MKS HPS 919 Series User manual

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HPS®Products
Series919
HotCathodeIonization
HighVacuum
Sensor System
OPERATION AND
MAINTENANCE MANUAL
Artisan Technology Group - Quality Instrumentation ... Guaranteed | (888) 88-SOURCE | www.artisantg.com

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Hot Cathode Ionization High Vacuum Senor System
HPS®Products
Series919
Hot Cathode Ionization
HighVacuum
Sensor System
May 1997 Part # 109190098 Rev. B1
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Hot Cathode Ionization High Vacuum Senor System
Part#919-A-XXX-XX
__ __ __ - __ __
Serial # __ __ __ __ __ __
Please fill in these numbers and
havethemreadilyavailable when calling
forservice oradditional information.
(The part number can be found on
your packing slip, and the serial number
is located on the rear panel of the
Controller.)
© 1997 by MKS Instruments,HPS®Division Inc. All rights reserved.
Inconel is a registered trademark of Inco Alloys International, Inc.
SensaVac is a trademark of MKS Instruments, Inc.
Formoreinformation or literature, contact:
MKS Instruments,HPS® Division Inc.
5330SterlingDrive
Boulder,CO80301USA
Phone: [phone]
800-345-1967
FAX: [phone]
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Hot Cathode Ionization High Vacuum Senor System
Table of Contents
Table of Contents
Package Contents ..................................................................... 1
Symbols Used in this Manual.................................................... 2
Symboles utilisés dans ce manuel.......................................................... 3
In dieser Betriebsanleitung vorkommendeSymbole ................................ 4
Símbolos Usados en el Manual............................................................... 5
Symbols Found on the Unit ....................................................... 6
Symbolesapparaissantsur l’appareil ...................................................... 7
AmGerätangebrachteSymbole ............................................................. 8
SímbolosqueAparecenen la Unidad...................................................... 9
Safety Procedures and Precautions ........................................ 10
Mesures de Sécurité et Mises en Garde ................................................12
SicherheitsvorschriftenundVorsichtsmaßnahmen .................................14
ProcedimientosyPrecaucionesdeSeguridad .......................................16
Specifications.......................................................................... 18
Controller................................................................................................18
Sensor....................................................................................................20
Feature and Control Locations ................................................ 21
Typical Applications for the Series 919 Hot Cathode System.. 23
About the HPS®Products Series 919
Hot Cathode Ionization System............................................... 24
Installing and Setting Up the Series 919 Hot Cathode System 25
Hot Cathode Sensor Installation .............................................................25
Location ...................................................................................................................... 25
Orientation .................................................................................................................. 25
Contamination ............................................................................................................. 25
Vacuum Connection ................................................................................................... 25
HotCathodeController Installation .........................................................25
Operating the Series 919 Hot Cathode System....................... 30
Reading Pressure ...................................................................................30
UsingtheAnalogOutput ........................................................................30
Adjusting the Set Points .........................................................................31
Adjusting the Filament Protection Limit ..................................................32
Restarting theFilament ..........................................................................32
Local Method .............................................................................................................. 32
Remote Method .......................................................................................................... 32
Setting the Sensor Sensitivity................................................................33
Sensor Sensitivity for Different Pressure Units ......................................33
i
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Hot Cathode Ionization High Vacuum Senor System
ii
DegassingtheSensor ............................................................................33
PreparingforSensorBakeout ................................................................34
Using the Series 919 Hot Cathode System with Other Gases. 35
Adjusting System Sensitivity for Another Gas .......................................35
Maintaining the Series 919 Hot Cathode System ...................................37
CleaningtheController FrontPanel.........................................................37
ServicingtheController ..........................................................................37
Replacing a Power Fuse............................................................................................ 37
Testing the Sensor..................................................................................38
Accessories............................................................................. 39
ProductWarranty ..................................................................... 40
Appendix A: How the Series 919 Hot Cathode System Works 41
Theory of a Hot Cathode Ionization Sensor............................................41
HPS®Sensors ............................................................................................................ 41
Notes....................................................................................... 42
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1
Hot Cathode Ionization High Vacuum Senor System
Before unpacking your Series 919 Hot Cathode Ionization High
Vacuum Sensor System, check all surfaces of the packing material for
shippingdamage.
