Agilent Technologies 4UHV User manual

Agilent 4UHV Ion Pump Controller
User Manual

2 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual
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Manual Part Number
87-900-137-01
Edition F.00, May 2023
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Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard. It
calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in personal injury or death.
Do not proceed beyond a WARNING
notice until the indicated conditions
are fully understood and met.
WARNING
CAUTION

Contents
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual 3
Contents
1Istruzioni per l’uso 13
Informazioni su questo manuale 14
Validità 14
Definizioni e terminologia 15
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota 15
Simboli di avvertenza 16
Sicurezza 18
Uso corretto 18
Uso improprio 19
Attrezzatura di protezione 19
Linee guida per la sicurezza dei controller di pompe Ioniche 20
Trasporto e immagazzinamento 21
Descrizione del prodotto 21
Installazione 22
Preparazione per l’installazione 22
Set-up 23
Fissaggio del 4UHV 26
Avvio e funzionamento del Controller 4UHV
dal pannello frontale (modalità LOCAL) 28
Arresto del 4UHV 30
Arresto di Emergenza 30
Manutenzione 30
Pulizia 31
Compatibilità elettromagnetica 31
EN55011/CISPR11 31
Dichiarazione EMC di Classe A della Corea del Sud 32
ICES/NMB-001 32
Smaltimento 33
Servizio Post Vendita 34

Contents
4 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual
2Betriebsanleitung 35
Informationen über diese Betriebsanleitung 36
Gültigkeit 36
Definitionen und Terminologie 37
Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis 37
Warning Symbols 38
Sicherheit 40
Sachgemäße Verwendung 40
Unsachgemäße Anwendung 41
Schutzausrüstung 41
Sicherheitsrichtlinien für Ionische Pumpensteuerung 42
Transport und Lagerung 43
Produktbeschreibung 43
Installation 44
Vorbereitung zum Einbau 44
Set-up 45
Fixieren des 4UHV 48
Start und Betrieb des 4UHV-Controllers
von der Vorderteil (LOCAL-Modus) 50
Abschalten des 4UHV 52
Not-Aus 52
Wartung 52
Reinigen 53
Elektromagnetische Verträglichkeit 53
EN55011/CISPR11 53
Südkoreanische Klasse A EMV-Erklärung 54
ICES/NMB-001 54
Entsorgung 55
Service 56

Contents
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual 5
3Mode d’emploi 57
À propos de ce manuel 58
Validité 58
Définitions et terminologie 59
Signification des messages d’attention, d’avertissement et des notes 59
Symboles d'avertissement 60
Sécurité 62
Utilisation appropriée 62
Utilisation appropriée 63
Équipements de protection 63
Consignes de sécurité des contrôleurs de pompes ioniques 64
Transport et Emmagasinage 65
Description du produit 65
Installation 66
Préparation pour l’installation 66
Set-up 67
Fixation de l’4UHV 70
Démarrage et fonctionnement du contrôleur 4UHV
depuis le panneau avant (mode LOCAL) 72
Arrêt de l’4UHV 74
Arrêt d'urgence 74
Entretien 74
Nettoyage 75
Compatibilité électromagnétique 75
EN55011/CISPR11 75
Déclaration CEM Classe A Corée du Sud 76
ICES/NMB-001 76
Élimination 77
Service 78

Contents
6 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual
4Instrucciones de uso 79
Acerca del manual 80
Validez 80
Definiciones y terminología 81
Definición de Precaución, Advertencia y Nota 81
Símbolos de advertencia 82
Seguridad 84
Uso correcto 84
Uso incorrecto 85
Equipo de protección 85
Pautas de seguridad para Controladores de bombas iónicas 86
Transporte y Almacenamiento 87
Descripción del producto 87
Instalación 88
Preparación para la instalación 88
Instalación 89
Montaje del 4UHV 92
Puesta en marcha y funcionamiento del Controlador 4UHV
desde el Panel Frontal (Modo LOCAL) 94
Apagado del 4UHV 96
Parada de emergencia 96
Mantenimiento 96
Limpieza 97
Compatibilidad electromagnética 97
EN55011/CISPR11 97
Declaración EMC Clase A de Corea del Sur 98
CIEM/NMB-001 98
Eliminación 99
Servicio 100

