MKS HPS 937A Series Installation guide

HPSTM Series937A
HighVacuum
Multi-Sensor System
OPERATION AND
MAINTENANCE MANUAL

August1998
Part # 100009273 Rev. 4.0
HPSTM Series 937 A
HighVacuum
Multi-Sensor System

Part # 937A- __ __ __ __ __ __ __ __ - __ __ __ __ __ __ - __ __ __
Serial # __ __ __ __ __ __
Please fill in these numbers and have them readily available when
calling for service or additional information.
(The part number can be found on your packing slip, and the serial
number is located on the rear of the housing.)
© 1998 by MKS Instruments, Inc.,Vacuum Products Group, All rights reserved.
ALCONOX is a registered trademark of Alconox, Inc.
Baratron is a registered trademark of MKS Instruments, Inc.
Elgiloy is a registered trademark of Elgiloy Co.
HPS and IgniTorr are trademarks and I-MAG is a registered trademark of MKS Instruments,Inc.,Vacuum Products Group
Inconel is a registered trademark of Inco Alloys International, Inc.
Scotch-Brite is a trademark of 3M.
Teflon andViton are a registered trademarks of DuPont Co.
VCR is a registered trademark of Cajon Co.
For more information or literature, contact:
MKS Instruments,Inc.,Vacuum Products Group
5330 Sterling Drive
Boulder,CO 80301 USA
Phone: [phone]
800-345-1967
FAX: [phone]

TABLE OF CONTENTS
TABLE OF CONTENTS
PACKAGE CONTENTS ...................................................................... 1
SAFETY INFORMATION...................................................................... 2
Symbols............................................................................................ 2
Symbols Used in this Manual (English).............................................................. 2
Symboles utilisés dans ce manuel (Français) .................................................. 2
In dieser Betriebsanleitung vorkommende Symbole (Deutsch) ....................... 3
Símbolos Usados en el Manual (Español) ......................................................... 3
SymbolDefinitions............................................................................ 4
Definition of Symbols Found on the Unit (English) ............................................ 4
Définition des symboles apparaissant sur l’appareil (Français) .................... 4
Definitionen der am Gerät angebrachten Symbole (Deutsch) ......................... 5
Símbolos que Aparecen en la Unidad (Español)............................................... 5
Safety Precautions ........................................................................... 6
Safety Procedures and Precautions (English) .................................................. 6
Sicherheitsvorschriften und Vorsichtsmaßnahmen (Deutsch)....................... 10
Procedimientos y Precauciones de Seguridad (Español) .............................. 12
SPECIFICATIONS*.......................................................................... 14
Controller .........................................................................................14
Sensors ...........................................................................................17
FEATURE AND CONTROL LOCATIONS................................................. 22
TYPICAL APPLICATIONS FOR THE SERIES 937A .................................. 24
HPS™ Products Series 937A Multi-Sensor High
Vacuum System ...................................................................... 25
Set Points ........................................................................................26
LeakTest .........................................................................................26
AnalogOutput Signals .....................................................................26
ComputerInterface ..........................................................................26
Setting Up the Series 937A Controller .................................... 27
Removinga Module .........................................................................27

