselektronik bei Auslieferung 35
Tab. 12: Verhalten und Bedeutung der LEDs an der Antriebselektronik 38
Tab. 13: Werkseinstellungen für verzögertes Fluten bei Turbopumpen 39
Tab. 14: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen 45
Tab. 15: Störungsbehebung bei Turbopumpen 51
Tab. 16: Verfügbare Ersatzteile 54
Tab. 17: Zubehör HiPace 700 57
Tab. 18: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten 58
Tab. 19: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz 58
Tab. 20: Technische Daten für HiPace 700 P | 48 V 60
Tab. 21: Werkstoffe mit Prozessmedienkontakt 60
Tabellenverzeichnis
5/124

Abbildungsverzeichnis
Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt 8
Abb. 2: Aufbau HiPace 700 P 18
Abb. 3: Beispiel: Sicherheitsverbindungen 24
Abb. 4: Empfohlene Ausrichtung bei Verwendung ölgedichteter Vorpumpen 25
Abb. 5: Flanschverbindung ISO-K zu ISO-K, Klammerschraube 25
Abb. 6: Flanschverbindung ISO-K zu ISO-F, Sechskantschraube und Gewindeboh-
rung
26
Abb. 7: Flanschverbindung ISO-K zu ISO-F, Stiftschraube und Gewindebohrung 26
Abb. 8: Flanschverbindung ISO-K zu ISO-F, Stiftschraube und Durchgangsbohrung 27
Abb. 9: Flanschverbindung ISO-F, Sechskantschraube und Gewindebohrung 27
Abb. 10: Flanschverbindung ISO-F, Stiftschraube und Gewindebohrung 27
Abb. 11: Flanschverbindung ISO-F, Stiftschraube und Durchgangsbohrung 28
Abb. 12: Flanschverbindung CF-F, Sechskantschraube und Durchgangsbohrung 28
Abb. 13: Flanschverbindung CF-F, Siftschraube und Gewindebohrung 29
Abb. 14: Flanschverbindung CF-F, Siftschraube und Durchgangsbohrung 29
Abb. 15: Beispiel für den Vorvakuumanschluss an HiPace 700 30
Abb. 16: Kühlwasserversorgung anschließen 32
Abb. 17: Beispiel: Anschluss des Erdungskabels 33
Abb. 18: Antriebselektronik mit Netzteil verbinden 34
Abb. 19: Betriebsmittelspeicher demontieren 42
Abb. 20: Betriebsmittelspeicher montieren 43
Abb. 21: Demontage der Antriebselektronik TC 400 44
Abb. 22: Montage der Antriebselektronik TC 400 45
Abb. 23: Ersatzteile HiPace 700 P 54
Abb. 24: Abmessungen HiPace 700 P | TC 400 | DN 160 ISO-K 60
Abb. 25: Abmessungen HiPace 700 P | TC 400 | DN 160 CF-F 61
Abb. 26: Abmessungen HiPace 700 P | TC 400 | DN 160 ISO-F 61
Abbildungsverzeichnis
6/124

1 Zu dieser Anleitung
WICHTIG
Vor Gebrauch sorgfältig lesen.
Aufbewahren für späteres Nachschlagen.
1.1 Gültigkeit
Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be-
schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den
sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Anga-
ben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts. Die
Dokumentation behält ihre Gültigkeit, sofern kundenseitig keine Veränderungen am Produkt vorgenom-
men werden.
1.1.1 Mitgeltende Dokumente
Dokument Nummer
Betriebsanleitung Antriebselektronik TC 400 Standard PT 0203 BN
Betriebsanleitung Antriebselektronik TC 400 PB, Profibus PT 0244 BN
Betriebsanleitung Antriebselektronik TC 400 E74, gem. Semi E74 PT 0302 BN
Betriebsanleitung Antriebselektronik TC 400 DN, DeviceNet PT 0352 BN
Betriebsanleitung Antriebselektronik TC 400 EC, EtherCat PT 0452 BN
Konformitätserklärung Bestandteil dieser Anleitung
Aktuelle Dokumente sind verfügbar über Pfeiffer Vacuum Download Center.
1.1.2 Varianten
●HiPace 700 P, DN 160 ISO-K, TC 400, 48 V DC
●HiPace 700 P, DN 160 CF-F, TC 400, 48 V DC
●HiPace 700 P, DN 160 ISO-F, TC 400, 48 V DC
1.2 Zielgruppe
Diese Betriebsanleitung richtet sich an alle Personen, die das Produkt
●transportieren,
●aufstellen (installieren),
●bedienen und betreiben,
●außerbetriebnehmen,
●warten und reinigen,
●lagern oder entsorgen.
Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen durchführen, die eine geeignete
technische Ausbildung besitzen (Fachpersonal) oder eine entsprechende Schulung durch Pfeiffer Vacu-
um erhalten haben.
1.3 Konventionen
1.3.1 Anweisungen im Text
Handlungsanweisungen im Dokument folgen einem generellen und in sich abgeschlossenen Aufbau.
Die notwendige Tätigkeit ist durch einen einzelnen oder mehrere Handlungsschritte gekennzeichnet.
Einzelner Handlungsschritt
Ein liegendes gefülltes Dreieck kennzeichnet den einzigen Handlungsschritt einer Tätigkeit.
►Dies ist ein einzelner Handlungsschritt.
Zu dieser Anleitung
7/124

