Pfeiffer Vacuum HIPACE 1200 I User manual

BETRIEBSANLEITUNG
DE
OPERATING INSTRUCTIONS
EN
Original
HIPACE 1200 I | IU
Turbopumpe für Temperatur Management System vorbereitet
Turbopump prepared for temperature management system

Dear Customer,
Thank you for choosing a Pfeiffer Vacuum product. Your new turbopump is designed to
support you by its performance, its perfect operation and without interfering your individual
application. The name Pfeiffer Vacuum stands for high-quality vacuum technology, a
comprehensive and complete range of top-quality products and first-class service. With this
expertise, we have acquired a multitude of skills contributing to an efficient and secure
implementation of our product.
Knowing that our product must not interfere with your actual work, we are convinced that our
product offers you the solution that supports you in the effective and trouble-free execution of
your individual application.
Please read these operating instructions before putting your product into operation for the
first time. If you have any questions or suggestions, please feel free to contact info@pfeiffer-
vacuum.de.
Further operating instructions from Pfeiffer Vacuum can be found in the Download Center on
our website.
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These operating instructions describe all models and variants of your product. Note that your
product may not be equipped with all features described in this document. Pfeiffer Vacuum
constantly adapts its products to the latest state of the art without prior notice. Please take
into account that online operating instructions can deviate from the printed operating
instructions supplied with your product.
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misuse.
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document are protected by copyright. They may not be copied, altered, reproduced or
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Inhaltsverzeichnis
1 Zu dieser Anleitung 8
1.1 Gültigkeit 8
1.1.1 Mitgeltende Dokumente 8
1.1.2 Varianten 8
1.2 Zielgruppe 8
1.3 Konventionen 8
1.3.1 Anweisungen im Text 8
1.3.2 Piktogramme 9
1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt 9
1.3.4 Abkürzungen 10
1.4 Markennachweis 11
2 Sicherheit 12
2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise 12
2.2 Sicherheitshinweise 12
2.3 Sicherheitsmaßnahmen 17
2.4 Einsatzgrenzen des Produkts 18
2.5 Bestimmungsgemäße Verwendung 18
2.6 Vorhersehbarer Fehlgebrauch 19
2.7 Personenqualifikation 19
2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 19
2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 20
2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden 20
3 Produktbeschreibung 21
3.1 Funktionsmerkmale 21
3.1.1 Kühlung 21
3.1.2 Rotorlager 21
3.1.3 Antrieb 21
3.2 Produkt identifizieren 22
3.2.1 Produkttypen 22
3.2.2 Produktmerkmale 22
3.3 Lieferumfang 22
4 Transport und Lagerung 23
4.1 Transport 23
4.1.1 Transport in vertikaler Raumlage 24
4.1.2 Transport in horizontaler Raumlage 24
4.2 Lagerung 25
5 Installation 26
5.1 Vorbereitende Arbeiten 26
5.2 Hochvakuumseite anschließen 27
5.2.1 Anforderungen für die Auslegung des Gegenflansches 27
5.2.2 Erdbebensicherheit berücksichtigen 27
5.2.3 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden 28
5.2.4 Dämpfungskörper verwenden 28
5.2.5 Einbaulagen 29
5.2.6 ISO-K Flansch an ISO-K befestigen 30
5.2.7 ISO-K Flansch an ISO-F befestigen 30
5.2.8 ISO-F Flansch an ISO-F befestigen 32
5.3 Betriebsmittel einfüllen 33
5.4 Vorvakuumseite anschließen 34
5.5 Kühlwasserversorgung anschließen 35