ConfiguringaModule .......................................................................27
Sensor Modules ................................................................................................. 27
Cold Cathode ............................................................................................. 28
Pirani........................................................................................................... 28
Convection Pirani....................................................................................... 29
Capacitance Manometer ........................................................................... 29
Thermocouple ............................................................................................ 30
Analog Module .................................................................................................... 30
Pressure Units – Switches 1 and 2.......................................................... 30
Control/Combination Sensor Channels– Switches 3 and 4.................... 30
Line Frequency – Switch 5 ....................................................................... 31
Cold Cathode Sensor Delay – Switch 6 ................................................... 31
Configuration-Switch 7 .............................................................................. 31
UCAL Enable/Disable ................................................................................ 31
RS-232/RS-485 Communications Module (Optional)...................................... 31
Power Supply Module ........................................................................................ 33
Installing a Module ............................................................................................. 33
Panel Labels ....................................................................................................... 34
Mounting the Controller ............................................................................. 34
AC Power Cord .......................................................................................... 35
OPERATING THE SERIES 937A CONTROLLER ..................................... 36
Power ...............................................................................................36
Display........................................................................................................ 36
Using the Front Panel Controls ................................................................ 38
Using Function Select......................................................................39
Display Test Mode ............................................................................................. 39
Reviewing Controller Setup ............................................................................... 39
Setup Review Screen 1............................................................................. 39
Cold Cathode non-Standard Configuration Codes................................. 40
Setup Review Screen 2............................................................................. 41
Setup Review Screen 3............................................................................. 41
Setup Review Screen 4............................................................................. 42
Setup Review Screen 5............................................................................. 42
Setup Review Screen 6............................................................................. 42
Setup Review Screen 7............................................................................. 43
Pressure Mode................................................................................................... 43
ColdCathode SensorHighVoltage ..................................................44
Front Panel Control Lock .................................................................................. 44
Leak Test Mode.......................................................................................... 45
Relay Set Points Mode .............................................................................. 46
Reading a Relay Set Point......................................................................... 46
Setting a Relay Set Point ........................................................................... 46
Disabling a Relay Set Point ....................................................................... 47
Relay Inductive Loads and Arc Suppression .......................................... 47
Protection and Control Set Points Mode................................................... 48
Setting a Protection Set Point .................................................................... 48
Setting a Control Set Point......................................................................... 48
Protection and Control Set Point Display Messages....................................... 49
Protection and Control Set Point Messages ............................................ 49
Disabling a Protection or Control Set Point .............................................. 50
Zero and ATM Calibration Modes ............................................................. 50
Zero Calibration Mode ............................................................................... 51
Capacitance Manometer Auto-Zero Feature........................................... 52
ATM Calibration Mode ............................................................................... 53
Calibrating the Convection Pirani Sensor for Atmosphere ..................... 54
Method 1..................................................................................................... 54
Method 2..................................................................................................... 54
Cold Cathode Operation .................................................................................... 55

C.C. On/C.C. Off Front Panel Push-Buttons............................................ 56
Cold Cathode Module Remote Connector ............................................... 56
Analog Module............................................................................................ 56
Communications Module (optional) .......................................................... 56
Using Protection and Control Set Points .................................................. 57
Determining Protection and Control Set Points........................................ 58
Information Update Rate.................................................................................... 59
Controller Analog Output ................................................................................... 60
Buffered Output ......................................................................................... 60
Logarithmic Output .................................................................................... 61
Combination Logarithmic Output .............................................................. 62
Error Messages ................................................................................................. 63
Main Program Checksum Test ................................................................. 63
Communications Module Program Checksum Test................................ 63
Nonvolatile Memory Error in Correction Factors..................................... 63
Setup Error ................................................................................................. 64
Quick ReferenceTables ...................................................................65
Table I Front Panel Operation ................................................................... 65
Table II Setpoint Values ............................................................................. 66
Relay Setpoints.......................................................................................... 66
Control Setpoints ....................................................................................... 66
Protection Setpoint..................................................................................... 66
SPARE PARTS AND ACCESSORIES .................................................... 67
PRODUCT WARRANTY ................................................................... 70
Notes....................................................................................... 71
APPENDIX A:INSTALLING ASERIES 937A SENSOR ............................A.1
Cold CathodeSensors ................................................................... A.1
General.............................................................................................................. A.1
Locating a Cold Cathode Sensor ..................................................................... A.1
Orienting a Cold Cathode Sensor .................................................................... A.1
Managing Contamination in a Cold Cathode Sensor ...................................... A.2
Testing a Cold Cathode Sensor ....................................................................... A.2
Series 423 I-MAG® Cold Cathode Sensor ..................................................... A.2
Connecting the I-MAG Sensor................................................................. A.2
Disassembling the I-MAG Sensor ........................................................... A.2
Cleaning the I-MAG Sensor ..................................................................... A.3
Assembling the I-MAG Sensor ................................................................ A.5
Preparing the Sensor for Bakeout ........................................................... A.6
Series 421 Cold Cathode Sensor .................................................................... A.6
Connecting the Series 421 Sensor.......................................................... A.6
Disassembling the Series 421 Sensor .................................................... A.6
Cleaning the Series 421 Sensor .............................................................. A.8
Assembling the Series 421 Sensor ......................................................... A.9
Preparing the Sensor for Bakeout ........................................................... A.9
Pirani Sensors ............................................................................... A.9
General.............................................................................................................. A.9
Locating a Pirani Sensor .................................................................................. A.9
Preventing Contamination in a Pirani Sensor................................................ A.10
Series315/345 PiraniSensor ...................................................... A.10
Orienting the Series 315/345 Pirani Sensor ........................................ A.10
Connecting the Series 315/345 Sensor ............................................... A.10
Cleaning the Series 315/345 Sensor..................................................... A.12
Testing the Series 315/345 Sensor ............................................................... A.12

