horiba SF-1U User manual

自動式精密膜流量計
FILM FLOW METER
SF-1U/2U
取扱説明書
Instruction Manual
CODE: I030248700E

Ma
y
, 2016
©
2004 - 2016 HORIBA STEC, Co., Ltd.

J-i
安全上の注意
ご使用になる前に、必ず「安全上の注意」をお読みのうえ正しくお使いください。
本書では、お客様や他の人々への危害や財産への損害を未然に防止するために、危険を伴う操作・
お取り扱いについて、次の記号で警告表示を行っています、内容をよくご理解の上で本文をお読み
ください。

警告 誤った取扱いをしたときに、死亡や重傷などの重
大な結果に結びつく可能性があるもの
注意 誤った取扱いをしたときに、傷害または家屋・家
財などの損害に結びつくもの

図記号の例

注意（警告を含む）を示します。
具体的な注意内容は、図記号の中や近くに絵や文章で指示します。

禁止（してはいけないこと）を示します。
具体的な禁止内容は、図記号の中や近くに絵や文章で指示します。

強制（必ずすること）を示します。
具体的な強制内容は、図記号の中や近くに絵や文章で指示します。

重要：故障や誤った測定の防止のため、特に守っていただきたい内容。
参考：測定精度をよくするため、参考にしていただきたい内容。

警告

反応性ガスは流さない。
水分や酸素と反応するガスは流さないで下さい。本製品は完全な機密構造に
はなっておりません。また、成膜用に液体(石けん液)を使用しておりますの
で、反応性ガスを流されますと反応し、爆発・火災の原因となります。

排気をする。
安全な場所に排気を行なって下さい。排気を行なわないと、爆発・火災・中
毒等の原因となります。

専用ＡＣアダプタを使用する。
それ以外を使用すると、火災や感電の原因になります。

分解・改造をしない。
発熱、火災、感電、けがの原因となります。


水などをかけない。
感電・火災の原因となります。



J-ii

注意

コネクタ端子をショートさせない。
火災や故障の原因となります。

衝撃を与えない。
本製品にはガラスを使用しております。衝撃を与えると破損を招き、けがの
原因となります。

体積管ユニットを確実に固定する。
体積管ユニットを本体に装着するときは着脱レバーの操作を確実に行い、固
定してください。固定せずに使用や持ち運びをしますと、転倒や脱落を招き、
けがや故障の原因となります。

長期間使用しないときは、電源プラグをコンセントから抜く。
絶縁劣化による感電や漏電火災の原因となります。


警告ラベルの紹介
警告ラベルの内容と位置は図の通りです。












J-iii
ガスの取扱いに関するご注意
ガスは、取扱いを誤れば大きな事故を招きます。本装置に、有毒ガス、可燃性ガスを使
用される場合には、取扱いに十分注意を払って下さい。また、高圧ガスを使用される場合
には、高圧ガスの一般的注意事項を厳守して下さい。

１．排気について
可燃性ガスを使用される場合には必ず排気チュ−ブを接続して、ドラフトなど安全な場所
に排気して下さい。

２．高圧ガスの取扱上の事項
〜社団法人東京高圧ガス防災協会発行「高圧ガスの取扱い方」より引用〜

２−１ 一般的注意事項
1)容器証明のないものは、容器として使用することができません。
2)ガスの充てん、または詰替えは、必ず許可された製造所で行い、それ以外のところで
行うことはできません。
3)高圧ガス容器には、それぞれ指定されたガスがつめられています。ガスを間違えない
ようにして下さい。
4)容器は常に注意深く取扱ってください。とくに雨天の際など水に濡れている場合には
容器がすべりやすいので注意を要します。
5)容器の転倒、転落防止のため、移動、貯蔵あるいは消費の際は、必ずロ−プなどで固
定してください。
6)容器に衝撃を与えたり、粗暴な扱いをしないで下さい。
7)容器は、他の用途に使用しないで下さい。
8)常に、整理整頓をして、危険のないようにして下さい。

