LEYBOLD TURBOTRONIK NT 20 User manual

Vakuum-Lösungen Applikations-
Unterstützung Service LEYBOLD VACUUM
TURBOTRONIK
NT 20
Elektronischer
Frequenzwandler
Electronic Frequency
Converter
Kat.-Nr. / Cat. No.
857 20/21/22
Operating Instructions
Gebrauchsanleitung
GA 05.208/12

Beschreibung
Inhalt
Seite
1 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
1.1 Aufbau und Funktion. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
1.2 Lieferumfang. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.3 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.4 Bestelldaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2 Anschluss . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.1 Netzspannung einstellen (Option). . . . . . . . . . . 6
2.2 TURBOVAC anschließen . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.3 Vorvakuumpumpe anschließen. . . . . . . . . . . . . 6
2.4 Kühlung anschließen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.5 Belüftungsventil anschließen . . . . . . . . . . . . . . 7
2.6 Flanschheizung anschließen. . . . . . . . . . . . . . . 7
2.7 Fernsteuerung anschließen . . . . . . . . . . . . . . . 9
2.8 TURBOTRONIK einbauen . . . . . . . . . . . . . . . 10
3Bedienung und Betrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
3.1 Inbetriebnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
3.2 TURBOVAC starten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
3.3 TURBOVAC ausheizen . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
3.4 Betrieb. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
3.5 TURBOVAC abschalten . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
3.6 TURBOVAC belüften. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
3.7 TURBOTRONIK ausschalten . . . . . . . . . . . . . 12
3.8 Wartung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
4 Fehlersuche . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
EG-Konformitätserklärung. . . . . . . . . . . . . . . . 14
The English Operating Instructions
start on page ............................................................ 16
Die TURBOTRONIK NT 20 sind nach dem Stand der
Technik und den anerkannten sicherheitstechnischen
Regeln gebaut. Dennoch können bei unsachgemäßer
Installation oder nicht bestimmungsgemäßem Gebrauch
Gefahren und Schäden entstehen.
1 Beschreibung
1.1 Aufbau und Funktion
Der elektronische Frequenzwandler TURBOTRONIK NT
20 dient zum Antrieb der Turbo-Molekularpumpen:
TURBOVAC 150, 360,
TURBOVAC 150 CSV, 360 CSV,
TURBOVAC 150 V, 360 V,
TURBOVAC 151, 151 C, 361, 361 C
TURBOVAC 600, 600 C,
TURBOVAC 1000, 1000 C, 1100 C
Diese Pumpen enthalten je einen Drehstrom-Asynchron-
motor unterschiedlicher Leistung zum Antrieb des
Rotors.
Die TURBOTRONIK NT 20 formt die einphasige Netz-
spannung in eine dreiphasige Wechselspannung um, die
in Frequenz und Amplitude geregelt wird.
Jede angeschlossene TURBOVAC hat eine eigene
Codierung. Außerdem muss über DIP-Schalter eine
Codierung des Pumpentyps eingegeben werden. Aus
Sicherheitsgründen wird die TURBOVAC nur angetrie-
ben, wenn beide Codierungen übereinstimmen.
Abhängig vom jeweils angeschlossenen Typ sind das
Hochlaufverhalten, die Regelung während des Betriebes
und die Enddrehzahl unterschiedlich.
TURBOVAC 150 H und TURBOVAC 360 H werden von
der TURBOTRONIK NT 20 nicht unterstützt.
Die Drehzahl jeder TURBOVAC kann im Bedarfsfall
durch den LEYBOLD-Kundendienst um ±5% angepasst
werden.
Über die an der Rückseite der TURBOTRONIK NT 20
befindliche Klemmleiste kann die TURBOTRONIK
potentialfrei an externe Steuer- und Überwachungs-Ein-
richtungen (z.B. Steuergerät LEYBOTRONIK I) ange-
schlossen werden; hierüber können sowohl die Fernbe-
dienung als auch die Zustands-Meldungen des Pump-
Systems erfolgen.
Eine Steuerung für Vorvakuumpumpe, Heizung oder
Ventile ist möglich.
Eine RS-232-Schnittstelle bietet eine weitere Überwa-
chungsmöglichkeit. Zyklisch alle 8 s werden alle wichti-
gen internen Parameter ausgegeben; zu Einzelheiten
erbitten wir Ihre Anfrage.
Zur Bedienung der TURBOTRONIK NT 20 befinden sich
auf der Frontplatte drei Tasten:
HEATING, START und STOP.
Wichtige Betriebszustände, wie Drehzahl, Last oder
Störung werden über LEDs angezeigt.
2GA 05.208/12 - 05/2003
Abbildungen
Abbildungshinweise, z. B. (2/10), geben mit der ersten Ziffer die
Abbildungsnummer an und mit der zweiten Ziffer die Position in die-
ser Abbildung.
Vorsicht
Steht bei Arbeits- und Betriebsverfahren, die genau einzuhalten sind,
um eine Gefährdung von Personen auszuschließen.
Achtung
Bezieht sich auf Arbeits- und Betriebsverfahren, die genau einzuhal-
ten sind, um Beschädigungen und Zerstörungen des Gerätes zu ver-
meiden.
Eine Änderung der Konstruktion und der angegebenen Daten behal-
ten wir uns vor.
Die Abbildungen sind unverbindlich.