Series 317 Convection Pirani Sensor ........................................................... A.12
Orienting the Series 317 Sensor ........................................................... A.12
Connecting the Series 317 Sensor........................................................ A.13
Cleaning the Series 317 Sensor ............................................................ A.15
Testing the Series 317 Sensor............................................................... A.15
Preparing the 317 Sensor for Bakeout.................................................. A.15
CapacitanceManometer MKSBaratron® .................................... A.16
General............................................................................................................ A.16
Installing the Baratron Capacitance Manometer .......................................... A.16
Connecting the Baratron™ Capacitance Manometer .................................. A.16
Repairing the Baratron™ Capacitance Manometer ..................................... A.17
ThermocoupleSensor .................................................................. A.18
General............................................................................................................ A.18
Orienting the DV-6M Sensor .......................................................................... A.18
Connecting the DV-6M Sensor....................................................................... A.18
Cleaning the DV-6M Sensor ........................................................................... A.19
APPENDIX B:LEAK TESTING WITH THE SERIES 937A.......................... B.1
APPENDIX C: 937ASENSOR OUTPUT VS.PRESSURE CURVES.............C.1
Buffered AnalogOutput ColdCathode (Series421 and423).......... C.1
Buffered Analog Output Pirani (Series 315and 345) ...................... C.2
Buffered Analog Output Convection Pirani(Series 317)................. C.3
Buffered Analog OutputCapacitance Manometer .......................... C.4
BufferedAnalog OutputThermocouple (DV-6M) ............................. C.5
Logarithmic and Combination Output All Sensors .......................... C.6

1
937A Multi-Sensor System
Before unpacking your Series 937A HighVacuum, Multi-Sensor System,
check all surfaces of the package for shipping damage.
Please be sure that your Series 937A System package contains these items:
1Series 937AController (withselected modulesinstalled)
1 female, 9-pin "D" sub Accessory connector kit
110-foot powercord
1 HPS™Products Series 937A Multi-Sensor HighVacuum System
User'sManual.
If an optional communications module was ordered, a separate manual for the
module should also be included with the package.The Series 937A System's
sensors and their connecting cables are sold separately.Please refer to page
68for necessaryordering information.
If any items are missing from the package, call HPS™Products
CustomerServiceat 1-303-449-9861or1-800-345-1967.
Inspect the Series 937A System for visible evidence of damage. If it
has been damaged in shipping, notify the carrier immediately. Keep all
shipping materials and packaging for claim verification. Do not return
the product to MKS.
Package Contents