5.5.1 Kühlwasseranschluss mit Schlauchtüllen herstellen 36
5.5.2 Kühlwasseranschluss mit Rohrverschraubungen herstellen 37
Inhaltsverzeichnis
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5.6 Zubehör anschließen an Turbopumpen mit TMS 38
5.7 Elektrische Versorgung anschließen 39
5.7.1 Vakuumpumpe erden 39
5.7.2 Elektrischen Anschluss herstellen 40
5.7.3 Elektrische Schutzmaßnahmen einrichten 41
6 Betrieb 42
6.1 Inbetriebnahme 42
6.2 Betriebsarten 43
6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit 43
6.2.2 Betrieb über Anschluss "E74" 43
6.2.3 Betrieb über Multifunktionsanschluss "remote" 43
6.2.4 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Steuergerät 43
6.3 Turbopumpe einschalten 44
6.4 Nach umbauen mit TMS betreiben 45
6.4.1 Stellbefehle 45
6.4.2 TMS Anschluss 45
6.4.3 Ablaufbeschreibung TMS 45
6.5 Betriebsüberwachung 46
6.5.1 Betriebsanzeige über LED 46
6.5.2 Temperaturüberwachung 46
6.6 Ausschalten und Fluten 46
6.6.1 Ausschalten 47
6.6.2 Fluten 47
7 Wartung 48
7.1 Allgemeine Wartungshinweise 48
7.2 Wartungsintervalle und- zuständigkeiten 48
7.3 Betriebsmittel wechseln 49
7.3.1 Betriebsmittel ablassen 49
7.3.2 Betriebsmittel einfüllen 50
7.4 Antriebselektronik austauschen 51
7.4.1 Antriebselektronik demontieren 52
7.4.2 Antriebselektronik montieren 52
7.4.3 Drehzahlvorgabe bestätigen 53
7.5 Wiedermontage der Rohrverschraubungen 54
7.5.1 Rohrverschraubungen demontieren 54
7.5.2 Rohrverschraubungen montieren 54
8 Außerbetriebnahme 56
8.1 Stillsetzen für längere Zeit 56
8.2 Wiederinbetriebnahme 56
9 Recycling und Entsorgung 57
9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise 57
9.2 Turbopumpe entsorgen 57
10 Störungen 58
11 Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum 61
12 Ersatzteile 63
13 Zubehör 64
13.1 Zubehörinformationen 64
13.2 Zubehör bestellen 64
14 Technische Daten und Abmessungen 66
14.1 Allgemeines 66
14.2 Technische Daten 66
14.3 Medienberührende Werkstoffe 68
Inhaltsverzeichnis
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14.4 Abmessungen 69
EG Konformitätserklärung 71
UK Konformitätserklärung 72
Inhaltsverzeichnis
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Tabellenverzeichnis
Tab. 1: Aufkleber auf dem Produkt 10
Tab. 2: Verwendete Abkürzungen im Dokument 11
Tab. 3: Zulässige Umgebungsbedingungen 18
Tab. 4: Produktbezeichnung von HiPace Turbopumpen 22
Tab. 5: Merkmale der Turbopumpen 22
Tab. 6: Abgegebene Antriebsleistung in Abhängigkeit der bereitgestellten Netzspan-
nung
22
Tab. 7: Anforderungen für die Auslegung des kundenseitigen Hochvakuuman-
schlusses
27
Tab. 8: Verhalten des Saugvermögens bei Verwendung eines Splitterschutzes oder
Schutzgitters
28
Tab. 9: Anforderungen an die Zusammensetzung von Kühlwasser 36
Tab. 10: Ausführungen der Kühlwasseranschlüsse 36
Tab. 11: Voreingestellte Zubehöranschlüsse an der Antriebselektronik für Betrieb mit
TMS
39
Tab. 12: Anschlussbelegung des Netzanschlusssteckers 40
Tab. 13: Vorkonfigurierte Einstellwerte für Turbopumpen vorbereitet für TMS bei Aus-
lieferung
42
Tab. 14: Stellbefehle 45
Tab. 15: Verhalten und Bedeutung der LEDs an der Antriebselektronik 46
Tab. 16: Werkseinstellungen für verzögertes Fluten bei Turbopumpen 47
Tab. 17: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen 53
Tab. 18: Störungsbehebung bei Turbopumpen 60
Tab. 19: Verfügbare Ersatzteile 63
Tab. 20: Zubehör 65
Tab. 21: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten 66
Tab. 22: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz 66
Tab. 23: Technische Daten für HiPace 1200 IU 68