Please be sure that your Series 919 Hot Cathode System package contains
these items:
1Series919HotCathodeController
1powercord
1 female, 15-pin subminiature D ("D" type) Accessory connector kit
4Controllersurfacepads,rubber
1 HPS®Series 919 Hot Cathode Ionization High Vacuum
Sensor System User's Manual.
The Series 919 System's Sensor and its connecting cable are sold
separately. Please refer to page 39 for necessary ordering information if you
havenotalreadyorderedthem.
If any items are missing from the package, call HPS®Customer
Serviceat1-303-449-9861or1-800-345-1967.
Inspect the Series 919 Hot Cathode System for visible evidence of damage.
If it has been damaged in shipping, notify the carrier immediately. Keep all
shipping materials and packaging for claim verification. Do not return the
product to HPS®.
Package Contents
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2Hot Cathode Ionization High Vacuum Senor System
Symbols Used in this Manual
Definitionsof CAUTION andNOTEmessages usedthroughoutthe manual.
CAUTION: Risk of electrical shock. ISO 3864, No. B.3.6
CAUTION: Refertoaccompanyingdocuments.
ISO 3864, No. B.3.1
This sign denotes a hazard. It calls attention to a
procedure, practice, condition, or the like, which, if
notcorrectlyperformed or adhered to,couldresult
ininjuryto personnel.
This sign denotes a hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the like, which, if
not correctly performed or adhered to, could result in
damage to or destruction of all or part of the product.
This sign denotes important information. It calls
attention to a procedure, practice, condition, or the
like, which is essential to highlight.
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3
Hot Cathode Ionization High Vacuum Senor System
Définition des indications ATTENTION et REMARQUE utilisées dans ce
manuel.
ATTENTION: Risquedesecousseélectrique.
ISO 3864, No. B.3.6
ATTENTION: Se reporter à la documentation.
ISO 3864, No. B.3.1
L’indication signale un danger potentiel. Elle est destinée àattirer
l’attention sur une procédure, une utilisation, une situation ou
toute autre chose présentant un risque de blessure en cas
d’exécution incorrecteou de non-respectdesconsignes.
L’indication signale un danger potentiel. Elle est
destinéeàattirer l’attentionsurune procédure,une
utilisation, une situation ou toute autre chose
présentantun risqued’endommagement oude
dégât d’une partie ou de la totalitéde l’appareil en
casd’exécutionincorrecteoudenon-respect
desconsignes.
L’indicationREMARQUEsignaledesinformations
importantes. Elle est destinée àattirer l’attention sur
une procédure, une utilisation, une situation ou
touteautrechoseprésentantunintérêtparticulier.
Symboles utilisés
dans ce manuel
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4Hot Cathode Ionization High Vacuum Senor System
DefinitiondermitVORSICHT!undHINWEISüberschriebenenAbschnittein
dieserBetriebsanleitung.
VORSICHT! Stromschlaggefahr!ISO3864,Nr.B.3.6
VORSICHT! BitteBegleitdokumentelesen!
ISO 3864, Nr. B.3.1
Das Symbol VORSICHT! weist auf eine
Gefahrenquellehin. Esmachtauf einen
Arbeitsablauf,eineArbeitsweise,einenZustandoder
einesonstigeGegebenheitaufmerksam,deren
unsachgemäßeAusführungbzw.Ungenügende
BerücksichtigungzuKörperverletzungführenkann.
DasSymbol VORSICHT!weist aufeine
Gefahrenquelle hin. Es macht auf einen
Bedienungsablauf,eineArbeitsweiseodereine
sonstigeGegebenheitaufmerksam,deren
unsachgemäßeAusführungbzw.Ungenügende
BerücksichtigungzueinerBeschädigungoder
Zerstörung des Produkts oder von Teilen des
Produktsführenkann.