2937A Multi-Sensor System
SymbolsUsedinthis
Manual(English)
Safety Information
Definitions of CAUTION and NOTE
messages used throughout the
manual.
CAUTION: Risk of electrical
shock. ISO 3864, No. B.3.6
CAUTION: Refer to
accompanying documents.
ISO 3864, No. B.3.1
Thissigndenotesahazard.
It calls attention to a
procedure,practice,condition,
or the like, which, if not
correctlyperformedor
adheredto,couldresultin
injurytopersonnel.
This sign denotes a hazard.
It calls attention to an
operatingprocedure,
practice, or the like, which,
if not correctly performed
or adhered to, could result
in damage to or destruction
of all or part of the product.
This sign denotes
important information. It
calls attention to a
procedure,practice,
condition, or the like, which
is essential to highlight.
Définition des indications
ATTENTION et REMARQUE
utilisées dans ce manuel.
ATTENTION: Risque de secousse
électrique. ISO 3864, No. B.3.6
ATTENTION: Se reporter à la
documentation.ISO3864,No.B.3.1
L’indicationsignaleundangerpotentiel.
Elle est destinée àattirer l’attention sur
uneprocédure,uneutilisation,une
situationou touteautre chose
présentantunrisquedeblessureen
casd’exécutionincorrecteoude non-
respect des consignes.
L’indicationsignaleundanger
potentiel.Elleestdestinéeàattirer
l’attentionsuruneprocédure,une
utilisation,unesituationoutouteautre
choseprésentantunrisque
d’endommagementoudedégâtd’une
partie ou de la totalité de l’appareil en
casd’exécutionincorrecteoudenon-
respectdesconsignes.
L’indication REMARQUE signale
des informations importantes. Elle
est destinée à attirer l’attention sur
une procédure, une utilisation, une
situation ou toute autre chose
présentant un intérêt particulier.
Symbolesutilisésdans
cemanuel(Français)
Symbols

3
937A Multi-Sensor System
Definition der mitVORSICHT! und
HINWEIS überschriebenen
Abschnitte in dieser
Betriebsanleitung.
VORSICHT! Stromschlaggefahr!
ISO 3864,Nr.B.3.6
VORSICHT! Bitte
Begleitdokumente lesen! ISO 3864,
Nr.B.3.1
Das SymbolVORSICHT! weist auf
eineGefahrenquelle hin.Es macht
aufeinen Arbeitsablauf,eine
Arbeitsweise,einen Zustandoder
einesonstige Gegebenheit
aufmerksam,deren unsachgemäße
Ausführungbzw.Ungenügende
Berücksichtigungzu
Körperverletzungführenkann.
Das SymbolVORSICHT! weist auf
eine Gefahrenquelle hin. Es macht
auf einen Bedienungsablauf, eine
Arbeitsweise oder eine sonstige
Gegebenheit aufmerksam, deren
unsachgemäße Ausführung bzw.
Ungenügende Berücksichtigung zu
einer Beschädigung oder
Zerstörung des Produkts oder von
Teilen des Produkts führen kann.
Das Symbol HINWEIS weist auf
eine wichtige Mitteilung hin, die
auf einen Arbeitsablauf, eine
Arbeitsweise, einen Zustand oder
eine sonstige Gegebenheit von
besondererWichtigkeit
aufmerksam macht.
Definiciones de los mensajes de
PRECAUCIÓNyOBSERVACIÓN
usados en el manual.
PRECAUCIÓN: Riesgo de descarga
eléctrica. ISO 3864, N.° B.3.6
PRECAUCIÓN: Consultar los
documentos adjuntos.
ISO 3864, N.° B.3.1
Esto símbolo indica un riesgo.Pone
derelieveun procedimiento, práctica,
condición, etc., que, de no realizarse
uobservarse correctamente,podría
causar lesiones a los empleados.
Esto símbolo indica un riesgo.
Pone de relieve un
procedimiento, práctica, etc., de
tipo operativo que, de no
realizarse u observarse
correctamente, podría causar
desperfectos al instrumento, o
llegar incluso a causar su
destrucción total o parcial.
Esto símbolo indica
información de importancia.
Pone de relieve un
procedimiento, práctica,
condición, etc., cuyo
conocimiento resulta esencial.
Indieser
Betriebsanleitung
vorkommendeSymbole
(Deutsch)
SímbolosUsadosenel
Manual(Español)