Tab. 24: Werkstoffe mit Prozessmedienkontakt 68
Tabellenverzeichnis
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Abbildungsverzeichnis
Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt 10
Abb. 2: Aufbau HiPace 1200 I | IU 21
Abb. 3: Anschlagpunkte für den vertikalen Transport der Turbopumpe ohne Verpa-
ckung
24
Abb. 4: Anschlagpunkte für den horizontalen Transport der Turbopumpe ohne Ver-
packung
25
Abb. 5: Beispiel: Sicherung gegen Verschieben und Kippen durch externe Erschüt-
terungen
28
Abb. 6: Einbaulagen der Standardversion, aufrecht 29
Abb. 7: Einbaulagen der U-Version, überkopf 29
Abb. 8: Ausrichtung des Vorvakuumanschlusses bei horizontaler Einbaulage 29
Abb. 9: Flanschverbindung ISO-K zu ISO-K, Klammerschraube 30
Abb. 10: Flanschverbindung ISO-K zu ISO-F, Sechskantschraube und Gewindeboh-
rung
31
Abb. 11: Flanschverbindung ISO-K zu ISO-F, Stiftschraube und Gewindebohrung 31
Abb. 12: Flanschverbindung ISO-K zu ISO-F, Stiftschraube und Durchgangsbohrung 31
Abb. 13: Flanschverbindung ISO-F, Sechskantschraube und Gewindebohrung 32
Abb. 14: Flanschverbindung ISO-F, Sechskantschraube und Durchgangsbohrung 32
Abb. 15: Flanschverbindung ISO-F, Stiftschraube und Gewindebohrung 32
Abb. 16: Flanschverbindung ISO-F, Stiftschraube und Durchgangsbohrung 33
Abb. 17: Position der Einfüllschrauben abhängig von der Einbaulage. Beispiel: Stan-
dard Versionen
34
Abb. 18: Position der Einfüllschrauben abhängig von der Einbaulage. Beispiel: U-Ver-
sionen
34
Abb. 19: Beispiel für den Vorvakuumanschluss 35
Abb. 20: Kühlwasseranschluss mit Schlauchtüllen 37
Abb. 21: Kühlwasseranschluss mit Rohrverschraubungen 38
Abb. 22: Beispiel: Anschluss des Erdungskabels 40
Abb. 23: Beispiele: Betriebsmittel ablassen bei Standard- und U-Versionen 49
Abb. 24: Position der Einfüllschrauben abhängig von der Einbaulage. Beispiel: Stan-
dard Versionen
50
Abb. 25: Position der Einfüllschrauben abhängig von der Einbaulage. Beispiel: U-Ver-
sionen
51
Abb. 26: Ausbau der Antriebselektronik 52
Abb. 27: Befestigung der Antriebselektronik 53
Abb. 28: Rohrverschraubungen demontieren 54
Abb. 29: Rohrverschraubungen montieren 55
Abb. 30: Ersatzteile HiPace 1200 I | IU 63
Abb. 31: HiPace 1200 I | DN 200 ISO-F 69
Abb. 32: HiPace 1200 IU | DN 200 ISO-F 69
Abb. 33: HiPace 1200 I | DN 200 ISO-K 70
Abb. 34: HiPace 1200 IU | DN 200 ISO-K 70
Abbildungsverzeichnis
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1 Zu dieser Anleitung
WICHTIG
Vor Gebrauch sorgfältig lesen.
Aufbewahren für späteres Nachschlagen.
1.1 Gültigkeit
Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be-
schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den
sicheren Gebrauch des Geräts. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Angaben
in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts. Die Doku-
mentation behält ihre Gültigkeit, sofern kundenseitig keine Veränderungen am Produkt vorgenommen
werden.
1.1.1 Mitgeltende Dokumente
Dokument Nummer
Betriebsanleitung Antriebselektronik TC 1200 Standard PT 0239 BN
Betriebsanleitung Antriebselektronik TC 1200 E74
gemäß. Semi E74
PT 0303 BN
Konformitätserklärung Bestandteil dieser Anleitung
Sie finden diese Dokumente im Pfeiffer Vacuum Download Center.
1.1.2 Varianten
●HiPace 1200 I, DN 200 ISO-K
●HiPace 1200 I, DN 200 ISO-F
●HiPace 1200 IU, DN 200 ISO-K
●HiPace 1200 IU, DN 200 ISO-F
1.2 Zielgruppe
Diese Betriebsanleitung richtet sich an alle Personen, die das Produkt
●transportieren,
●aufstellen (installieren),
●bedienen und betreiben,
●außerbetriebnehmen,
●warten und reinigen,
●lagern oder entsorgen.
Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen durchführen, die eine geeignete
technische Ausbildung besitzen (Fachpersonal) oder eine entsprechende Schulung durch Pfeiffer Vacu-
um erhalten haben.
1.3 Konventionen
1.3.1 Anweisungen im Text
Handlungsanweisungen im Dokument folgen einem generellen und in sich abgeschlossenen Aufbau.
Die notwendige Tätigkeit ist durch einen einzelnen oder mehrere Handlungsschritte gekennzeichnet.
Einzelner Handlungsschritt
Ein liegendes gefülltes Dreieck kennzeichnet den einzigen Handlungsschritt einer Tätigkeit.
►Dies ist ein einzelner Handlungsschritt.
Zu dieser Anleitung
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Abfolge von mehreren Handlungsschritten
Die numerische Aufzählung kennzeichnet eine Tätigkeit mit mehreren notwendigen Handlungsschritten.
1. Handlungsschritt 1
2. Handlungsschritt 2
3. ...
1.3.2 Piktogramme
Im Dokument verwendete Piktogramme kennzeichnen nützliche Informationen.
Hinweis
Tipp
1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt
Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung.
CUS
TÜV Rheinland
Oil
S/N
Mod.
HiPace 1200 I | IU
PM P06 XXX
- - - - - - - -
P/N
n, f
Mass Made in Germany 2022/03
PM 006 336 -T
37800 1/min, 630 Hz
32.0 kg
D-35614 Asslar Berlinerstr. 43
Type 1
IP20
Typenschild
Typenschilder einzelner Baugruppen befinden sich am Unterteil
der Turbopumpe oder auf den betreffenden Anbauten.
Hinweis Betriebsanleitung
Dieser Aufkleber weist darauf hin, vor allen Tätigkeiten diese Be-
triebsanleitung zu lesen.
Hinweis Einbaulage aufrecht
Dieser Aufkleber ist variantenabhängig. Der Aufkleber zeigt die
gültigen Raumlagen für die Installation und den Betrieb der Turbo-
pumpe.
Hinweis Einbaulage überkopf
Dieser Aufkleber ist variantenabhängig. Der Aufkleber zeigt die
gültigen Raumlagen für die Installation und den Betrieb der Turbo-
pumpe.
Betriebsmitteleinfüllschraube
Dieser Aufkleber beschreibt die Position der jeweiligen Einfüll-
schraube für Betriebsmittel.
Schutzklasse
Dieser Aufkleber beschreibt die Schutzklasse I für das Produkt.
Die Platzierung zeigt die Position für den Erdungsanschluss an.
COOLING WATER IN
max. 6 bar (90 psi)
Kühlwasseranschluss
Dieser Aufkleber beschreibt die Position und die Voraussetzungen
für den Kühlwasserzufluss der Turbopumpe.
Zu dieser Anleitung
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COOLING WATER OUT
Kühlwasseranschluss
Dieser Aufkleber beschreibt die Position für den Kühlwasserab-
fluss der Turbopumpe.
warranty seal
Verschlusssiegel
Das Produkt ist ab Werk versiegelt. Beschädigung oder Entfernen
eines Verschlusssiegels führt zum Verlust der Gewährleistung.
Ist verdeckt, unterhalb der Antriebelektronik aufgeklebt.
PURGE
Hinweis Sperrgasanschluss
Dieser Aufkleber beschreibt die Position für den ausschließlichen
Anschluss von Sperrgas.
