ISVT IVC3100 User manual

Instruction Manual
IVC3100
Pressure & Flow Controller
Tel : [phone] Fax : [phone]
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WARRANTY
㈜이즈브이티에서 생산하는 Pressure & Flow Controller(IVC3100)는
보증수리기간을 1년으로 한다. 단, 사용자의 부주의로 인한
고장일 경우 보증수리기간에 관계없이 유상 수리를 원칙으로 한다.
실 사용자는 제품에 하자가 있거나 이상한 증상을 발견하였을 경우
임의로 제품을 분해 할 수 없으며, 임의로 제품을 분해 할 경우
보증수리기간은 자동으로 말소되므로 당 사에 문의하여 적절한
조치 및 무상 수리를 받도록 한다.
그리고 제품에 대한 Interface Demo Program이나 기타 정보 및
자료들은 Internet Home Page를 통해 제공 받을 수 있다.

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1811v75
01/2019
IVC3100
Pressure & Flow Controller
IVC3100
Pressure & Flow Controller
Setup
Menu
Esc
System
SP1
SP2
SP3
SP4
SP5
Stop
Open
Close
Valve Control
Set Point &
MFC Control
On Off Set
Enter
Intelligent Solution Vacuum Technology
WWW.ISVT.CO.KR

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IMPORTANT
장비를 Install하거나 Operation하기 전에 꼭 이 Manual을 숙지 하시기 바랍니다.
이 장비의 규정된 방법에 따라 전기적인 Connection과 Grounding을 해야 하며,
부적절한 사용으로 인해 문제가 발생할 수 있으므로 이 Manual의 지시대로 따라
주시기 바랍니다.
CAUTION
이 장비를 인도 받았을 때, 전달 도중 장비나 외관에 손상을 입었는지 확인
하십시오.
IVC3100 Pressure & Flow Controller는 기본적으로 195~265VAC 50/60Hz 에
서 동작하도록 되었습니다. (110VAC 전원을 사용 할 경우에는 당사로 문의 바람)
WARNING
Throttle Valve를 Controller에서 분리 할 경우 반드시 전원이 “OFF” 된 것을
확인하시고 Connector에서 분리 하십시오. Valve의 Motor부분에 있는 Coil에서
역기전력이 발생하여 Controller에 전기 적인 충격이나 오 동작의 원인이 됩니다.
SAFETY WARNING
감전의 위험이 있으므로 임의로 Controller를 분해 하지 마십시오.
※
NOTE : 당사의 제품과 Manual을 더 향상시키기 위하여 항상 노력하고
있습니다. 사용 중에 발생하는 어떠한 불편한 점이라도 알려 주시
면 좋은 정보로 활용 하도록 하겠습니다

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Customer Support
기본적으로 본 제품에 대한 수리는 당사에서만 가능하므로, 제품에 하자가 발생할
경우에는 당사로 연락을 주시고 필요한 조치를 받으십시오.
그리고 IVC3100 Pressure & Flow Controller는 내부에 고압이 흐르고 있으므로,
사용자 임의로 분해하여 수리를 시도 할 경우 감전의 위험이 있으니 절대 삼가 해
주십시오.
보내실 곳 : 경기도 용인시 기흥구 구성로 357 용인테크노밸리 지식산업센터
C동 207호
Tel : [phone] web site : http://www.isvt.co.kr
Fax : [phone] e-mail : [e-mail]

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CONTENTS
Chapter One: General Information 8
Introduction 8
Product Specifications 9
Chapter Two : Installation 10
Unpack & Unpacking Check List 10
Mounting 11
Cutting size 12
Installation Environment 12
Control Applications 13
Chapter Three : Overview 15
Front Panel 15
Front Panel Components 16
Front Panel Display 17
Local & Remote Operation 18
Control Mode (Self-Tuning & PID control) 18
Rear Panel 19
Rear Panel Components 19
Electrical Connections 20
Labels 26
Chapter Four : System Setup 27
Overview 27
Menu Map 28
Setup 29
Sensor Setup 29
Sensor Unit Setup 30
Sensor Range Setup 30
Sensor Zeroing 32
Valve Setup 33
Valve Stream Direct Setup 34
Initial Position Set 35
Initial Scan Setup 36
Valve Control Mode Set 37
Set-point Setup 39

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Setpoint Ctrl Set 40
Position, Pressure Setup
Gain, Lead Setup
41
42
MFC’s Setup 44
MFC Zeroing 45
MFC Full Scale Range Set 45
MFC Unit Set 46
System Setup 47
Control Mode Set 48
RS232C BaudRate Set 48
Comm Class SET 49
Delimiter
CPU,Factory Reset 50
Chapter Five : Local Mode Operation 52
Overview 52
Set-point 설정 및 Pressure Control 방법 53
Pressure Sensor Zeroing 57
MFC 사용 58
Display Mode 변경 59
Flow Control 방법 59
MFC Zeroing 60
Chapter Six : Remote Operation 61
Overview 61
TTL I/O 및 External Analog Control 61
RS232C. RS485 Serial PC Interface 62
RS232C, RS485 Command Summary 62
RS-232,RS485 Request & Response Reference Summary 78