２−２ 消費上の注意事項
1)容器の温度は、40℃以下に保って下さい。
2)火気の取扱いに注意し、引火性、発火性のものは除去して下さい。
3)容器はなるべく立てて使用し、倒れないようにロ−プなどを用いて固定して下さい。
4)高圧部の配管には、ホ−ス類を使用しないで下さい。低圧部にホ−ス類を使用する場
合には、使用中に抜けないように、締付けに注意して下さい。
5)容器、バルブ、配管などを加熱する必要がある場合には、必ず 40℃以下の温湯または
熱湿布を使用して下さい。
6)バルブの開閉は静かに行ない、使用を中止したときはバルブを閉め、キャップを取付
けて下さい。
7)充てん容器と、使用済み容器とは、区別しておいて下さい。
8)可燃性ガスを使用する場所では、必ず有効な消火器（粉末消火器、炭酸ガス消火器）
を備えて下さい。
9)圧力調整器は、取付け口のゴミなどを、掃除してから取付けて下さい。
10)バルブ、配管、圧力計などの取付け部からの漏れがあるかどうかを、石鹸水、検知液
などで点検後、作業を開始して下さい。
11)圧力調整器が正常に動作していることを確認して下さい。
12)配管や機器などから漏れたガスに着火した場合は、風上より容器に接近して、容器バ
ルブを閉じます。
13)容器バルブの安全弁からの漏れガスに着火した場合は、消火器を使用して消火します
が、応急的には、ぬれたむしろか布で空気を遮断します。ただし、再び着火すること
がありますので、大量の放水で容器を冷却して安全な場所に移し、付近の大気および
濃度に注意しながらガスを少量ずつ放出します。

目 次
ページ
はじめに................................................................................1
1. 概要..............................................................................2
2. 動作原理..........................................................................2
3. パッケージの確認..................................................................2
4. 製品仕様..........................................................................3
5. 各部説明..........................................................................4
6. 操作説明..........................................................................6
6.1. 準備............................................................................6
6.1.1. 測定場所....................................................................6
6.1.2. 電源接続....................................................................6
6.1.3. 体積管ユニット装着..........................................................7
6.1.4. 成膜液注入..................................................................7
6.1.5. 配管接続....................................................................8
6.1.6. 校正温度設定................................................................9
6.1.7. 電源投入....................................................................9
6.2. 測定............................................................................9
6.2.1. 体積管湿らし................................................................9
6.2.2. 大気圧入力.................................................................10
6.2.3. 測定.......................................................................10
6.3. 演算式.........................................................................11
6.4. 警報時間設定...................................................................11
7. 保守.............................................................................12
7.1. 日常保守.......................................................................12
7.1.1. 成膜液の補充...............................................................1 2
7.1.2. 成膜液の交換...............................................................1 2
7.1.3. 体積管の洗浄...............................................................12
7.2. 定期点検.......................................................................12
7.2.1. 定期交換部品...............................................................1 2
7.2.2. 保守部品...................................................................12
8. トラブルチャート.................................................................13
8.1. 電源が入らない.................................................................13
8.2. A1 アラーム発生................................................................14
8.3. A2 アラーム発生................................................................15
8.4. A3 アラーム発生................................................................16
8.5. A4 アラーム発生................................................................16
8.6. 膜が複数枚出来る...............................................................1 7
8.7. 時計をカウントしない...........................................................17
付録 Aコンピュータ通信仕様..............................................................I
付録 B プリンタ通信仕様.................................................................VI


J-1
はじめに
このたびは精密膜流量計 SF-1U/SF-2U をお買い上げいただき誠にありがとうございます。
この取扱説明書は、製品を取り扱う人を対象に書かれています。
装置を正しく安全にお使いいただくために、ご使用になる前に本書をよくお読みのうえ、十分にご
理解いただいてからお使いください。
この取扱説明書は、お読みになった後も、お使いになる方がいつでもご覧になれるところに保管し
てください。

保証と責任の範囲

保証期間
ご購入後１年間とし、この期間内に発生し、幣社にご連絡いただいた故障については無償
で修理いたします。
保証期間内の故障につきましては、初期不良及び取扱説明書に記載された事項を遵守いた
だいたにもかかわらず、発生した故障及び不具合に対し無償にて修理又は交換をさせて頂き
ます。
無償保証期間終了後に発生した故障及びハード・ソフトウエアのバージョンアップにつき
ましては、有償とさせて頂きます。
製品の寿命に関しては、安全上の問題及び部品供給等の問題から製造後１０年を目安とさ
せて頂きます。