GA 05.208/12 - 05/2003
Beschreibung
3
Abb. 1 Frontseite der TURBOTRONIK NT 20, Erläuterungen siehe Tabellen 1 und 2
Tabelle 1: Betriebszustand-Anzeige durch die LEDs auf der Frontseite
LED Farbe Anzeige
LOAD grün LED “START” leuchtet: Drehzahl der TURBOVAC (einzelne LED, lineare Anzeige)
(LED Kette) LED “OVERLOAD” leuchtet: Drehzahl der TURBOVAC (einzelne LED, lineare Anzeige)
LED “NORMAL” leuchtet: Motorstrom (LED Kette, logarithmische Anzeige)
LED “FAILURE” leuchtet: Fehlercode (LED “LOAD” blinkt)
REMOTE gelb Leuchtet, falls der Frequenzwandler über die Fernsteuereingänge gesteuert wird;
Tastenbetätigung wird ignoriert.
POWER grün Leuchtet bei eingeschalteter Netzversorgung.
NORMAL grün Leuchtet im Normal-Betrieb, Drehzahl ist größer als 80% der Soll-Drehzahl.
Blinkt während Hochlauf und “OVERLOAD”.
FAILURE rot Leuchtet bei Fehler.
HEATING grün Leuchtet, wenn die Heizung eingeschaltet ist.
Blinkt, wenn Heizung vorgewählt wurde.
OVERLOAD gelb Leuchtet bei Überlast, d.h. die Drehzahl ist nach dem Ende der Hochlaufzeit kleiner als 80% der Soll-Drehzahl.
START grün Leuchtet bei Hochlauf der TURBOVAC.
Blinkt, wenn Startverzögerungszeit aktiv ist.
STOP grün Leuchtet, wenn die TURBOVAC ausgeschaltet ist.
Tabelle 2: Funktionen der Tasten auf der Frontseite
Taste Funktion
HEATING Heizung der TURBOVAC ein- und ausschalten.
START Hochlauf der TURBOVAC starten.
STOP TURBOVAC ausschalten.
Fehlermeldung zurücksetzen.
TURBOTRONIK NT 20

Beschreibung
4GA 05.208/12 - 05/2003
1.2 Lieferumfang
Elektronischer Frequenzwandler TURBOTRONIK
NT 20 mit Gehäuse als Tischgerät.
Netzleitung
mit Schutzkontakt-Stecker (Kat.-Nr. 857 20)
oder US-Netzstecker (Kat.-Nr. 857 21/22),
Feinsicherungen: 2x T6,3A, 2x T4,0A, 2x T3,15A,
2x T1,0A, 2x T0,2A sowie
3 Geräte-Stecker,
2 Klemmleisten,
1 Kupplungs-Steckdose und die
Gebrauchsanleitung.
1.3 Technische Daten
Netzspannung, umschaltbar
100/120/220/240 V,+10%/-15%
Netzfrequenz 50/60 Hz
Leistungsaufnahme einschließlich
angeschlossener Verbraucher <1000 VA
Leistungsaufnahme der TURBOVAC <400 VA
Ausgang für den Motor
Nennspannung 42 V
Zwischenkreis-Strom-Begrenzung
Hochlauf (max. 10 min) 5 A
Dauerbetrieb 3,5 A
Drehzahlen der TURBOVAC
TURBOVAC 150 / 151 50 000 min-1
TURBOVAC 360 / 361 45 000 min-1
TURBOVAC 600 36 000 min-1
TURBOVAC 1000 36 000 min-1
TURBOVAC 1100 30 000 min-1
Steuer-Eingänge - digital, potentialfrei
jede Klemme, max. 25 Veff AC, 60 V DC
gegen Schutzleiter
LEYBOTRONIK I-kompatibel
High-Pegel; zwischen “+” und “-” Klemme
13 V...33 V/max. 10 mA
Low-Pegel; zwischen “+” und “-” Klemme 0 V...7 V
Impulsdauer >200 ms
für Fernsteuerung aktiv, Pumpe “START”,
Pumpe “STOP”, Heizung Ein/Aus
Steuer-Ausgänge
Relais max. 250 VAC, 3 A
50 V DC, 2 A (ohmsche Last)
für Normalbetrieb Arbeitskontakt
für Hochlauf Arbeitskontakt
für Störung Wechslerkontakt
Vorvakuumpumpe “FOREPUMP”
Relaiskontakt max. 6 A, 750 VA, 250 V
Versorgungs-Ausgänge VALVE, HEATER, FAN
Über Relais wird die Netzspannung durchgeschaltet
Zulässiger Strom für alle 3 Ausgänge zusammen
4,5 A bei 100 - 120 V AC
6 A bei 220 - 240 V AC
Betriebstemperatur; bei ausreichend
freier Konvektion der Seitenprofile 0-45°C
Lagerungstemperatur -25°C...+70°C
Feuchteklasse F, DIN 40 040
Schutzklasse 1
Elekrische Sicherheit nach IEC 1010/VDE 0411
Störstrahlung nach VDE 0871 Störgrad B
EMV nach IEC 801-2 Schärfegrad 2
Abmessungen 1/219“, 3HE
Gewicht 8,5 kg

Beschreibung
1.4 Bestelldaten
Kat.-Nr.
Elektronischer Frequenzwandler
TURBOTRONIK NT 20
230 V 857 20
120 V 857 21
100 V 857 22
Verbindungsleitung zur TURBOVAC
3 m lang 857 65
5 m lang 857 66
10 m lang 857 67
20 m lang 857 68
Einbaurahmen 19“, 3HE 161 00
Stromausfallfluter 174 26
Verzögernde Belüftungs-Einrichtung 012 44
Flutventil zur verzögernden
Belüftungs-Einrichtung 012 45
5
GA 05.208/12 - 05/2003
Abb. 2 Maßzeichnung der TURBOTRONIK NT 20, Maße in mm
Frontplatte
Gehäuse

