Varian SH-100 User manual

DRAFT 7/7/04
vacuum technologies
INSTRUCTION MANUAL
MANUALE DI ISTRUZIONI
NOTICE DE MODE D’EMPLOI
BEDIENUNGSHANDBUCH
使用手册
使用説明書
사용
설명서
SH-100
Dry Scroll
Vacuum Pump
Manual No. 699904340
Revision E
May 2004

DRAFT 7/7/04
Copyright 2004
Vacuum Technologies
SH-100
Dry Scroll Vacuum Pump
Slo-Blo and Littelfuse are registered trademarks of Littelfuse, Inc.

declare under our sole responsibility that the product,
erklären, in alleniniger Verantwortung, daß dieses Produkt,
déclarons sous notre seule responsabilité que le produit,
declaramos, bajo nuestra sola responsabilidad, que el producto,
verklaren onder onze verantwoordelijkheid, dat het product,
dichiariamo sotto nostra unica responsabilità, che il prodotto,
Declaration of Conformity
Konformitätserklärung
Déclaration de Conformité
Declaración de Conformidad
Verklaring de Overeenstemming
Dichiarazione di Conformità
March 2001
to which this declaration relates is in conformity with the following standard(s) or other normative documents.
auf das sich diese Erklärung bezieht, mit der/den flogenden Norm(en) oder Richtlinie(n) übereinstimmt.
auquel se réfère cette déclaration est conforme à la (auz) norme(s) ou au(x) document(s) normatif(s).
al que se refiere esta declaración es conforme a la(s) norma(s) u otro(s) documento(s) normativo(s).
waamaar deze verklaring verwijst, aan de volende norm(en) of richtlijn(en) beantwoodt.
a cui se rifersce questa dichiarazione è conforme alla/e sequente/I norma/o documento/I normativo/i.
Varian, Inc.
Lexington, MA, 02421-3133 USA
121 Hartwell Avenue
Vacuum Technologies
We
Wir
Nous
Nosotros
Wij
Noi
Frederick C. Campbell
Operations Manager
Vacuum Technologies
Lexington, Massachusetts, USA
Varian, Inc.
적합성 선언
適合宣言
私たち
우리는
は、当社単独の責任の下、この宣言が該当する製品
당사의 책임하에
が、
以下の規格またはその他の基準書類に適合することを宣言します。
이선언과 관련한 제품이 다음의 표준과 기타 표준 문서를 준수한다는 것을 선언합니다.
我们
一致性声明
基于独立承担责任的原则，特声明
符合以下标准或其它标准文档要求。
SH-100 Vacuum Pump Model Number — SH01001UNIV
98/37/EC . . . . . . . . . . . . . . . . . . Machine Directive
EN 61010-1
EN 60204-1 . . . . . . . . . . . . . . . . Safety of Machinery/Electrical Equipment of Machine
EN 292-1
EN 292-2
EN 1012-2
89/336/EC and 91/263/EC . . . . . EMC Directive
EN55022
EN61000-4-3
EN61000-4-4
EN61000-4-2
EN61000-4-6
EN61000-4-5
EN61000-3-2
EN61000-3-3
EN61000-4-11
Declaration of Conformity

SH-100 Dry Scroll Vacuum Pump
iv
DRAFT 7/7/04
Warranty
Products manufactured by Seller are warranted against
defects in materials and workmanship for twelve (12)
months from date of shipment thereof to Customer, and
Seller's liability under valid warranty claims is limited, at
the option of Seller, to repair, to replace, or refund of an
equitable portion of the purchase price of the Product.
Items expendable in normal use are not covered by this
warranty. All warranty replacement or repair of parts shall
be limited to equipment malfunctions which, in the sole
opinion of Seller, are due or traceable to defects in origi-
nal materials or workmanship. All obligations of Seller
under this warranty shall cease in the event of abuse, acci-
dent, alteration, misuse, or neglect of the equipment.
In-warranty repaired or replaced parts are warranted only
for the remaining unexpired portion of the original war-
ranty period applicable to the repaired or replaced parts.
After expiration of the applicable warranty period, Cus-
tomer shall be charged at the then current prices for parts,
labor, and transportation.
Reasonable care must be used to avoid hazards. Seller
expressly disclaims responsibility for loss or damage
caused by use of its Products other than in accordance
with proper operating procedures.
Except as stated herein, Seller makes no warranty,
expressed or implied (either in fact or by operation of
law), statutory or otherwise; and, except as stated herein,
Seller shall have no liability under any warranty,
expressed or implied (either in fact or by operation of
law), statutory or otherwise. Statements made by any per-
son, including representatives of Seller, which are incon-
sistent or in conflict with the terms of this warranty shall
not be binding upon Seller unless reduced to writing and
approved by an officer of Seller.
Warranty Replacement
and Adjustment
All claims under warranty must be made promptly after
occurrence of circumstances giving rise thereto, and must
be received within the applicable warranty period by
Seller or its authorized representative. Such claims should
include the Product serial number, the date of shipment,
and a full description of the circumstances giving rise to
the claim. Before any Products are returned for repair
and/or adjustment, written authorization from Seller or its
authorized representative for the return and instructions as
to how and where these Products should be returned must
be obtained. Any Product returned to Seller for examina-
tion shall be prepaid via the means of transportation indi-
cated as acceptable by Seller. Seller reserves the right to
reject any warranty claim not promptly reported and any
warranty claim on any item that has been altered or has
been returned by non-acceptable means of transportation.
When any Product is returned for examination and
inspection, or for any other reason, Customer shall be
responsible for all damage resulting from improper pack-
ing or handling, and for loss in transit, notwithstanding
any defect or non-conformity in the Product. In all cases,
Seller has the sole responsibility for determining the cause
and nature of failure, and Seller's determination with
regard thereto shall be final.
If it is found that Seller's Product has been returned with-
out cause and is still serviceable, Customer will be noti-
fied and the Product returned at the Customer's expense;
in addition, a charge for testing and examination may be
made on Products so returned.
3/1/00

