ISVT GMC1100 User manual

Instruction Manual
GMC1100
Flow & Pressure Controller
Address : #302, 608-2, Bora-dong, Giheung-gu,
Yongin-si, Kyeonggido, Korea
Tel : [phone] Fax : [phone]

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WARRANTY
(주)ISVT에서 생산하는 Flow & Pressure Controller(GMC1100)는
보증수리기간을 1년으로 한다. 단, 사용자의 부주의로 인한
고장일 경우 보증수리기간에 관계없이 유상 수리를 원칙으로 한다.
실 사용자는 제품에 하자가 있거나 이상한 증상을 발견하였을 경우
임의로 제품을 분해 할 수 없으며, 임의로 제품을 분해 할 경우
보증수리기간은 자동으로 말소되므로 당 사에 문의하여 적절한
조치 및 무상 수리를 받도록 한다.
그리고 제품에 대한 Interface Demo Program이나 기타 정보 및
자료들은 Internet Home Page를 통해 제공 받을 수 있다.

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GMC1100
Flow & Pressure Controller
Green Advanced Technology
www.gat.co.kr
FLOW & PRESSURE CONTROLLER
GMC1100
FLOW
ADJ / ENT SET
FLOW
MENU
ESC P.CON
MODE
ALL
ON FLOW OFF

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IMPORTANT
장비를 Install하거나 Operation하기 전에 꼭 이 Manual을 숙지 하시기 바랍니다.
이 장비의 규정된 방법에 따라 전기적인 Connection과 Grounding을 해야 하므로
부적절한 사용으로 인해 발생하는 문제에 대해서는 소비자께서 직접 책임을 지셔
야 하므로 이 Manual의 지시대로 따라 주시기 바랍니다.
CAUTION
이 장비를 인도 받았을 때, 전달 도중 장비나 외관에 손상을 입었는지 확인
하십시오.
GMC1100 Flow & Pressure Controller는 기본적으로 195~265VAC 50/60Hz 에
서 동작하도록 되었습니다. (110VAC 전원을 사용 할 경우에는 당사로 문의 바람)
SAFETY WARNING
감전의 위험이 있으므로 임의로 Controller를 분해 하지 마십시오.
※ NOTE : 당사의 제품과 Manual을 더 향상시키기 위하여 항상 노력하고
있습니다. 사용 중에 발생하는 어떠한 불편한 점이라도 알려 주시
면 좋은 정보로 활용 하도록 하겠습니다
Tel : [phone] web site : http://www.isvt.co.kr
Fax : [phone] e-mail : [e-mail]

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Customer Support
기본적으로 본 제품에 대한 수리는 당사에서만 가능하므로, 제품에 하자가 발생할
경우에는 당사로 연락을 주시고 필요한 조치를 받으십시오.
그리고 GMC1100 Flow & Pressure Controller는 내부에 고압이 흐르고 있으므로,
사용자 임의로 분해하여 수리를 시도 할 경우 감전의 위험이 있으니 절대 삼가 해
주십시오.

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CONTENTS
Chapter One: General Information Page
Introduction 7
Product Specifications 8
CHAPTER Two : Installation
Unpack & Unpacking Check List 9
Mounting 10
Cutting size 11
Installation Environment 11
Control Applications 12
CHAPTER Three : Overview
Front Panel 13
Front Panel Components 13
Front Panel Display 14
Rear Panel 15
Rear Panel Components 15
Electrical Connections 16
Labels 20
CHAPTER Four : System Setup
Overview 21
Main Menu 22
Zeroing 23
Range Setup 24
System Setup 25
CHAPTER Five : Local Operation
Overview 29
Channel Display 변환 30
Flow Setting & Flow On/Off 32
Ratio Control 34
Accumulation 38
Pressure Control 39
CHAPTER Six : Remote Operation
Overview 43
TTL Flow On/Off 43
RS232C Serial PC Interface 44
RS232C Command Definition 45