Anschluss
2 Anschluss
Vorsicht Die Anschlüsse für Vorvakuumpumpe, Küh-
lung, Belüftungsventil und Flanschheizung
dürfen nur von einem Fachmann entspre-
chend den VDE-Richtlinien durchgeführt
werden.
Vorsicht Im Innern der TURBOTRONIK liegen
gefährliche Spannungen an.
Die TURBOTRONIK nur öffnen, wenn sie
vom Netz getrennt ist.
2.1 Netzspannung einstellen
(Option)
Der Netzspannungsbereich der TURBOTRONIK kann
geändert werden.
Achtung Die TURBOTRONIK wird beschädigt, wenn
sie mit falscher Netzspannungs-Einstellung
mit dem Netz verbunden wird.
Zur Änderung der Netzanschluss-Spannung den Blind-
stecker (3/13) mittels Schraubendreher abhebeln und
gemäß dem aufgeprägten Spannungsbild wieder ein-
stecken.
Die gewählte Spannungsbezeichnung muss unmittelbar
neben dem Pfeil stehen.
Bei Änderung der Netzanschluss-Spannung die Netzsi-
cherung gemäß anschließender Tabelle wechseln.
Sicherungen
LINE VALVE HEATING FAN
————————————————————————
100/120 V T 6,3 A T 0,2 A T 3,15 A T 1,0 A
220/240 V T 4,0 A T 0,2 A T 3,15 A T 1,0 A
Bei Bedarf können für “VALVE”, “HEATING” und “FAN”
andere Sicherungen eingebaut werden. Dabei darf die
Summe der Sicherungsstärken für die 3 Anschlüsse
zusammen höchstens betragen:
- 4,5 A für 100/120 V,
- 6,0 A für 220/240 V.
Die Netz-Anschlussleitung in die Steckdose (3/12) ein-
stecken.
2.2 TURBOVAC anschließen
Verbindungsleitung zur TURBOVAC bei (3/3) und an der
TURBOVAC einstecken und befestigen.
2.3 Vorvakuumpumpe
anschließen
Die Vorvakuumpumpe über den Relais-Kontakt-Aus-
gang (3/2) anschließen. Durch Drücken der Taste
START wird der Kontakt unverzögert geschlossen und
die Vorvakuumpumpe eingeschaltet.
Abgeschaltet wird die Vorvakuumpumpe nach Drücken
der Taste STOP und bei einem Fehler; Schaltungs-Bei-
spiele siehe Abb. 4.
Eine Startverzögerung der TURBOVAC kann bei (3/6)
eingestellt werden; siehe Abschnitt 3.1.
2.4 Kühlung anschließen
Die Kaltgeräte-Steckdose (3/8) wird bei Beginn des
Hochlaufs der TURBOVAC mit Netzspannung versorgt;
max. Belastung 100 VA. Die dazugehörende Sicherung
(3/10) sitzt unterhalb der Steckdose.
Die Versorgung wird abgeschaltet nach Betätigen der
Taste STOP, nach Ausschalten mit dem Netzschalter
„POWER“ oder nach Trennen der Netzleitung vom Netz.
An die Steckdose (3/8) kann ein Magnetventil für die
Wasserkühlung oder ein Lüfter angeschlossen werden.
6GA 05.208/12 - 05/2003

GA 05.208/12 - 05/2003
Anschluss
7
Abb. 3 TURBOTRONIK NT 20, Rückseite
Erläuterungen zur Abb. 3
1 Netzschalter
2 Relaiskontakt-Ausgang für
Vorvakuumpumpe EIN / AUS
3 Anschluss für die Versorgung
der TURBOVAC
4 Anschlussbuchse für die
RS-232-Schnittstelle
(nur für Leybold-Service)
5 Anschluss-Klemmleiste;
siehe auch Abb. 5
6 Potentiometer zur Einstellung
der Verzögerungszeit
7 DIP-Schalter für die Einstellung
des Pumpentyps
8 Anschluss für Lüfter oder
Magnetventil für Wasserkühlung
9 Anschluss für Heizung
10 Sicherungen
11 Anschluss für ein Belüftungsventil
12 Anschluss der Netzleitung
13 Sicherung mit Steckfassung
für Netzspannungswahl
12
3
4
5
13 12 11 10 9876
2.5 Belüftungsventil
anschließen
Die Steckdose (3/11) wird nach START unverzögert mit
Netzspannung versorgt. Bei STOP, FAILURE oder Netz-
Aus mit dem Schalter (3/1) wird abgeschaltet; die max.
Belastung beträgt 100 VA.
Die dazugehörende Sicherung (3/10) sitzt unterhalb der
Steckdose.
Stromausfallfluter oder Sperrgas- und Belüftungs-
ventil
Wenn die TURBOVAC ohne Sperrgas betrieben wird,
den Stromausfallfluter an der Steckdose (3/11) VALVE
anschließen.
Wenn die TURBOVAC mit Sperrgas betrieben wird, das
Sperrgas- und Belüftungsventil an der Steckdose (3/11)
VALVE anschließen.
Jeder kurze Stromausfall führt sofort zum Belüften der
Pumpe.
Verzögernde Belüftungs-Einrichtung und Flutventil
Durch Anschluss der verzögernden Belüftungs-Einrich-
tung (siehe Abschnitt 1.4) kann beim Abschalten oder
bei Stromausfall zum Schutz einer Apparatur oder eines
Prozess-Ablaufs der Beginn und die Dauer des Belüf-
tungsvorganges eingestellt werden.
Die Einstellzeit lässt sich zwischen 3 bis 15 Minuten vari-
ieren.
Kurzzeitiger Stromausfall bewirkt keine unerwünschte
Belüftung.
Die Belüftungs-Einrichtung bei (3/11) anschließen.
2.6 Flanschheizung
anschließen
(nur für Pumpen mit CF-Anschluss-Flansch)
An der Steckdose (3/9) liegt Netzspannung an, wenn
sich die Pumpe in NORMAL-Betrieb befindet und HEA-
TING eingeschaltet ist; die maximale Belastung beträgt
300 VA.
Die dazugehörende Sicherung (3/10) sitzt unterhalb der
Steckdose.
Die Flanschheizung für die TURBOVAC an der Steckdo-
se (3/9) HEATER anschließen.