4937A Multi-Sensor System
Attention
se reporter àla documentation
ISO 3864, No. B.3.1
Attention
risque de secousse électrique
ISO 3864, No. B.3.6
Attention
surface brûlante
IEC 417, No. 5041
Marche (mise sous tension)
IEC 417, No. 5007
Arrêt (hors tension)
IEC 417, No. 5008
Terre
IEC 417, No. 5017
Terre de protection
IEC 417, No. 5019
Courant continu
IEC 417, No. 5031
Courant alternatif
IEC 417, No. 5032
Courant continu et alternatif
IEC 417, No. 5033-a
Courant alternatif triphasé
IEC617-2, No. 020206
Equipotentialité
IEC 417, No. 5021
Masse, Châssis
IEC 417, No. 5020
Matériel de la Classe II
IEC 417, No. 5172-a
Caution
refer to accompanying documents
ISO 3864, No. B.3.1
Caution
risk of electric shock
ISO 3864, No. B.3.6
Caution
hot surface
IEC 417, No. 5041
On (Supply)
IEC 417, No. 5007
Off (Supply)
IEC 417, No. 5008
Earth (Ground)
IEC 417, No. 5017
Protective Earth (Ground)
IEC 417, No. 5019
Direct Current
IEC 417, No. 5031
Alternating Current
IEC 417, No. 5032
Both Direct and Alternating Current
IEC 417, No. 5033-a
Three-phase Alternating Current
IEC617-2, No. 020206
Equipotentiality
IEC 417, No. 5021
Frame or Chassis
IEC 417, No. 5020
Class II Equipment
IEC 417, No. 5172-a
DefinitionofSymbols
Foundon theUnit
(English)
Définitiondessymboles
apparaissant sur
l’appareil (Français)
|
SymbolDefinitions

5
937A Multi-Sensor System
Precaución
Consultar los documentos adjuntos
ISO 3864, N.°B.3.1
Precaución
Riesgo de descarga eléctrica
ISO 3864, N.°B.3.6
Precaución
Superficie caliente
IEC 417, N.°5041
Encendido (alimentación eléctrica)
IEC 417, N.°5007
Apagado (alimentación eléctrica)
IEC 417, N.°5008
Puesta a tierra
IEC 417, N.°5017
Protección a tierra
IEC 417, N.°5019
Corriente continua
IEC 417, N.°5031
Corriente alterna
IEC 417, N.°5032
Corriente continua y alterna
IEC 417, N.°5033-a
Corriente alterna trifásica
IEC 617-2 N.°020206
Equipotencialidad
IEC 417, N.°5021
Caja o chasis
IEC 417, N.°5020
Equipo de clase II
IEC 417, N.°5172-a
Vorsicht!
Bitte Begleitdokumente lesen!
ISO 3864, Nr.B.3.1
Vorsicht!
Stromschlaggefahr!
ISO 3864, Nr.B.3.6
Vorsicht!
Heiße Fläche!
IEC 417, Nr. 5041
Ein (Netz)
IEC 417, Nr. 5007
Aus (Netz)
IEC 417, Nr. 5008
Erde
IEC 417, Nr. 5017
Schutzleiter
IEC 417, Nr. 5019
Gleichstrom
IEC 417, Nr. 5031
Wechselstrom
IEC 417, Nr. 5032
Wechselstrom und Gleichstrom
IEC 417, Nr. 5033-a
Drehstrom
IEC 617-2 Nr. 020206
Äquipotentialanschluß
IEC 417, Nr. 5021
Rahmen oder Chassis
IEC 417, Nr. 5020
Geräteklasse II
IEC 417, Nr. 5172-a
Definitionenderam
Gerätangebrachten
Symbole(Deutsch)
|
SímbolosqueAparecen
enlaUnidad(Español)