Das Symbol HINWEIS weist auf eine wichtige
Mitteilung hin, die auf einen Arbeitsablauf, eine
Arbeitsweise,einenZustandodereinesonstige
GegebenheitvonbesondererWichtigkeit
aufmerksammacht.
In dieser Betriebsanleitung
vorkommende Symbole
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5
Hot Cathode Ionization High Vacuum Senor System
Definiciones de los mensajes de PRECAUCIÓN y OBSERVACIÓN
usados en el manual.
PRECAUCIÓN: Riesgo dedescargaeléctrica.ISO3864,
Nr. B.3.6
PRECAUCIÓN: Consultarlosdocumentosadjuntos.
ISO 3864, Nr. B.3.1
Esto símbolo indica un riesgo. Pone de relieve un
procedimiento, práctica, condición, etc., que, de no
realizarseuobservarsecorrectamente,podríacausar
lesiones a los empleados.
Esto símbolo indica un riesgo. Pone de relieve un
procedimiento, práctica, etc., de tipo operativo que,
denorealizarseuobservarsecorrectamente,podría
causardesperfectos alinstrumento, ollegar inclusoa
causarsu destruccióntotalo parcial.
Esto símbolo indica información de importancia.
Pone de relieve un procedimiento, práctica,
condición,etc., cuyo conocimientoresulta esencial.
Símbolos Usados
en el Manual
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6Hot Cathode Ionization High Vacuum Senor System
Symbols Found on the Unit
The following table describes symbols that may be found on the unit.
Protective Earth
(Ground)
IEC 417, No. 5019
Alternating Current
IEC 417, No. 5032
Earth (Ground)
IEC 417, No. 5017
Direct Current
IEC 417, No. 5031
Three-phase
Alternating Current
IEC617-2, No. 020206
Caution, hot surface
IEC 417, No. 5041
On (Power)
IEC 417, No. 5007
Frame or Chassis
IEC 417, No. 5020
Direct and Alternating
Current, Both
IEC 417, No. 5033-a
Caution, refer to
accompanying
documents
ISO 3864, No. B.3.1
Off (Power)
IEC 417, No. 5008
Equipotentiality
IEC 417, No. 5021
Class II Equipment
IEC 417, No. 5172-a
Caution, risk of electric
shock
ISO 3864, No. B.3.6
|
Definition of Symbols Found on the Unit
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7
Hot Cathode Ionization High Vacuum Senor System
Symboles apparaissant
sur l’appareil
Le tableau suivant décrit les symboles apparaissant sur l’appareil.
Terre de protection
IEC 417, No. 5019
Courant alternatif
IEC 417, No. 5032
Terre
IEC 417, No. 5017
Courant continue
IEC 417, No. 5031
Courant alternatif
triphasé
IEC617-2, No. 020206
Attention: surface
brûlante
IEC 417, No. 5041
Marche
(mise sous tension)
IEC 417, No. 5007
Masse, Châssis
IEC 417, No. 5020
Courant continu et
alternatif
IEC 417, No. 5033-a
Attention: se reporter
àla documentation
ISO 3864, No. B.3.1
Arrêt (hors tension)
IEC 417, No. 5008
Equipotentialité
IEC 417, No. 5021
Matériel de la Classe II
IEC 417, No. 5172-a
Attention: risque de
secousse électrique
ISO 3864, No. B.3.6
|
Définition des symboles apparaissant sur l’appareil
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8Hot Cathode Ionization High Vacuum Senor System
Am Gerät angebrachte Symbole
DeruntenstehendenTabellesinddieBedeutungenderSymbolezu
entnehmen,dieandemGerätangebrachtsind.
Schutzleiter
IEC 417, Nr. 5019
Wechselstrom
IEC 417, Nr. 5032
Erde
IEC 417, Nr. 5017
Gleichstrom
IEC 417, Nr. 5031
Drehstrom
IEC 617-2 Nr. 020206
Vorsicht!