Contents
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual 7
5使用说明101
关于本手册 102
有效性 102
定义与术语 103
小心、警告和注意的定义103
警告符号 104
安全 106
正确使用 106
使用不当 107
防护装备107
离子泵控制器安全指南 108
运输及存储109
产品描述 109
安装准备110
设置111
修复 4UHV 114
从前面板启动和操作 4UHV 控制器（本地模式） 116
4UHV 关机 118
紧急停止 118
维护 118
清洁119
电磁兼容 119
EN55011/CISPR11 119
韩国A类EMC 声明 120
ICES/NMB-001 120
处置121
服务122

Contents
8 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual
6取扱説明書 123
この説明書について 124
有効期 124
定義と用語 125
警告・注意・注の定義 125
警告の記号 126
安全性 128
適切な使用 128
不適切な使用 129
保護装具 129
イオンポンプコントローラーの安全ガイドライン 130
运输及存储131
製品説明 131
取り付け 132
取り付けの準備 132
セットアップ 133
4UHV の固定 136
フロントパネルからの 4UHV コントローラの起動と操作
（LOCAL モード） 138
4UHV 操作停止 140
緊急停止 140
メンテナンス 140
クリーニング 141
電磁両立性 141
EN55011/CISPR11 141
韓国クラス A EMC 宣言 142
ICES/NMB-001 142
処分 143
サービス 144

Contents
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual 9
7Instructions for Use 145
About this manual 146
Validity 146
Definitions and terminology 147
Definition of Caution, Warning and Note 147
Warning Symbols 148
Safety 150
Proper use 150
Improper use 151
Protective equipment 151
Ion pump controller safety guidelines 152
Transport & Storage 153
Product Description 153
Installation 154
Preparation for Installation 154
Set-up 155
Fixing the 4UHV Ion Pump Controller 157
Startup and Operation of the 4UHV Ion Pump Controller
from the Front Panel (LOCAL Mode) 159
4UHV Ion Pump Controller Shutdown 161
Emergency Stop 161
Maintenance 161
Cleaning 162
Electromagnetic Compatibility 162
EN55011/CISPR11 162
South Korean Class A EMC declaration 163
ICES/NMB-001 163
Disposal 164
Service 165

Contents
10 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual
8Technical Information 166
4UHV Ion Pump Controller Description 168
Technical Specifications 171
Controller Outline 173
Front Panel Description 174
Keys 174
Graphic Signals 175
Rear Panel Description 176
Fuse Holder 177
Interlock connection 177
Procedure to Connect the Serial and I/O ports to an External Cable 178
Operating Mode 179
Start-Up 180
Selecting “Operating Mode” from Front Panel 180
Functions 181
Step-mode / Fixed mode 181
Protect 182
Device Number 183
Spare Pump 184
How to select the Ion pump 184
How to work with non Agilent pump 184
Set Point 185
Autostart 186
How to set the Analog signal 193
Connection of Input Remote 193
Serial 194
Connector Examples 195
Window Protocol 196
Communications Format 196
Communications Protocol 196
Error Description 205
Error Code 205

Contents
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual 11
Example 206
Old Serial Protocol (“Binary Protocol”) 208
Command Listing 210
Display and Menus 212
Displaying Channel-Related Information 212
Information on a Single Channel 214
Commands 214
Menu 215
Scrolling Through the Menus 215
Menu Screens 216
Profibus 218
Connectors Pin-Out 218
Rotary Switches 218
Indicators 219
GSD File 220
State Machine 220
Message Mapping 221
Configuration Buffer Structure 222
Configuration Output Structure 224
Configuration Input Structure 225
Diagnosis Management 227
Standard diagnostic 227
User diagnostic 227
Controller Fails 228
User Parameter Mismatch 228
Diagnostic Buffer (15 byte) 229
Accessories and Spare Parts 231