v
SH-100 Dry Scroll Vacuum Pump
DRAFT 7/7/04
Contents
Declaration of Conformity
Warranty . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .iv
Warranty Replacement and Adjustment . . . . . . . . iv
Instructions for Use . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
General Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
Storage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
Use . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
Istruzioni Per L'uso . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
Informazioni Generali . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
Immagazzinamento . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
Installazione . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
Uso . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
Manutenzione . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
Instructions D'utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Indications Générales . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Emmagasinage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
Utilisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
Gebrauchsanleitung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
Allgemeine Hinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
Lagerung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Gebrauch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Wartung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
使用说明 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
一般信息 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
贮存 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
安装 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
使用 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
维护与维修 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
はじめに . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
一般情報 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
保管 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
設置 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
使用 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
保守 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
사용 지침 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
일반 정보 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
보관 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
설치 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
사용 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
유지 보수 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
Technical Information. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
Unpacking and Inspection . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
Startup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
Electrical Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
Run Currents . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
Start Current . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
Mechanical Connections . . . . . . . . . . . . . . . 21
Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Cleaning the Pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Startup Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Shutdown Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Troubleshooting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Kits and Service Options . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Cleaning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Tip Seal Replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Request for Return Health and Safety Certification
List of Figures
Figure Caption Page
1 Interface Drawing with Dimensions . . . . . . . 16
2 Pumping Speed Curves. . . . . . . . . . . . . . . . . 17
3 Outline Drawing and Principal Items . . . . . . 17
4 Grounding Plug and Outlet . . . . . . . . . . . . . 20
5 Starting Current (Typical) . . . . . . . . . . . . . . . 20
6 ON/OFF Power Switch. . . . . . . . . . . . . . . . . 21
7 Exploded View of Pump Body . . . . . . . . . . . 24
List of Tables
Table Title Page
1 Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
2 SH-100 Power Cord Selection . . . . . . . . . . . 19
3 SH-100 Typical Run Currents. . . . . . . . . . . . 20
4 Troubleshooting Chart . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
5 Tip Replacement Kit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
6 Factory Service Options . . . . . . . . . . . . . . . . 23

SH-100 Dry Scroll Vacuum Pump
1
DRAFT 7/7/04
Instructions for Use
General Information
This equipment is designed for use by professionals. The
user should read this instruction manual and any other
additional information supplied by Vacuum Technologies
before operating the equipment. Vacuum Technologies
will not be held responsible for any events that occur due
to non-compliance with these instructions, improper use
by untrained persons, non-authorized interference with
the equipment, or any action contrary to that provided for
by specific national standards.
The SH-100 is a hermetic, dry scroll vacuum pump. This
pump is suitable for pumping air or inert gases. The pump
is not intended to pump toxic, corrosive, explosive, or
particulate-forming gases.
The following paragraphs contain all the information nec-
essary to guarantee the safety of the operator when using
the equipment. Detailed information is supplied in
“Technical Information” on page 15.
This manual uses the following standard safety protocol:
Storage
When transporting and storing the pump, the following
environmental requirements should not be exceeded:
Preparation for Installation
The pump is supplied in a special protective packing. If
this shows signs of damage, which may have occurred
during transport, contact your local sales office.
Total weight of the packing, SH-100 pump included, is
approximately 20 kg (44 lbs).
WARNING The warning messages are for attracting
the attention of the operator to a partic-
ular procedure or practice which, if not
followed correctly, could lead to serious
injury.
CAUTION The caution messages are displayed
before procedures, which if not fol-
lowed, could cause damage to the
equipment.
NOTE The notes contain important informa-
tion taken from the text.
Temperature: −20 °C to +60 °C (−4 °F to 140 °F)
Relative humidity: 0 to 95% (non-condensing)
WARNING When unpacking the pump, be sure not
to drop it and avoid any kind of sudden
impact or shock vibration to it.
NOTE Normal exposure to the environment
cannot damage the pump. Nevertheless,
it is advisable to keep the pump inlet
closed until the pump is installed in the
system.

2
SH-100 Dry Scroll Vacuum Pump
DRAFT 7/7/04
Installation
Do not install or use the pump in an environment exposed
to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive
gases, or in explosive environments or those with a high
fire risk.
During operation, the following environmental conditions
must be respected:
Connect the pump to the power supply using an IEC-320
style power cord of at least 10 A capacity.
Use
In order to reach maximum vacuum, the pump must be
left running for about an hour with the inlet sealed.
There are no special instructions for starting the pump; it
need only be switched on using the On/Off switch.
The inlet valve will open 10 seconds after the pump is
started.
There are no special instructions for stopping the pump; it
need only be disconnected from the electric power source
by the On/Off switch.
The inlet valve will close immediately after the pump is
stopped.
Maintenance
Personnel responsible for pump operation and mainte-
nance must be well-trained and aware of the accident
prevention rules.
If a pump is to be discarded, it must be disposed of in
accordance with specific national standards.
Temperature: +5 °C to +40 °C (41 °F to 104 °F)
Relative humidity: 0 to 95% (non-condensing)
CAUTION Be certain that your electrical mains
power voltage corresponds to that indi-
cated on the white tab (110 or 220)
adjacent to the On/Off switch on the
rear of the pump.
If voltage changeover is required, use
a small screwdriver to remove the tab
holder from the power module. Position
the white tab so that the correct voltage
faces out and reinstall the tab holder.
WARNING The pump is designed for operation
with neutral or noncorrosive fluids. It
is absolutely forbidden to use it with
potentially explosive, inflammable or
poisonous substances.
WARNING ❑Death may result from contact with
high voltages. Always take extreme care
and observe the accident prevention
regulations in force.
❑When machine is powered up,
be careful of moving parts and high
voltages.
❑If you have to perform maintenance
on the pump after a considerable time
in operation, allow it to cool as the tem-
perature of the outer surface may be in
excess of 60 °C.
❑Always disconnect your power
supply to the pump before beginning
maintenance work.
NOTE Before returning the pump to the factory
for repair, the “Health and Safety” sheet
attached to this instruction manual must
be completed and sent to the local sales
office. A copy of the sheet must be
inserted in the pump package before
shipping.