GA 05.208/12 - 05/2003
Anschluss
8
Erläuterungen zur
Abb. 5
Eingänge
1 REMOTE “-”
2 REMOTE “+”
3 “STOP” “-”
4 “STOP” “+”
5 “START” “-”
6 “START” “+”
7 HEATING ”-”
8 HEATING “+”
Ausgänge (Relais)
9 GND
10 + 15 V
11 NORMAL
12 NORMAL
13 FAILURE NO (normally open, Schließer)
14 FAILURE C (Common, gemeinsamer Punkt)
15 FAILURE NC (normally closed, Öffner)
16 ACCEL (Hochlauf)
17 ACCEL (Hochlauf)
18 Option Trigger
19 Option Zwischen-
20 Option kreisstrom
Abb. 5 TURBOTRONIK NT 20, Rückseite;
Belegung der Klemmleiste (3/5)
Abb. 4 Schalt-Beispiele für den Motor-Anschluss der Vorvakuumpumpe
Leistung <750 VA /einphasig Leistung >750 VA /einphasig dreiphasig
FAILURE FAILURE
Relais-Zustand VALVE HEATER FAN FOREPUMP ACCEL 13/14 14/15 NORMAL
(3/11) (3/9) (3/8) (3/2) Abb. 5 Abb. 5 Abb. 5
Netz aus offen offen offen offen offen offen geschlossen offen
STOP offen offen offen offen offen offen geschlossen offen
Einschaltverzögerung Netz offen offen geschlossen geschlossen offen geschlossen offen
anliegend
Hochlauf Netz offen Netz geschlossen geschlossen offen geschlossen offen
anliegend anliegend
NORMAL Netz Netz Netz geschlossen offen offen geschlossen geschlossen
anliegend anliegend* anliegend
Überlast Netz Netz Netz geschlossen offen offen geschlossen geschlossen
anliegend anliegend* anliegend
Fehler; TURBOVAC rotiert offen offen offen offen offen geschlossen offen offen
* falls gewählt
Tabelle 3

Anschluss
2.7 Fernsteuerung
anschließen
Die Klemmleiste (3/5) ist entsprechend der Abb. 5
belegt.
Schalt-Beispiele siehe Abb. 6.
Technische Daten siehe Abschnitt 1.3.
Die Relais-Zustände sind der Tabelle 3 zu entnehmen.
Fernsteuerung erfolgt über externe SPS-Signale oder
über die eigenen Ausgänge 9 (GND) und 10 (+15V).
Bei Impulssteuerung muss die Impulsdauer >200 ms
sein.
Hinweis zum Schalt-Beispiel “EIN-/AUS-Schalter”
Siehe Abb.6. Wenn statt des EIN-/AUS-Schalters eine
Brücke zwischen Pin 4 und 10 gelegt wird, läuft die TUR-
BOVAC beim Einschalten der TURBOTRONIK automa-
tisch hoch.
Eingänge - Fernsteuerung aktiv
“REMOTE” Schaltet die Tastatur ab und aktiviert
die Fernsteuer-Eingänge;
Dauersignal, High-aktiv
Pumpe “START“ Impuls oder Dauersignal; High-aktiv
Pumpe “STOP” Impuls oder Dauersignal; Low-aktiv
“HEATING” Heizung EIN/AUS Statisches Signal;
High = Ein, Low = Aus
Aus sicherheitstechnischen Gründen ist die Funktion
STOP (Low-aktiv) dominant.
Um die TURBOTRONIK über die Fernbedienung zu
starten, müssen die
REMOTE-Eingänge aktiviert sein,
d.h. High-Pegel zwischen “+” und “-” Klemme,
STOP-Eingänge inaktiviert sein,
d.h. High-Pegel zwischen “+” und “-” Klemme,
START-Eingänge aktiviert werden,
d.h. High-Pegel zwischen “+” und “-” Klemme.
Ausgänge
Hochlauf (Arbeitskontakt)
Normalbetrieb (Arbeitskontakt)
Fehler (Wechsler)
Spannung +15 V benutzbar zur Steuerung der REMO-
TE-Eingänge.
9
GA 05.208/12 - 05/2003
Abb. 6 Anschluss der Fernsteuerung
Klemmen-Nr. Klemmen-Nr. Klemmen-Nr.
Aktive Ansteuerung mit einem Spannungs-
Signal; LEYBOTRONIK I kompatibel Passive Ansteuerung mit Kontakten;
durch Taster Passive Ansteuerung mit Kontakten;
durch EIN-/AUS-Schalter
5
6
9
10
5
6
5
6
9
10
aktiv = 13 V ... 33 V
inaktiv = 0 V ... 7 V
aktiv = 0 V ... 7 V
inaktiv = 13 V ... 33 V
aktiv = 13 V ... 33 V
inaktiv = 0 V ... 7 V

Anschluss
2.8 TURBOTRONIK
einbauen
Zum Einbau in einen Schaltschrank den Einbaurahmen
19“, 3HE verwenden!
Die Wärmeabfuhr der TURBOTRONIK darf nicht behin-
dert werden. Für ausreichende Belüftung sorgen.
Die Umgebungs-Temperatur darf 45°C bei Betrieb nicht
übersteigen. Besonders auf ausreichende Wärmeabfuhr
der beiden Seitenprofile achten. Zwei TURBOTRONIK
NT 20 können in der Regel nicht nebeneinander in ein
19“-Rack einbebaut werden.
Wenn die Rückseite der TURBOTRONIK nach dem Ein-
bau nicht mehr zugänglich ist, die DIP-Schalter und den
Netzschalter (3/1) vor dem Einbau einschalten und ggf.
die Startverzögerung einstellen; siehe dazu Abschnitt
3.1.
Vorsicht Bei Rack-Montage ist der Gerätestecker
nicht leicht erreichbar. Deshalb bei Rack-
Montage eine Trennung der TURBOTRO-
NIK vom Netz vorsehen.
Vorsicht Die TURBOTRONIK darf mit der serien-
mäßigen Netzleitung nicht in chemisch
aggressiver Umgebung betrieben werden.
Bei Betrieb in chemisch aggressiver Umge-
bung die Netzleitung durch eine entspre-
chend resistente ersetzen.
10 GA 05.208/12 - 05/2003

