Agilent Technologies 4UHV User manual

Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual
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A
gilent 4UHV Ion Pump
Controller
Models
929-9010, 929-9011, 929-9020, 929-9021,
929-9022, 929-9101, 929-9200, 929-9201,
929-9210, 929-9211, 929-9212, 929-9213,
929-9400, 929-9401, 929-9402
Manuale di Istruzioni
Bedienungshandbuch
Notice de Mode D’Emploi
User Manual
87-900-137-01 (A)
03/2011
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Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A)
Notices
© Agilent Technologies, Inc. 2011
No part of this manual may be
reproduced in any form or by any
means (including electronic storage
and retrieval or translation into a
foreign language) without prior
agreement and written consent from
Agilent Technologies, Inc. as governed
by United States and international
copyright laws.
Manual Part Number
Publication Number: 87-900-137-01 (A)
Edition
Edition 03/2011
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
Warranty
The material contained in this
document is provided “as is,” and is
subject to being changed, without
notice, in future editions. Further, to
the maximum extent permitted by
applicable law, Agilent disclaims all
warranties, either express or implied,
with regard to this manual and any
information contained herein,
including but not limited to the
implied warranties of merchantability
and fitness for a particular purpose.
Agilent shall not be liable for errors
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damages in connection with the
furnishing, use, or performance of
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contained herein. Should Agilent and
the user have a separate written
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terms, the warranty terms in the
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Technology Licenses
The hardware and/or software
described in this document are
furnished under a license and may be
used or copied only in accordance
with the terms of such license.
Restricted Rights Legend
If software is for use in the
performance of a U.S. Government
prime contract or subcontract,
Software is delivered and licensed as
“Commercial computer software” as
defined in DFAR 252.227-7014 (June
1995), or as a “commercial item” as
defined in FAR 2.101(a) or as
“Restricted computer software” as
defined in FAR 52.227-19 (June 1987)
or any equivalent agency regulation or
contract clause. Use, duplication or
disclosure of Software is subject to
Agilent Technologies’ standard
commercial license terms, and non-
DOD Departments and Agencies of the
U.S. Government will receive no
greater than Restricted Rights as
defined in FAR 52.227-19(c)(1-2) (June
1987). U.S. Government users will
receive no greater than Limited Rights
as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
until the indicated conditions are
fully understood and met.
WARNING
CAUTION
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4UHV Ion Pump Controller
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A) 3/104
4UHV Ion Pump Controller
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4UHV Ion Pump Controller
4/104 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A)
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Contents
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A) 5/104
Contents
1Istruzioni per l’uso 7
Informazioni Generali 8
Immagazzinamento 9
Preparazione per l’installazione 10
Installazione 11
Uso13
Manutenzione 18
2Gebrauchsanleitung 19
Allgemeines20
Lagerung 21
Vor der Installation 22
Installation 23
Gebrauch 25
Wartung 30
3Mode d’emploi 31
Indications Generales 32
Emmagasinage 33
Preparation pour l’Installation 34
Installation 35
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Contents
6/104 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A)
Utilisation 37
Entretien 42
4Instructions for Use 43
General Information 44
Storage 45
Prior to Installation 46
Installation 47
Usage 49
Maintenance 54
5Technical Information 55
4UHV Controller Description 57
Specifications 59
Operating Mode 65
Start-Up 67
Serial 73
Display and Menus 91
Orderable Parts 98
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Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual
7/104
1
Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali8
Immagazzinamento 9
Preparazione per l’installazione 10
Installazione 11
Uso 13
Accensione del controller dal
pannello frontale (modalità LOCAL) 15
Manutenzione 18
Smaltimento 18
Traduzione delle istruzioni originali
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1Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
8/104 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A)
Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L’utente
deve leggere attentamente il presente Manuale di istruzioni ed ogni
altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima
dell’utilizzo dell’apparecchiatura. La Agilent declina ogni
responsabilità dovuta alla mancata osservanza totale o anche
parziale delle istruzioni fornite in questo documento, all’uso
improprio dell’apparecchiatura da parte di personale non addestrato,
all’esecuzione di interventi non autorizzati o alla mancata osservanza
delle specifiche normative nazionali.
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie
a garantire la sicurezza dell’operatore durante l’utilizzo
dell’apparecchiatura. Nel appendice “Technical Information” vengono
fornite delle informazioni dettagliate.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
A
VVERTENZA!