SH-100 Dry Scroll Vacuum Pump
3
DRAFT 7/7/04
Istruzioni Per L'uso
Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manu-
ale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale
fornita dalla Vacuum Technologies prima dell'utilizzo
dell'apparecchiatura. La Vacuum Technologies si ritiene
sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosser-
vanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio
da parte di personale non addestrato, ad interventi non
autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali
specifiche.
La pompa a secco Scroll SH-100 è una pompa ermetica
adatta a pompare aria or gas inerti.
Questa pompa non è adatta per pompare gas or particelle
tossiche, corrosive or esplosive.
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni
necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante
l'utilizzo dell'apparecchiatura. Per informazioni dettagli-
ate, vedere “Technical Information” a pagina 15.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
Immagazzinamento
Durante il trasporto e l'immagazzinamento della pompa
non devono essere superate le seguenti condizioni
ambientali:
Preparazione Per L’installazione
La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale;
se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi
verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite
locale.
Il peso dell'imballo, comprensivo della pompa SH-100, è
di circa 20 kg.
PERICOLO I messaggi di pericolo attirano l'attenzi-
one dell'operatore su una procedura o
una pratica specifica che, se non ese-
guita in modo corretto, potrebbe provo-
care gravi lesioni personali.
ATTENZIONE I messaggi di attenzione sono visualiz-
zati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni
all'apparec-chiatura.
NOTA Le note contengono informazioni
importanti estrapolate dal testo.
Temperatura: —20 °C a + 60 °C
Umidità relativa: 0 a 95% (non condensante)
PERICOLO Durante l'operazione di disimballag-
gio, prestare particolare attenzione a
non lasciar cadere la pompa e a non
sottoporla ad urti o vibrazioni.
NOTA La pompa non può essere danneggiata
rimanendo semplicemente esposta
all'atmosfera. Si consiglia comunque di
mantenerla chiusa fino al momento
dell'installazione sul sistema onde
evitare eventuale inquinamento da
polvere.

4
SH-100 Dry Scroll Vacuum Pump
DRAFT 7/7/04
Installazione
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti
ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas
aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di
incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispet-
tate le seguenti condizioni ambientali:
Collegare la pompa alla rete utilizzando un cavo da 10 A
con presa IEC-320.
Uso
Prima di mettere la pompa in servizio effettivo è necessa-
rio, per il raggiungimento del vuoto limite, scaldare la
pompa per circa 60 minuti lasciandola lavorare con la
flangia di ingresso chiusa.
Non ci sono particolari istruzioni per far partire la pompa;
basta accenderla utilizzando l'interruttore On/Off.
La valvola di ingresso si apre 10 secondi dopo la partenza
della pompa.
Lo spegnimento della pompa non richiede particolari
manovre; è sufficiente scollegarla dall'alimentazione
elettrica agendo sull'apposito interruttore.
Manutenzione
Il personale addetto alla condotta ed alla manutenzione
della pompa deve essere ben addestrato e deve avere una
approfondita conoscenza delle norme antinfortunistiche.
Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere
alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazion-
ali specifiche.
Temperatura: +5 °C a +40 °C
Umidità relativa: 0 a 95% (non condensante)
ATTENZIONE Verificate che la tensione di rete corri-
sponda ai valori indicati sulla etichetta
bianca (110 or 220) adiacente all' inter-
ruttore On/Off sul retro della pompa. Se
il cambiamento di tensione è richiesto,
utilizzate un piccolo cacciavite per
togliere la linguetta bianca dal modulo
di potenza. Posizionate la linguetta
bianca in corrispondenza al voltaggio di
rete e riinstallate il tutto.
PERICOLO La pompa è progettata per operare con
fluidi neutri o non corrosivi. E' assoluta-
mente vietato l'impiego con sostanze
potenzialmente esplosive, infiammabili
o velenose.
NOTA La valvola di ingresso si chiude immedi-
atamente quando si spegne la pompa.
PERICOLO ❑Le alte tensioni possono causare
morte al contatto. Operare sempre con
la massima cautela e secondo le norme
antinfortunistiche in vigore.
❑Quando la macchina è alimentata
prestare attenzione per la presenza di
parti in movimento e di alta tensione.
❑Nel caso si debba procedere ad oper-
azioni di manutenzione della pompa al
termine di un periodo di esercizio, è
necessario lasciarla raffreddare, poichè
la temperatura esterna può superare i
60 °C.
❑Escludere sempre l'alimentazione
della pompa prima di compiere oper-
azioni di manutenzione.
NOTA Prima di rispedire al costruttore una
pompa per riparazioni, è indispensabile
compilare e far pervenire al locale uffi-
cio vendite la scheda “Sicurezza e
Salute” allegata al presente manuale di
istruzioni. Copia della stessa deve
essere inserita nell'imballo della pompa
prima della spedizione.