GA 05.208/12 - 05/2003
3.1 Inbetriebnahme
DIP-Schalter-Einstellungen
Es ist erforderlich, die DIP-Schalter auf der Geräte-
Rückseite - “INTERFACE” - (3/7) auf den jeweiligen
Pumpen-Typ einzustellen; siehe Tabelle 4.
In Kombination mit der automatischen Pumpenkennung
übernimmt die pumpenspezifische DIP-Schalter-Einstel-
lung eine zusätzliche Sicherheitsfunktion. Damit ist
sichergestellt, dass die jeweils angeschlossene Pumpe
auch bei Defekten in der Verbindungsleitung vor mecha-
nischer Zerstörung geschützt wird.
Achtung Andere als die hier aufgeführten Turbo-
Molekularpumpen TURBOVAC dürfen nicht
angeschlossen werden.
Netzstecker einstecken.
Netzschalter (3/1) einschalten.
Nach Betätigen des Netzschalters leuchten alle LEDs für
ca. 2 s zur Funktionskontrolle.
Die grüne LED POWER bleibt an.
Daran anschließend wird ein Test gestartet:
1. angeschlossene Verbindungsleitung,
2. Bestimmung des TURBOVAC Typs.
Startverzögerung einstellen
Eine Startverzögerung der TURBOVAC, bis zu 5 Minu-
ten, kann an der Rückseite der TURBOTRONIK bei (3/6)
eingestellt werden.
Durch die Startverzögerung startet die TURBOVAC nach
der Vorvakuumpumpe.
Bedienung und Betrieb
3.2 TURBOVAC starten
Durch Drücken der Taste START wird der Hochlauf der
TURBOVAC ausgelöst, eine evtl. angeschlossene Vor-
vakuumpumpe läuft sofort an.
Ist eine Startverzögerung eingestellt, blinkt die LED
START bis zumAblauf der Startverzögerung. Das Relais
für den Hochlauf ist während dieser Zeit bereits aktiviert.
Danach leuchtet die LED START dauernd und die TUR-
BOVAC startet.
Während der Hochlauf-Phase blinkt die LED NORMAL.
Die LED-Kette zeigt die zunehmende Drehzahl mit
jeweils einer LED an. Nach Erreichen von 80% der Soll-
Drehzahl leuchtet die LED NORMAL dauernd und die
LED START verlöscht.
Im Normalbetrieb zeigt die LED-Kette den Verlauf des
aufgenommenen Motorstroms; die zunehmende Strom-
aufnahme (Belastung) der TURBOVAC während des
Betriebes wird durch schrittweises Aufleuchten der LED-
Kette, aufsteigend, angezeigt.
3.3 TURBOVAC ausheizen
Ausheizen ist nur erforderlich, wenn besonders niedrige
Drücke erreicht werden sollen. Zum Ausheizen ist Was-
serkühlung erforderlich.
Mit der Taste HEATING die Flanschheizung ein- und
ausschalten; die grüne LED der Taste bestätigt durch
Leuchten die zugeschaltete Heizung.
Bei Vorwahl blinkt die LED während der Hochlauf-
Phase; bei NORMAL-Betrieb und aktiver Heizung leuch-
tet sie dauernd.
11
Tabelle 4: DIP-Schalter-Einstellungen
TURBOVAC Kat.-Nr. DIP-Schalter
1 2 3 4
150, 150 CSV 854 69/70/71/79/80/81, 855 02/03/04/05, 894 10, 895 44 OFF ON ON ON
150 V 856 10/11/12, 894 11 ON ON ON OFF
151 856 30/31/32/35, 894 13 ON OFF ON OFF
360, 360 CSV 854 50/51/56/57/60/61, 855 07/08/09/15, 894 20, 896 67 ON OFF ON ON
360 V 856 20/21/22/23, 894 21 ON ON OFF ON
361 856 70/71/72/73/75/77, 894 23 OFF OFF ON ON
600 856 80/81/82, 894 24/25 OFF ON ON OFF
1000 854 90/91/96/97, 855 35/36/38/39, 894 89/99, 895 89 OFF OFF OFF OFF
1100 894 80* ON OFF OFF ON
3 Bedienung und Betrieb
* nur für NT 20, Kat.-Nr. 857 20,
ab Fabrikations-Nr. Z96 01221
und für NT 20, Kat.-Nr. 857 21,
ab Fabrikations-Nr. Z96 00321
Unzulässige DIP-Einstellungen
sind ON ON ON ON,
OFF ON OFF ON,
ON ON OFF OFF

Bedienung und Betrieb
3.4 Betrieb
Im NORMAL-Betrieb leuchtet die LED NORMAL und die
LED-Kette zeigt aufsteigend den aufgenommenen
Strom an.
Wenn die Soll-Drehzahl der TURBOVAC bei Normalbe-
trieb wegen zu großer Last (Druck, Temperatur der TUR-
BOVAC oder der TURBOTRONIK zu hoch) nicht gehal-
ten werden kann, schaltet die TURBOTRONIK in den
Betriebzustand OVERLOAD (Überlast).
In diesem Zustand leuchtet die LED OVERLOAD und
die LED NORMAL blinkt.
Die LED-Kette zeigt die Drehzahl an.
Der Betriebzustand OVERLOAD ist kein Fehler, kann
aber je nach Ursache zum Abschalten führen; z.B. bei
weiter steigender Temperatur.
3.5 TURBOVAC abschalten
Durch Betätigen der Taste STOP wird der Pumpenan-
trieb abgeschaltet.
Die Vorvakuumpumpe wird abgeschaltet, wenn sie über
(3/2) angeschlossen ist; die Heizung wird abgeschaltet,
wenn sie über (3/9) angeschlossen ist; die TURBOVAC
wird belüftet, wenn das Belüftungsventil über (3/11)
angeschlossen ist.
Die LED der Taste STOP leuchtet auf, die LED NORMAL
geht aus.
Die TURBOVAC läuft bis zum Stillstand aus.
Nach einem Störfall “FAILURE” kann mit der Taste
STOP die Störungsanzeige zurückgesetzt werden, vor-
ausgesetzt die Störung ist beseitigt.
3.6 TURBOVAC belüften
Die TURBOVAC bei jedemAbschalten belüften, um eine
mögliche Rückdiffusion von Öldämpfen aus der Vorva-
kuumleitung zur Hochvakuumseite zu vermeiden.
Wenn ein Stromausfallfluter oder die verzögernde Belüf-
tungs-Einrichtung an der Steckdose (3/11) VALVE ange-
schlossen ist, steuert die TURBOTRONIK das Belüften
automatisch.
3.7 TURBOTRONIK
ausschalten
Taste STOP drücken.
Die LEDs der Tasten START, STOP und NORMAL sind
aus.
Netzschalter (3/1) in Stellung “0” schalten.
3.8 Wartung
Der Frequenzwandler ist grundsätzlich wartungsfrei, da
er keine einstellbaren Bauelemente enthält.
Je nach Einbau- und Umgebungsbedingungen kann der
Frequenzwandler innen verschmutzen (Staub, Feuchtig-
keit). Diese Verschmutzung kann zu Fehlfunktionen,
Überhitzung oder Kurzschluss führen und muss nach
Möglichkeit vermieden werden. Der Leybold-Service
kann den Frequenzwandler reinigen. Wir empfehlen Rei-
nigungsintervalle von etwa 3 Jahren
Vorsicht Eingriffe in den Frequenzwandler dürfen
nur von qualifiziertem Personal oder durch
den Leybold-Service durchgeführt werden.
Im Innern des Frequenzwandlers liegen
lebensgefährliche Spannungen an.
Bei allen Arbeiten an dem geöffneten Fre-
quenzwandler das Gerät vorher vom Netz
trennen.
Der Frequenzwandler enthält elektrosta-
tisch gefährdete Bauelemente.
12 GA 05.208/12 - 05/2003

