ISVT IMC1300 User manual

ISVT Type IMC1300
Instruction Manual
#302 , 608-2, Bora-dong, Giheung-gu, Yongin-si, Kyeonggido, Korea
Tel : [phone] Fax : [phone]
Web site : http://www.isvt.co.kr E-mail : [email protected]

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WARRANTY
(주)이즈브이티에서 생산하는 Flow & Pressure Controller(IMC1300)는
보증수리기간을 1년으로 한다. 단, 사용자의 부주의로 인한
고장일 경우 보증수리기간에 관계없이 유상 수리를 원칙으로 한다.
실 사용자는 제품에 하자가 있거나 이상한 증상을 발견하였을 경우
임의로 제품을 분해 할 수 없으며, 임의로 제품을 분해 할 경우
보증수리기간은 자동으로 말소되므로 당 사에 문의하여 적절한
조치 및 무상 수리를 받도록 한다.
그리고 제품에 대한 Interface Demo Program이나 기타 정보 및
자료들은 Internet Home Page를 통해 제공 받을 수 있다.

3
IMC1300
Flow & Pressure Controller
IMC1300
FLOW & PRESSURE CONTROLLER
1 2
45
78
0
3
6
9
ON
SET
OFF
MENU
PCON
ESC
ENT
ALL

4
IMPORTANT
장비를 Install하거나 Operation하기 전에 꼭 이 Manual을 숙지 하시기 바랍니다.
이 장비의 규정된 방법에 따라 전기적인 Connection과 Grounding을 해야 하며,
부적절한 사용으로 인해 문제가 발생할 수 있으므로 이 Manual의 지시대로 따라
주시기 바랍니다.
CAUTION
이 장비를 인도 받았을 때, 전달 도중 장비나 외관에 손상을 입었는지 확인 하십시오.
Flow & Pressure Controller(IMC1300)는 기본적으로 195~265VAC 50/60Hz 에서
동작하도록 되었습니다. (110VAC 전원을 사용 할 경우에는 당사로 문의 바람)
SAFETY WARNING
감전의 위험이 있으므로 임의로 Controller를 분해 하지 마십시오.
※ NOTE : 당사의 제품과 Manual을 더 향상시키기 위하여 항상 노력하고 있습니다.
사용 중에 발생하는 어떠한 불편한 점이라도 알려 주시면 좋은 정보로
활용 하도록 하겠습니다.

5
CUSTMMER SUPPORT
기본적으로 본 제품에 대한 수리는 당사에서만 가능하므로, 제품에 하자가 발생할
경우에는 당사로 연락을 주시고 필요한 조치를 받으십시오.
그리고 IMC1300 Flow & Pressure Controller는 내부에 고압이 흐르고 있으므로,
사용자 임의로 분해하여 수리를 시도 할 경우 감전의 위험이 있으니 절대 삼가 해
주십시오.

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Chapter One: General Information Page
Introduction 7
Product Specifications 8
Chapter Two : Installation
Unpack & Unpacking Check List 9
Mounting 10
Cutting size 11
Installation Environment 11
Control Applications 12
Chapter Three : Overview
Front Panel 13
Front Panel Components 13
Front Panel Display 14
Rear Panel 15
Rear Panel Components 15
Electrical Connections 16
Labels 20
Chapter Four : System Setup
Overview 21
Main Menu 22
Zeroing 23
Range Setup 24
System Setup 25
Chapte Five : Local Operation
Overview 29
Channel Display 변환 30
Flow Setting & Flow On/Off 32
Ratio Control 34
Accumulation 38
Pressure Control 39
Chapte Six : Remote Operation
Overview 43
TTL Flow On/Off 43
RS232C Serial PC Interface 44
RS232C Command Definition 45

7
Chapter One : General Information
Introduction
IMC1300 Flow & Pressure Controller는 기본적으로 MFC(Mass Flow Controller)에
Power(+/-15VDC)를 공급하고 Flow량을 Display하며 안정된 Set Point Voltage
(0∼5VDC)를 주어 MFC가 정확하게 Control될 수 있도록 하는 장치이다.
최대 8개의 MFC를 연결할 수 있으며, MFC를 Control할 수 있는 Channel PCB
(Printed Circuit Board)는 1장 당 2Channel(MFC 2개 연결)로 구성 되어 있다.
그러므로 MFC를 연결할 수 있는 확장 성을 보면 2,4,6,8식으로 2Channel씩 추가
할 수 있음을 알 수 있다. 추가된 PCB는 처음 Power를 켰을 때 자동으로 인식하
게 설계되었다. 또한, 2Channel(PCB 한 장)의 단위로 MFC를 연결 하지 않고
Capacitance Manometer Display Board를 이용하여 압력을 Display 할 수 있도록
설계되었다. (1MFC / 1CM가능함)
Option 사양으로 Upstream Pressure Control Board를 추가 하면 따로 Pressure
Control Mode로 들어갈 수 있어서, 각 Channel에 연결된 MFC중에서 원하는
Channel들을 임의로 선택하여 Gas양을 가지고 원하는 압력을 자동으로 Control
할 수 있으며 동시에 압력도 Display할 수 있다.
여기서 Pressure Control Channel로 지정되지 않은 Channel은 따로 독립적으로
Flow양을 Control할 수 있다.
Ratio Control Function을 이용 시 8개의 Channel중 1개 Channel을 Master로
나머지 7개 Channel중 원하는 Channel들만 Slave로 설정해 각Channel별로 요구
되어지는 Gas량의 Ratio를 지정해주고, Master Channel Flow Rate의 변화에 따른
지정된 Ratio값의 Percentage에 따라 자동으로Slave Channel들의 Flow Rate를
조정할 수 있다. 또한 Slave로 지정되지 않은Channel들은 Ratio Control 기능과
관계없이 독립적인 운영이 가능하다. 또한 Accumulation 기능을 이용하여 각
Channel별로 지정한 시간만큼의 Total Flow량을 볼 수 있다.
이 모든 것이 Micro Processor로 Control되며 RS-232C Interface를 이용한
PC Control도 가능하다