SH-100 Dry Scroll Vacuum Pump
5
DRAFT 7/7/04
Instructions D'utilisation
Indications Générales
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation pro-
fessionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire attentive-
ment cette notice d'instructions ainsi que toute autre
indication fournie par Vacuum Technologies avant d'uti-
liser l'appareil. Vacuum Technologies décline par con-
séquent toute responsabilité en cas de non-respect total
ou partiel des instructions fournies, d'utilisation incorrecte
de la part d'un personnel non formé, d'opérations non
autorisées ou d'un emploi contraire aux réglementations
nationales spécifiques.
La pompe SH-100, est une pompe à vide sèche et hermé-
tique. Cette pompe convient pour le pompage de l'air ou
de gaz inertes. Elle n'a pas été conçue pour le pompage
de gaz toxiques, corrosifs, explosifs, ou susceptibles de
générer des particules.
Les paragraphes suivants fournissent toutes les indications
nécessaires pour garantir la sécurité de l'opérateur pen-
dant l'utilisation de l'appareillage. Les détails sont fournis
en page 15 dans le paragraphe “Technical Information”.
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:
Emmagasinage
Pendant le transport et l'emmagasinage de la pompe, il
faut veiller à respecter les conditions environnementales
suivantes:
Préparation Pour L’installation
La pompe est fournie dans un emballage de protection
spécial; si l'on constate des marques de dommages pou-
vant s'être produits pendant le transport, contacter auss-
itôt le bureau de vente local.
Le poids total de l'emballage et de la pompe SH-100 est
d'environ 20 kg.
DANGER Les messages de danger attirent l'atten-
tion de l'opérateur sur une procédure
ou une manœuvre spéciale dont la
mauvaise exécution risque de provo-
quer de graves lésions au personnel.
ATTENTION Les messages d'attention apparaissent
avant certaines procédures dont le
non-respect peut endommager sérieuse-
ment l'appareillage.
NOTENT Les notes contiennent des renseigne-
ments importants, extrapolés du texte.
Température: —20 °C à +60 °C
Humidité relative: 0 à 95% (non condensante)
DANGER Pendant l'opération d'ouverture de
l'emballage, veiller tout particulière-
ment à ne pas laisser tomber la pompe
et à ne lui faire subir aucun choc ni
aucune vibration.
NOTENT La pompe ne peut être endommagée en
restant simplement exposée à l'atmo-
sphère. Il est de toute façon conseillé de
la garder dans son emballage jusqu'au
moment de sa mise en fonction afin
d'éviter toute pollution due à la
poussière

6
SH-100 Dry Scroll Vacuum Pump
DRAFT 7/7/04
Installation
Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux
exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à
des poussières, à des gaz agressifs ainsi que dans des
milieux explosifs ou à fort risque élevé d'incendie.
Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter
les conditions environnementales suivantes:
Connecter la pompe au générateur de tension par le biais
d'un cordon d'alimentation IEC-320 d'une capacité mini-
male de 10 ampères.
Utilisation
Avant la mise en service de la pompe, il est nécessaire,
pour atteindre le vide maximum, que la pompe tourne
environ une heure avec l'entrée hermétiquement fermée.
Il n'y a pas d'instructions spéciales pour démarrer la
pompe; la mise en marche se fait à l'aide du commutateur
On/Off.
La valve d'entrée s'ouvre 10 secondes après la mise en
marche de la pompe.
L'arrêt de la pompe ne requiert aucune manœuvre parti-
culière; il faut seulement la déconnecter de l'alimentation
électrique grâce au bouton On/Off.
Maintenance
Le personnel chargé de la conduite et de la maintenance
de la pompe doit avoir reçu la formation nécessaire et
posséder une connaissance approfondie des normes de
prévention des accidents du travail.
En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son
élimination conformément aux réglementations nation-
ales en la matière.
Température: +5 °C à +40 °C
Humidité relative: 0 à 95% (non condensante)
ATTENTION S'assurer que la tension fournie par
votre générateur corresponde à celle
indiquée sur l'étiquette blanche
(110 ou 220) adjacente au bouton
On/Off au rétro de la pompe. Pour
changer la tension de travail, utilisez un
petit tourne-vis pour retirer la protection
de l'étiquette du module de tension.
Positionner l'étiquette blanche en face
de la tension désirée et remettre
la protection.
DANGER La pompe a été conçue pour fonction-
ner avec des fluides neutres ou non
corrosifs. L'emploi de substances poten-
tiellement explosives, inflammables ou
vénéneuses est strictement interdit.
NOTENT La valve d'entrée se ferme immédiate-
ment à l'arrêt de la pompe.
DANGER ❑Les hautes tensions peuvent entraîner
la mort par contact. Veiller à toujours
opérer avec le maximum de prudence
et dans le respect des normes de
prévention des accidents du travail en
vigueur.
❑Lorsque la machine est sous alimen-
tation, faire attention à la présence
d'organes en mouvement et de haute
tension.
❑En cas de nécessité de procéder à des
opérations de maintenance de la pompe
au terme d'une période de fonctionne-
ment, il est indispensable de la laisser
refroidir car sa température extérieure
peut être supérieure à 60 °C.
❑Avant toute opération de mainte-
nance, il est impératif de toujours
couper l'alimentation de la pompe.
NOTENT Avant de retourner une pompe au con-
structeur pour réparation, il est indis-
pensable de remplir et d'adresser au
bureau local de vente la fiche “Sécurité
et Santé” jointe à la présente notice
d'instructions. Une copie de celle-ci
devra être mise dans l'emballage de la
pompe avant expédition.

