ISVT IVC2300 User manual

Instruction Manual
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IVC2300
VACUUM GUAGE CONTROLLER
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Address : #302, 608-2, Bora-dong, Giheung-gu,
Yongin-si, Kyeonggido, Korea
Tel : [phone] Fax : [phone]
Home Page : www.isvt.co.kr E-mail : [email protected]

WARRANTY
이즈브이티 에서 생산하는
Vacuum Gauge Controller(IVC2300)는
보증수리기간을 1년으로 한다.
(VC121 SENSOR, 보증수리기간 없음 제외)
단, 사용자의 부주의로 인한 고장일 경우 보증수리기간에 관계없이
유상 수리를 원칙으로 한다.
실 사용자는 제품에 하자가 있거나 이상한 증상을 발견하였을 경우
임의로 제품을 분해 할 수 없으며, 임의로 제품을 분해 할 경우
보증수리기간은 자동으로 말소되므로 당 사에 문의하여 적절한
조치 및 무상 수리를 받도록 한다.
그리고 제품에 대한 Interface Demo Program이나
기타 정보 및 자료들은 Internet Home Page를
통해 제공 받을 수 있다. (http//www.isvt.co.kr)

IMPORTANT
장비를 Install하거나 Operation하기 전에 꼭 이 Manual을 숙지 하시기 바랍니다.
이 장비의 규정된 방법에 따라 전기적인 Connection과 Grounding을 해야 하므로
부적절한 사용으로 인해 발생하는 문제에 대해서는 소비자께서 직접 책임을 지셔야
하므로 이 Manual의 지시대로 따라 주시기 바랍니다.
CAUTION
이 장비를 인도 받았을 때, 전달 도중 장비나 외관에 손상을 입었는지 확인
하십시오.
IVC2300 Vacuum Gauge Controller는 기본적으로 195~265VAC 50/60Hz 에서
동작하도록 되었습니다. (110VAC 전원에서는 사용 불가)
SAFETY WARNING
폭발성이 있는 Gas나, 가연성 있는 Gas에서는 사용하지 마십시오.
만일의 경우 Controller의 내부 부품이 잘못되어 Sensor Wire에 과 전류가
흐를 수 있으므로 Sensor Wire에 폭발성이나 가연성 Gas가 닿을 경우 폭발하거나,
화재의 위험이 있습니다.
※ NOTE : 당사의 제품과 Manual을 더 향상시키기 위하여 항상 노력하고
있습니다. 사용 중에 발생하는 어떠한 불편한 점이라도
알려 주시면 좋은 정보로 활용 하도록 하겠습니다.
Tel : [phone] web site : http://www.isvt.co.kr
Fax : [phone] E-mail : [email protected]
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Customer Support
기본적으로 유지보스나 수리는 경기도 용인에 위치한 저희 이즈브이티 에서만
가능하며, 물건은 택배나 기타 운송 수단으로 보내주시면 바로 조치가 가능하며,
기타 다른 경로를 통해 구매 하셨더라도 구매 경로를 통해서나 저희에게 직접 보내
주셔도 됩니다. (SENSER 포함)
그리고 IVC2300 Vacuum Gauge Controller는 내부에 고압이 흐르고 있으므로,
사용자 임의로 분해하여 수리를 시도 할 경우 감전의 위험이 있으니 절대 삼가해
주십시오.
보내실 곳 : 경기도 용인시 기흥구 보라동 608-2번지 302호
이즈브이티 (담당자명)
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CONTENTS
Chapter Ⅰ: General Information Page
Introduction 4
Product Specifications
IVC2300 Vacuum Gauge Controller Specifications 5
Vacuum Gauge Specifications 6
Chapter Ⅱ : Installation
Unpack & Unpacking List 7
Connecting Cables & Gauge Mounting 8
Installation Environment 9
Installation
Convection Gauge Dimension & Pin Out 10
Ionization Gauge Dimension & Pin Out 11
IVC2300 Controller Dimension & Mounting 12
Electrical Information(Connector Pin Out)
Convection Gauge Connector 13
Capacitance Manometer (CM)Connector
Ionization Gauge Connector 14
Serial Interface Connector 15
Interface Connector 16
Chapter Ⅲ : Operation
Front Panel Components 17
Function of Front Panel Key Pad 18
Function of Main Menu
IG Set 19
CG Set 20
CM Set 21
SP Ref 22
SP Set 23
LCD Brightness & SYS Set & Initialize 24
Analog Output Formula 25
RS232C Command Definitions 26
3