6937A Multi-Sensor System
SafetyPrecautions
SafetyProceduresandPrecautions(English)
The following general safety precautions must be observed during all phases
of operation of this instrument.Failure to comply with these precautions or
with specific warnings elsewhere in this manual violates safety standards of
intended use of the instrument and may impair the protection provided by the
equipment.MKS Instruments, Inc.assumes no liability for the customer’s
failure to comply with these requirements.
Properly ground the Controller.
Thisproduct isgrounded throughthe groundingconductor of thepower cord.
To avoid electrical shock, plug the power cord into a properly wired receptacle
before connecting it to the product input or output terminals. A protective
ground connection by way of the grounding conductor in the power cord is
essential for safe operation.
Upon loss of the protective-ground connection, all accessible conductive
parts (including knobs and controls that may appear to be insulating) can
render an electrical shock.
Do not substitute parts or modify instrument.
Do not install substitute parts or perform any unauthorized modification to the
instrument. Return the instrument to an MKS Calibration and Service Center
for service and repair to ensure that all safety features are maintained.
Use proper electrical fittings.
Dangerous voltages are contained within this instrument. All electrical fittings
and cables must be of the type specified, and in good condition. All electrical
fittingsmust beproperly connectedand grounded.
The Series 937A Controller contains lethal voltages when on.
High voltage is present in the cable and a cold cathode sensor when the
Controlleris turnedon.
Use the proper power source.
This product is intended to operate from a power source that applies a voltage
between the supply conductors, or between either of the supply conductors
and ground, not more than that specified in the manual.
Use the proper fuse.
Use only a fuse of the correct type, voltage rating, and current rating, as
specified for your product.

7
937A Multi-Sensor System
Do not operate in explosive environments.
To avoid explosion, do not operate this product in an explosive environment
unless it has been specifically certified for such operation.
Service by qualified personnel only.
Operatingpersonnel mustnot removeinstrument covers. Component
replacement and internal adjustments must be made by qualified service
personnelonly.
Use the proper power cord.
Use only a power cord that is in good condition and which meets the input
powerrequirements specifiedin themanual.
Use only a detachable cord set with conductors that have a cross-sectional
area equal to or greater than 0.75 mm2. The power cable should be approved
by a qualified agency such asVDE, Semko, or SEV.

8937A Multi-Sensor System
Mesures de Sécurité et Mises en Garde (Français)
Prendre toutes les précautions générales suivantes pendant toutes les phases
d’utilisation de cet appareil. Le non-respect de ces précautions ou des
avertissements contenus dans ce manuel entraîne une violation des normes
de sécuritérelatives àl’utilisation de l’appareil et le risque de réduire le niveau
de protection fourni par l’appareil. MKS Instruments, Inc. ne prend aucune
responsabilitépour les conséquences de tout non-respect des consignes de la
part de ses clients.
Mise à la terre de l'appareil.
Cet appareil est mis àla terre àl’aide du fil de terre du cordon d’alimentation.
Pour éviter tout risque de secousse électrique, brancher le cordon
d’alimentation sur une prise de courant correctement câblée avant de le
brancher sur les bornes d’entrée ou de sortie de l’appareil.Une mise àla terre
de protection àl’aide du fil de terre du cordon d’alimentation est indispensable
pourune utilisationsans dangerde l’appareil.
En cas de défaut de terre, toutes les pièces conductrices accessibles (y
compris les boutons de commande ou de réglage qui semblent être isolés)
peuventêtre sourced’une secousseélectrique.
Ne pas substituer des pièces ou modifier l’appareil.
Ne pas utiliser de pièces détachées autres que celles vendues par MKS
Instruments, Inc. ou modifier l’appareil sans l’autorisation préalable de MKS
Instruments,Inc. Renvoyerl’appareil àuncentre d’étalonnageet de
dépannageMKS pourtout dépannageou réparationafin de s’assurerque tous
les dispositifs de sécuritésont maintenus.
Mise à la terre et utilisation correcte d’accessoires électriques.
Des tensions dangereuses existent àl’intérieur de l’appareil.Tous les
accessoires et les câbles électriques doivent être conformes au type spécifié
et être en bon état.Tous les accessoires électriques doivent être correctement
connectés et mis àla terre.
Danger de haute tension.
Une haute tension est présente dans le câble et dans le capteur lorsque le
contrôleur est sous tension.
Utilisation d’une alimentation appropriée.
Cet appareil est conçu pour fonctionner en s’alimentant sur une source de
courantélectrique n’appliquantpas unetension entreles conducteurs
d’alimentation, ou entre les conducteurs d’alimentation et le conducteur de
terre, supérieure àcelle spécifiée dans le manuel.
Utilisation d’un fusible approprié.
Utiliser uniquement un fusible conforme au type, àla tension nominale et au
courantnominal spécifiéspour l’appareil.