SH-100 Dry Scroll Vacuum Pump
7
DRAFT 7/7/04
Gebrauchsanleitung
Allgemeine Hinweise
Dieses Gerät ist für den professionellen Gebrauch
bestimmt. Vor dem Gebrauch soll der Benutzer dieses
Handbuch sowie alle weiteren von Vacuum Technologies
mitgelieferten Zusatzinformationen genau lesen. Bei voll-
ständiger bzw. teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen
Hinweise, unsachgemäßem Gebrauch durch unges-
chultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Benut-
zung unter Mißachtung der nationalen Bestimmungen
übernimmt Firma Vacuum Technologies keinerlei Haf-
tung.
Die Pumpe SH-100 ist eine hermetisch dichte trocken-
laufende Vakuumpumpe (Scrollpumpe).
Diese Vorvakuumpumpe eignet sich für das Pumpen von
Luft oder inerten Gasen. Die Pumpe ist nicht zum
Abpumpen von toxischen, korrosiven oder explosiven
Gasen geeignet. Ferner sind Partikel zu vermeiden.
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen
Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der
Verwendung des Geräts aufgeführt. Nähere Einzelheiten
sind den “Technical Information” auf Seite 15 zu entneh-
men.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
Lagerung
Während des Transports und der Lagerung der Pumpe sol-
len die folgenden Umgebungsbedingungen gegeben sein:
Vor Der Installation
Die Pumpe wird in einer speziellen Schutzverpackung
geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständi-
gen örtlichen Verkaufsstelle zu melden.
Das Verpackungsgewicht beträgt, einschließlich der
Pumpe SH-100, ungefähr 20 kg.
GEFAHR Die Gefahrenhinweise richten die
Aufmerksamkeit des Bedieners auf eine
spezielle Prozedur oder Praktik, die bei
unkorrekter Ausführung schwere Per-
sonenschäden zur Folge haben könnte.
ACHTUNG Die Warnhinweise vor bestimmten
Prozeduren machen den Bediener
darauf aufmerksam, daß bei Nichtein-
haltung Schäden am Gerät entstehen
können.
ANMERKUNG Die Anmerkungen enthalten wichtige
Informationen, die aus dem Text her-
vorgehoben werden.
Temperatur: −20 °C bis +60 °C
Relative Feuchtigkeit: 0 bis 95% (niederschlagsfrei)
GEFAHR Beim Auspacken ist darauf zu achten,
daß die Pumpe nicht fallengelassen
oder Stößen oder Vibrationen aus-
gesetzt wird.
ANMERKUNG Die Pumpe kann, wenn sie einfach
der Atmosphäre ausgesetzt ist, nicht
beschädigt werden. Sie sollte jedoch bis
zur Installation an der Anlage geschlos-
sen bleiben, um Verunreinigungen
durch Staub zu vermeiden.

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SH-100 Dry Scroll Vacuum Pump
DRAFT 7/7/04
Installation
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen installiert und/oder
benutzt werden, die ungeschützt vor Witterungsbedin-
gungen (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven
Gasen sind und in denen Explosions oder erhöhte
Brandgefahr besteht.
Während des Betriebs sollen die folgenden Umgebungs-
bedingungen gegeben sein:
Schließen Sie die Pumpe über ein Netzkabel (IEC-320
Typ) für mindestens 10 A an.
Gebrauch
Vor der eigentlichen Inbetriebnahme der Pumpe ist es zur
Erreichung des Grenzvakuums erforderlich, die Pumpe
ungefähr eine Stunde laufen zu lassen.
Die Einschaltung der Pumpe erfordert keine speziellen
Schritte, es ist lediglich der Schalter On/Off zu betätigen.
Das Einlaßventil wird ca. 10 sec. Nach Einschalten der
Pumpe öffnen.
Das Ausschalten der Pumpe erfordert keine speziellen
Schritte, sie braucht nur durch Betätigung des Schalters
On/Off abgeschaltet werden.
Wartung
Das für den Betrieb und die Wartung zuständige Personal
soll geschult sein und über eine solide Kenntnis der
Unfallschutzvorschriften verfügen.
Bei eventueller Verschrottung einer Pumpe ist diese
entsprechend der einschlägigen nationalen Vorschriften
zu entsorgen.
Temperatur: +5 °C bis +40 °C
Relative Feuchtigkeit 0 bis 95% (niederschlagsfrei)
ACHTUNG Stellen Sie sicher, daß die Betriebsspan-
nung mit der auf dem weißen Schild
(110 oder 220) neben dem Einschalter
On/Off auf der Rückseite der Pumpe
übereinstimmt.
Falls ein Wechsel der Spannung
erforderlich wird, nehmen Sie einen
kleinen Schraubendreher üm das
Abdeckschild zu entfernen. Drehen Sie
nun den Spannungsselektor auf die
gewünschte Spannung und schließen
das Abdeckschild. Sie sehen jetzt auf
einem weißen Hintergrund die von
Ihnen gewählte Spannung.
GEFAHR Die Pumpe ist für den Betrieb mit neu-
tralen und nicht korrosiven Fluiden
konzipiert. Der Einsatz mit potentiell
explosions- oder feuergefährlichen oder
giftigen Substanzen ist streng verboten.
ANMERKUNG Das Einlaßventil schließt unverzüglich
nach Abschalten der Pumpe.
GEFAHR ❑Hochspannungen können bei Kon-
takt tödliche Folgen haben. Es ist stets
mit größter Vorsicht und gemäß der gel-
tenden Unfallschutzvorschriften vor-
zugehen.
❑Bei eingeschaltetem Gerät ist auf
Bewegungs- und Hochspannungsteile
zu achten.
❑Falls die Pumpe im Anschluß an den
Betrieb gewartet werden soll, ist abzu-
warten, bis sie abgekühlt ist, da ihre
Oberfläche eine Temperatur von 60 °C
überschreiten kann.
❑Vor Wartungsarbeiten ist die Pumpe
stets energiefrei zu schalten.
ANMERKUNG Bevor dem Hersteller eine Pumpe zur
Reparatur zurückgesandt wird, ist das
Formular “Sicherheit und Gesundheit”
in der Anlage zum vorliegenden Hand-
buch auszufüllen und der lokalen
Verkaufsstelle zuzustellen. Eine Kopie
des Formulars ist der Pumpenverpack-
ung vor dem Versand beizulegen.