Tab. 1: Aufkleber auf dem Produkt
1
7
8
9
10 6542
3
Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt
1 Aufkleber Betriebsanleitung 6 Aufkleber Betriebsmittel
2 Aufkleber Kühlwasserausgang 7 Aufkleber Sperrgasanschluss (Purge)
3 Aufkleber Kühlwassereingang 8 Aufkleber Erdungsanschluss
4 Aufkleber Einbaulage 9 Typenschild Antriebselektronik
5 Aufkleber Betriebsanleitung 10 Typenschild Turbopumpe
1.3.4 Abkürzungen
Abkürzung Bedeutung im Dokument
AC Wechselstrom
AIC Ausschaltvermögen (ampere interrupting capacity)
dBetrag des Durchmessers (in mm)
DN Nomineller Durchmesser als Größenbeschreibung
EMS Notabschaltung (emergency stop)
fBetrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz)
HV Hochvakuumflansch, Hochvakuumseite
ISO Flansch: Anschlussverbindung gemäß ISO 1609 und ISO 2861
LED Leuchtdiode
LS Leitungsschutz
UL Underwriters Laboratories
Zu dieser Anleitung
10/146

Abkürzung Bedeutung im Dokument
MCB Leistungsschutzschalter (miniature circuit breaker)
NEMA National Electrical Manufacturer Association
PE Schutzleiter (protective earth)
[P:xxx] Steuerparameter der Antriebselektronik. Fettgedruckt als dreistellige Nummer in ecki-
gen Klammern. Häufig in Verbindung mit einer Kurzbezeichnung angezeigt.
Beispiel: [P:312] Softwareversion
RCCB Fehlerstromschutzschalter (residual current operated circuit breaker)
remote 26-polige D-Sub-Anschlussbuchse an der Antriebselektronik der Turbopumpe
SW Schlüsselweite
TTemperatur (in °C), temperaturgeregelt
TC Antriebselektronik der Turbopumpe (turbo controller)
TMS Temperatur Management System
UÜberkopfversion
VV Vorvakuumflansch, Vorvakuumanschluss
Tab. 2: Verwendete Abkürzungen im Dokument
1.4 Markennachweis
●Han® 3 A ist eine Marke von HARTING Electric GmbH & Co. KG.
●Swagelok® ist eine Marke der SWAGELOK Company in 44139 Solon, US.
Zu dieser Anleitung
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2 Sicherheit
2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise
Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt.
GEFAHR
Unmittelbar bevorstehende Gefahr
Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu
schweren Verletzungen führt.
►Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation
WARNUNG
Möglicherweise bevorstehende Gefahr
Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-
zungen führen kann.
►Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation
VORSICHT
Möglicherweise bevorstehende Gefahr
Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zu leichten Verletzungen führen
kann.
►Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation
HINWEIS
Gefahr von Sachschäden
Wird verwendet um auf Handlungen aufmerksam zu machen, die nicht auf Personenschäden bezo-
gen sind.
►Anweisung zur Vermeidung von Sachschäden
Hinweise, Tipps oder Beispiele kennzeichnen wichtige Informationen zum Produkt oder zu
diesem Dokument.
2.2 Sicherheitshinweise
Alle Sicherheitshinweise in diesem Dokument beruhen auf Ergebnissen der Risikobeurteilung gemäß
Maschinenrichtlinie 2006/42/EG Anhang I und EN ISO 12100 Kapitel 5. Soweit zutreffend wurden alle
Lebensphasen des Produkts berücksichtigt.
Risiken beim Transport
WARNUNG
Gefahr schwerer Verletzungen durch pendelnde, kippende oder herabfallende Gegenstände
Beim Transport besteht die Möglichkeit von Quetschungen und Stoßen an pendelnden, kippenden
oder herabfallenden Gegenständen. Es besteht die Gefahr von Verletzungen an Gliedmaßen bis hin
zu Knochenbrüchen und Kopfverletzungen.
►Sichern Sie ggf. den Gefahrenbereich ab.
►Achten Sie auf den Schwerpunkt der Last beim Transport.
►Achten Sie auf gleichmäßige Bewegungen und moderate Geschwindigkeiten.
►Beachten Sie den sicheren Umgang mit den Transportmitteln.
►Unterlassen Sie Schrägzug von Anschlagmitteln.
►Stapeln Sie die Produkte nicht.
►Tragen Sie Schutzausrüstungen, z. B. Sicherheitsschuhe.
Sicherheit
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Risiken bei der Installation
GEFAHR
Lebensgefahr durch elektrischen Schlag
Das Berühren von offenliegenden und spannungsführenden Elementen erzeugt einen elektrischen
Schlag. Unsachgemäßer Anschluss der Netzversorgung führt zu der Gefahr berührbarer, spannungs-
führender Gehäuseteile. Es besteht Lebensgefahr.