Abfolge von mehreren Handlungsschritten
Die numerische Aufzählung kennzeichnet eine Tätigkeit mit mehreren notwendigen Handlungsschritten.
1. Handlungsschritt 1
2. Handlungsschritt 2
3. ...
1.3.2 Piktogramme
Im Dokument verwendete Piktogramme kennzeichnen nützliche Informationen.
Hinweis
Tipp
1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt
Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung.
Oil
S/N
Mod.
HiPace 700 P
PM PXX XXX
- - - - - - - -
P/N
n, f
Mass
PM XXX XXX -T
49200 1/min, 820 Hz
1X.X kg
D-35614 Asslar
C US
TÜV Rheinland
Berliner Str. 43
UL / CSA 61010-1
Type 12
IP54
Made in Germany 2023/02
Typenschild (Beispiel)
Das Typenschild der Turbopumpe befindet sich am Unterteil
der Vakuumpumpe.
Typenschild der Antriebselektronik
Das Typenschild der Antriebselektronik befindet sich auf deren
Außenseite direkt neben den LEDs
Hinweis Betriebsanleitung
Dieser Aufkleber weist darauf hin, vor allen Tätigkeiten diese
Betriebsanleitung zu lesen.
Schutzklasse
Dieser Aufkleber beschreibt die Schutzklasse III für das Pro-
dukt. Die Platzierung zeigt den Anschluss für die Funktionser-
de.
warranty seal
Verschlusssiegel
Das Produkt ist ab Werk versiegelt. Beschädigung oder Entfer-
nen eines Verschlusssiegels führt zum Verlust der Gewährleis-
tung.
3
4
2
1
Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt
1 Hinweis Betriebsanleitung 3 Hinweis Erdungsanschluss
2 Verschlusssiegel 4 Typenschild der Turbopumpe
Zu dieser Anleitung
8/124

1.3.4 Abkürzungen
Abkürzung Bedeutung im Dokument
CF Flansch: Anschlussverbindung metallgedichtet gemäß ISO 3669
dBetrag des Durchmessers (in mm)
DC Gleichstrom
DN Nomineller Durchmesser als Größenbeschreibung
fBetrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz)
HHochkompression
HPU Handheld Programming Unit. Assistent zur Steuerung und Kontrolle der Pumpenpara-
meter
HV Hochvakuumflansch, Hochvakuumseite
ISO Flansch: Anschlussverbindung gemäß ISO 1609 und ISO 2861
LED Leuchtdiode
PE Schutzleiter (protective earth)
[P:xxx] Steuerparameter der Antriebselektronik. Fettgedruckt als dreistellige Nummer in ecki-
gen Klammern. Häufig in Verbindung mit einer Kurzbezeichnung angezeigt.
Beispiel: [P:312] Softwareversion
remote 26-polige D-Sub-Anschlussbuchse an der Antriebselektronik der Turbopumpe
SW Schlüsselweite
TTemperatur (in °C)
TC Antriebselektronik der Turbopumpe (turbo controller)
TPS Spannungsversorgung (turbo power supply)
VV Vorvakuumflansch, Vorvakuumanschluss
Tab. 1: Verwendete Abkürzungen im Dokument
1.4 Markennachweis
●DeviceNet® ist eine Marke von Open DeviceNet Vendor Association Inc.
●Profibus® ist eine Marke der Profibus Nutzerorganisation e.V.
●EtherCAT® ist eine eingetragene Marke und patentierte Technologie, lizenziert durch die Beckhoff
Automation GmbH, Deutschland.
Zu dieser Anleitung
9/124