保証範囲
保証の範囲は、この装置に限定させて頂きます。
例えば、この装置の故障によって生じる損害（利益損失、顧客の信用、設備、財産）の保
証等は、ご容赦願います。
なお、この装置及び周辺機器の、使用に伴う安全管理責任は、ご使用者側で追って頂きま
す。

免責事項
以下の場合は、保証期間内であっても有償対応となります事をご了承願います。
天災等、不可抗力によって生じた事故。
取り扱いを誤り、または取り扱い上必要な注意を怠ったために生じた故障。
不適切な環境で使用、または保管された場合。
定格仕様の範囲を越えて使用され、または装置に改造を加えられたり、所定の目的
以外の目的に使用された場合。
その他、幣社の責任外と判断される場合、または別に定めた場合。

無断転載・複写複製について
本書の内容の一部あるいは全部を、無断で転載したり複写することは、固くお断りします。
本書の内容については万全を期して作成いたしましたが、万一ご不審な点や誤り、記載もれ
など、お気づきの点がありましたら、弊社へご連絡ください。

その他
Snoop®は米国 SwagelokCompany の登録商標です。

J-2
1. 概要
精密膜流量計(SF シリーズ)は、本体に体積管ユニット(VP シリーズ)を接続し、各種ガスの流量
を測定します。体積管ユニットは、精密体積管に石けん膜ディテクタ（実用新案登録 第 1384428
号）を組合せて、体積管を通過する石けん膜を検出することにより流量計測します。標準校正温度
の入力および高精度気圧計を内蔵(SF-2U)することにより、計測流量は自動的に補正され、出力さ
れます。

2. 動作原理
スタートキーを押すことによりパルスモータが回転し、膜リングが上下に動作します。膜リング
により体積管の入口に付けられた石けん膜は、ガスの流れにより体積管を上方に移動します。体積
管は高精度に値付けされており、石けん膜が一定区間（スタートディテクタ〜ストップディテクタ
間）を通過する時間を計測することでガスの流量が測定されます。更に温度、大気圧を演算部にて
読み取り、測定流量の水蒸気圧補正を行い、校正温度(0〜35℃)・1013.3hPa 換算の流量を表示し
ます。

図 1動作原理説明図
3. パッケージの確認
開梱時、次の物がそろっているか確認してください。
本体   SF-1U または SF-2U 1 台
成膜液   Snoop®59ml  1 本
取扱説明書（本書） I030248700  1 冊

※別途、専用 AC アダプタセットが必要です。

温度
センサ
体積値
パルス
モータ
膜リング
体積管
体積管
ユニット
成膜液
測定ガス
入口
測定ガス
出口
演算部
気
圧センサ 水蒸
気
圧(近似式)
スタート
表示器
本体
ストップ
ディテクタ
スタート
ディテクタ

J-3

4. 製品仕様

名称 自動式精密膜流量計
本体型式 SF-1U/2U
体積管ﾕﾆｯﾄ型式 VP-1U VP-2U VP-3U VP-4U
公称体積 0.4ml 2ml 20ml 200ml
流量測定範囲 0.2〜10ml/min 2〜100ml/min 20〜1000ml/min 0.2〜10L/min
測定時間 120〜2.4sec 60〜1.2sec 60〜1.2sec 60〜1.2sec
精度 ±0.5％ 0.2〜2ml/min 2〜20ml/min 20〜200ml/min 0.2〜1L/min
±1.0％ 2〜10ml/min 20〜100ml/min 200〜1000ml/min 1〜10L/min
再現性 ±0.2％ 0.2〜2ml/min 2〜20ml/min 20〜200ml/min 0.2〜1L/min
±0.5％ 2〜10ml/min 20〜100ml/min 200〜1000ml/min 1〜10L/min
対象ガス N2,Air,O2,H2,He,Ar,CO,CH4,C3H8など
注）水溶性ガス、腐食性ガスは測定不可
気圧設定範囲 730〜1070hPa (SF-2U は大気圧入力モードの場合)
気圧測定範囲
(SF-2U)
930〜1040hPa測定精度 ±2.7hPa
（測定データは補正に使用可能。
使用の場合、総合精度は±0.5%→±0.7%,±1.0→±1.2%となります。）
表示 LCD6 桁デジタル表示
（測定流量，測定時間，温度，気圧等を切換表示）
自動計測機能 AUTO モ−ドにより 2〜10 回の自動計測及び平均値計算を実行
（前回記憶デ−タの呼出し可能 電源 OFF にてデータ消去）
電源 DC7V0.5A専用 AC アダプタ駆動
使用周囲温度 5〜40℃精度保証範囲(15〜35℃)
使用周囲湿度 80％以下（ただし結露しないこと）
使用場所 屋内
補正機能 温度，気圧，水蒸気圧による補正を行い、標準校正温度および標準大気圧
(1013.3hPa)における流量値に換算。標準校正温度 0〜35℃の範囲で設定可能
外部入出力 RS-232C 準拠
重量 本体セット 約 2.1kg 約 2.7kg
外形寸法 W140mmxH287.6mmxD200mm W140mmxH457.6mm
xD200mm
適合規格 EMCDIRECTIVE EN61326-1 classB