SH-100 Dry Scroll Vacuum Pump
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DRAFT 7/7/04
使用说明
一般信息
本设备仅可由专业人员操作和使用。操作本设备之前，使
用人员应认真阅读本使用手册及由 Vacuum Technologies
提供的其它所有相关说明。Vacuum Technologies 对于因
未按使用手册指导进行违规操作、未经培训人员执行不
当操作、未获授权的设备连接、或其它与特定国家标准及
规章相违反的行为而引起的任何问题或事件，概不负责。
SH-100 为气密型干滚式真空泵。此泵可稳定地泵吸空气
或惰性气体。此泵并非设计用于泵吸有毒、腐蚀性、爆炸
性或含有细微颗粒的气体。
以下说明旨在提供使用本设备时保障操作员安全需遵守
的事项及有关信息。详情说明，请参阅第 15 页“ 技术信
息”。
本手册使用以下标准安全警示标志：
贮存
当将泵运输到其它地方或进行贮存时，不应超出以下环
境范围要求：
安装准备
本泵在发货时采用特殊的保护性包装。如果发现运输期
间可能造成的包装受损迹象，请与当地销售办事处联系。
包装总重量，包括 SH-100 泵本身在内，约为 20 千克
(44 磅)。
警告
警告信息用于引起操作人员的注意力，
使其注意某个特定步骤或如果操作不当
便会导致严重人身伤害的操作。
注意
注意事项消息显示在操作步骤之前，必
须遵守，否则会损坏设备。
注释
注释包含从正文摘录的重要信息。
温度:−20 °C 至+60 °C (−4 °F 至140 °F)
相对湿度:0至95% (无冷凝)
警告
当拆开泵包装时请小心谨慎，避免将泵
跌落，或对其造成较大撞击或振动。
注释
在正常环境中置放和使用，不会对泵造
成任何损害。但建议您在将泵安装到系
统之前，让泵的入口保持密闭。

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SH-100 Dry Scroll Vacuum Pump
DRAFT 7/7/04
安装
不要将泵安装在易受自然天气侵害 (如下雨、下雪、结冰)
的环境中，不要在多尘、周围存在腐蚀性气体、易发生爆
炸场所或易引起火灾的环境中使用本泵。
操作期间，必须留意并符合以下环境条件。
使用额定电流至少为 10 A 的IEC-320 型电源电缆，将泵
连接到主供电电源上。
使用
为确保达到最高真空度，必须让泵在入口密封密闭的情
况下运行至少约一小时。
起动泵并无特别要求；只需使用 On/Off 开关将泵置于电
源打开状态。
泵起动后，入口阀将打开约 10 秒钟。
停止泵并无特别要求；只需使用 On/Off 开关将泵置于断
开电源的状态。
泵停止后，入口阀将立即关闭。
维护与维修
负责操作和维护泵的人员，必须接受良好的专业培训，并
熟知突发事件预防及处理规程。
如果需要将泵废弃并丢弃，必须遵守本国的特定废品处
理规章。
温度:+5°C 至+40 °C (41 °F 至104 °F)
相对湿度:0至95% (无冷凝)
注意
检查并确保设备的供电电源电压与泵体
背面电源开关旁边的调整片指示的电压
一致
(110V 或 220V) 。
如果需要修改电压，请使用小号螺丝刀
拨开电源模块上的调整片护架。将白色
调整片拨到指向正确的电压，然后重新
装回调整片护架。
警告
此泵设计用于输送中性或非腐蚀性液
体。严禁用此泵输送存在潜在爆炸、
易燃或毒性危险的物质。
警告 ❑
接触高电压将有导致死亡的危险。
应始终保持格外小心，并遵守预防突发
事件的规章和要求。
❑ 机器处于开机运转状态时，应特别留
意避开移动部件和高压区。
❑ 如果在操作一定时间之后需要对泵进
行维修检查，应让泵先完全冷却，
因为操作期间泵体外表的温度可能超过
60 °C
。
❑ 在开始维修之前，必须先断开泵的电
源连接。
注释
在将泵退回工厂修理之前，必须填写本
手册中附带的
“ 健康与安全证明 ” 单，
并将其寄至当地销售办事处。退运产品
进行包装时，应将此证明单的一份副本
放入泵的包装箱内。

SH-100 Dry Scroll Vacuum Pump
11
DRAFT 7/7/04
はじめに
一般情報
本装置は、専門家による使用を想定して設計されていま
す。ユーザーは装置を使用する前に、本取扱説明書、お
よび Varian Technologies が提供するその他の情報を読
んでください。これらの説明書の指示を守らなかった
場合や未熟練者による誤用、装置に対する未認可の干
渉、または該当する国内基準に反する行動によって発生
した事態に対し責任を負いません。
SH-100 は密封式ドライ スクロール真空ポンプです。こ
のポンプは、エアまたは不活性ガスのポンピングに適し
ています。ポンプは、有害ガス、腐食性ガス、爆発性ガ
ス、または粒子生成ガスには適していません。
下記には装置を使用するオペレータの安全を保障する
ための情報が記載されています。詳細情報は、15ページ
の“Technical Information” に記載されています。
本マニュアルは、以下の標準安全規約を採用していま
す。
保管
ポンプを輸送および保管する際は、以下の環境条件を
守ってください。
取付け準備
ポンプは特別な保護梱包材に入れられて供給されます。
梱包材にキズや破れがある場合、輸送中に損傷したもの
と思われますので、最寄の営業所にお問い合わせくださ
い。
SH-100 ポンプを含む荷物の総重量は約 20 kg です。
警告
警告文は、正しく守らなければ深刻な
ケガにつながる特定の手順や業務につ
いて、オペレーターに注意を促すため
のものです。
注意
注意文は、守らなければ装置への損傷
につながるような手順の前に記載され
ています。
注記
注記は、文章から選択された重要な情
報を含んでいます。
温度:−20 °C ~ +60 °C (−4 °F ~ 140 °F)
相対湿度: 0 ~ 95% (結露なきこと)
警告
ポンプを開梱する際に落としたり、衝
撃や振動を与えないようにしてくださ
い。
注記
通常の環境下ではポンプは損傷するこ
とはありません。
ただし、ポンプをシ
ステムに設置するまでポンプの吸気口
は閉じておくことをお勧めします。

