Varian 969-9057 User manual

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Turbo-V 700HT
pumps
Model 969-9057
Model 969-9058
MANUALE DI ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE DíEMPLOI
MANUAL DE INSTRUCCIONES
MANUAL DE INSTRU«’ES
BEDRIJFSHANDLEIDING
INSTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKƒSIKIRJA
ODHGIES CRHSEWS
INSTRUCTION MANUAL
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Turbo-V 700HT
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ISTRUZIONI PER LíUSO
1 87-900-878-01(C)
INFORMAZIONI GENERALI
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! ATTENZIONE!
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NOTA
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal te-
sto.
IMMAGAZZINAMENTO
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!ATTENZIONE!
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NOTA
La pompa non puÚ essere danneggiata rimanendo semplice-
mente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di mante-
nerla chiusa fino al momento dell'installazione sul sistema onde
evitare eventuale inquinamento da polvere.
INSTALLAZIONE
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ISTRUZIONI PER LíUSO
2 87-900-878-01(C)
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NOTA
Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o
advanced exchange service, Ë indispensabile compilare e far
pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salu-
te" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stes-
sa deve essere inserita nell'imballo della pompa prima della
spedizione.
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NO!'

GEBRAUCHSANLEITUNG
3 87-900-878-01(C)
ALLGEMEINES
Dieser Apparat ist f¸r Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch
sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren
mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei
Nichtbeachtung -auch teilweise- der enthaltenen Hinweise,
unsachgem‰flem Gebrauch durch ungeschultes Personal,
nicht autorisierten Eingriffen und Miflachtung der
einheimischen, hier zur Geltung kommenden Bestimmungen
¸bernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung.
Bei den Pumpen der Serie Turbo-V700HT handelt es sich um
Turbomolekularpumpen f¸r Hoch- und
Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich f¸r jede Art
von Gas oder gashaltige Gemische, nicht jedoch zur Fˆrderung
von Fl¸ssigstoffen oder Festpartikel.
Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsturbine
(max. 42000 Upm) erzielt, die von einem
Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird. Die Turbo-
V700HT-Pumpen enthalten keinerlei unweltsch‰dliche
Substanzen und eignen sich deshalb auch f¸r
Anwendungszwecke, die ein "sauberes" Vakuum vorschreiben.
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen
Informationen f¸r die Sicherheit des Bedieners bei der
Anwendung des Ger‰ts aufgef¸hrt. Detaillierte technische
Informationen sind im Anhang "Technical Information"
enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaflen hervorgehoben:
!
!!
! GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des
Bedieners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei
unkorrekter Ausf¸hrung schwere Verletzungen hervorrufen
kˆnnen.
!
!!
! ACHTUNG!
Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den
Bediener darauf aufmerksam, dafl bei Nichteinhaltung
Sch‰den an der Anlage entstehen kˆnnen.
ANMERKUNG
Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus
dem Text hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen m¸ssen
folgende klimatische Verh‰ltnisse vorliegen:
− Temperatur: von -20[C bis +70[C
− Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95%
Nach extrem langer Lagerung mufl die Pumpe bei
Inbetriebsetzung im SOFT START-Modus gestartet werden
(siehe Handbuch der Steuereinheit).
VOR DER INSTALLATION
Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung
geliefert. Eventuelle Transportsch‰den m¸ssen der
zust‰ndigen ˆrtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden.
Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht
f‰llt oder Stˆflen ausgesetzt wird.
Das Verpackungsmaterial mufl korrekt entsorgt werden. Es ist
vollst‰ndig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399
f¸r Umweltschutz.
!
!!
! ACHTUNG!
Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, d¸rfen die
Komponenten, die in Ber¸hrung mit dem Vakuum kommen,
nicht mit bloflen H‰nden angefaflt werden. Immer Handschuhe
oder einen anderen geeigneten Schutz tragen.
ANMERKUNG
Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Athmosph‰re
ausgesetzt ist, keine Sch‰den erleiden. Sie sollte jedoch bis
zur Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um
Staubverschmutzungen zu vermeiden.
INSTALLATION
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die
ungesch¸tzt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und
aggressiven Gasen sind und in denen Explosions- und erhˆhte
Brandgefahr besteht.