Fehlersuche
4 Fehlersuche
BeimAuftreten eines Fehlers wird dieTURBOVAC abge-
bremst und ein Fehler-Code angezeigt; siehe nachfol-
gende Tabelle.
Die rote LED FAILURE leuchtet permanent, eine grüne
LED in der Kette blinkt.
Störungsmeldungen können nach Beseitigen der Stör-
quelle durch STOP (Taste oder Fernsteuerung) zurück-
gesetzt werden.
Vorsicht Vor dem Öffnen der TURBOTRONIK muss
diese vom Netz getrennt sein.
Netzleitung ziehen.
Da trotzdem noch gefährliche Spannungen
auftreten können, darf das Gerät nur von
einem Elektrofachmann geöffnet werden.
13
GA 05.208/12 - 05/2003
LED blinkt Störung Mögliche Ursache Beseitigung
————————————————————————————————————————————————————————————————
Nr.1 Leitungsfehler. Motorverbindungs-Leitung nicht richtig Motorverbindungs-Leitung überprüfen,
(unten) angeschlossen ordnungsgemäß anschließen.
Motorverbindungs-Leitung defekt. Motorverbindungs-Leitung austauschen.
————————————————————————————————————————————————————————————————
Nr.2 TURBOVAC wird von der Frequenzwandler und Pumpe nicht System überprüfen.
TURBOTRONIK nicht kompatibel.
unterstützt. Verbindungs-Leitung hat Wackelkontakt. Verbindungs-Leitung reparieren.
————————————————————————————————————————————————————————————————
Nr.3 TURBOVAC erreicht nicht Vorvakuum >10-2 mbar. Vorvakuum überprüfen.
die Soll-Drehzahl innerhalb Pumpe blockiert. Leybold-Kundendienst benachrichtigen.
von 10 Minuten. Hochvakuumdruck zu hoch. Vakuumbehälter überprüfen.
————————————————————————————————————————————————————————————————
Nr.4 Mindest-Drehzahl wurde Vorvakuum >10-2 mbar. Vorvakuum überprüfen.
unterschritten. Pumpe blockiert. Leybold-Kundendienst benachrichtigen.
Hochvakuumdruck zu hoch. Vakuumbehälter überprüfen.
————————————————————————————————————————————————————————————————
Nr.5 Temperatur in der Häufiger Wechsel zwischen Hochlauf und TURBOTRONIK abkühlen lassen.
TURBOTRONIK zu hoch. Bremsen.
Umgebungstemperatur zu hoch. Für bessere Belüftung der TURBOTRONIK
sorgen.
Vorvakuum >10-2 mbar. TURBOVAC weniger belasten.
————————————————————————————————————————————————————————————————
Nr.6 Temperatur in der Häufiger Wechsel zwischen Hochlauf und Pumpe abkühlen lassen und normal belasten.
TURBOVAC zu hoch oder Bremsen.
Codierung falsch. Kühlung schlecht/unterbrochen Kühlung überprüfen.
(Codierungs-Fehler?).
Zu hoher Strom in der Endstufe der Netzschalter der TURBOTRONIK ausschalten,
TURBOTRONIK; z.B. Kurzschluss. Fehler beseitigen und wieder einschalten.
————————————————————————————————————————————————————————————————
Nr.7 Selbsttest Überstrom, Kurzschluss. TURBOTRONIK kurz aus- und wieder
einschalten.
Starke Netzstörung. Anschlüsse prüfen.
Störung im System. Leybold-Kundendienst benachrichtigen.
————————————————————————————————————————————————————————————————
Nr.8 nicht belegt.
————————————————————————————————————————————————————————————————
Nr.9 Netz-Anschluss falsch. Netzspannungs-Wahlschalter falsch Netzspannungs-Wahlschalter richtig einstellen;
eingestellt. siehe Abschnitt 2.1.

Köln, den 6.1. 1997
—————————————————————
Kieffer, Konstrukteur
Elektrotechnik
14 GA 05.208/12 - 05/2003
EG-Konformitätserklärung
Hiermit erklären wir, die Leybold Vakuum GmbH, dass
die nachfolgend bezeichneten Produkte aufgrund ihrer
Konzipierung und Bauart sowie in der von uns in Verkehr
ge-brachten Ausführung den einschlägigen grundlegen-
den Sicherheits- und Gesundheitsanforderungen der
EG-Richtlinien entsprechen.
Bei einer nicht mit uns abgestimmten Änderung eines
Produkts verliert diese Erklärung ihre Gültigkeit.
Bezeichnung des Produkts:
Elektronischer Frequenzwandler
Typen: TURBOTRONIK NT 20
Katalog-Nummern: 857 20/21/22
Die Produkte entsprechen folgenden Richtlinien:
• EG-Niederspannungsrichtlinie (73/23/EWG)
• EG-Richtlinie Elektromagnetische Verträglichkeit
(89/336/EWG), gemessen mit einer typischen
Geräte-Konfiguration
Angewandte harmonisierte Normen
• EN 61010-1: 1993
• EN 50081-1: 1992
• EN 50082-2: 1992
Angewandte nationale Normen und technische
Spezifikationen:
• VDE 0411 Teil 1/03.94
Köln, den 6.1. 1997
—————————————————————
Dr. Mattern-Klosson, Geschäftsbereichsleiterin
Turbo-Molekularpumpen
LV.GT.0124.01.01.97