Contents
12 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual

Istruzioni per l’uso
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual 13
1Istruzioni per l’uso
Informazioni su questo manuale 14
Validità 14
Definizioni e terminologia 15
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota 15
Simboli di avvertenza 16
Sicurezza 18
Uso corretto 18
Uso improprio 19
Attrezzatura di protezione 19
Linee guida per la sicurezza dei controller di pompe Ioniche 20
Trasporto e immagazzinamento 21
Descrizione del prodotto 21
Installazione 22
Preparazione per l’installazione 22
Set-up 23
Fissaggio del 4UHV 26
Avvio e funzionamento del Controller 4UHV
dal pannello frontale (modalità LOCAL) 28
Arresto del 4UHV 30
Arresto di Emergenza 30
Manutenzione 30
Pulizia 31
Compatibilità elettromagnetica 31
EN55011/CISPR11 31
Dichiarazione EMC di Classe A della Corea del Sud 32
ICES/NMB-001 32
Smaltimento 33
Servizio Post Vendita 34

Istruzioni per l’uso
14 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual
Informazioni su questo manuale
Validità
Questo manuale elenca le istruzioni per gli utenti del Controller 4UHV, con
particolare riferimento alle nozioni relative a sicurezza, funzionamento e
manutenzione di primo livello, limitatamente alle operazioni di manutenzione di cui
l’utente è responsabile.
Le operazioni di manutenzione, illustrate nelle sezioni specifiche, con disposizioni
specifiche relative al livello più elevato di manutenzione (personale appositamente
addestrato per le operazioni di manutenzione) non devono essere eseguite
dall’utente.
Per una corretta installazione e avvio/arresto, consultare il capitolo “Installazione”.
Per un uso tecnico più dettagliato, consultare il capitolo “Technical Information”.
NOTA
1Questo manuale contiene informazioni utili affinché tutto il personale che
utilizza il Controller 4UHV possa utilizzarlo in sicurezza e garantire la perfetta
efficienza, per tutta la sua durata.
2Conservare questo manuale, insieme a tutte le pubblicazioni ad esso correlate,
in un luogo accessibile, conosciuto da tutti gli operatori/personale di
manutenzione.

Istruzioni per l’uso
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual 15
Definizioni e terminologia
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota
Alcuni riferimenti importanti di questo manuale sono evidenziati e incorniciati in
colori contrastanti.
ATTENZIONE
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
AVVERTENZA
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti e forniscono maggiori dettagli su
passaggi specifici.

Istruzioni per l’uso
16 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual
Simboli di avvertenza
Di seguito si riporta un elenco di simboli che vengono visualizzati insieme agli avvisi
del Controller 4UHV. Viene mostrato anche il pericolo che descrivono.
Un simbolo triangolare indica un’avvertenza. I significati dei simboli che possono
apparire accanto alle avvertenze nella documentazione o sullo strumento stesso
sono i seguenti:
Presenza di tensioni
pericolose
Pericolo generico
Dichiarazione Europea
di Conformità
Sito di produzione
Certificazione CSA
Rifiuti di
Apparecchiature
Elettriche ed Elettroniche
Certificazione
RoHS China
Certificazione UK CA

Istruzioni per l’uso
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual 17
Il seguente simbolo può essere usato sulle etichette di avvertenza attaccate allo
strumento. Quando viene visualizzato questo simbolo, consultare il relativo
manuale operativo o di servizio per la procedura corretta a cui fa riferimento tale
etichetta di avvertenza.
I seguenti simboli appaiono sullo strumento per vostra informazione.
Presenza di tensioni pericolose
Pericolo generico
Certificazione CE
Certificazione CSA
Certificazione RoHS China
Rifiuti di Apparecchiature Elettriche ed Elettroniche
Certificazione UK CA