Chaptr Ⅰ : General Information
Introduction
IVC2300 Vacuum Gauge Controller는 Convection Gauge, Capacitance Manometer와
Ionization Gauge를 함께 사용하여 대기압부터 저진공 및 고진공의 진공도를 측정할 수
있도록 설계 되었다.
압력 측정 범위는 1000 Torr 에서 1.0 X 10-9 까지 이며, System의 구성은 Controller
본체외에 Convection Gauge, Capacitance manometer, Ionization Gauge,
Connecting Cable로 이루어져 있다.
Gauge 의 Mounting Position은 Convection Gauge는 수평장착,
Ionization Gauge의 경우 수직장착이 기본이다.
Cable Connection의 경우 Convection Gauge은 9-Pin D-Sub Connector으로
연결 하도록 되어 있으며, Ionization Gauge는 당사에서 제공 하는 Cable로 연결한다.
IVC2300 Vacuum Gauge Controller는 Flash Memory Type의 Micro- Controller로
구성되어 있어 모든 동작을 Front에서 제어 하도록 준비되어 있으며, 외부
Interface Cabling은 Rear Panel에서 연결하도록 되어있다.
Pressure reading 및 Set Point 상태는 모두 128 X 64 dot Graphic LCD로 구성
되어 판독이 선명하며, 모든 기능 들을 Menu상에서 처리토록 하였다.
Interface와 관련하여 Set Point(Trip Point) 6개(이 Trip Point들을 마음대로
선택하여 아무 Gauge에나 적용 할 수 있도록 하였음)가 Option으로 내장할 수 있도록
하였으며, 압력을 전압으로 출력하는 단자도 RS-232C Interface와 함께
Option으로 제공하고 있다.
IVC2300 CABLE 사용시 모든 종류는 Shield Cable 사용을 원칙으로 한다.
4

Product Specifications
IVC2300 Vacuum Gauge Controller Specifications
Physical
Width 241 mm – Half Rack Mounting ears
Height 88 mm – 2 U Rack
Depth 250 mm
Weight
Electrical
Input Power 195 ~ 240VAC @50/60 Hz 107VA (max)
Fuse rating 250 VAC @3 A
Set Point
Relay Contact 6 Independently Set, SPDT Contact 0.5 Amp @125 VAC Resistive Load
Pressure
Voltage Output
D/A Output 0 ~ 10 VDC
Measuring Range
Convection Gauge : 1000 ~ 8.0 X 10-4 Torr
Ionization Gauge :
1.0X10-3~1.0X10-9Torr(Emission Range : 10 mA)
Display Update
Time
0.2 sec
Emission
Current
0.1mA, 1mA, 10mA – Factory setting : 1 mA
Collector
Potential
0 Volts
Grid Potential † 180 VDC
Cathode Potential † 30 VDC
Degas I2R : 10VAC 5 Amp (max)
Table 1 : IVC2300 Vacuum Gauge Controller Specifications
5

Vacuum Gauge Specifications
Convection Gauge
Gauge Type ISVT CG Series Type VC120
Mounting Position Horizontal(수평)
Ambient
Temperature
50 ℃
Maximum Baking
Temperature
50 ℃
Flanges user
Internal Volume About 30 cc
Ionization Gauge
Gauge Type ETI Series 4336 and any Bayard-Alpert Gauges
Mounting Position Vertical(수직)
Envelope Nonex 7720 Glass
Collector 0.005″ Tungsten
Filament Thoria-Coated Iridium or Tungsten
Grid Tungsten Helix Configuration
Bake-out
Temperature
250 ℃
Collector Potential 0 Volts
Shield Potential n/a
Grid Potential † 150 ~† 180 VDC
Filament Current 4 ~ 6 Amps
Filament Voltage 3 ~ 5 VDC
Filament Potential
to Ground
† 30 VDC
Flanges user
Table 2 : Vacuum Gauge Specifications
6