Cologne, January 6, 1997
—————————————————————
Kieffer, Engineer
15
GA 05.208/12 - 05/2003
EC Conformance Declaration
We, the Leybold Vacuum GmbH, declare herewith that
the products listed below, on the basis of their design
and engineering as well as in the embodiment which we
have placed on the market, comply with the applicable
safety and health requirements set forth in EC guideli-
nes.
This declaration becomes invalid if modifications are
made to the product without consultation with us.
Designation of the product:
Electronic frequency converter
Models: TURBOTRONIK NT 20
Catalog numbers: 857 20/21/22
The products comply with the following guidelines:
• EC Low-Voltage Guidelines (73/23/EEC)
• EEC Directive on Elektromagnetic Compatibility
(89/336/EWG), measured with a typical test
configuration
Applicable, harmonized standards:
• EN 61010-1: 1993
• EN 50081-1: 1992
• EN 50082-2: 1992
Applied national standards and technical
specifications:
• VDE 0411 Part 1/03.94
LV.GT.0124.02.01.97
Cologne, January 6, 1997
—————————————————————
Dr. Mattern-Klosson, Division Manager
Turbomolecular pumps

Description
Contents Page
EC Conformance Declaration. . . . . . . . . . . . . 15
1 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
1.1 Design and Function. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
1.2 Standard Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
1.3 Technical Data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
1.4 Ordering Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
2 Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
2.1 Setting the Mains Voltage (optional). . . . . . . . 20
2.2 Connecting the TURBOVAC. . . . . . . . . . . . . . 20
2.3 Connecting the Forevacuum Pump . . . . . . . . 20
2.4 Connecting the Cooling. . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
2.5 Connecting the Venting Valve. . . . . . . . . . . . . 21
2.6 Connecting the Flange Heater . . . . . . . . . . . . 21
2.7 Connecting the Remote Control Unit . . . . . . . 23
2.8 Installing the TURBOTRONIK. . . . . . . . . . . . . 24
3 Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
3.1 Start-up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
3.2 Start-up of the TURBOVAC . . . . . . . . . . . . . . 25
3.3 Bake-out of the TURBOVAC . . . . . . . . . . . . . 26
3.4 Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
3.5 Shut-down of the TURBOVAC . . . . . . . . . . . . 26
3.6 Venting of the TURBOVAC . . . . . . . . . . . . . . 26
3.7 Shutdown of the TURBOTRONIK. . . . . . . . . . 26
3.8 Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
4 Troubleshooting. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Die deutsche Gebrauchsanleitung
beginnt auf Seite 2
The TURBOTRONIK NT 20 has been manufactured to
the engineering standards and approved safety regula-
tions. Even so when not properly installed or when not
used and operated as intended the frequency converter
may be a source of danger and can cause damage.
Warning
Indicates procedures that must be strictly observed to prevent
hazards to persons.
Caution
Indicates procedures that must be strictly observed to prevent dama-
ge to, or destruction of the appliance.
Figures
The references to diagrams, e. g. (2/10), consist of the Fig. No. and
the Item No. in that order.
We reserve the right to alter the design or any data given in these Ope-
rating Instructions. The illustrations are not binding.
1 Description
1.1 Design and Function
The electronic frequency converter TURBOTRONIK NT
20 is used to drive the following turbo molecular pumps:
TURBOVAC 150, 360,
TURBOVAC 150 CSV, 360 CSV,
TURBOVAC 150 V, 360 V,
TURBOVAC 151, 151 C, 361, 361 C,
TURBOVAC 600, 600 C,
TURBOVAC 1000, 1000 C, 1100 C.
These pumps each comprise a three-phase asynchro-
nous motor with the appropriate rating to drive the rotor.
The TURBOTRONIK NT 20 converts the single-phase
mains voltage into a three-phase AC voltage with regu-
lated frequency and amplitude.
Each installed TURBOVAC has been individually coded.
The respective pump code must be entered using the
DIP switches provided. For safety reasons, the TURBO-
VAC will not start up unless the two codes match.
The acceleration sequence, the regulation during opera-
tion, and the output speed will vary depending on the
installed pump model.
The TURBOTRONIK NT 20 does not support the pump
models TURBOVAC 150 H and TURBOVAC 360 H.
LEYBOLD customer service can adjust the speed of
each TURBOVAC to ± 5%, if required.
External control and monitoring equipment, e.g. the
LEYBOTRONIK I can be connected via floating terminal
strip located at the rear of the TURBOTRONIK. Both the
remote control unit and the lines for the pump system’s
status signals are connected here. These terminals also
provide connections for controlling the forepump, the
heater or valves.
An RS-232 interface provides further monitoring options.
All the main internal parameters are output cyclically
every 8 seconds. More details on request.
The front panel of the TURBOTRONIK NT 20 features
the following three control keys:
HEATING, START and STOP.
Essential operating conditions such as speed, load or
failure are indicated via LEDs.
16 GA 05.208/12 - 05/2003

Description
17
GA 05.208/12 - 05/2003
Fig. 1 Front panel of the TURBOTRONIK NT 20, explanation see table 1 and 2
Table 1: Operational Status Display of the Front Panel LEDs
LED Color Display
LOAD green LED “START” lights up: speed of the TURBOVAC (individual LED, linear display)
LED “OVERLOAD” lights up: speed of the TURBOVAC (individual LED, linear display)
LED “NORMAL” lights up: motor current (LED chain, logarithmic display)
LED “FAILURE” lights up: failure code (LED “LOAD” flashes)
REMOTE yellow Lights up when the converter is controlled via the remote control inputs;
key manipulation is ignored.
POWER green Lights when mains power supply is on.
NORMAL green Lights during normal operation, speed is above 80 % of the target speed.
Flashes in case of acceleration and “OVERLOAD”.
FAILURE red Lights in case of failure.
HEATING green Lights when heating is on.
Flashes when heating has been preselected.
OVERLOAD yellow Lights in case of overload, i. e. speed is below 80 % of the target speed
having finished the acceleration sequence.
START green Lights in case of TURBOVAC’s acceleration.
Flashes when the delay start-up time is active.
STOP green Lights when the TURBOVAC is shut down.
Table 2: Functions of the Front Panel Keys
Key Functions
HEATING Switching the TURBOVAC’s heating on and off.
START Starting the TURBOVAC’s acceleration.
STOP Braking the TURBOVAC.
Resetting a failure report.
TURBOTRONIK NT 20