9
937A Multi-Sensor System
Ne pas utiliser dans une atmosphère explosive.
Pour éviter tout risque d’explosion, ne pas utiliser l’appareil dans une
atmosphère explosive àmoins qu’il n’ait étéapprouvépour une telle
utilisation.
Dépannage effectué uniquement par un personnel qualifié.
L’opérateur de l’appareil ne doit pas enlever le capot de l’appareil.Le
remplacement des composants et les réglages internes doivent être effectués
uniquementpar unpersonneld’entretien qualifié.
Utilisation d’un cordon d’alimentation approprié.
Utiliser uniquement un cordon d’alimentation en bon état et conforme aux
exigences de puissance d’entrée spécifiées dans le manuel.
Utiliseruniquement uncordon d’alimentationamovible avecdes conducteurs
dont la section est égale ou supérieure à0,75 mm2. Le cordon d’alimentation
doit être approuvépar un organisme compétent tel queVDE, Semko ou SEV.

10 937A Multi-Sensor System
SicherheitsvorschriftenundVorsichtsmaßnahmen
(Deutsch)
Dieuntenstehenden allgemeinenSicherheitsvorschriften sindbei allen
Betriebs-phasendieses Instruments zubefolgen. JedeMißachtung dieser
Sicherheits-vorschriftenodersonstiger spezifischerWarnhinweiseindieser
Betriebsanleitungstellt eine Zuwiderhandlungder fürdieses Instrument
geltendenSicherheits-standards dar undkann diean diesemInstrument
vorgesehenenSchutzvor-richtungen unwirksammachen. MKSInstruments,
Inc. haftet nicht für eine Mißachtung dieser Sicherheitsvorschriften seitens
desKunden.
Produkt erden!
Dieses Produkt ist mit einer Erdleitung und einem Schutzkontakt am
Netzsteckerversehen. Umder Gefahreines elektrischenSchlages
vorzubeugen,ist dasNetzkabel aneiner vorschriftsmäßiggeerdeten
Schutzkontaktsteckdose anzuschließen, bevor es an den Eingangs- bzw.
Ausgangsklemmendes Produktsangeschlossen wird.Das Instrumentkann
nursicher betriebenwerden, wennes überden Erdleiterdes Netzkabelsund
einenSchutzkontakt geerdetwird.
Geht dieVerbindung zum Schutzleiter verloren, besteht an sämtlichen
zugänglichenTeilenaus stromleitendemMaterial dieGefahreines
elektrischenSchlages. Diesgilt auchfür Knöpfeund andereBedienelemente,
die dem Anschein nach isoliert sind.
KeineTeile austauschen und keineVeränderungen vornehmen!
Bauen Sie in das Instrument keine Ersatzteile ein, und nehmen Sie keine
eigenmächtigen Änderungen am Gerät vor! Schicken Sie das Instrument zu
Wartungs- undReparatur-zwecken aneinenMKS-Kalibrierungs- und-
Kundendienstein! Dadurchwird sicher-gestellt,daßalle
Sicherheitseinrichtungenvoll funktionsfähigbleiben.
Erdung undVerwendung geeigneter elektrischer Armaturen!
Indiesem Instrumentliegen gefährlicheSpannungenan. Alleverwendeten
elektrischen Armaturen undKabelmüssen demangegebenenTyp
entsprechenund sichin einwand-freiemZustand befinden.Alle elektrischen
Armaturensind vorschriftsmäßiganzubringen undzu erden.
Hochspannungsgefahr!
BeieingeschaltetemSteuerteilliegt imKabelundim Sensor Hochspannungan.
Richtige Stromquelle verwenden!
Dieses Produkt ist für eine Stromquelle vorgesehen, bei der die zwischen
den Leitern bzw.zwischen jedem der Leiter und dem Masseleiter
anliegende Spannung den in dieser Betriebsanleitung angegebenenWert
nicht überschreitet.