Heiße Fläche!
IEC 417, Nr. 5041
Ein (Netz)
IEC 417, Nr. 5007
Rahmen oder Chassis
IEC 417, Nr. 5020
Wechselstrom und
Gleichstrom
IEC 417, Nr. 5033-a
Vorsicht! Bitte
Begleitdokumente
lesen!
ISO 3864, Nr. B.3.1
Aus (Netz)
IEC 417, Nr. 5008
Äquipotentialanschluß
IEC 417, Nr. 5021
Geräteklasse II
IEC 417, Nr. 5172-a
Vorsicht!
Stromschlaggefahr!
ISO 3864, Nr. B.3.6
|
Definitionen der am Gerät angebrachten Symbole
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9
Hot Cathode Ionization High Vacuum Senor System
Símbolos que Aparecen en la
Unidad
En la tabla que figura a continuación se indican los símbolos que aparecen
enlaunidad.
Protección a tierra
IEC 417, N.°5019
Corriente alterna
IEC 417, N.°5032
Puesta a tierra
IEC 417, N.°5017
Corriente continua
IEC 417, N.°5031
Corriente alterna
trifásica
IEC 617-2 N.°020206
Precaución. Superficie
caliente
IEC 417, N.°5041
Encendido
(alimentación
eléctrica)
IEC 417, N.°5007
Caja o chasis
IEC 417, N.°5020
Corriente continua y
alterna
IEC 417, N.°5033-a
Precaución.
Consultar los
documentos adjuntos
ISO 3864, N.°B.3.1
Apagado
(alimentación
eléctrica)
IEC 417, N.°5008
Equipotencialidad
IEC 417, N.°5021
Equipo de clase II
IEC 417, N.°5172-a
Precaución. Riesgo de
descarga eléctrica ISO
3864, N.°B.3.6
|
Definición de los símbolos que aparecen en la unidad
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10 Hot Cathode Ionization High Vacuum Senor System
Safety Procedures and
Precautions
Thefollowinggeneralsafetyprecautionsmust be observed during all phases
of operation of this instrument. Failure to comply with these precautions or
with specific warnings elsewhere in this manual violates safety standards of
intended use of the instrument and may impair the protection provided by the
equipment. MKS Instruments,HPS®Products, Inc. assumes no liability for
the customer’s failure to comply with these requirements.
The Series 919 Controller contains lethal voltages when on.
High voltage is present in the cable and the Hot Cathode Sensor when the
Controlleristurnedon.
Properlyground theController.
Thisproduct isgroundedthroughthegroundingconductorof thepower cord.
To avoid electrical shock, plug the power cord into a properly wired receptacle
before connecting it to the product input or output terminals. A protective
ground connection by way of the grounding conductor in the power cord is
essential for safe operation.
Upon loss of the protective-ground connection, all accessible conductive
parts (including knobs and controls that may appear to be insulating) can
render an electrical shock.
Donot substitute partsor modifyinstrument.
Do not install substitute parts or perform any unauthorized modification to the
instrument. Return the instrument to an MKS Calibration and Service Center
for service and repair to ensure that all safety features are maintained.
Usetheproperfuse.
Use only a fuse of the correct type, voltage rating, and current rating, as
specified for your product.
Useproperelectricalfittings.
Dangerous voltages are contained within this instrument. All electrical fittings
and cables must be of the type specified, and in good condition. All electrical
fittingsmust beproperlyconnected andgrounded.
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11
Hot Cathode Ionization High Vacuum Senor System
Usethe proper powersource.
This product is intended to operate from a power source that does not apply
more voltage between the supply conductors, or between either of the supply
conductors and ground, than that specified in the manual.
Donot operate inexplosive environments.
To avoid explosion, do not operate this product in an explosive environment
unless it has been specifically certified for such operation.
Service by qualified personnel only.
Operatingpersonnelmustnotremoveinstrumentcovers.Component
replacement and internal adjustments must be made by qualified service
personnelonly.