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Chapter One : General Information
Introduction
GMC1100 Flow & Pressure Controller는 기본적으로 MFC(Mass Flow
Controller)에 Power(+/-15VDC)를 공급하고 Flow량을 Display하며 안정된 Set
Point Voltage(0∼5VDC)를 주어 MFC가 정확하게 Control될 수 있도록 하는
장치이다.
최대 8개의 MFC를 연결할 수 있으며, MFC를 Control할 수 있는 Channel PCB
(Printed Circuit Board)는 1장 당 2Channel(MFC 2개 연결)로 구성 되어 있다.
그러므로 MFC를 연결할 수 있는 확장 성을 보면 2,4,6,8식으로 2Channel씩 추가
할 수 있음을 알 수 있다. 추가된 PCB는 처음 Power를 켰을 때 자동으로 인식하
게 설계되었다. 또한, 2Channel(PCB 한 장)의 단위로 MFC를 연결 하지 않고
Capacitance Manometer Display Board를 이용하여 압력을 Display 할 수 있도록
설계되었다.
Option 사양으로 Upstream Pressure Control Board를 추가 하면 따로 Pressure
Control Mode로 들어갈 수 있어서, 각 Channel에 연결된 MFC중에서 원하는
Channel들을 임의로 선택하여 Gas양을 가지고 원하는 압력을 자동으로 Control
할 수 있으며 동시에 압력도 Display할 수 있다.
여기서 Pressure Control Channel로 지정되지 않은 Channel은 따로 독립적으로
Flow양을 Control할 수 있다.
Ratio Control Function을 이용 시 8개의 Channel중 1개 Channel을 Master로
나머지 7개 Channel중 원하는 Channel들만 Slave로 설정해 각Channel별로 요구
되어지는 Gas량의 Ratio를 지정해주고, Master Channel Flow Rate의 변화에 따
른 지정된 Ratio값의 Percentage에 따라 자동으로Slave Channel들의 Flow Rate
를 조정할 수 있다. 또한 Slave로 지정되지 않은Channel들은 Ratio Control 기능
과 관계없이 독립적인 운영이 가능하다. 또한 Accumulation 기능을 이용하여 각
Channel별로 지정한 시간만큼의 Total Flow량을 볼 수 있다.
이 모든 것이 Micro Processor로 Control되며 RS-232 Interface를 이용한
PC Control도 가능하다

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Product Specifications
GMC1100 Flow & Pressure Controller Specifications
Physical
Width 241 mm – Half Rack Mounting ears
Height 88 mm – 2 U Rack
Depth 200 mm
Weight Approx. 1.5kg ~ 2kgs (Depends on options)
Electrical
Input Power 195 ~ 265VAC @50/60 Hz 85VA (max) – default
98 ~ 135VAC @50/60 Hz 85VA - Optional
Fuse rating 250 VAC @3 A
Output Power +/- 15VDC ±5% @2.7A
Input Signal 0 ~ 5.000VDC for MFC
0 ~ 10.000VDC for Capacitance Manometer
Output Command
Signal 0 ~ 5.000VDC for MFC
Display Window 128*64 dot Graphic LCD
4 Digit for MFC, 5 Digit for Capacitance Manometer
Table 1 : GMC1100 Flow & Pressure Controller Specifications

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Chapter Two : Installation
Unpack
당사에서는 본 제품의 포장 시 최대한 주의하여 포장하고 있으나 간혹 내용물의
분실이나 운송 중 파손이 발생할 수도 있으니 사용자께서는 물건을 인수 후 내용
물의 상태를 확인하시기 바랍니다.
내용물에 하자가 있을 경우에는 바로 당사에 연락 하여 조치를 받을 수 있도록
하십시오.
Unpacking Check List
GMC1100 Control Unit
Manual (this book & Manual CD)
Power Cable
Optional Items

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Mounting
( Top View )
( Front View )
( Rear View )
Figure 1 : Controller Dimensions
226
76
241
88
6.35×10.31 Slot Thru
208
87
190
208

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Cutting Size
Figure 2 : Cutting Size Dimension
Installation Environment
Operating Environmental Requirements
사용 주변 온도 : 15 ~ 50℃ ( 59 ~ 122℉)
공기 순환이 잘 되는 곳
습도가 낮고 건조 한곳
제품의 안정된 동작 및 안전을 위하여 Chassis Grounding이 필요함.