J-4

5. 各部説明


図 2各部説明図
①
②
③
④
⑤
⑥
⑦
⑫
⑭
⑮ ⑯
⑰
⑧
⑨
⑩
⑪
⑬

J-5

① 測定ガス入口 測定ガス配管を接続します。また、成膜液の注入、抜取りにも使用します。
⇒6.1.4,6.1.5
② 測定ガス出口 測定ガス排気用配管を接続します。⇒6.1.5
③ 液レベル窓 成膜液の量を確認する窓です。二本の青い線は液面の上下限を表します。
⇒6.1.4
④ スタートディテクタ 膜の検出器です。膜の通過を検出すると、計時を開始します。
⑤ ストップディテクタ 膜の検出器です。膜の通過を検出すると、計時を終了します。
⑥ 体積管窓 体積管内部を確認する窓です。膜の状況や、体積管の汚れを確認します。
⑦ 膜消去用紙入口 測定後の余分な膜や液を吸取るために吸取り紙を挿入します。⇒6.1.5
⑧ 信号コネクタ
(SERIAL)
PC やプリンタとの接続に使用します。接続にはそれぞれ専用ケーブルが
必要です。
⑨ 電源ｼﾞｬｯｸ(DC7VIN) 専用 AC アダプタ用のジャックです。⇒6.1.2
⑩ 電源ｽｲｯﾁ(POWER) 電源を入／切するときに使用します。⇒6.1.7
⑪ 着脱レバー 体積管ユニットの固定／解除するときに使用します。⇒6.1.3
⑫ 表示部 流量、温度、測定時間、大気圧、及びアラームの表示を行います。
流量表示 有効数字 4 桁
単位切換 999.9ml/min 以下 ml/min 表示
1000ml/min 以上 L/min 表示
項目表示 通常計測時 ｄ−：
自動計測時 ｄ※：
（※は自動計測カウント回数 2〜A。A は 10 回目）
温度表示 有効数字 小数点以下 1 桁
動作 リアルタイム表示（計測終了時のホールドなし）
表示範囲 5.0〜40.0℃（温度精度保証範囲 15.0〜35.0℃）
項目表示 「１： ※※.※℃（※は測定温度を示す）
計時表示 有効数字 4 桁
大気圧表示 有効数字 小数点以下 1 桁
動作 リアルタイム表示（計測終了時のホールドなし）
表示範囲 730〜1070hPa(気圧測定範囲 930〜1040hPa,SF-2U)
項目表示 マニュアル入力時Ｈ．※※※※.※hPa
大気圧計測時 Ａ．※※※※.※hPa
(SF-1U はマニュアルのみ。※は大気圧を示す)
各種警報表示 Ａ１：−−−− スタートディテクタ検出異常⇒8.2
Ａ２：−−−− ストップディテクタ検出異常⇒8.3
Ａ３：−−−− ディテクタ光量低下異常⇒8.4
Ａ４：−−−− 電圧低下異常⇒8.5
Ａ１：−−−Ａ 自動湿らし異常⇒8.2