2 Sicherheit
2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise
Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt.
GEFAHR
Unmittelbar bevorstehende Gefahr
Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu
schweren Verletzungen führt.
►Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation
WARNUNG
Möglicherweise bevorstehende Gefahr
Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-
zungen führen kann.
►Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation
VORSICHT
Möglicherweise bevorstehende Gefahr
Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zu leichten Verletzungen führen
kann.
►Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation
HINWEIS
Gefahr von Sachschäden
Wird verwendet um auf Handlungen aufmerksam zu machen, die nicht auf Personenschäden bezo-
gen sind.
►Anweisung zur Vermeidung von Sachschäden
Hinweise, Tipps oder Beispiele kennzeichnen wichtige Informationen zum Produkt oder zu
diesem Dokument.
2.2 Sicherheitshinweise
Alle Sicherheitshinweise in diesem Dokument beruhen auf Ergebnissen der Risikobeurteilung gemäß
Maschinenrichtlinie 2006/42/EG Anhang I und EN ISO 12100 Kapitel 5. Soweit zutreffend wurden alle
Lebensphasen des Produkts berücksichtigt.
Risiken beim Transport
WARNUNG
Gefahr schwerer Verletzungen durch herabfallende Gegenstände
Durch das Herabfallen von Gegenständen besteht die Gefahr von Verletzungen an Gliedmaßen bis
hin zu Knochenbrüchen.
►Seien Sie beim Transport der Produkte von Hand besonders vorsichtig und aufmerksam.
►Stapeln Sie die Produkte nicht.
►Tragen Sie Schutzausrüstungen, z. B. Sicherheitsschuhe.
Sicherheit
10/124

Risiken bei der Installation
GEFAHR
Lebensgefahr durch elektrischen Schlag
Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum
Todesfall.
►Achten Sie darauf, dass das Netzteil den Anforderungen für doppelte Isolierung zwischen Netz-
eingangsspannung und Ausgangsspannung gemäß IEC 61010-1, IEC 60950-1 und IEC 62368-1
entspricht.
►Achten Sie darauf, dass das Netzteil den Anforderungen für Ableitströme gemäß IEC 61010-1,
IEC 60950-1 und IEC 62368-1 entspricht.
►Verwenden Sie möglichst original Netzteile oder ausschließlich Netzteile, die den geltenden Si-
cherheitsbestimmungen entsprechen.
WARNUNG
Lebensgefahr durch fehlende Netztrenneinrichtung
Die Vakuumpumpe und die Antriebselektronik sind nicht mit einer Netztrenneinrichtung (Hauptschal-
ter) ausgestattet.
►Installieren Sie eine Netztrenneinrichtung gemäß SEMI-S2.
►Sehen Sie einen Leistungsschalter mit einem Ausschaltvermögen von min. 10.000 A vor.
WARNUNG
Verletzungsgefahr aufgrund nicht sachgerechter Installation
Durch unsichere oder nicht sachgerechte Installation entstehen gefährliche Situationen.
►Nehmen Sie keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vor.
►Sorgen Sie für die Integration in einen Not‑Aus‑Sicherheitskreis.
WARNUNG
Gefahr von Schnittverletzungen an beweglichen, scharfkantigen Teilen bei Eingriff in den offe-
nem Hochvakuumflansch
Bei offenem Hochvakuumflansch ist der Zugang zu scharfkantigen Teilen möglich. Eine manuelle
Rotation des Rotors vergrößert die Gefahrensituation. Es besteht die Gefahr von Schnittverletzun-
gen, bis hin zum Abtrennen von Körperteilen (z. B. Fingerkuppen). Es besteht die Gefahr des Ein-
zugs von Haaren und losen Kleidungsstücken. Hineinfallende Gegenstände zerstören die Turbopum-
pe im späteren Betrieb.
►Entfernen Sie die original Schutzdeckel erst unmittelbar vor dem Anschluss des Hochvakuumf-
lanschs.
►Greifen Sie nicht in den Hochvakuumanschluss.
►Tragen Sie Schutzhandschuhe während der Installation.
►Nehmen Sie die Turbopumpe nicht mit offenen Vakuumanschlüssen in Betrieb.
►Führen Sie die mechanische Installation immer vor dem elektrischen Anschluss aus.
►Verhindern Sie den Zugang zum Hochvakuumanschluss der Turbopumpe von der Betreiberseite
(z. B. offene Vakuumkammer).
WARNUNG
Lebensgefahr durch Vergiftung bei Austritt von toxischen Prozessmedien an beschädigten
Anschlüssen
Plötzliches Verdrehen der Turbopumpe im Störungsfall führt zu Beschleunigungen von Anbauten. Es
besteht das Risiko von Beschädigungen und Leckagen an kundenseitigen Anschlüssen (z.B. Vorva-
kuumleitung). Der Austritt von Prozessmedien ist die Folge. Bei Prozessen mit toxischen Medien be-
steht Verletzungs- und Lebensgefahr durch Vergiftung.
►Halten Sie an der Turbopumpe anzuschließende Massen möglichst gering.
►Verwenden Sie ggf. flexible Leitungen für den Anschluss an der Turbopumpe.
Sicherheit
11/124