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···
···
Control Applications
Figure 3 : Upstream Pressure Control
GMC1100
Gas 1
Gas 2
· · ·
Chamber
PUMP
Pressure
Transducer
Ch2
Ch3
Ch1
Computer
Gas 3

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Chapter Three : Overview
Front Panel
Front Panel Components
아래의 Figure 4에 GMC1100의 Front Panel의 구성 요소에 대하여 나타내었으며,
Page 14의 Table 2에 각각의 구성요소에 대한 기능들을 설명하였다.
10003:1000 cc
4:1000
Green Advanced Technology
www.gat.co.kr
1000
cc
ADJ / ENT SET
FLOW
2:1000
1:1000
FLOW & PRESSURE CONTROLLER
GMC1100
OFF
FLOW
1000
1000
cc
cc P.CON FLOW
MENU
ESC MODE
ALL
ON
Figure 4 : GMC1100 Front Panel Components
Set-point
Display
Actual Flow
Display
Adjust knob & Enter Key Pad
Cursor

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Front Panel Display
Front panel display 창은 Main power를 처음 켰을 때, Default로 1 ~ 4 channel
의 MFC에 해당하는 정보들을 보여주며, 왼 쪽은 Set-point값을, 오른쪽은 실제
흐르는 유량 값을 Display한다. 만일 Option으로 8 channel 까지 확장되어 있다면
[▲] [▼] 의 위, 아래 Scroll key를 이용하여 나머지 5 ~ 8 channel의 정보들을
볼 수 있다.
Front Panel Component들의 요약 설명
Display 창 Main power를 처음 켰을 때, Default로 1 ~ 4 channel의 MFC에 해당하
는 정보들을 보여주며, 왼쪽은 Flow setting값을, 오른쪽은 실제 흐르는
Flow 값을 Display한다. 만일 Option으로 6 또는 8 channel까지 확장되
어 있다면 [▲] [▼] 의 위, 아래 Scroll key를 이용하여 나머지 5 ~ 8
channel의 정보들을 볼 수 있다. 그리고 맨 왼쪽은 channel 번호를 표
시하며, 해당 channel이 “Flow On” 되어 있다면 channel 번호는 반전되
어 나타난다. 맨 오른쪽의 조그만 글씨는 단위를 표시한다.
[MENU/ESC]
toggle key
이 key를 한번 누르면 Menu로 들어갈 수 있고 다시 한번 누르면 다시
main 화면으로 빠져 나온다. Menu로 들어가면 다시 Sub-menu가 있으
며, Sub-menu로 들어가기 위해서는 [▲] [▼]의 위, 아래 Scroll key를
이용하여 선택한 다음 Adjust knob를 누르면(Enter) 들어갈 수 있다.
[FLOW ON]
[FLOW OFF]
[FLOW SET]
key
[FLOW ON], [FLOW OFF], [FLOW SET]등의 key들은 Cursor (◀)가 위치
해 있는 channel만 명령이 실행되고, [▲] [▼] 의 위, 아래 Scroll
key를 이용하여 channel을 선택할 수 있다. 또한 모든 channel을
동시에 Flow On/Off 할 경우에만 [ALL] key를 이용하여 모든
channel을 선택할 수 있다.
Adjust Knob
& Enter key
Adjust Knob를 돌리면 각 Parameter들의 값을 변화 시킬 수 있으며
변화 시킨 값을 저장할 때 Adjust Knob를 누르면 Enter key가 작동하여
변화 시킨 값이 저장된다.
[▲] [▼]
Scroll key
이 Scroll key를 이용하여 각 Parameter를 선택하게 되는데,
이 Controller의 모든 명령들은 먼저 Channel을 선택하든, Menu를 선택
하든, 일단 선택을 먼저하고, 명령 또는 값 변화를 하도록 되어있다.
[P.CON MODE]
key
GMC1100 Controller는 Option 사항으로 Upstream Pressure Control을
장착할 수 있는데, 이 key를 누르면, Pressure Control Mode로 Display
창이 바뀐다.
Table 2 : Front Panel Component들의 요약 설명