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.
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Istruzioni per l’uso
Immagazzinamento
1
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A) 9/104
Immagazzinamento
Per trasportare e immagazzinare il controller occorre osservare le
seguenti condizioni ambientali:
Temperatura: da -20 °C a +70 °C
Umidità relativa: da 0 a 95% (senza condensa)
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1Istruzioni per l’uso
Preparazione per l’installazione
10/104 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A)
Preparazione per l’installazione
Il controller viene fornito in un imballo protettivo speciale; nel caso
in cui si presentassero segni di danni che potrebbero essere stati
causati durante il trasporto, contattare l’ufficio vendite locale.
Durante l’operazione di disimballo, prestare particolare attenzione a
non lasciar cadere il controller e a non sottoporlo ad urti.
Il materiale dell’imballo è completamente riciclabile e risponde alla
direttiva CEE 85/399 per la tutela dell’ambiente.
Figura 1 Imballo del controller
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Istruzioni per l’uso
Installazione
1
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A) 11/104
Installazione
A
VVERTENZA!
Per la sicurezza dell’operatore il controller 4UHV deve essere alimentato con
un cavo di alimentazione a 3 fili dotato di una spina approvata a livello
internazionale. Utilizzare questo cavo e spina insieme ad una presa
adeguatamente connessa a terra per evitare scosse elettriche e soddisfare i
requisiti delle norme CE. Le alte tensione che si sviluppano nel controller
possono provocare gravi lesioni o la morte.
Dopo lo spegnimento dell’unità rimane dell’energia residua all’interno del
controller per un po’ di tempo.
Attendere circa 1 minuto per essere sicuri che l’energia residua sia stata
dissipata.
ATTENZIONE!
Il controller può essere utilizzato sia come unità da tavolo che come modulo
installato in un rack. In ogni caso deve essere posizionato in modo tale che l’aria
possa circolare liberamente attraverso i fori di areazione presenti sulla copertura.
Nel caso in cui il controller viene utilizzato come modulo rack, DEVE essere
installato in un’adattatore alto quattro unità rack per evitare che cada all’interno
del rack stesso (vedere la tabella delle parti ordinabili). Il pannello frontale del
controller 4UHV non è previsto per reggere il peso dell’unità.
Non installare o utilizzare il controller in ambienti esposti ad agenti atmosferici
(pioggia, neve, ghiaccio), nella presenza di polvere, gas corrosivi o in ambienti
esplosivi o ad alto rischio di infiammabilità.
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1Istruzioni per l’uso
Installazione
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ATTENZIONE!
Il controller 4UHV appartiene alla seconda categoria di installazione (o
sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1. Connettere quindi il
dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria.
Il controller 4UHV ha dei connettori per gli ingressi/uscite e per la comunicazione
seriale che devono essere connessi ai circuiti esterni in modo che nessuna parte
sotto tensione sia accessibile. Assicurarsi che l’isolamento del dispositivo
connesso al controller 4UHV abbia un isolamento adeguato anche in condizione di
guasto singolo come previsto dalla normativa EN 61010-1.
NOTA Nel caso in cui il controller viene installato in un rack, rimuovere i quattro piedini in
modo che venga posizionato con almeno 30 mm di spazio sotto e sopra.
ATTENZIONE!
In casi rari di guasto il controller potrebbe emettere fumo. Se il cliente usa il
controller in camere pulite è necessario prevedere adeguate protezioni per evitare
di contaminare l’ambiente con l’eventuale fumo.
Durante il funzionamento, occorre che siano rispettate le seguenti
condizioni ambientali:
Temperatura: da 0 °C a +40 °C
Umidità relativa: 0 - 90% (senza condensa)
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Istruzioni per l’uso
Uso
1
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A) 13/104
Uso
In questo paragrafo vengono riportate le principali procedure
operative. Per ulteriori informazioni e per le procedure riguardanti
collegamenti o particolari opzioni fare riferimento al paragrafi
“UTILIZZO” nell’appendice “Technical Information”.
Prima di utilizzare il controller effettuare tutti i collegamenti elettrici
e fare riferimento al manuale della pompa collegata.
A
VVERTENZA!
Accendere i canali di alta tensione solo se connessi alle pompe ioniche
tramite gli appositi cavi di alta tensione dotati del cavo di interlock.