►Kontrollieren Sie die Anschlussleitungen vor der Installation auf spannungsfreien Zustand.
►Lassen Sie Elektroinstallationen nur von ausgebildeten Elektrofachkräften durchführen.
►Sorgen Sie für eine ausreichende Erdung des Geräts.
►Führen Sie nach Anschlussarbeiten eine Schutzleiterprüfung durch.
WARNUNG
Lebensgefahr durch elektrischen Schlag aufgrund nicht sachgerechter Installation
Das Gerät verwendet berührungsgefährliche Spannung als elektrische Versorgung. Durch unsichere
oder nicht sachgerechte Installation entstehen lebensgefährliche Situationen durch elektrischen
Schlag im Umgang mit dem Gerät.
►Sorgen Sie für die sichere Integration in einen Not‑Aus‑Sicherheitskreis.
►Nehmen Sie keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vor.
WARNUNG
Lebensgefahr durch fehlende Netztrenneinrichtung
Die Vakuumpumpe und die Antriebselektronik sind nicht mit einer Netztrenneinrichtung (Hauptschal-
ter) ausgestattet.
►Installieren Sie eine Netztrenneinrichtung gemäß SEMI-S2.
►Sehen Sie einen Leistungsschalter mit einem Ausschaltvermögen von min. 10.000 A vor.
WARNUNG
Gefahr von Schnittverletzungen an beweglichen, scharfkantigen Teilen bei Eingriff in den offe-
nem Hochvakuumflansch
Bei offenem Hochvakuumflansch ist der Zugang zu scharfkantigen Teilen möglich. Eine manuelle
Rotation des Rotors vergrößert die Gefahrensituation. Es besteht die Gefahr von Schnittverletzun-
gen, bis hin zum Abtrennen von Körperteilen (z. B. Fingerkuppen). Es besteht die Gefahr des Ein-
zugs von Haaren und losen Kleidungsstücken. Hineinfallende Gegenstände zerstören die Turbopum-
pe im späteren Betrieb.
►Entfernen Sie die original Schutzdeckel erst unmittelbar vor dem Anschluss des Hochvakuumf-
lanschs.
►Greifen Sie nicht in den Hochvakuumanschluss.
►Tragen Sie Schutzhandschuhe während der Installation.
►Nehmen Sie die Turbopumpe nicht mit offenen Vakuumanschlüssen in Betrieb.
►Führen Sie die mechanische Installation immer vor dem elektrischen Anschluss aus.
►Verhindern Sie den Zugang zum Hochvakuumanschluss der Turbopumpe von der Betreiberseite
(z. B. offene Vakuumkammer).
WARNUNG
Gefahr von Schnittverletzungen durch unvorhergesehenen automatischen Hochlauf
Das Verwenden von Gegensteckern für die Antriebselektronik (Zubehör), ermöglicht den sofortigen
Hochlauf der Vakuumpumpe nach Herstellen der Spannungsversorgung. Das Aufstecken von Ge-
gensteckern vor oder während der Installation führt zu der Gefahr von Schnittverletzungen an rotier-
enden scharfkantigen Teilen im offenliegenden Hochvakuumflansch.
►Verwenden Sie die Gegenstecker nur nach der mechanischen Installation.
►Schalten Sie die Turbopumpe nur unmittelbar vor dem Betrieb ein.
Sicherheit
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WARNUNG
Gefahr schwerer Verletzungen durch pendelnde, kippende oder herabfallende Gegenstände
Unsachgemäße Handhabung während der mechanischen Installation führt zur Gefahr von pendel-
nden, kippenden oder herabfallenden schweren Lasten. Es besteht das Risiko von Quetschungen
und Stoßen (z.B. an kollidierenden Flanschanschlüssen). Es besteht die Gefahr von Verletzungen an
Gliedmaßen bis hin zu Knochenbrüchen und Kopfverletzungen.
►Verwenden Sie bei der Installation die dafür vorgesehen Ringösen.
►Seien Sie bei der Annäherung der Vakuumpumpe an den Gegenflansch besonders vorsichtig.
►Achten Sie auf den Schwerpunkt der Last.