Use the proper power cord.
Use only a power cord that is in good condition and which meets the input
powerrequirementsspecifiedinthemanual.
Use only a detachable cord set with conductors that have a cross-sectional
areaequalto or greater than0.75mm2. Thepower cableshouldbe approved
by a qualified agency such as VDE, Semko, or SEV.
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12 Hot Cathode Ionization High Vacuum Senor System
Prendretoutesles précautions générales suivantespendanttoutes les
phases d’utilisation de cet appareil. Le non-respect de ces précautions ou des
avertissements contenus dans ce manuel entraîne une violation des normes
de sécurité relatives à l’utilisation de l’appareil et le risque de réduire le niveau
de protection fourni par l’appareil. MKS Instruments,HPS®Division, Inc. ne
prendaucuneresponsabilitépourlesconséquencesde toutnon-respect des
consignes de la part de ses clients.
Dangerdehautetension.
Une haute tension est présente dans le câble et dans le capteur lorsque le
contrôleur est sous tension.
Mise à la terre de l'appareil.
Cet appareil est mis àla terre àl’aide du fil de terre du cordon d’alimentation.
Pour éviter tout risque de secousse électrique, brancher le cordon
d’alimentation sur une prise de courant correctement câblée avant de le
brancher sur les bornes d’entrée ou de sortie de l’appareil. Une mise àla terre
de protection àl’aide du fil de terre du cordon d’alimentation est indispensable
pouruneutilisationsansdangerdel’appareil.
En cas de défaut de terre, toutes les pièces conductrices accessibles (y
compris les boutons de commande ou de réglage qui semblent être isolés)
peuventêtresource d’unesecousseélectrique.
Ne pas substituer des pièces ou modifier l’appareil.
Ne pas utiliser de pièces détachées autres que celles vendues par MKS
Instruments, Inc. ou modifier l’appareil sans l’autorisation préalable de MKS
Instruments,Inc.Renvoyerl’appareilàuncentre d’étalonnage et de
dépannageMKSpourtoutdépannageouréparationafin des’assurerquetous
les dispositifs de sécuritésont maintenus.
Utilisation d’un fusible approprié.
Utiliser uniquement un fusible conforme au type, àla tension nominale et au
courantnominalspécifiéspourl’appareil.
Miseàlaterreetutilisationcorrected’accessoiresélectriques.
Des tensions dangereuses existent àl’intérieur de l’appareil. Tous les
accessoires et les câbles électriques doivent être conformes au type spécifié
et être en bon état. Tous les accessoires électriques doivent être
correctement connectés et mis àla terre.
Mesures de Sécurité
et Mises en Garde
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13
Hot Cathode Ionization High Vacuum Senor System
Utilisationd’unealimentationappropriée.
Cet appareil est conçu pour fonctionner en s’alimentant sur une source de
courantélectriquen’appliquantpasunetensionentrelesconducteurs
d’alimentation,ouentrelesconducteursd’alimentationet le conducteur de
terre, supérieure àcelle spécifiée dans le manuel.
Nepas utiliser dans une atmosphèreexplosive.
Pour éviter tout risque d’explosion, ne pas utiliser l’appareil dans une
atmosphère explosive àmoins qu’il n’ait étéapprouvépour une telle
utilisation.
Dépannageeffectuéuniquementparunpersonnelqualifié.
L’opérateurdel’appareil ne doit pasenleverlecapot de l’appareil. Le
remplacement des composants et les réglages internes doivent être effectués
uniquementparunpersonneld’entretienqualifié.
Utilisationd’un cordon d’alimentation approprié.
Utiliseruniquementuncordond’alimentation en bon étatetconforme aux
exigences de puissance d’entrée spécifiées dans le manuel.
Utiliseruniquement uncordon d’alimentationamovibleavecdesconducteurs
dont la section est égale ou supérieure à0,75 mm2. Le cordon d’alimentation
doit être approuvépar un organisme compétent tel que VDE, Semko ou SEV.
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