校正温度表示 「０： ※※．※ （※は校正温度を示す）⇒6.1.6
有効数字 小数点以下 1 桁
設定範囲 0〜35.0℃





その他 自動計測回数表示 ＡＵ：＿＿＿※※ （※は回数を示す。02〜10）
自動計測回数設定時のみ表示 ⇒6.2.3
自動湿らし動作表示 ｄＰ：−−−− ⇒6.2.1
警報時間設定表示 Ａ１： ※※※sec   Ａ１警報設定時間
Ａ２： ※※※sec   Ａ２警報設定時間
（※は設定時間を示す）⇒6.4,8.2,8.3
⑬ 単位表示灯 ⑫の表示の単位を LED が示します。
⑭ セットキー(SET) 各種数値の設定、及び自動計測データの呼び出しを行うキーです。
⑮ セレクトキー(SELECT) 表示の選択、及び設定項目を選択するキーです。
⑯ オートキー(AUTO) 自動計測モードの選択をするキーです。LED 点灯中が自動測定モードで
す。⇒6.2.3
⑰ スタートキー(START) 計測を開始するキーです。その他、アラームのリセット、計測の中止、自
動湿らし開始にも使用します。

J-6

6. 操作説明
6.1. 準備
6.1.1. 測定場所

重要次のような場所は測定場所として適しませんのでご注意ください。
床が傾斜している場所
直射日光や強い光の当たる場所
急激な温度変化を受ける場所
冷暖房機器に近い場所
振動のある場所
強力な強制吸排気を行っている場所
結露や濡れる可能性のある場所
強い風が当たる場所
扉の開閉の多い部屋


参考精密な測定を行う場合、温度管理された室内で恒温槽を用いて行ってください。

6.1.2. 電源接続
本体背面の電源ジャックに専用 AC アダプタ及び電源ケーブルを接続し、プラグをコンセントに
差し込んでください。
警告

専用ＡＣアダプタを使用する。
それ以外を使用すると、火災や感電の原因になります。



J-7

6.1.3. 体積管ユニット装着
①測定流量にあった体積管ユニット(VP-1U〜4U)をコネクタ及び接続部の切り欠きが本体接続
部のピンに合うように装着します。
②着脱レバーを図の矢印の方向に回し固定します。
※体積管ユニットを取り外すときは②のレバーを戻し、SF 本体を押さえてゆっくりと取り外し
てください。
注意

体積管ユニットを確実に固定する。
体積管ユニットを本体に装着するときは着脱レバーの操作を確実に行い、固
定してください。固定せずに使用や持ち運びをしますと、転倒や脱落を招き、
けがや故障の原因となります。
 
 図 3体積管ユニット装着 図 4成膜液注入


6.1.4. 成膜液注入
測定ガス入口に成膜液ボトルのチューブを 2〜3cm 挿入し、泡が立たないようにゆっくりと注入し
ます。液レベル窓の二本の青い線の間に液面が来るように注入してください。

重要測定ガス入口に成膜液ボトルのチューブを 4cm 以上挿入しないでください。故障
の原因になります。
成膜液は必ず Snoop®を使用してください。この他の石けん液や漏れ検査液を使
用された場合、膜が出来なくなるだけではなく、体積管を汚れたり、内部のパッ
キンが劣化する場合があります。
液面は必ず二本の青い線の間に来るようにしてください。液の過不足は測定精度
に悪影響を与えます。
①
②
切り欠き
ピン
成膜液
Snoop®
コネクタ

J-8

6.1.5. 配管接続
①測定ガス入口に配管(チューブ)を接続してください。
VP-1U〜3U：外形 6mm ホース継ぎ手(内径 5〜6mm 軟質チューブ用)
VP-4U：外形 10mm ホース継ぎ手(内径 9〜10mm 軟質チューブ用)
②測定ガス出口に配管(チューブ)を接続してください。
外形 10mm ホース継ぎ手(内径 9〜10mm 軟質チューブ用)

警告

反応性ガスは流さない。
水分や酸素と反応するガスは流さないで下さい。本製品は完全な機密構造に
はなっておりません。また、成膜用に液体(石けん液)を使用しておりますの
で、反応性ガスを流されますと反応し、爆発・火災の原因となります。

排気をする。
安全な場所に排気を行なって下さい。排気を行なわないと、爆発・火災・中
毒等の原因となります。

重要測定ガスは測定雰囲気温度に十分熱交換してください。測定ガスと周囲温度に差
があると正確な測定結果が得られません。
測定流量が 3L/min 以上の場合、測定ガスを十分加湿してから体積管に導入して
ください。乾燥したガスを流すと体積管が乾燥するだけでなく、正確な測定結果
が得られません。
測定をしないときは体積管にガスを流さないようにしてください。体積管内面が
汚れる場合があります。