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Product Specifications
IMC1300 Flow & Pressure Controller Specifications
Physical
Width 241 mm - Half Rack Mounting ears
Height 88 mm - 2 U Rack
Depth 200 mm
Weight Approx. 1.5kg ~ 2kgs (Depends on options)
Electrical
Input Power 195 ~ 265VAC @50/60 Hz 85VA (max) - default
98 ~ 135VAC @50/60 Hz 85VA - Optional
Fuse rating 250 VAC @2 A
Output Power +/- 15VDC ±5% @2.7A
Input Signal 0 ~ 5.000VDC for MFC
0 ~ 10.000VDC for Capacitance Manometer
Output Command 0 ~ 5.000VDC for MFC
Signal
Display Window 128*64 dot Graphic LCD
4 Digit for MFC, 5 Digit for Capacitance Manometer
Table 1 : IMC1300 Flow & Pressure Controller Specifications

9
Chapter Two : Installation
Unpack
당사에서는 본 제품의 포장 시 최대한 주의하여 포장하고 있으나 간혹 내용물의
분실이나 운송 중 파손이 발생할 수도 있으니 사용자께서는 물건을 인수 후 내용
물의 상태를 확인하시기 바랍니다.
내용물에 하자가 있을 경우에는 바로 당사에 연락 하여 조치를 받을 수 있도록
하십시오.
Unpacking Check List
- IMC1300 Control Unit
- Manual (this book)
- Power Cable
- Optional Items

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Mounting
( Top View )
( Front View )
( Rear View )
Figure 1 : Controller Dimensions
226
76
241
88
6.35×10.31 Slot Thru Type
208
87
190
208

11
Cutting Size
Figure 2 : Cutting Size Dimension
Installation Environment
Operating Environmental Requirements
- 사용 주변 온도 : 15 ~ 50℃ ( 59 ~ 122℉)
- 공기 순환이 잘 되는 곳
- 습도가 낮고 건조 한곳
- 제품의 안정된 동작 및 안전을 위하여 Chassis Grounding이 필요함.
Cutting Size

12
Control Applications
Figure 3 : Upstream Pressure Control

13
Chapter Three : Overview
Front Panel
Front Panel Components
아래의 Figure 4에 IMC1300의 Front Panel의 구성 요소에 대하여 나타내었으며,
Page 14의 Table 2에 각각의 구성요소에 대한 기능들을 설명하였다.
Figure 4 : IMC1300 Front Panel Components
Set-point
Display
Actual Flow
Display
Key Pad
10003:1000
cc
4:1000 1000
cc
2:1000
1:1000
FLOW & PRESSURE CONTROLLER
IMC1300
1000
1000
cc
cc
1 2
45
78
0
3
6
9
ON
SET
OFF
MENU
PCON
ESC
ENT
ALL