12
SH-100 Dry Scroll Vacuum Pump
DRAFT 7/7/04
設置
大気中の作用物 (雨、雪、氷)、ダスト、悪性ガスにさら
されるような環境、爆発性雰囲気、または火災危険度の
高い環境下でポンプを設置したり、使用したりしないで
ください。
動作時は以下の環境条件に準拠してください：
容量が 10A 以上の IEC-320 型パワー コードを使用して
ポンプを電源に接続してください。
使用
最大真空圧に達するには、吸入口を閉じた状態でポンプ
を約 1 時間、回しておく必要があります。
ポンプを始動する上で特別な手順は要りません。オン /
オフ スイッチをオンにするだけです。
ポンプが始動してから約 10 秒後に吸入バルブが開きま
す。
ポンプを停止する上で特別な手順は要りません。オン /
オフ スイッチにより電源から切り離すだけです。
ポンプが停止すると同時に吸入バルブが閉じます。
保守
ポンプの操作•保守責任者は、十分な訓練を受けており
事故防止規則に精通している必要があります。
ポンプを廃棄する場合、該当する国内基準を守ってくだ
さい。
温度:+5 °C ~ +40 °C (41 °F ~ 104 °F)
相対湿度:0~95%(結露なきこと)
注意
ご使用の主電力電圧が、ポンプ背面の
オン
/ オフ スイッチの隣にある白いタ
ブに記載されている数値
(110 または
220)
と一致していることを確認して
ください。
電圧変換が必要な場合、小型のドライ
バーでパワー
モジュールのタブ ホル
ダを取り外します。
正しい電圧値が外
側から見えるように白いタブの位置を
決め、タブ
ホルダを元の位置に戻し
ます。
警告
ポンプは中性、または非腐食性の液体
を使用する目的で設計されています。
潜在的に爆発性、可燃性、または毒性
を有する物質へのご使用は厳禁です。
警告 ❑
高電圧に触れると死亡する恐れがあ
ります。
常に十分な注意を払い、事故
防止規則を守ってください。
❑ 機械が起動したとき、可動部品およ
び高電圧に注意してください。
❑ ポンプを長時間使用した後で保守作
業を行わなければならない場合、冷め
るまで待ってください。外部表面の温
度は
60 °C を超えている場合がありま
す。
❑ 保守作業を始める前に、必ずポンプ
への電源を切り離してください。
注記
修理のためにポンプを工場へ返却する
前に、本取扱説明書に添付されている
「健康安全」の用紙に記入して、最寄
の営業所に送付する必要があります。
ポンプを発送する前に、用紙のコピー
を同梱してください。

SH-100 Dry Scroll Vacuum Pump
13
DRAFT 7/7/04
사용 지침
일반 정보
본장비는 전문가가 사용하도록 설계되었습니다. 사용자
는장비를 조작하기 전에 본사용 설명서 및Vacuum
Technologies가제공한 추가 정보를 주의 깊게 읽어야 합
니다. Vacuum Technologies는본설명서 내용의 미준수,
교육받지 않은 작업자에 의한 부적절한 사용, 비승인 개조,
또는 정해진 국가 규정에 반하는 모든 행위에 의해 발생
한결과에 대해 아무런 책임도 지지 않습니다.
SH-100는밀폐형 건식 스크롤 진공 펌프입니다. 이펌프
는공기 또는 불활성 가스의 펌핑 작업에 적합합니다.
이펌프는 유독성, 부식성, 폭발성 또는 미립자-성형 가스
의펌핑 작업용으로 고안되지 않았습니다.
다음 내용들은 본장비 사용시에 작업자의 안전을 보장하
기위한 모든 필수 정보를 포함하고 있습니다. 상세한 정
보는 15 페이지의 “Technical Information” 을참조하십시
오.
본설명서는 다음과 같은 표준 안전 심볼을 사용합니다.
보관
펌프를 운송하거나 보관할 때는 다음과 같은 환경적 조건
들을 초과해서는 안됩니다.
설치 준비
이펌프는 특수 보호 포장 상태로 공급됩니다. 운송 도중
에발생한 것으로 보이는 손상의 흔적이 있으면 현지의
판매 사무소로 연락하십시오.
SH-100 펌프를 포함한 포장품의 총중량은 약20 kg
(44 lbs)입니다.
경고
경고 메시지는 정확히 따르지 않을 경
우
심각한 상해를 입을수 있는 특정 작
업
절차 또는 작업 방법을 표시합니다 .
주의
주의 메시지는 작업 절차를 따르지
않을 경우 장비에 손상을 입힐 수 있는
주의 사항을 표시합니다 .
참고
참고는 알아두어야 할 중요 정보를
표시합니다 .
온도:−20 °C ~ +60 °C (−4 °F ~ 140 °F)
상대 습도: 0 ~ 95% (비응축)
경고
펌프를 포장할 때는 떨어뜨리거나 , 갑
작스러운
충격을 가하거나 , 흔들리지
않도록 주의하십시오 .
참고
일반적인 상황에서는 펌프가 손상되지
않습니다 . 하지만 , 펌프를 시스템에 설
치하기
전까지는 펌프의 흡입구를 막아
놓는 것이 좋습니다 .