WARNUNG
Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall
Plötzliches Blockieren des Rotors erzeugt gemäß ISO 27892 hohe zerstörende Drehmomente. Diese
führen bei Verwendung eines Dämpfungskörpers höchstwahrscheinlich zum Abreißen der Turbo-
pumpe. Die dabei freigesetzte Energie kann die gesamte Turbopumpe oder Bruchstücke aus deren
Inneren durch den Raum schleudern. Potentiell gefährliche Gase können entweichen. Es besteht die
Gefahr von schwersten Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden.
►Ergreifen Sie bauseitig geeignete Sicherungsmaßnahmen zur Kompensation der auftretenden
Drehmomente.
►Halten Sie vor der Installation eines Dämpfungskörpers unbedingt Rücksprache mit Pfeiffer Va-
cuum.
WARNUNG
Gefahr von Schnittverletzungen durch unvorhergesehenen automatischen Hochlauf
Das Verwenden von Gegensteckern für die Antriebselektronik (Zubehör), ermöglicht den sofortigen
Hochlauf der Vakuumpumpe nach Herstellen der Spannungsversorgung. Das Aufstecken von Ge-
gensteckern vor oder während der Installation führt zu der Gefahr von Schnittverletzungen an rotier-
enden scharfkantigen Teilen im offenliegenden Hochvakuumflansch.
►Verwenden Sie die Gegenstecker nur nach der mechanischen Installation.
►Schalten Sie die Turbopumpe nur unmittelbar vor dem Betrieb ein.
Risiken beim Betrieb
WARNUNG
Verbrennungsgefahr an heißen Oberflächen bei Verwendung von Zusatzeinrichtungen zum
Heizen für den Betrieb
Die Verwendung von Zusatzeinrichtungen zum Heizen der Vakuumpumpe oder zur Prozessoptimie-
rung erzeugt sehr hohe Temperaturen an berührbaren Oberflächen. Es besteht Verbrennungsgefahr.
►Richten Sie ggf. einen Berührungsschutz ein.
►Bringen Sie ggf. dafür vorgesehene Warnaufkleber an den Gefahrenstellen an.
►Sorgen Sie für ausreichend Abkühlung vor Arbeiten an der Vakuumpumpe oder in deren Umge-
bung.
►Tragen Sie Schutzausrüstung, z.B. Handschuhe.
WARNUNG
Gefahr schwerer Verletzungen bei Zerstörung der Vakuumpumpe durch Überdruck
Gaseintritt mit sehr hohem Überdruck führt zur Zerstörung der Vakuumpumpe. Es besteht die Gefahr
schwerer Verletzungen durch herausgeschleuderte Objekte.
►Überschreiten Sie nicht den zulässigen Einlassdruck von 1500 hPa (abs.) an Ansaugseite oder
Flut- und Sperrgasanschluss.
►Stellen Sie sicher, dass prozessbedingt hohe Überdrücke nicht direkt in die Vakuumpumpe ge-
langen.
VORSICHT
Gefahr von Verletzungen durch Kontakt mit Vakuum beim Belüften
Während des Belüftens der Vakuumpumpe besteht die Gefahr geringer Verletzungen durch unmittel-
baren Kontakt von Körperteilen mit dem Vakuum, z.B. Hämatome.
►Drehen Sie die Flutschraube beim Belüften nicht vollständig aus dem Gehäuse.
►Halten Sie Abstand zu automatischen Fluteinrichtungen, wie Flutventilen.
Sicherheit
12/124