Chapter Ⅱ : Installation
Unpack
당사에서는 본 제품의 포장시 최대한 주의하여 포장하고 있으나 간혹 내용물의
분실이나 운송중 파손이 발생할 수도 있으니 사용자께서는 물건을 인수후
내용물의 상태를 확인하시기 바랍니다.
내용물에 하자가 있을 경우에는 바로 당사에 연락 하여 조치를 받을 수 있도록
하십시오.
Unpacking Check List
⊙ IVC2300 Instruction Manual( this book)
⊙ IVC2300 Control Unit
⊙ VC121 Series Convection Gauge
⊙ ETI Series 4336 Ionization Gauge
⊙ Convection Gauge Cable
⊙ Ionization Gauge Cable
⊙ Power Cable
⊙ Optional Items
7

Connecting Cables & Gauge Mounting
PC
RS232
IVC2300
VC120
VC120
CM
IG
Figure 1 : Connecting Cable & Gauge Mounting
8

Installation Environment
Operating Environmental Requirements
⊙ 사용 주변 온도 : 15 ~ 50℃ ( 59 ~ 122℉)
⊙ 공기 순환이 잘 되는 곳
⊙ 습도가 낮고 건조 한곳
⊙ 제품의 안정된 동작 및 안전을 위하여 Chassis Grounding이 필요함. (필수항목)
9

Installation
Convection Gauge Dimension & Pin-out
Figure 2 : Convection Gauge Dimension
상기 도면은 NW16KF Fitting 의 그림이며, Option CF Flange등이 가능하므로
당상에 문의 요망.
10

Grid (White) Filament (Yellow) Filament (Red) Grid (Black)
Ionization Gauge Dimension & Pin-out
Figure 3 : Ionization Gauge Dimension & Pin-out
11

IVC2300 Controller Dimension & Mounting
Figure 4 : Front Panel Dimension
Figure 5 : Cutting Size Dimension
12
W W W . I S V T . C O . K R
LABEL
SP4
IG
SP4
SP4
SP4
SP4
SP4 ON/OFF ON/OFF
DEGAS
MENU
ESC
ENT

Electrical Information(Connector Pin-out)
아래 기술하는 Connector 들은 IVC2300 Vacuum Gauge Controller의
Rear Panel에 부착된 Interface Connector들 이므로 Cable을 제작 할 때는
암(Male), 수(Female) 짝을 맞추어 제작해야 한다.
*Note : Pin Assignment에 명시된 No Connection은 아무 것도 연결하지 않은
Pin이고 Reserved는 내부적으로 또는 추후에 사용할 Pin이므로
아무것도 연결하면 안 된다.
Convection Gauge (CG A & CG B) Connector
9-Pin Female D-sub Type이며 Pin Assignment는 아래와 같다.
Convection Gauge Connector Pin-out
Pin No. Assignment Cable Color
1Drive Bridge Brown
2Signal Ground Red
3Bridge High Orange
4Bridge Low Yellow
5Signal Ground Green
6Bridge Drive Blue
7Bridge D+ Purple
8Bridge D- Grey
9No Connection White
Table 3 : Convection Gauge Connector Pin-out
13

Capacitance Manometer (CM) Connector
9-Pin Female D-sub Type이며 Pin Assignment는 아래와 같다.
Capacitance Manometer Connector Pin-out
Pin No. Assignment Cable Color
1No Connection
2Pressure Signal Red
3† 15VDC Supply Green
4round (Power) Grey
5ㅡ15VDC Supply White
6No connection
7Ground (Signal) Brown
8Ground (Signal) Black
9No Connection
Table 4 : Capacitance Manometer Connector Pin-out
Ionization Gauge (IG) Connector
Ionization Gauge Connector는 4-Pin Male Round Type이며 Pin Assignment
는 아래와 같다.
Ionization Gauge Connector Pin-out
Pin No. Assignment Cable Color
1Grid 1 Black
2Filament 1 Red
3Filament 2 Yellow
4Grid 2 White
Table 5 : Ionization Gauge Connector Pin-out
( Collector는 별도의 BNC Type connector)
14

Serial Interface (RS-232) Connector (Optional)
Serial Interface (RS-232) Connector는 9-Pin Male D-sub Type이며 Pin
Assignment는 아래와 같다.
Serial Interface (RS-232) Connector Pin-out
Pin No. Assignment Cable Color
1No Connection
2Transmit Data Orange
3Received Data Red
4No Connection
5Digital Ground Black
6No Connection
7No Connection
8No Connection
9No Connection
Table 6 : Serial Interface (RS-232) Connector Pin-out
15