Beim Betrieb m¸ssen folgende Umgebungsbedingungen
eingehalten werden:
− Maximaldruck: 2 Bar ¸ber dem atmosph‰rischen Druck
− Temperatur: von +5?C bis +35?C
− Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend).
Sind Magnetfelder vorhanden, m¸ssen die Pumpen ¸ber
Einsatz eines entsprechend geeigneten Schutzschirms
gesch¸tzt werden.
!
!!
! ACHTUNG!
Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim
Anschlufl der Turbopumpe an die Anlage.

GEBRAUCHSANLEITUNG
4 87-900-878-01(C)
Die Turbomolekularpumpen der Baureihe Turbo-V700HT
d¸rfen ausschliefllich mit einer der Varian-Spezialsteuerungen
betrieben werden (Baureihen 969-9445, 969-9545, 969-9872)
und m¸ssen an eine Prim‰rpumpe angeschlossen werden
(siehe Schema ìTechnical Informationî).
Die Turbopumpen kˆnnen in jeder Position installiert werden.
Befestigen Sie die Turbopumpe in einer stabilen Position,
indem Sie den Eingangsflansch der Pumpe an einen festen
Gegenflansch anschlieflen, der um die eigene Achse einem
Drehmoment von 4000 Nm standhalten mufl.
Turbopumpen mit ISO-Eingangsflansch m¸ssen mittels
doppelten oder einfachen Klemmschellen an die
Vakuumkammer angeschlossen werden. In der nachstehenden
Tabelle sind die Anzahl der jeweils erforderlichen Klemmschellen
sowie der jeweilige Anzugsmoment angegeben.
FLANSCH SCHELLENART ANZAHL ANZUGSMOMENT
ISO 200 Doppelklemme mit
NM10-Gewinde
6 22 Nm
Einzelklemme mit
NM10-Gewinde
12 22 Nm
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch m¸ssen mit dem
speziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuumkammer
angeschlossen werden. Weitere Hinweise siehe Anhang
ìTechnical Informationî.
Wenn die Pumpen ¸ber ihr Unterteil installiert werden sollen,
m¸ssen in die Bohrungen des Unterteils 3 M6-Schrauben
eingesetzt werden. Die Schrauben m¸ssen eine Dehngrenze
von 500N/mm2 haben und mit einem Anzugsmoment 3,1 Nm
angezogen werden.
Installation Sonderzubehˆr: siehe Anhang ìTechnical
Informationî.
ANWENDUNG
S‰mtliche Hinweise f¸r den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden.
Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das
Pumpengeh‰use mit einer Heizmanschette (Optional)
ausgeheizt werden.
Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 120[C
nicht ¸berschreitet, sollte immer bei ausheizbaren
Vakuumsystemen die TP mit Wasserk¸hlung arbeiten.
!
!!
! GEFAHR!
W‰hrend des Ausheizens d¸rfen weder die Pumpe noch
eventuelle heifle Anschluflteile ber¸hrt werden, denn es
besteht Verbrennungsgefahr.
!
!!
! ACHTUNG!
F¸r die Bel¸ftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am
Bel¸ftungsanschlufl mufl kleiner als 2 bar ¸ber dem
atmosph‰rischen Druck sein.
!
!!
! ACHTUNG!
W‰hrend des Betriebs sind Stofl- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager besch‰digt werden kˆnnten.
!
!!
! ACHTUNG!
Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit
einer ÷fnungsklappe ausgestattet, ¸ber die zum Schutz der
Lager ausschliefllich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugef¸hrt
werden darf (siehe Anhang "Technical Information").
!
!!
! GEFAHR!
Wenn die Pumpe zur Fˆrderung von giftigen, leicht
entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, m¸ssen
die f¸r das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorg‰nge und
Maflnahmen befolgt werden.
Benutzen Sie die Pumpe niemals in Pr‰senz von explosiven
Gasen.
WARTUNG
Die Pumpen der Baureihe Turbo-V700HT sind wartungsfrei.
Eventuelle Eingriffe d¸rfen nur von autorisierten Fachkr‰ften
vorgenommen werden.
!
!!
! GEFAHR!
Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe ¸ber ÷ffnung des entsprechenden Ventils bel¸ften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur
am Pumpengheh‰use unter 50[C abgesunken ist.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der " advanced
exchange service" in Anspruch genommen werden.