Risiken bei der Wartung, Außerbetriebnahme und Entsorgung
WARNUNG
Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wartungs- und Servicearbeiten
Das Gerät ist nur bei gezogenem Netzstecker und stillstehender Turbopumpe völlig spannungsfrei.
Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponen-
ten.
►Schalten Sie vor allen Arbeiten den Hauptschalter aus.
►Warten Sie den Stillstand der Turbopumpe ab (Drehzahl f = 0).
►Ziehen Sie den Netzstecker vom Gerät ab.
►Sichern Sie das Gerät gegen unbeabsichtigtes Wiedereinschalten.
WARNUNG
Gesundheitsgefahr durch Vergiftung an toxisch kontaminierten Bauteilen oder Geräten
Toxische Prozessmedien führen zur Kontamination der Geräte oder Teilen davon. Bei Wartungsar-
beiten besteht Gesundheitsgefahr durch Kontakt mit diesen giftigen Substanzen. Die unzulässige Be-
seitigung toxischer Substanzen führt zu Umweltschäden.
►Treffen Sie geeignete Sicherheitsvorkehrungen und verhindern Sie Gesundheitsgefährdungen
und Umweltbelastungen durch toxische Prozessmedien.
►Dekontaminieren Sie die betreffenden Teile vor der Ausführung von Wartungsarbeiten.
►Tragen Sie Schutzausrüstung.
WARNUNG
Schnittverletzungen an beweglichen, scharfkantigen Teilen bei Eingriff in den offenem Hoch-
vakuumanschluss
Unsachgemäße Behandlung der Turbopumpe vor Wartungsarbeiten führt zu Gefahrensituationen mit
Verletzungsrisiko. Es besteht die Gefahr von Schnittverletzungen durch Zugang an scharfkantigen,
rotierenden Teilen beim Ausbau der Turbopumpe.
►Warten Sie den Stillstand der Turbopumpe ab (Drehzahl f = 0).
►Schalten Sie die Turbopumpe ordentlich aus.
►Sichern Sie die Turbopumpe gegen Wiedereinschalten.
►Verschließen Sie offene Anschlüsse unmittelbar nach dem Ausbau durch die original Schutzde-
ckel.
WARNUNG
Vergiftungsgefahr durch Kontakt mit gesundheitsschädlichen Stoffen
Der Betriebsmittelspeicher und Teile der Turbopumpe enthalten möglicherweise giftige Substanzen
aus den gepumpten Medien.
►Dekontaminieren Sie betreffende Teile vor der Ausführung von Wartungsarbeiten.
►Verhindern Sie Gesundheitsgefährdungen oder Umweltbelastungen durch entsprechende Si-
cherheitsvorkehrungen.
►Beachten Sie das Sicherheitsdatenblatt des Betriebsmittels.
►Entsorgen Sie den Betriebsmittelspeicher nach den geltenden Vorschriften.
Risiken bei Störungen
WARNUNG
Lebensgefahr durch elektrischen Schlag im Störungsfall
Im Störungsfall stehen die mit dem Netz verbundenen Geräte möglicherweise unter Spannung. Es
besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponenten.
►Halten Sie den Netzanschluss immer frei zugänglich, um die Verbindung jederzeit trennen zu
können.
Sicherheit
13/124

WARNUNG
Lebensgefahr durch Abreißen der Turbopumpe im Störungsfall
Plötzliches Blockieren des Rotors erzeugt gemäß ISO 27892 hohe zerstörende Drehmomente. Diese
führen bei nicht ordnungsgemäßer Befestigung zum Abreißen der Turbopumpe. Die dabei freige-
setzte Energie kann die gesamte Turbopumpe oder Bruchstücke aus deren Inneren durch den Raum
schleudern. Potentiell gefährliche Gase können entweichen. Es besteht die Gefahr von schwersten
Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden.
►Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe.
►Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches.
►Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate-
rial für die Installation.
WARNUNG
Lebensgefahr durch Vergiftung bei Austritt von toxischen Prozessmedien an beschädigten
Anschlüssen
Plötzliches Verdrehen der Turbopumpe im Störungsfall führt zu Beschleunigungen von Anbauten. Es
besteht das Risiko von Beschädigungen und Leckagen an kundenseitigen Anschlüssen (z.B. Vorva-
kuumleitung). Der Austritt von Prozessmedien ist die Folge. Bei Prozessen mit toxischen Medien be-
steht Verletzungs- und Lebensgefahr durch Vergiftung.
►Halten Sie an der Turbopumpe anzuschließende Massen möglichst gering.
►Verwenden Sie ggf. flexible Leitungen für den Anschluss an der Turbopumpe.
WARNUNG
Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall
Plötzliches Blockieren des Rotors erzeugt gemäß ISO 27892 hohe zerstörende Drehmomente. Diese
führen bei Verwendung eines Dämpfungskörpers höchstwahrscheinlich zum Abreißen der Turbo-
pumpe. Die dabei freigesetzte Energie kann die gesamte Turbopumpe oder Bruchstücke aus deren
Inneren durch den Raum schleudern. Potentiell gefährliche Gase können entweichen. Es besteht die
Gefahr von schwersten Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden.
►Ergreifen Sie bauseitig geeignete Sicherungsmaßnahmen zur Kompensation der auftretenden
Drehmomente.
►Halten Sie vor der Installation eines Dämpfungskörpers unbedingt Rücksprache mit Pfeiffer Va-
cuum.
2.3 Sicherheitsmaßnahmen
Informationspflicht zu möglichen Gefahren
Der Halter oder Betreiber des Produkts ist verpflichtet, jede Bedienperson auf Gefahren,
die von diesem Produkt ausgehen, aufmerksam zu machen.
Jede Person, die sich mit der Installation, dem Betrieb oder der Instandhaltung des Pro-
dukts befasst, muss die sicherheitsrelevanten Teile dieses Dokuments lesen, verstehen
und befolgen.
Verletzung der Konformität durch Veränderungen am Produkt
Die Konformitätserklärung des Herstellers erlischt, wenn der Betreiber das Originalprodukt
verändert oder Zusatzeinrichtungen installiert.
●Nach Einbau in eine Anlage ist der Betreiber verpflichtet, vor deren Inbetriebnahme die
Konformität des Gesamtsystems im Sinne der geltenden europäischen Richtlinien zu
überprüfen und entsprechend neu zu bewerten.
Allgemeine Sicherheitsmaßnahmen im Umgang mit dem Produkt
►Beachten Sie alle geltenden Sicherheits- und Unfallverhütungsvorschriften.
►Überprüfen Sie regelmäßig die Einhaltung aller Schutzmaßnahmen.
►Setzen Sie kein Körperteil dem Vakuum aus.
►Gewährleisten Sie immer die sichere Verbindung zum Schutzleiter (PE).
Sicherheit
14/124