Istruzioni per l’uso
18 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual
Sicurezza
Questa sezione contiene le informazioni prescritte dalla direttiva sulla bassa
tensione 2014/35/UE, essenziali per la conformità e l'osservanza delle norme di
sicurezza sia in generale sia in relazione all'uso specifico del prodotto.
La mancata osservanza di queste istruzioni e delle altre istruzioni contenute nel
presente manuale può rendere inefficaci le condizioni di sicurezza previste in fase
di progettazione e causare incidenti a chi utilizza la macchina.
Agilent Technologies declina ogni responsabilità per danni alla macchina o per la
sicurezza fisica dell'operatore o di terzi, derivanti dal mancato rispetto delle norme
di sicurezza indicate nella documentazione tecnica.
Uso corretto
Questo manuale contiene importanti avvertenze e istruzioni di sicurezza da
osservare affinché l’unità funzioni in sicurezza.
Il prodotto descritto in questo manuale è destinato esclusivamente all’ambito
specificato nelle istruzioni. Il manuale fornisce inoltre indicazioni relative ai requisiti
essenziali per l’applicazione e il funzionamento del prodotto, nonché le misure di
sicurezza che possono essere adottate per garantire un funzionamento regolare.
Agilent Technologies non fornisce alcuna garanzia né si assume alcuna
responsabilità per applicazioni diverse da quelle descritte nel presente manuale o in
cui i requisiti essenziali e le misure di sicurezza non siano rispettati. Il prodotto deve
essere utilizzato solo da personale qualificato in grado di adottare le misure di
sicurezza necessarie in condizioni che non causano danni o lesioni.
Gli accessori e le attrezzature utilizzati con il prodotto devono essere forniti o
approvati da Agilent Technologies.
Qualsiasi operazione di regolazione o manutenzione deve essere eseguita da un
tecnico professionista informato dei rischi.
Le riparazioni sul prodotto devono essere eseguite esclusivamente da personale
autorizzato Agilent.

Istruzioni per l’uso
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual 19
Uso improprio
Agilent Technologies declina ogni responsabilità derivante dall'uso improprio del
Controller 4UHV.
L’uso improprio comporterà la perdita di tutti i reclami per responsabilità
e garanzie. L’uso improprio è definito come:
installazione del dispositivo con materiale di montaggio non specificato
funzionamento in ambiente condensante
funzionamento in ambienti ad alta umidità fuori dal range specificato
funzionamento in ambienti polverosi
funzionamento con tensioni di alimentazione fuori dal range specificato
funzionamento del dispositivo in aree con radiazioni ionizzanti
funzionamento in aree potenzialmente esplosive
utilizzo del dispositivo in sistemi in cui stress e vibrazioni simili a impatti
o forze periodiche influiscono sul dispositivo.
funzionamento in ambienti con temperatura fuori dal range specificato.
Attrezzatura di protezione
L’attrezzatura di protezione degli operatori che stanno operando sul controller deve
essere sempre adeguata al tipo di operazione da eseguire. Inoltre, deve soddisfare i
requisiti di sicurezza della legislazione in vigore nel paese in cui viene utilizzata la
macchina. In generale, l'operatore deve indossare scarpe antinfortunistiche durante
la manipolazione del controller e durante l'installazione.
AVVERTENZA
Rischio di lesioni dovute alla caduta di oggetti
Durante il trasporto manuale dei controller, sussiste il pericolo che i carichi
scivolino e cadano.
•
Trasportare i controller con due mani.

Istruzioni per l’uso
20 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual
AVVERTENZA
Rischio di lesioni a causa di spigoli vivi
I controller hanno bordi molto affilati.
•
Se necessario, indossare guanti protettivi secondo la EN 420.
Linee guida per la sicurezza dei controller di pompe Ioniche
I controller della pompa Ionica, come descritto nel seguente manuale, non devono
essere aperti dall'utente per evitare il rischio di danneggiare i componenti interni.
AVVERTENZA
Per evitare danni alle apparecchiature e per prevenire lesioni al personale
operativo, è necessario seguire scrupolosamente le istruzioni di
installazione fornite nel presente manuale!