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Chapter One : General Information
Introduction
Model IVC3100 Pressure & Flow Controller는 기본적으로 Capacitance
Manometer에 Power(±15VDC)를 공급하고 이로부터 Pressure Signal을 받아들
여 Display함과 동시에 Throttle Valve를 연결하고 PID 또는 Self-Tuning 기능
을 사용하여 Pressure를 Control 하는 장치이다. 이 중에서 Self-Tuning 기능을
사용하면 Camber 내로 유입되는 Gas의 양, Pump Speed, Valve Position별 진공
압력 변화, 그리고 기타 다른 중요한 Parameter 들을 감지하여 Pressure Control
Factor들을 습득한다. User가 이 기능을 사용하여 Pressure Control을 할 경우
원 하는 압력에 보다 빨리 도달 할 수 있다. Process Limit Relay가 두 개 내장되
어 있어 User의 장비 Process에 도움이 되도록 하였다.
IVC3100에는 Option으로 최대 4개의 MFC를 연결할 수 있는 PCB Card가 준비
되어 있으며 PCB 1장 당 2Channel(MFC 2개 연결)로 구성 되어 있다.
또한, Upstream Pressure Control 기능을 Option으로 추가 하면, User는 Down
Stream과 Upstream Pressure Control을 동시에 구성할 수 있는데, 이 중 원하는
방식 한 가지를 선택하여 사용 할 수 있도록 편의를 제공 하였다. Upstream
Pressure Control에서 Control Channel로 선택하지 않은 Channel의 MFC는 독립
적으로 Flow Control을 할 수 있다.
IVC3100은 아주 편리하고 간단하게 Local(Front Panel), Analog I/O 또는
RS-232, RS-485 Remote로 모든 제어가 가능하게 설계되어있다.

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Product Specifications
IVC3100 Flow & Pressure Controller Specifications
Valves Operated Model IVT300 Exhaust Throttle Valves, MKS Type 653 and
Others
Pressure Input Signal Standard: 0-10 VDC
Input Power Required 90-132 or 180-264 VAC, 50/60 Hz
Set Point
Programmable
External Analog
5 total, programmable in any combination for pressure or
position (adjustable from the front panel or RS232; selectable
from the front panel, TTL, or RS232,RS485)
1; pressure or position
0-10 VDC
Controller Repeatability ±0.1% of F.S.
Ambient Operating
Temperature
15℃ - 45℃
Output Power ±15 VDC ±5% @ 1.5 Amp
Analog Output Signal 0-10 VDC for 0-100% valve position and
0-10 VDC for 1-100% F.S. pressure
Size 1/2-rack packing: 88mm H x 241mm W x 225 D
Display 128 x 64 dot Graphic LCD
(pressure, position and external set-point readout)
Display Units Torr, mTorr, mbar, Pascal, cmH2O, inH2O, μbar, Kpa
Soft Start Standard
Self-tuning Unit Standard
PID Control Standard
Remote Zero Standard
Interface Front panel, Analog, TTL and RS232, RS485
Relay Output 2, process limits: 24 Volts AC/DC 0.5 Amp resistive
Remote Control Override
(Open, Close, Hold)
Standard
Position Control Capability Standard
Battery Backup N/A
Table 1 : IVC3100 Flow & Pressure Controller Specifications

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Chapter Two : Installation
Unpack
당사에서는 본 제품의 포장 시 최대한 주의하여 포장하고 있으나 간혹 내용물의
분실이나 운송 중 파손이 발생할 수도 있으니 사용자께서는 물건을 인수 후 내용
물의 상태를 확인하시기 바랍니다.
내용물에 하자가 있을 경우에는 바로 당사에 연락하여 조치를 받을 수 있도록
하십시오.
Unpacking Check List
IVC3100 Control Unit
Power Cable
Optional Items

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VALVE
CM LOW
INTERFACE
CM HIGH
CH 1 CH 3CH 4
REMOTE INTERFACE
O
I
195 ~ 260VAC
(Top View)
(Rear View)
(Front View)
CH 2
Mounting
Figure 1 : Controller Dimensions

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Cutting Size
Cutting Size
Figure 2 : Cutting Size Dimension
Installation Environment
Operating Environmental Requirements
사용 주변 온도 : 15 ~ 50℃ ( 59 ~ 122℉)
공기 순환이 잘 되는 곳
습도가 낮고 건조 한곳
제품의 안정된 동작 및 안전을 위하여 Chassis Grounding이 필요함.