参考チューブは出来るだけ短くしてください。温度変化等による体積変化の影響を低
減します。
吸引排気をする場合は、測定ガスの圧力が下がり過ぎないように注意してくださ
い。
微少流量を測定する場合は、変換継ぎ手等を使用し、なるべく細いチューブを使
ってください。(入口側のみ)
流量にかかわらず測定ガスを十分加湿してから体積管に導入すると、より正確な
結果を得ることが出来ます。

③膜消去用の吸取り紙を挿入口から 2cm 差込み、キャップをします。(VP-1U,2U のみ)
※吸取り紙は吸水性のある紙を直径 1〜2mm の紙縒り状にしたものをお客様にてご用意
ください。

重要吸取り紙を差し込みすぎると、体積管内部に残留し故障の原因となったり、割れ
た膜の液が逆流し、測定に悪影響を与えます。
吸取り紙はこまめに交換してください。吸取り紙が膨張すると流路をふさぎ、測
定誤差の原因となります。
キャップはガス漏れがないようにしっかりと嵌めてください。


J-9

6.1.6. 校正温度設定
測定結果を表示する際の校正温度を設定します。（工場出荷時 25℃）
①セットキー”△”を押しながら、電源スイッチを入れ、そのままセットキー”△”を5秒間押
し続けてください。校正温度設定モードになります。
②セットキーを使い、希望の校正温度を設定してください。入力範囲は 0〜35℃です。“△”
と”▽”を同時に押すと 25℃になります。
③電源スイッチを切ると設定がエントリーされます。（電源を切っても設定値は記憶され
ています。）
※校正温度は次の二つの方法で確認できます。
通電開始直後、バージョン情報の後に表示されます。（約 3 秒間）
温度表示の状態でセットキー“△””▽”のどちらかを押す。（自動測定モードを除く。）

6.1.7. 電源投入
電源スイッチを入れると、表示部にバージョン情報が表示され、引き続き校正温度が表示されま
す。（各々約 3 秒間表示）
重要校正温度の設定が正しいことを確認してください。設定値が誤っていますと、正
確な測定結果が得られません。
10 分以上暖機をしてください。センサ類が安定していないと、正確な測定結果が
得られません。

6.2. 測定
6.2.1. 体積管湿らし
測定を開始する直前に体積管の内壁を湿らせておく必要があります。測定ガスまたは N2等の不活
性ガスを測定ガス入口に導入し、次の手順で体積管の内壁を湿らせてください。湿らし操作には次
の二つがあります。

参考ガスの流量を測定可能レンジの 5〜20%にすると、湿らしがスムーズに行えます。

手動操作
①スタートキーを 1 秒以上の間隔で繰り返し押してください。
②①の操作をしながら、体積管窓から膜の通過状況を観察してください。
③膜がストップディテクタまで到達するようになったら①の操作を止め、体積管内の全ての膜
がストップディテクタを通過するまでお待ちください。
自動操作
①スタートキーを 1 秒以上押し続けてください。
②表示がｄＰ：−−−−となり、一定間隔で自動的に膜を作ります。
③膜がストップディテクタまで到達するようになり、湿らしが完了すると待機状態に戻ります。
※測定中にこの操作を行った場合、湿らし完了後、再度測定を開始します。
※この操作を中止する場合はスタートキーを押してください。

重要体積管内に膜が残っていないことを確認してから測定を開始してください。石け
ん膜の性質上、偶発的に膜が残っている場合があります。膜が残っていると、正
確な測定結果が得られないことがあります。


J-10

6.2.2. 大気圧入力
SF-1U の場合
①セレクトキーを押し表示を大気圧表示にしてください。
②セットキーにより、大気圧を設定してください。（設定範囲：730〜1070hPa）
セットキーの”△”と”▽”を同時に押すと、1013.3hPa になります。