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Rear Panel
Rear Panel Components
아래 그림과 같이 Rear Panel에는 1 ~ 8 Channel의 MFC(또는 Capacitance
Manometer)와 연결하는 Channel Card와 Upstream Pressure Control Card,
Interface Card(TTL Flow On/Off, RS232C Serial Interface)들이 “ D ” Type의
Connector들로 구성되어 있다.
195 ~ 260VAC
RS232C
BLANK
CH 8 CH 6 CH 4 CH 2
INTERFACE
CM
CH 7 CH 5 CH 3 CH 1
O
I
Figure 5 : GMC1100 Rear Panel Components
Channel
Card
Upstream Pressure
Control Card
Power On/Off
Switch
TTL Flow On/Off
RS232C Serial Interface

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Electrical Connections
다음에 나오는 Table 3 ~ 6 까지는 각각의 Connector들에 대한 Pin description
을 기술 하였다.
MFC Connector Pin-out
Pin No. Assignment Cable Color
1 No Connection
2 Flow or Pressure Signal Red
3 +15VDC Supply Green
4 Power Ground Grey
5 -15VDC Supply White
6 Set-point Command Signal (MFC only) Orange
7 Signal Ground Brown
8 Signal Ground Black
9 No Connection
9-pin, D-sub Connector (female).
Table 3 : MFC Connector Pin-out

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CM (Capacitance Manometer) Connector Pin-out
Pin No. Assignment Cable Color
1 No Connection
2 Flow or Pressure Signal Red
3 +15VDC Supply Green
4 Power Ground Grey
5 -15VDC Supply White
6 No Connection
7 Signal Ground Brown
8 Signal Ground Black
9 No Connection
9-pin, D-sub Connector (female).
Table 4 : CM (Capacitance Manometer) Connector Pin-out

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TTL On/Off Command Connector Pin-out
Pin No. Assignment
1 On-Ch1 (Low = On)
2 On-Ch2 (Low = On)
3 On-Ch3 (Low = On)
4 On-Ch4 (Low = On)
5 On-Ch5 (Low = On)
6 On-Ch6 (Low = On)
7 On-Ch7 (Low = On)
8 On-Ch8 (Low = On)
9 Digital Ground
10 No Connection
11 No Connection
12 No Connection
13 No Connection
14 No Connection
15 No Connection
15-pin , 3열 D-sub Connector (female).  PC의 Monitor Connector
Low  pin 9의 Digital Ground로 연결( Low level )을 의미함.
Table 5 : TTL On/Off Command Connector Pin-out

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RS232C Serial Interface Connector Pin-out
Pin No. Assignment
1 No Connection
2 Transmit data
3 Receive data
4 No Connection
5 Digital Ground
6 No Connection
7 No Connection
8 No Connection
9 No Connection
9-pin, D-sub Connector (male).
Table 6 : RS232C Serial Interface Connector Pin-out

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Labels
Serial Number Label은 이 Controller의 옆 판에 부착되어 있으며
Model Number, Serial Number 등이 기록되어 있다.
Model Number의 자세한 설명은 아래와 같다.
GMC1100-XXXX-Y-Z
X – Channel Card
M MFC Control Card(dual : 2 channel)
B Pressure Display Card(dual : 2 channel)
O No Card
Y – Function card
P Upstream Pressure Control Card
O No Card
Z – Interface Card
I TTL On/Off Command, RS232C serial
O No Card
Model # : GMC1100-MMMM-P-I
Serial # : M1150609017
ISVT INC. Made in Korea