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Control Applications
GAS 1
PROCESS
CHAMBER
GAS 1
GAS 1
GAS 1
MFC 1
MFC 2
MFC 3
MFC 4 IVT300
Throttle Valve
Vacuum
Gauge
PUMP
IVC3100
Controller
PC
IVC3100
Pressure & Flow Controller
Figure 3 : Downstream Pressure Control

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Figure 3 설명
먼저 Chamber 의 압력을 Pressure Gauge를 이용하여 읽어서 그 수치를
IVC3100 Controller로 Analog(0-10VDC) 신호로 보내고 Controller 에서는
미리 설정된 압력(Set Point Pressure)과 비교하여 Pressure Gauge 에서 읽어낸
값보다 설정된 압력이 높으면 Throttle Valve 의 Flapper를 Open 시키고, 설정된
압력이 낮으면 Throttle Valve 의 Flapper를 Close시켜 설정된 압력과 실제
Chamber 의 압력이 일치하도록 제어한다.
압력이 일치하게 되면 Throttle Valve의 Flapper 가 움직이지 않도록 하여
Chamber 의 압력이 변화가 없도록 한다. 만약 Chamber 압력이 변화(Gas Flow
등)가 생기면 위와 같은 방법으로 자동으로 압력이 일치하도록 제어한다.
또한 부가적으로 IVC3100 Controller는 4 개의 MFC를 Controller에 연결하여
동시 또는 개별적으로 제어 가능하다

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Chapter Three : Overview
Front Panel
Front Panel Components
아래의 Figure 4에 IVC3100 의 Front Panel 구성 요소에 대하여 나타내었으며,
Page 16의 Table 2에 각각의 구성요소에 대한 기능들을 설명하였다.
MFC Control Card가 장착되지 않았을 때의 화면
IVC3100
Pressure & Flow Controller Setup
Menu
Esc
System
SP1
SP2
SP3
SP4
SP5
Stop
Open
Close
Valve Control
Set Point &
MFC Control
On Off Set
Enter
Intelligent Solution Vacuum Technology
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POS: 5.3%
SP1: 1.0000 TPRR
0.0000
LOCAL
Figure 4 : IVC3100 Front Panel Components
Selected
Pressure Set-point
Value Display
Actual
Pressure
Display
Set-point
Selection
Keys
Valve Position
Display
MFC Control
Function Keys
Valve Position
Control Keys
System
Set-up
Keys
Display
Window
Mode Display

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2. MFC Control Card가 장착되어 있을 때의 화면
IVC3100
Pressure & Flow Controller
Setup
Menu
Esc
System
SP1
SP2
SP3
SP4
SP5
Stop
Open
Close
Valve Control
Set Point &
MFC Control
On Off Set
Enter
Intelligent Solution Vacuum Technology
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MFC1 : 10.00 00.00 SCCM
MFC2 : 10.00 00.00 SCCM
MFC3 : 10.00 00.00 SCCM
MFC4 : 10.00 00.00 SCCM
SP1 : 1.0000 POS : 99.9%
0.0000 TORR
LOCAL
Figure 5 : IVC3100 Front Panel Components with MFC Control
Selected
Pressure Set-point
Value Display
Actual
Pressure
Display
Valve Position
Display
Actual Flow
Display
MFC Control
Function Keys
MFC Card
Channel
Number
Flow
Set-point
Value Display Unit
MODE
Display