SF-2U の場合
内蔵の大気圧センサの出力を使用しない場合、次の手順で大気圧を入力してください。
①セレクトキーを押し表示を大気圧表示にしてください。
②セットキーの”△”と”▽”を同時に 2 秒以上押し続けてください。
③大気圧入力モードになり、表示の左端の文字が”Ａ”から”Ｈ”に変わり、単位表示灯が点灯から
点滅に変わります。
④セットキーにより、大気圧を設定してください。（設定範囲：730〜1070hPa）
セットキーの”△”と”▽”を同時に押すと、1013.3hPa になります。
※大気圧入力モードを終了する場合、セットキーの”△”と”▽”を同時に 2 秒以上押し続けるか、
電源スイッチを切ってください。

重要大気圧の設定が正しいことを確認してください。設定値が誤っていますと、正確
な測定結果が得られません。

6.2.3. 測定
測定には通常測定と自動測定の 2 つの方法があります。自動測定では任意の回数の測定を自動で
行い、各回の測定値と総平均を得ることが出来ます。

通常測定
①スタートキーを押します。
②膜がスタートディテクタに到達するまで表示がフラッシングします。
０.０００
③膜がスタートディテクタに到達すると、計時を開始し、経過時間を表示します。
０.１２３経過時間をカウント
④膜がストップディテクタに到達すると、計時を終了し、計測時間を表示した後、流量の表
示をします。
１.２３４計測時間表示 ⇒ ｄ−：１０．２３ 流量表示
⑤セレクトキーを押すと、表示が切り換わり、計測時間と流量が確認できます。
流量 ⇒ 温度 ⇒ 計測時間 ⇒ 大気圧 ⇒ 流量 ⇒・・・・
※測定値は次の測定、または電源を切るまでホールドされます。
※温度、及び大気圧の値についてはリアルタイム表示です。

J-11

自動測定
①オートキーを押してください。
②オートキーの表示灯が点灯し、自動測定モードになります。
③セットキーにより自動測定の回数を設定してください。
ＡＵ：  ※※ ※は回数設定値(02〜10)
④スタートキーを押すと、自動測定を開始します。
⑤開始直後のウォームアップとして 1 回測定を行います。測定結果は無効になります。
各回の測定中には”※−”を表示し※回目の測定であることを示します。（※が”Ａ”のとき
は 10 回目を示します。）その他の表示の流れは通常測定の場合と同じです。
⑥自動測定が終了すると断続的にブザーが鳴ります。
⑦セットキーを押すと、表示が切り換わり、各回の測定値が確認できます。（”ｄ１”〜”ｄ９”
は 1〜9 回目。”ｄＡ”は 10 回目。）
表示の左が”ｄ０”の値は平均値を表します。
セレクトキーを押すと表示が切り換わり、計測時間、温度、大気圧が確認できます。
※自動測定を中止するときはセレクトキーを押しながらスタートキーを押してください。
※自動測定の間隔は前回測定時間の 1/4 となります。（但し、最短 3 秒、最長 10 秒）
※自動測定モードを解除する場合、オートキーを押してください。オートキーの表示灯が消
灯します。
※自動測定モードを解除した後、自動測定の結果を確認する場合は、オートキーを 2 回押し
て自動測定モード／データ呼び出し状態にしてください。（オートキー表示灯が点滅）
※測定値は次の測定、または電源を切るまでホールドされます。

6.3. 演算式
流量算出には次式を用い、大気圧、温度、水蒸気圧補正を行います。


ここに
Q：流量(L/min,at校正温度・1013.3hPa) t：測定温度(℃)
V：ディテクタ間体積(L) Pa：大気圧(hPa)
S：計測時間(sec) Pw：t℃での飽和水蒸気圧(hPa)
T：0℃における絶対温度(=273K) Po：標準状態大気圧(=1013.3hPa)
to：校正温度(℃) 

6.4. 警報時間設定（工場出荷時 A1:120 秒,A2:120 秒）
精度保証流量の範囲を下回る流量の測定（例えば VP-2U を使用し、VP-1U の範囲を測定）を行う
場合等のために、A1/A2 アラ−ムの待機時間を変更することが出来ます。設定の変更は次の手順で
行ってください。

①セットキー”▽”を押しながら電源スイッチを入れ、そのままセットキー”▽”を 5 秒間押
し続けてください。警報時間設定モードになります。
②セットキーを押して警報時間を設定してください。（設定範囲：1〜999 秒）
③セレクトキーを押すと、A1/A2 の切り換えが出来ます。
※セットキーの”△”と”▽”を同時に押すと 120 秒になります。（VP-1U 装着時は 180 秒）
④電源スイッチを切ってください。
PoPwPa t
T
toT
S
V
Q