L’uso del controller è inteso con cavo di alta tensione provvisto di interlock.
Figura 2 Collegamenti delle masse
4UHV
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1Istruzioni per l’uso
Uso
14/104 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A)
NOTA Se si vuole utilizzare un cavo HV senza interlock nel sacchetto accessori è
fornito un apposito kit di cavetti per interlock preassemblati. Con questo utilizzo
si perde la funzionalità di sicurezza offerta dall’utilizzo dell’interlock.
Fare riferimento alla seguente figura per montare correttamente il
cavo di interlock fornito nel sacchetto accessori, qualora si voglia
rinunciare al cavo di alta tensione dotato di interlock.
Figura 3
NOTA L’interlock del cavo viene chiuso sulla massa della pompa. Se il collegamento è
interrotto l’alta tensione viene disabilitata.
L’interlock del cavo viene chiuso sulla massa della pompa. Se il
collegamento è interrotto l’alta tensione viene disabilitata. Per
collegare il controller alla pompa, utilizzare un cavo HV dotato di
interlock (vedere nelle parti ordinabili).
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Istruzioni per l’uso
Uso
1
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A) 15/104
Nella figura “Collegamenti delle masse” sono riportati i corretti
collegamenti delle masse, del cavo HV tra il controller e la pompa e
del cavo di interlock.
ATTENZIONE!
Se si monta il cavo di interlock fornito nel sacchetto accessori fare molta
attenzione affinchè nessuna parte cada accidentalmente all’interno del
controller.
Accensione del controller dal pannello frontale
(modalità LOCAL)
NOTA Per accendere l’alta tensione (HV) occorre che l’interlock del cavo HV (cable
interlock) sia chiuso (connettore inserito).
Procedere come segue per alimentare il controller e abilitare la
tensione sui connettori di alta tensione (H.V.):
Spegnere il controller.
Collegare il cavo HV e l’interlock del cavo H.V. nei relativi
connettori sul pannello posteriore.
Selezionare la modalità LOCAL premendo per breve tempo il
tasto “MODE” fino a quando appare sul display la scritta LOCAL.
Tenere premuto il pulsante HV ON/OFF (2) mentre si preme il
pulsante HV-x (3,4,5,6) dove x è il numero del canale che si vuole
accendere o spegnere.
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1 Istruzioni per l’uso
Uso
16/104 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A)
Figura 4 Front Panel 4UHV Ion Pump Controller
Figura 5 Rear Panel 4UHV Ion Pump Controller
Per spegnere i canali HV:
 Tenere premuto il pulsante HV ON/OFF (2) mentre si preme il
pulsante HV-x (3,4,5,6) dove x è il numero del canale che si vuole
accendere o spegnere.
Per ulteriori dettagli sull’uso del controller e sulla descrizione delle
informazioni del display fare riferimento alla sezione “Technical
Information”.
(2)
(1) (3) (4) (5) (6)
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Istruzioni per l’uso
Uso
1
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A) 17/104
A
VVERTENZA!
In condizioni di emergenza per spegnere l’unità e tutti i canali alta tensione
disattivare l’interruttore generale (1) posto sul pannello anteriore.
Mettendo in off l’interruttore generale si spegnerà l’unita HV.
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1Istruzioni per l’uso
Manutenzione
18/104 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual / 87-900-137-01 (A)
Manutenzione
Il controller 4UHV non richiede alcun intervento di manutenzione.
Qualsiasi tipo di intervento sull’unità deve essere eseguito da
personale tecnico autorizzato. In caso di guasto è possibile usufruire
del servizio di riparazione Agilent o del "Agilent advanced exchange
service", che permette di ottenere un controller rigenerato in
sostituzione di quello guasto.
Qualora un controller dovesse essere rottamato, procedere nel
rispetto delle normative nazionali specifiche.
Smaltimento
Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui
sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE
denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della
Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON
deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali,
ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata. Si
invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del dispositivo,
sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il processo di
raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei termini e
condizioni contrattuali di vendita.
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Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual
19/104
2
Gebrauchsanleitung
Allgemeines 20
Lagerung 21
Vor der Installation 22
Installation 23
Gebrauch 25
Einschalten des Controllers von der vorderen
Schalttafel (LOKAL-Modus) 28
Wartung 30
Entsorgung 30
Übersetzung der Originalanleitungen
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