ANMERKUNG
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian mufl
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem
Handbuch beiliegt, ausgef¸llt an Varian geschickt und best‰tigt
werden. Eine Kopie mufl den Frachtpapieren beigelegt werden.
Eine eventuelle Verschrottung mufl unter Einhaltung der
einschl‰gigen landes¸blichen Vorschriften erfolgen.
!
!!
! GEFAHR!
Um Verletzungen auszuschlieflen, darf auf auf keinen
Fall in die Einlaflˆffnung der Turbopumpe gegriffen oder
irgendwelche Gegenst‰nde eingef¸hrt werden. Es wird
empfohlen, ein Schutzgitter zu installieren
(Sonderzubehˆr). Bei Installation eines
Ersch¸tterungsd‰mpfers oder eines flexiblen Metallbalges
auf der Einlaflˆffnung mufl die Turbopumpe immer am
Unterteil fest installiert sein.
NEIN!

MODE DíEMPLOI
5 87-900-878-01(C)
INDICATIONS GENERALES
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NOTE
Les notes contiennent des renseignements importants, isolÈs
du texte.
EMMAGASINAGE
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NOTE
La pompe ne peut Ítre endommagÈe en restant simplement
exposÈe ‡ l'atmosphËre. Il est de toute faÁon conseillÈ de la
garder enfermÈe jusqu'au moment de l'installation, afin d'Èviter
toute pollution due ‡ la poussiËre.
INSTALLATION
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ENTRETIEN
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NOTE
Avant de renvoyer au constructeur une pompe pour des
rÈparations ou un "advanced exchange service", remplir et
faire parvenir au bureau local Varian la fiche "SÈcuritÈ et
SantÈ" annexÈe ‡ la prÈsente notice d'instructions. Une copie
de cette fiche devra Ítre mise dans l'emballage de la pompe
avant l'expÈdition.
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INSTRUCCIONES DE USO
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INFORMACION GENERAL
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Este manual utiliza los sÌmbolos convencionales
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NOTA
Las notas contienen informaciÛn importante extraÌda del texto.
ALMACENAMIENTO
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PREPARACION PARA LA INSTALACION
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NOTA
La bomba no se puede daÒar sÛlo por quedar expuesta a la
atmÛsfera. De todas formas, se aconseja mantenerla cerrada
hasta el momento de la instalaciÛn en el sistema para evitar
una posible contaminaciÛn debida al polvo.
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INSTALACION
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NOTA
Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparaciÛn o
"advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar
y remitir a la oficina de Ventas m·s cercana la ficha de
"Seguridad y Salud" adjunta al presente manual de
instrucciones. Una copia de la misma se deber· introducir en
el embalaje de la bomba antes de enviarla.
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OBS
A bomba n„o pode ser danificada permanecendo
simplesmente exposta ‡ atmosfera. Aconselha-se, no entanto,
mantÍ-la fechada atÈ o momento da instalaÁ„o no sistema
para evitar que se suje com poeiras.
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OBS.
Antes de enviar ao construtor uma bomba para reparaÁıes ou
advanced exchange service, È indispens·vel preencher e
enviar ao escritÛrio local de vendas a ficha "SeguranÁa e
Sa˙de" anexa ao presente manual de instruÁıes. A cÛpia da
mesma deve ser colocada na embalagem da bomba antes da
expediÁ„o.
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GEBRUIKSAANWIJZINGEN
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OPMERKING
De pomp kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan
de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden
om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het
systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof
wordt voorkomen.
INSTALLATIE
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OPMERKING
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart
"Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld naar het
plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van
deze kaart moet vÛÛr versturing bij de pomp in de verpakking
worden gevoegd.
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Pumpen kan ikke beskadiges ved blot at vÊre udsat for den
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det dog, at pumpen holdes tilpakket, indtil den monteres i
anlÊgget.
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Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller
til "Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen
"Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne hÂndbog og tilsende den
til den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlÊgges
i pakken med pumpen ved tilbagesendelsen.
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OBSERVERA
Normal pÂverkan frÂn omgivningen kan inte skada pumpen.
Trots det ‰r det s‰krast att hÂlla den st‰ngd tills den har
installerats i systemet, fˆr att fˆrhindra att det kommer in damm
eller annat i den.
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