 60

J-12

7. 保守
7.1. 日常保守
7.1.1. 成膜液の補充
液レベル窓より常に液量を確認してください。液レベルが下の青い線に近づきましたら、成膜液
を補充してください。⇒6.1.4

7.1.2. 成膜液の交換
液が汚れたり、膜ができにくくなった場合は速やかに成膜液を交換してください。
体積管ユニットを傾け、測定ガス入口より液を排出し、新しい成膜液を注入してください。⇒6.1.4

7.1.3. 体積管の洗浄
体積管が汚れた場合、次の手順で洗浄してください。
①体積管ユニットを傾け、測定ガス入口より液を排出してください。
②体積管ユニットより長めのビニールチューブ等を測定ガス入口に接続してください。
③ビニールチューブの端を持ち上げた状態で、きれいな水（汚れがひどい場合は中性洗剤
等）を注入し、ストップディテクタの位置まで体積管内を満たしてください。
④しばらく放置した後、ビニールチューブの端を下ろし、水（洗剤）を排出してください。
⑤洗剤を使用した場合はきれいな水で③④の操作を 2〜3 回行ってください。
⑥液を完全に排出できたら、成膜液を注入してください。⇒6.1.4

7.2. 定期点検
いつまでも精度よくお使いいただくために、定期点検・精度確認・再校正を有償にて行います。
詳しくは、お買い求めいただいた代理店、または弊社までお問い合わせください。SF-2U,VP につき
ましては 1 年毎の精度確認をお奨めします。

7.2.1. 定期交換部品
使用頻度、測定流体等により異なりますが、下記の期間を目安に部品交換（有償）をお奨めしま
す。定期交換部品の交換は、弊社にて実施いたします。お客様ご自身による交換はできません。
パルスモータアッセン 2 年毎
成膜機構アッセン  2 年毎
シールキット  2 年毎 又は 分解時
内部配管   3 年毎
その他部品   必要時

7.2.2. 保守部品

成膜液   Snoop®236ml  No.S000025（3024000025）
専用 AC アダプタセット PS-SF-100C(日本国内用) No.S242802（3200496396）
専用 AC アダプタ (ヨーロッパ用) 御入用時、弊社までご相談ください。
専用 AC コードセット (ヨーロッパ用) 御入用時、弊社までご相談ください。



J-13

8. トラブルチャート

万一、本装置が正常に動作しない場合は、敏速なサ−ビス対応を行う為、弊社に修理の依頼をさ
れる前に可能な限り、次の各項目により点検を行って下さい。

8.1. 電源が入らない


電源が入らない


  供給電源確認異常

正常電源供給

異常ＡＣアダプタ
／コネクタ確認

再差込正常


  ※配線・基板
点検・修理・交換

※印は幣社又は代理店作業になります。修理依頼を願います。


J-14

8.2. A1 アラーム発生
 （スタートディテクタ検出異常）

      A1 アラーム発生

      成膜状態確認  異常

    正常 成膜動作確認異常
   異常   
    測定流量確認  
正常
      ＶＰ交換    正常    ※修理

異常     成膜液量 
    警報時間確認  確認 異常
       
  時間設定正常正常液量調節

         成膜液 異常
       の汚れ
       正常  
交換
      異常 体積管内
       の汚れ

     洗浄  正常


※ディテクタ
点検、修理、オーバーホール

※印は幣社又は代理店作業になります。修理依頼を願います。


A1 アラーム  （表示 Ａ１：−−−−）
成膜〜スタートディテクタ検出時間が、膜割れ／測定範囲外流量等により 120 秒(VP-1U
は 180 秒)経過した場合発生します。体積管の湿らし操作・測定流量確認等を行って下さ
い。尚、警報時間(120/180 秒)は変更可能です。⇒6.4

自動湿らしアラーム発生  （表示 Ａ１：−−−Ａ）
自動湿らし動作を 120 秒間実行しても、体積管内壁が湿らない場合に発生します。測定
流量、成膜液量等を確認して下さい。尚、警報時間 120 秒は変更可能です。⇒6.4（A1 ア
ラーム時間と共通）
体積管の洗浄方法⇒7.1.3

アラーム解除は、スタートキーを押して下さい。