►Lösen Sie während des Betriebs keine Steckerverbindungen.
►Beachten Sie die genannten Ausschaltprozeduren.
►Warten Sie vor Arbeiten am Hochvakuumanschluss den völligen Stillstand des Rotors ab (Dreh-
zahl f = 0).
►Setzen Sie das Gerät nicht mit offenem Hochvakuumanschluss in Betrieb.
►Halten Sie Leitungen und Kabel von heißen Oberflächen (> 70 °C) fern.
►Befüllen oder betreiben Sie das Gerät niemals mit Reinigungsmittel oder Resten davon.
►Nehmen Sie keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vor.
►Beachten Sie die Schutzart des Geräts vor dem Einbau oder Betrieb in anderen Umgebungen.
2.4 Einsatzgrenzen des Produkts
Aufstellungsort wettergeschützt (Innenräume)
Luftdruck 530 hPa bis 1060 hPa
Aufstellungshöhe max. 5000 m
Rel. Luftfeuchte max. 80 %, bei T < 31 °C,
bis max. 50 % bei T < 40 °C
Schutzklasse III
Überspannungskategorie II
Zul. Schutzart IP54
Type 12 gemäß UL 50E
Verschmutzungsgrad 2
Umgebungstemperatur 5 °C bis 35 °C bei Luftkühlung
5 °C bis 40 °C bei Wasserkühlung
Zulässiges umgebendes Magnetfeld 6 mT
Maximal eingestrahlte Wärmeleistung 4,2 W
Maximal zulässige Rotortemperatur der Turbopumpe 90 °C
Maximal zulässige Ausheiztemperatur am Hochvakuumflansch 120 °C
Tab. 2: Zulässige Umgebungsbedingungen
Anmerkungen zu Umgebungsbedingungen
Die angegebenen zulässigen Umgebungstemperaturen gelten für den Betrieb der Turbo-
pumpe bei maximal zulässigem Vorvakuumdruck oder bei maximalem Gasdurchsatz in Ab-
hängigkeit der Kühlungsart. Die Turbopumpe ist durch eine redundante Temperaturüber-
wachung eigensicher.
●Die Reduzierung des Vorvakuumdrucks oder des Gasdurchsatzes ermöglicht den Be-
trieb der Turbopumpe auch bei höheren Umgebungstemperaturen.
●Bei Überschreiten der maximal zulässigen Betriebstemperatur der Turbopumpe redu-
ziert die Antriebselektronik zuerst die Antriebsleistung und schaltet gegebenenfalls an-
schließend ab.
2.5 Bestimmungsgemäße Verwendung
►Verwenden Sie die Turbopumpe ausschließlich zur Vakuumerzeugung.
►Verwenden Sie die Turbopumpe nur in Verbindung mit einer geeigneten Vorvakuumpumpe, die
den erforderlichen maximalen Vorvakuumdruck bereitstellen oder unterschreiten kann.
►Verwenden Sie die Turbopumpe nur in geschlossenen Innenräumen.
►Verwenden Sie die Turbopumpe nur zum Absaugen von trockenen und inerten Gasen.
►Verwenden Sie die Turbopumpe beim Absaugen von korrosiven Gasen nur in Verbindung mit
Sperrgas.
2.6 Vorhersehbarer Fehlgebrauch
Bei Fehlgebrauch des Produkts erlischt jeglicher Haftungs- und Gewährleistungsanspruch. Als Fehlge-
brauch gilt jede, auch unabsichtliche Verwendung, die dem Zweck des Produkts zuwider läuft.
Sicherheit
15/124