Interface Connector (Analog Output 포함)
Interface Connector는 25-Pin Male D-sub Type이며 Pin Assignment는 아래와 같다.
* 주의사항 : 아래 Cable 조립시 Shield Cable 사용을 권장 한다.
Pin No. Descriptions
1S/P 1 Common
2S/P 1 Normal Open
3S/P 2 Common
4S/P 2 Normal Open
5S/P 3 Common
6S/P 3 Normal Open
7S/P 4 Common
8S/P 4 Normal Open
9S/P 5 Common
10 S/P 5 Normal Open
11 S/P 6 Common
12 S/P 6 Normal Open
13 CM Analog Output
14 CG B Analog Output
15 CG A Analog Output
16 IG Analog Output
17 Analog Ground
18 Analog Ground
19 Analog Ground
20
IG ON – 20번 pin을 23번 pin과
연결한 상태가 1초이상 유지되면 IG가
On됨. (펄스방식)
1초 ON
IG OFF – 20번 pin을 23번 pin과
연결한 상태가 1초이상 유지되면 IG가
OFF됨. (펄스방식)
1초 OFF
21 Degas ON (Active Low)
22 IG Status
23 Digital Ground
24 Digital Ground
25 Digital Ground
Table 7 : Interface Connector Pin-out
16

Chapter Ⅲ : Operation
Front Panel Components
위의 그림은 IVC2300의 전면판 그림이며 이에 대한 설명은 Table 8에 자세히
설명 하였다. 기본적으로 왼쪽의 압력 Display 창과 오른쪽의 Control Key로
이루어져 있으며, Trip Point Relay의 상태는 LCD 창 밑 부분에 표시 된다.
그리고, 가운데의 라벨 창에는 User가 설정한 Set Point 값을 라벨링 하도록 공간을
만들어 놓았다.
17
LABEL
SP4
IG
SP4
SP4
SP4
SP4
SP4 ON/OFF ON/OFF
DEGAS
MENU
ESC
ENT
W W W . I S V T . C O . K R

Functions of Front Panel Key Pad
Front Panel의 Display Window 및 Key Pad의 용도는 아래와 같다.
Summary of Front Panel Components
Display Window
Display Window는 128 X 64 dot Graphic LCD 로 이루어져
있으며, 맨 위의 것은 Ionization Gauge의 압력을,두번째 것
은 Convection Gauge(CG A)의 압력을, 세 번째의 것은
Convection Gauge(CG B)을 네번째 것은 Capacitance
Manometer(CM)의 압력을 Display한다.
그리고 맨 밑에는 각 Trip Point Relay의 상태는 나타낸다.
Label Window User가 설정한 Set Point 값을 라벨링 하도록 만든 공간.
IG ON/OFF Key
이 Key를 사용하여 Ionization Gauge를 사용자가 임의로
키고 끌 수 있다. (10-3 대역의 High Level 에서는 Gauge를
보호하기 위하여 자동으로 OFF 된다. – Gauge 보호기능)
Degas key
Ionization Gauge를 Degas하기 위한 Key로서, Degas
Time은 30초로 Default Setting이 되어있으며 Menu 상에서
변경이 가능하다.
MENU/ESC Key
Menu와 Escape Key.
Pressure Display 상태에서 이 키를 누르면 Menu로 들어가는
데, 일단 Menu로 들어간 상태에서 이 키를 또 누르면 다시
Pressure Display 상태로 빠져 나오며, Sub Menu로 들어가기
위해서는 ENT 키를 사용하여 들어간다. 이 때, MENU/ESC
키를 누르면, 다시 상위 Menu로 빠져 나온다.
▲ ▼ Key Set Point 값 등 모든 값을 변화시킬 때 사용한다.
ENTER Key
모든 Key 조작을 하고 값을 Fix(save)시킬 때
이 Key를 눌러 값을 저장해야 한다. 그렇지 않으면 전에
값이 그대로 저장된다. 값을 입력한 다음 이 Key를
누르지 않고 가만 있으면 수 초 후 에 다시 Default
Display인 압력 Display로 환원된다.
Table 8 : Front Panel Key 설명
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