11
937A Multi-Sensor System
Richtige Sicherung benutzen!
Esist eineSicherung zuverwenden, derenTyp,Nennspannungund
Nennstromstärkeden Angabenfür diesesProdukt entsprechen.
Gerät nicht in explosiver Atmosphäre benutzen!
Um der Gefahr einer Explosion vorzubeugen, darf dieses Gerät nicht in der
Nähe explosiver Stoffe eingesetzt werden, sofern es nicht ausdrücklich für
diesen Zweck zertifiziert worden ist.
Wartung nur durch qualifizierte Fachleute!
Das Gehäuse des Instruments darf vom Bedienpersonal nicht geöffnet
werden.Das Auswechseln von BauteilenunddasVornehmen voninternen
Einstellungenist nurvonqualifizierten Fachleutendurchzuführen.
Richtiges Netzkabel verwenden!
Dasverwendete Netzkabelmußsich ineinwandfreiem Zustandbefinden und
denin derBetriebsanleitungenthaltenen Anschlußwertenentsprechen.
DasNetzkabel mußabnehmbarsein. DerQuerschnittder einzelnenLeiter
darf nicht weniger als 0,75 mm2betragen. Das Netzkabel sollte einen
Prüfvermerk einer zuständigen Prüfstelle tragen, z.B.VDE, Semko oder SEV.

12 937A Multi-Sensor System
ProcedimientosyPrecaucionesdeSeguridad
(Español)
Lasprecauciones generalesde seguridadque figurana continuacióndeben
observarsedurantetodas lasfases defuncionamientodel presente
instrumento.La no observancia de dichas precauciones, o de las
advertencias específicas a las que se hace referencia en el manual,
contraviene las normas de seguridad referentes al uso previsto del
instrumento ypodría impedirla protecciónque proporcionael instrumento.
MKS Instruments, Inc., no asume responsabilidad alguna en caso de que el
cliente haga caso omiso de estos requerimientos.
Puseta a tierra del instrumento.
Este instrumento estápuesto a tierra por medio del conductor de tierra del
cable eléctrico.Para evitar descargas eléctricas, enchufar el cable eléctrico
en una toma debidamente instalada, antes de conectarlo a las terminales de
entrada o salida del instrumento.Para garantizar el uso sin riesgos del
instrumento resulta esencial que se encuentre puesto a tierra por medio del
conductor de tierra del cable eléctrico.
Si se pierde la conexión protectora de puesta a tierra, todas las piezas
conductoras a las que se tiene acceso (incluidos los botones y mandos que
pudieranparecer estaraislados) podríanproducirdescargar eléctricas.
No utilizar piezas no originales ni modificar el instrumento.
No se debe instalar piezas que no sean originales ni modificar el
instrumento sin autorización.Para garantizar que las prestaciones de
seguridad se observen en todo momento, enviar el instrumento al Centro
de servicio y calibración de MKS cuando sea necesaria su reparación y
servicio de mantenimiento.
Usar los accesorios eléctricos adecuados.
Este instrumento funciona con voltajes peligrosos.Todos los accesorios y
cables eléctricos deben ser del tipo especificado y mantenerse en buenas
condiciones.Todos los accesorios eléctricos deben estar conectados y
puestosa tierradel modoadecuado.
Peligro por alto voltaje.
Cuando el controlador estáencendido, se registra alto voltaje en el
cable y en el sensor.
Usar la fuente de alimentación eléctrica adecuada.
Este instrumento debe funcionar a partir de una fuente de alimentación
eléctrica que no aplique más voltaje entre los conductores de suministro, o
entre uno de los conductores de suministro y la puesta a tierra, que el que se
especifica en el manual.