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Front Panel Display
Front panel display 창은 Main power를 처음 켰을 때, Option 사양인 MFC
Control Card의 장착여부에 따라서 두 가지 Mode로 Booting된다.
Front Panel Component들의 요약 설명
Display 창
Main power를 처음 켰을 때 IVC3100Pressure & Flow Controller가
각각의 장착되어 있는 Card를 스스로 검색하여 Display하는데, Display
Mode는 3 가지로 되어있다.
① Capacitance Monometer(CM) + Valve Control Card
②CM + Valve Control + MFC Card 1장 (MFC 2-channel)
③CM + Valve Control + MFC Card 2장 (MFC 4-channel)
[MENU/ESC]
toggle key
이 Key 를 한번 누르면 Menu로 들어갈 수 있고 다시 한번 누르면 다시
Main 화면으로 빠져 나온다. Menu로 들어가면 다시 Sub-Menu 가 있으
며, Sub-Menu로 들어가기 위해서는 [▲,▼]의 위, 아래 Scroll key를 이
용하여 선택한 다음 [Enter] key 를 누르면 들어갈 수 있다.
※ Remote Mode 해제 시 Menu/Esc key를 5초 이상 누르면 Local
Mode 로 변경 된다.
[SP1] ~ [SP5]
저장되어 있는 5가지의 Pressure Setting 값을 선택하는데 쓰이며, 값의
저장은 Set-up Menu에서 하는 방법과 MFC Control의 [Set] key를 누
르고 [SP1] ~ [SP5]중 하나를 누르면 Setting할 수 있다.
[Stop], Open],
[Close] 이 key를 이용하여 Valve를 인위적으로 움직일 수 있다.
MFC Control
[ON], [OFF],
[SET] key
[SET] 키를 누르면 MFC1이 깜빡 거리게 된다. Setting 을 원하는
Channel(1~4 Channel MFC) 로 [▲,▼] key 를 이용해 변경 하면 되고,
[◀,▶] key 를 이용하여 원하는 setting 값 으로 이동 후 [Set] key 를
누르면 저장 한다. [ON], [OFF] key 를 이용해 원하는 채널을 ON, OFF
한다.
[▲] [▼]
Scroll key 이 Scroll key를 이용하여 Menu상의 각 Parameter를 선택한다.
[Enter] key
모든 DATA 값을 저장하기 위해서는 [Enter] Key를 눌러야 한다.
※ MFC 의 DATA 저장 Key는 [Set] Key 이다.
Table 2 : Front Panel Component들의 요약 설명

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Local and Remote Operation
System Set-up Menu에서 Front panel control (Local) 또는 Rear panel control
(Remote)을 선택하여 사용할 수 있다.
Local Control Mode로 선택 하였다면 각 parameter들이나 Setting값들을 Front
panel을 이용하여 입력하고 설정하여야 한다.
또한 Remote Control Mode를 설정하였다면, TTL I/O signal을 이용하여 Control
할 수 있으며, 동시에 RS232,RS485 PC Interface를 이용하여 PC로도 Control이
가능하다.
Control Mode: Self-Tuning, PID Control
IVC3100 Controller는 진공 시스템을 제어하기 위해 두 가지의 방법을 제공한다.
하나는 Self-Tuning(구현중) 기능이며, 다른 하나는 PID Control 방식이다.
먼저 Self- Tuning 방식을 사용하면 Camber 내로 유입되는 Gas의 양, Pump
Speed, Valve Position별에 따른 Process Chamber의 압력 변화, 그리고 기타 다
른 중요한 Parameter 들을 감지하여 Pressure Control Factor들을 습득한다.
User가 이 기능을 사용하여 Pressure Control을 할 경우 원 하는 압력에 보다 빨
리 도달 할 수 있는 IVC3100 Controller의 핵심 algorithm이다.
또 다른 하나는 PID Control 방식으로서 P.Lead 및 Gain 값을 User가 직접 입력
하여 사용할 수 있다. Lead 값과 Gain값은 시간과 % 로 표시되며, Lead 값은
0.01 – 2.00sec까지 조절이 가능하고, Gain 값은 1 – 9999%까지 조절이 가능하다.

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Rear Panel
Rear Panel Components
아래 그림과 같이 Rear Panel 에는 Capacitance Manometer (CM) connector,
Valve Control Card, Optional MFC Card (1~4 channel), 그리고 Interface 1, 2
Connector, RS232C Serial Interface Connector들이 “ D ” Type의 Connector들
로 구성되어 있다.
VALVE
CH 1
CH 3
INTERFACE 2
CM
CH 2
REMOTE
195 ~ 260VAC
CH 4
I
O
INTERFACE1
Figure 6 : IVC3100 Rear Panel Components
Connector Label 설명
Label Descriptions
Valve Throttle Valve Connector
CM Capacitance Manometer Connector (Single, Dual)
CH 1 ~ CH 4 MFC Connector (1~4 channels)
INTERFACE 1, 2 Analog I/O and TTL I/O
REMOTE RS232, RS485 Serial Interface
Table 3 : Connector Label 설명
MFC Control
Card
Power On/Off
Switch
RS232,RS485
Serial Interface
Valve
Control
Card
Interface 2
Connector
Capacitance Manometer
Connector

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Electrical Connections
다음에 나오는 Table 3 ~ 6 까지는 각각의 Connector들에 대한 Pin description
을 기술 하였다.
Valve (Throttle Valve) Connector Pin-out
2L 9P. 3L 15P. Assignment
1 4 Motor winding A low
2 5 Motor winding A high
3 12 Limit switch ground
4 1 Open limit switch signal
5 2 Close limit switch signal
6 14 Motor winding B high
7 15 Motor winding B low
8 11 +15 V @25mA (for Opto switches)
9 No Connection
9-pin, 2열 / 15-pin, 3열 D-sub Connector (female).
Table 4 : Valve (Throttle Valve) Connector Pin-out