14
SH-100 Dry Scroll Vacuum Pump
DRAFT 7/7/04
설치
비, 눈, 얼음, 먼지 또는 활성 가스에 노출되거나, 폭발 또
는화재 발생 우려가 있는 환경에서는 이펌프를 설치하
거나 사용하지 마십시오.
환경 조건이 다음과 같을 때만 작업하십시오.
최하 10 A 정격의 IEC-320 형식 전원 코드를 사용하여 펌
프와 전원 공급장치를 연결하십시오.
사용
최대의 진공 성능을 얻으려면 흡입구가 실링된 상태에서
약1시간 정도 펌프를 구동시켜야 합니다.
특별한 펌프 작동 방법은 없습니다. ON/OFF 스위치를 ON
에놓기만 하면 됩니다.
흡입 밸브는 펌프가 구동되기 시작한 후10 초정도 지나
면열립니다.
특별한 펌프 정지 방법은 없습니다. ON/OFF 스위치를 사
용하여 전원 공급을 차단하기만 하면 됩니다.
펌프를 정지시키면 흡입 밸브는 즉시 닫힙니다.
유지 보수
펌프 작동 및유지 보수 책임자는 충분한 교육을 받아야
하며, 사고 방지 지침을 철저히 인식하고 있어야 합니다.
펌프는 정해진 국가 규정에 따라 폐기해야만 합니다.
온도:+5 °C ~ +40 °C (41 °F ~ 104 °F)
상대 습도:0~95%(비응축)
주의
사용 장소의 메인 전압은 펌프 뒤쪽의
ON/OFF
스위치 근처에 있는 흰색 탭에
표시된 전압 (110 또는 220) 과 일치해야
합니다 .
전압 변환이 필요할 경우에는 작은 스
크류
드라이버로 전원 모듈의 탭 홀더
를
떼어 내십시오 . 흰색 탭이 정확한 전
압을
표시하도록 위치를 조정한 다음
탭 홀더를 다시 부착하십시오 .
경고
이 펌프는 중성 또는 비부식성 용액의
펌핑 작업용으로 설계되었습니다 . 폭발
성
, 인화성 또는 유독성 물질의 펌핑 작
업에는
절대로 이 펌프를 사용하면 안
됩니다
.
경고 ❑
고전압에 감전되어 목숨을 잃을 수도
있습니다 . 각별한 주의를 기울임과 동
시에
사고 방지 지침을 철저히 준수해
야만
합니다 .
❑ 장비에 전원이 들어와 있을 때는 작
동
부품 및 고전압에 각별히 주의하십
시오
.
❑ 상당히 오랜 시간 동안 사용했을 경
우에는
, 펌프 표면 온도가 60 °C 이하가
될 때까지 식힌 다음 유지 보수 작업을
실시하십시오 .
❑ 유지 보수 작업을 시작하기 전에 반
드시
펌프와 전원 공급장치의 연결을
차단하십시오 .
참고
펌프 수리를 위해 공장으로 반송할 경
우에는
본 사용 설명서에 부착된 “ 보건
및 안전 ” 증명서를 작성하여 현지 판매
사무소로 보내야 합니다 . 발송하기 전
에
, 증명서 사본 1 부를 포장된 펌프에
동봉해야 합니다 .

SH-100 Dry Scroll Vacuum Pump
15
DRAFT 7/7/04
Technical Information
Table 1 Specifications
Model SH-100 Dry Scroll Single Hermetic Vacuum Pump
Interface dimensions See Figure 1 on page 16
Peak pumping speed 50 Hz: 83 L/m, 5 m3/hr (2.9 cfm)
60 Hz: 100 L/m, 6 m3/hr (3.5 cfm)
See Figure 2 on page 17 for details
Media No toxic, corrosive, explosive or particulate forming gases
Ultimate pressure 5.0 x 10−2Torr (6.6 x 10−2mbar)
Maximum inlet pressure 1.0 atmosphere (0 psig)
Maximum outlet pressure 1.5 atmosphere (7.5 psig)
Inlet connection NW25
Exhaust connection Female 1/4" National Pipe Thread (NW16 adapter provided)
Gas ballast Female 1/8" National Pipe Thread, (20 micron sintered plug provided)
Ambient operating temperature 5 °C to 40 °C (41 °F to 104 °F)
Storage temperature —20 °C to 60 °C (—4 °F to 140 °F)
Motor rating 0.5 HP (0.37 kW)
Operating voltages 1 phase/50-60 Hz/100-115:200-230 VAC
Run current See Table 3 on page 20
Motor thermal protection Type U automatic
Operating speed 60 Hz: 1725 RPM, 50 Hz: 1425 RPM
Cooling system Air-cooled
Weight Pump only: 19.1 kg (42 lbs)
Shipping weight: 20 kg (44 lbs)
Leak rate (with exhaust sealed) <1 x 10−7sccs helium
Noise Level (per ISO 11201) 56 dB(A)
Vibration level at inlet (per ISO 10816-1) Class 1B, 1.5 mm/s
Fuse type M5 x 20 mm, 10 A, Slo-Blo,
Littelfuse Model H215010 or equivalent
Hour meter Integral Hour Meter provided, displays running time to closest .1 hour
Conformance standards Conforms to SEMI S2-0200 and applicable UL, C-UL, and CE standards.