●Transport, Installation oder Betrieb der Vakuumpumpe in unzulässiger Raumlage
●Herstellen der Spannungsversorgung ohne ordnungsgemäße Installation
●Installation der Vakuumpumpe mit nicht spezifiziertem Befestigungsmaterial
●Pumpen von explosiven Medien
●Pumpen von korrosiven Medien ohne Verwendung von Sperrgas
●Pumpen von Stäuben ohne Verwendung von Sperrgas
●Pumpen von Flüssigkeiten
●Betreiben mit unzulässig hohem Gasdurchsatz
●Betreiben mit unzulässig hohem Vorvakuumdruck
●Betreiben mit einer zu hohen eingestrahlten Wärmeleistung
●Betreiben in unzulässig hohen Magnetfeldern
●Betreiben im falschen Gasmodus
●Fluten mit unzulässig hohen Flutraten
●Einsetzen zur Druckerzeugung
●Einsetzen in Bereichen mit ionisierender Strahlung
●Betreiben in explosionsgefährdeten Bereichen
●Einsetzen in Anlagen, in denen stoßartige Belastungen und Vibrationen oder periodische Kräfte
auf die Geräte einwirken
●Herbeiführen gefährdender Betriebszustände durch eine dem Prozess zuwiderlaufende Vorein-
stellung der Antriebselektronik
●Verwenden von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt sind
2.7 Personenqualifikation
Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete
technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum
an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben.
Personen schulen
1. Schulen Sie technisches Personal am Produkt.
2. Lassen Sie zu schulendes Personal nur unter Aufsicht durch geschultes Personal mit und an dem
Produkt arbeiten.
3. Lassen Sie nur geschultes technisches Personal mit dem Produkt arbeiten.
4. Stellen Sie sicher, dass beauftragtes Personal vor Arbeitsbeginn diese Betriebsanleitung und alle
mitgeltenden Dokumente gelesen und verstanden hat, insbesondere Sicherheits-, Wartungs- und
Instandsetzungsinformationen.
2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen
Fachkraft für mechanische Arbeiten
Alle mechanischen Arbeiten darf ausschließlich eine ausgebildete Fachkraft ausführen. Fachkraft im
Sinne dieser Dokumentation sind Personen, die mit Aufbau, mechanischer Installation, Störungsbehe-
bung und Instandhaltung des Produkts vertraut sind und über folgende Qualifikationen verfügen:
●Qualifizierung im Bereich Mechanik gemäß den national geltenden Vorschriften
●Kenntnis dieser Dokumentation
Fachkraft für elektrotechnische Arbeiten
Alle elektrotechnischen Arbeiten darf ausschließlich eine ausgebildete Elektrofachkraft ausführen.
Elektrofachkraft im Sinne dieser Dokumentation sind Personen, die mit elektrischer Installation, Inbe-
triebnahme, Störungsbehebung und Instandhaltung des Produkts vertraut sind und über folgende Quali-
fikationen verfügen:
●Qualifizierung im Bereich Elektrotechnik gemäß den national geltenden Vorschriften
●Kenntnis dieser Dokumentation
Die Personen müssen darüber hinaus mit den gültigen Sicherheitsvorschriften und Gesetzen sowie den
anderen in dieser Dokumentation genannten Normen, Richtlinien und Gesetzen vertraut sein. Die ge-
nannten Personen müssen die betrieblich ausdrücklich erteilte Berechtigung haben, Geräte, Systeme
und Stromkreise gemäß den Standards der Sicherheitstechnik in Betrieb zu nehmen, zu programmie-
ren, zu parametrieren, zu kennzeichnen und zu erden.
Sicherheit
16/124

Unterwiesene Personen
Alle Arbeiten in den übrigen Bereichen Transport, Lagerung, Betrieb und Entsorgung dürfen ausschließ-
lich ausreichend unterwiesene Personen durchführen. Diese Unterweisungen müssen die Personen in
die Lage versetzen, die erforderlichen Tätigkeiten und Arbeitsschritte sicher und bestimmungsgemäß
durchführen zu können.
2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur
Weiterbildungskurse
Pfeiffer Vacuum bietet Weiterbildungskurse zu Wartung Level 2 und 3 an.
Entsprechend ausgebildete Personen sind:
●Wartung Level 1
─Kunde (ausgebildete Fachkraft)
●Wartung Level 2
─Kunde mit technischer Ausbildung
─Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker
●Wartung Level 3
─Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung
─Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker
2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden
Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produkts bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches
Angebot an Schulungen und technischen Trainings an.
Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum.
Sicherheit
17/124