14
Front Panel Display
Front panel display 창은 Main power를 처음 켰을 때, Default로 1 ~ 4 channel
의 MFC에 해당하는 정보들을 보여주며, 왼쪽은 Set-point값을, 오른쪽은 실제
흐르는 유량 값을 Display한다. 만일 Option으로 8 channel 까지 확장되어 있다면
[▲] [▼] 의 위, 아래 Scroll key를 이용하여 나머지 5 ~ 8 channel의 정보들을
볼 수 있다.
Front Panel Component들의 요약 설명
Display 창 Main power를 처음 켰을 때, Default로 1 ~ 4 channel의 MFC에 해당하
는 정보들을 보여주며, 왼쪽은 Flow setting값을, 오른쪽은 실제 흐르는
Flow 값을 Display한다. 만일 Option으로 6 또는 8 channel까지 확장되
어 있다면 [▲] [▼] 의 위, 아래 Scroll key를 이용하여 나머지 5 ~ 8
channel의 정보들을 볼 수 있다. 그리고 맨 왼쪽은 channel 번호를 표
시하며, 해당 channel이 "Flow On" 되어 있다면 channel 번호는 반전되
어 나타난다. 맨 오른쪽의 조그만 글씨는 단위를 표시한다.
[MENU/ESC] 이 key를 한번 누르면 Menu로 들어갈 수 있고 다시 한번 누르면 다시
toggle key main 화면으로 빠져 나온다. Menu로 들어가면 다시 Sub-menu가 있으
며, Sub-menu로 들어가기 위해서는 [▲] [▼]의 위, 아래 Scroll key를
이용하여 선택한 다음 [Enter key]를 누르면 들어갈 수 있다.
Numeric key 이 숫자 키를 이용하여 Flow Setting을 하거나 Range등 일반적인 값을
입력할 수 있다.
[ON], [OFF], [ON], [OFF], [SET]등의 key를 누른 다음, 해당 Channel을 누르면
[SET] key 그에 해당 하는 명령이 실행되고,. 또한 모든 channel을 동시에 Flow
On/Off 할 경우에만 [ALL] key를 사용할 수 있다.
[ENT] key 모든 데이터 값을 숫자 키로 입력한 다음 [Enter] key가 작동하여 변화
시킨 값이 저장된다.
[▲] [▼] Scroll key를 이용하여 Menu상의 각 Parameter를 선택하거나,
Scroll key Flow Setting 값을 변화 시킬 수 있다.
[PCON] key IMC1300 Controller는 Option 사항으로 Upstream Pressure Control을
장착할 수 있는데, 이 key를 누르면, Pressure Control Mode로 Display
창이 바뀐다.
Table 2 : Front Panel Component들의 요약 설명

15
Rear Panel
Rear Panel Components
아래 그림과 같이 Rear Panel에는 1 ~ 8 Channel의 MFC(또는 Capacitance
Manometer)와 연결하는 Channel Card와 Upstream Pressure Control Card,
Interface Card(TTL Flow On/Off, RS232C Serial Interface)들이 " D " Type의
Connector들로 구성되어 있다.
Figure 5 : IMC1300 Rear Panel Components
Channel
Card
Upstream Pressure
Control Card
Power On/Off
Switch
TTL Flow On/Off
RS232C Serial Interface
I
O
CH 1 CH 3 CH 5 CH 7
CM
INTERFACE
CH 2 CH 4 CH 6 CH 8
BLANK
RS232C
195 ~ 260VAC

16
Electrical Connections
다음에 나오는 Table 2 ~ 5 까지는 각각의 Connector들에 대한 Pin description을
기술 하였다.
MFC Connector Pin-out
Pin No. Assignment Cable Color
1 No Connection
2 Flow or Pressure Signal Red
3 +15VDC Supply Green
4 Power Ground Grey
5 -15VDC Supply White
6 Set-point Command Signal (MFC only) Orange
7 Signal Ground Brown
8 Signal Ground Black
9 No Connection
9-pin, D-sub Connector (female).
Table 2 : MFC Connector Pin-out

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CM (Capacitance Manometer) Connector Pin-out
Pin No. Assignment Cable Color
1 No Connection
2 Pressure Signal Red
3 +15 VDC Supply Green
4 Power Ground Grey
5 -15 VDC Supply White
6 No Connection
7 Signal Ground Brown
8 Signal Ground Black
9 No Connection
9-pin, D-sub Connector (female).
Table 3 : CM (Capacitance Manometer) Connector Pin-out

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TTL On/Off Command Connector Pin-out
Pin No. Assignment
1 On-Ch1 (Low = On)
2 On-Ch2 (Low = On)
3 On-Ch3 (Low = On)
4 On-Ch4 (Low = On)
5 On-Ch5 (Low = On)
6 On-Ch6 (Low = On)
7 On-Ch7 (Low = On)
8 On-Ch8 (Low = On)
9 Digital Ground
10 No Connection
11 No Connection
12 No Connection
13 No Connection
14 No Connection
15 No Connection
15-pin , 3열 D-sub Connector (female). <-PC의 Monitor Connector
Low ' pin 9의 Digital Ground로 연결( Low level )을 의미함.
Table 4 : TTL On/Off Command Connector Pin-out

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RS232C Serial Interface Connector Pin-out
Pin No. Assignment
1 No Connection
2 Transmit data
3 Receive data
4 No Connection
5 Digital Ground
6 No Connection
7 No Connection
8 No Connection
9 No Connection
9-pin, D-sub Connector (male).
Table 5 : RS232C Serial Interface Connector Pin-out

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Labels
Serial Number Label은 이 Controller의 옆 판에 부착되어 있으며
Model Number, Serial Number 등이 기록되어 있다.
Model # : IMC1300-MMBO-P-I
Serial # : M1270212100
ISVT Co., Ltd. Made in Korea
Model Number의 자세한 설명은 아래와 같다.
IMC1300-XXXX-Y-Z
X - Channel Card
M -> MFC Control Card (dual : 2 channel)
B -> Pressure Display Card (dual : 2 channel)
O -> No Card
Y - Function card
P -> Upstream Pressure Control Card
O -> No Card
Z - Interface Card
I -> TTL On/Off Command, RS232C serial
O -> No Card