Description
1.2 Standard Specifications
TURBOTRONIK NT 20 table-top electronic frequency
converter with housing.
Power linecord
with shock-proof plug (Cat. No. 857 20)
or with US mains plug (Cat. No. 857 21/22),
Miniature fuses: 2 T 6.3 A; 2 T 4.0 A; 2 T 3.15 A;
2 T1.0 A; 2 T 0.2 A
as well as three mains plugs,
two terminal strips,
one portable socket-outlet and
the Operating Instructions.
1.3 Technical Data
Mains voltage, with selector switch
100/120/220/240 V,+10%/-15%
Mains frequency 50/60 Hz
Power consumption
including all connected units <1000 VA
Power consumption of theTURBOVAC <400 VA
Power output (motor)
Nominal voltage 42 V
Link circuit current limitation
Acceleration (max. 10 min.) 5 A
Continuous operation 3.5 A
TURBOVAC speed ratings
TURBOVAC 150 / 151 50 000 min-1
TURBOVAC 360 / 361 45 000 min-1
TURBOVAC 600 36 000 min-1
TURBOVAC 1000 36 000 min-1
TURBOVAC 1100 30 000 min-1
Control Inputs - digital, floating
each terminal 25 Veff AC max., 60 V
DC versus protective conductor
LEYBOTRONIK I compatible
High level; between “+” and “-” terminal
13 V...33 V/max. 10 mA
Low level; between “+” and “-” terminal 0 V...7 V
Pulse duration >200 ms
for remote control active “START” pump,
“STOP” pump, heater On/Off
Control Outputs
Relay max. 250 VAC, 3 A
50 V DC, 2 A (resistive load)
for normal operation operating contact
for acceleration operating contact
for failure changeover contact
FOREPUMP Relay point max. 6 A, 750 VA, 250 V
Supply Outlets VALVE; HEATER, FAN
A relay is used to switch through the mains voltage.
The permissible current for all 3 outlets together is
4.5 A at 100 - 120 V AC
6 A at 220 - 240 V AC
Operating temperature; with sufficient free
convection for side profiles 0-45°C (32°F - 113°F)
Storage temperature -25°C...+70°C (-77°F - +158°F)
Humidity class F, DIN 40 040
Protection class 1
Electrical safety to IEC 1010/VDE 0411
Interference radiation to VDE 0871 Level B
EMC to IEC 801-2 Severity 2
Dimensions 1/219“, 3HU*
Weight 8.5 kg
* Height units - modular spacings high
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Description
1.4 Ordering Data
Cat. No.
Electronic frequency converter
TURBOTRONIK NT 20
230 V 857 20
120 V 857 21
100 V 857 22
Connection line to the TURBOVAC
3 m long 857 65
5 m long 857 66
10 m long 857 67
20 m long 857 68
Mounting frame 19“, 3HU; 161 00
Power failure airing valve 174 26
Delaying venting device 012 44
Venting valve for delaying venting device 012 45
19
GA 05.208/12 - 05/2003
Fig. 2 Dimensional drawing, dimensions in mm
Front panel
Housing

Connection
2 Connection
Warning Connections for forevacuum pump, cooling,
venting valve and flange heater must be
done by a qualified electrician in accordan-
ce with the applicable safety regulations.
Warning There are hazardous voltages present insi-
de the TURBOTRONIK.
Open the TURBOTRONIK only after it has
been isolated from the mains power supply.
2.1 Setting the Mains
Voltage (optional)
The mains voltage setting of the TURBOTRONIK NT 20
can be changed; see „Technical Data“.
Caution The TURBOTRONIK will be damaged if the
voltage selector switch is set incorrectly
when conected to the mains.
To change this setting, remove the dummy plug (3/13)
with a screwdriver and reinsert it according to the stam-
ped-on voltage setting. The selected voltage indication
must be in the immediate proximity of the arrow.
If you do change the voltage setting, please also change
the line power fuse accordingly; see the table.
Fuses (*) slow-blow)
LINE VALVE HEATING FAN
————————————————————————
100/120 V T*) 6.3 A T 0.2 A T 3.15 A T 1.0 A
220/240 V T 4.0 A T 0.2 A T 3.15 A T 1.0 A
In case of need, other fuses may be installed for
“VALVE”, “HEATING” and “FAN”. However, the sum of
the fuses’ capacity for the three connections must not
exceed:
4.5 A for 100/120 V
6.0 A for 220/240 V.
Plug the power linecord into the socket (3/12).
2.2 Connecting the
TURBOVAC
Insert and fasten the connection line to the motor of the
TURBOVAC at (3/3) and to the TURBOVAC itself.
2.3 Connecting the
Forevacuum Pump
Connect the forepump to the relay contact output (3/2).
When pressing the START key the contact is closed
without any delay and the forepump is switched on.
The forevacuum pump is shut down when the STOP key
has been pressed and when a failure has occurred. Swit-
ching examples are given in fig. 4.
Astarting delay for the TURBOVAC can be set at (3/6);
see Section 3.1
2.4 Connecting the Cooling
The mains power supply to the socket (3/8) is switched
on as soon as the TURBOVAC acceleration sequence
begins; max. load 100 VA. The relevant fuse (3/10) is
below the socket.
The power supply is switched off when the STOP key is
pressed or when the POWER switch is turned to off or
when the power cord is disconnected from the mains
power supply.
Asolenoid valve for the water cooling or a fan can be
connected to the socket (3/8).
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