3 Produktbeschreibung
3.1 Funktion
Die Turbopumpe bildet mit der Antriebselektronik eine kompakte Einheit. Als Spannungsversorgung
dienen Pfeiffer Vacuum Netzteile.
Die Eigenschaftsbezeichnung "P" kennzeichnet prozessgeeignete Turbopumpen. Sie sind unempfind-
lich gegen Staub und korrosive Gase.
1 2 3 4
56789101112
13 14 15 16
Abb. 2: Aufbau HiPace 700 P
1 Antriebselektronik TC 400 9 Flutschraube
2 Erdungsanschluss 10 Anschlusskupplungen für Kühlwasser
3 Pumpengehäuse, Edelstahl 11 Schutzdeckel für Vorvakuumanschluss
4 Turborotor 12 Anschlussstecker Spannungsversorgung DCin
5 Hochvakuumanschluss, DN 160 CF-F 13 Anschlusspanel der Antriebselektronik
6 Vorvakuumanschluss, DN 25 ISO-KF 14 Pumpengehäuse, Aluminium
7 LED Betriebsanzeige 15 Sperrgasanschluss
8 Pumpenunterteil 16 Schutzdeckel für Hochvakuumanschluss
3.1.1 Kühlung
●Wasserkühlung
●Luftkühlung (optional)
Die Antriebselektronik regelt die Antriebsleistung bei Übertemperaturen automatisch herunter.
3.1.2 Rotorlager
Hybridgelagerte Turbopumpe
●Hochvakuumseite: verschleißfreies Permanentmagnetlager
●Vorvakuumseite: Kugellager mit Keramikkugeln
Die dauerhafte Schmierung der Rotorlagerung auf der Vorvakuumseite gewährleistet ein Betriebsmittel-
speicher.
3.1.3 Antrieb
●Antriebselektronik TC 400
─Betriebsspannung 48 V DC
Produktbeschreibung
18/124

3.2 Produkt identifizieren
►Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer
alle Angaben des Typenschildes bereit.
►Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi-
pedia.com mit der Firmen ID-Nr. 000021320.
3.2.1 Produkttypen
Die Produktbezeichnung von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen der Serie HiPace besteht aus ihrer Famili-
enbezeichnung, der Größe, die sich am Saugvermögen der Vakuumpumpe orientiert und gegebenen-
falls aus einer zusätzlichen Eigenschaftsbezeichnung.
Familie Größe/Modell Eigenschaft
HiPace 10 bis 2800 keine = Standardausführung
mini = kompakte Bauweise
U = Überkopfversion
C = Korrosivgasausführung
P = Prozess
M = aktive Magnetlagerung
T = Temperaturmanagement
Plus = Vibrationsarm, geringes Magnetfeld
E = hohe Effizienz
H = hohe Kompression
I = Ionenimplantation
Tab. 3: Produktbezeichnung von HiPace Turbopumpen
3.2.2 Produktmerkmale
Merkmal Ausführung
HV-Flansch DN 160 ISO-K DN 160 ISO-F DN 160 CF-F
Flanschmaterial Aluminium Aluminium Edelstahl
Tab. 4: Merkmale der Turbopumpen
3.3 Lieferumfang
●Turbopumpe mit Antriebselektronik
●Schutzdeckel für Hochvakuumanschluss
●Schutzdeckel für den Vorvakuumanschluss
●Gegenstecker für den Anschluss "remote" an der TC 400 (typabhängig)
●Gegenstecker für den Anschluss "E74" an der TC 400 (typabhängig)
●Betriebsanleitung
Produktbeschreibung
19/124

4 Transport und Lagerung
4.1 Transport
WARNUNG
Gefahr schwerer Verletzungen durch herabfallende Gegenstände
Durch das Herabfallen von Gegenständen besteht die Gefahr von Verletzungen an Gliedmaßen bis
hin zu Knochenbrüchen.
►Seien Sie beim Transport der Produkte von Hand besonders vorsichtig und aufmerksam.
►Stapeln Sie die Produkte nicht.
►Tragen Sie Schutzausrüstungen, z. B. Sicherheitsschuhe.
Empfehlung
Pfeiffer Vacuum empfiehlt, die Transportverpackung und die original Schutzdeckel aufzu-
bewahren.
Produkt sicher transportieren
►Transportieren Sie die Turbopumpe nur in den zulässigen Temperaturgrenzen.
►Achten Sie auf das auf dem Typenschild angegebene Gewicht.
►Transportieren oder versenden Sie die Turbopumpe möglichst in ihrer Orinialverpackung.
►Tragen Sie die Turbopumpe möglichst mit beiden Händen.
►Entfernen Sie die Schutzdeckel erst unmittelbar vor der Installation.
4.2 Lagerung
Empfehlung
Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Lagerung der Produkte in ihrer original Transportverpackung.
Turbopumpe lagern
1. Verschließen Sie die Flanschöffnungen mit den original Schutzdeckeln.
2. Verschließen Sie weitere Anschlüsse (z. B. Flutanschluss) mit entsprechenden Originalteilen.
3. Lagern Sie die Turbopumpe nur in Innenräumen in den zulässigen Temperaturgrenzen.
4. In Räumen mit feuchter oder aggressiver Atmosphäre: Schweißen Sie die Turbopumpe zusam-
men mit einem Trockenmittel in einen Kunststoffbeutel luftdicht ein.
Transport und Lagerung
20/124