WARNUNG
Vergiftungsgefahr durch giftige Dämpfe
Durch Anzünden und Erhitzen von synthetischem Betriebsmittel entstehen giftige Dämpfe. Es be-
steht Vergiftungsgefahr beim Einatmen.
►Beachten Sie die Anwendungsvorschriften und Vorsichtsmaßnahmen.
►Bringen Sie Tabakwaren nicht mit dem Betriebsmittel in Berührung.
WARNUNG
Verbrühungsgefahr an plötzlich austretendem Kühlwasser
Die Wasseranschlüsse der Turbopumpe sind zu beiden Seiten offen. Bei Anschluss der Kühlwasser-
versorgung besteht Verbrühungsgefahr durch plötzlich austretendes, heißes Kühlwasser mit Über-
druck.
►Sorgen Sie vor der Installation für Druckentlastung und Abkühlung des Kühlwassersystems.
►Tragen Sie Schutzausrüstung, z.B. Schutzbrille und Handschuhe.
Risiken beim Betrieb
WARNUNG
Verbrennungsgefahr an heißen Oberflächen bei Verwendung von Zusatzeinrichtungen zum
Heizen für den Betrieb
Die Verwendung von Zusatzeinrichtungen zum Heizen der Vakuumpumpe oder zur Prozessoptimie-
rung erzeugt sehr hohe Temperaturen an berührbaren Oberflächen. Es besteht Verbrennungsgefahr.
►Richten Sie ggf. einen Berührungsschutz ein.
►Bringen Sie ggf. dafür vorgesehene Warnaufkleber an den Gefahrenstellen an.
►Sorgen Sie für ausreichend Abkühlung vor Arbeiten an der Vakuumpumpe oder in deren Umge-
bung.
►Tragen Sie Schutzausrüstung, z.B. Handschuhe.
WARNUNG
Gefahr schwerer Verletzungen bei Zerstörung der Vakuumpumpe durch Überdruck
Gaseintritt mit sehr hohem Überdruck führt zur Zerstörung der Vakuumpumpe. Es besteht die Gefahr
schwerer Verletzungen durch herausgeschleuderte Objekte.
►Überschreiten Sie nicht den zulässigen Einlassdruck von 1500 hPa (abs.) an Ansaugseite oder
Flut- und Sperrgasanschluss.
►Stellen Sie sicher, dass prozessbedingt hohe Überdrücke nicht direkt in die Vakuumpumpe ge-
langen.
VORSICHT
Gefahr von Verletzungen durch Kontakt mit Vakuum beim Belüften
Während des Belüftens der Vakuumpumpe besteht die Gefahr geringer Verletzungen durch unmittel-
baren Kontakt von Körperteilen mit dem Vakuum, z.B. Hämatome.
►Drehen Sie die Flutschraube beim Belüften nicht vollständig aus dem Gehäuse.
►Halten Sie Abstand zu automatischen Fluteinrichtungen, wie Flutventilen.
Sicherheit
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Risiken bei der Wartung, Außerbetriebnahme und Entsorgung
WARNUNG
Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wartungs- und Servicearbeiten
Das Gerät ist nur bei gezogenem Netzstecker und stillstehender Turbopumpe völlig spannungsfrei.
Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponen-
ten.
►Schalten Sie vor allen Arbeiten den Hauptschalter aus.
►Warten Sie den Stillstand der Turbopumpe ab (Drehzahl f = 0).
►Ziehen Sie den Netzstecker vom Gerät ab.
►Sichern Sie das Gerät gegen unbeabsichtigtes Wiedereinschalten.
WARNUNG
Vergiftungsgefahr durch giftige Dämpfe
Durch Anzünden und Erhitzen von synthetischem Betriebsmittel entstehen giftige Dämpfe. Es be-
steht Vergiftungsgefahr beim Einatmen.
►Beachten Sie die Anwendungsvorschriften und Vorsichtsmaßnahmen.
►Bringen Sie Tabakwaren nicht mit dem Betriebsmittel in Berührung.
WARNUNG
Gesundheitsgefahr durch Vergiftung an toxisch kontaminierten Bauteilen oder Geräten
Toxische Prozessmedien führen zur Kontamination der Geräte oder Teilen davon. Bei Wartungsar-
beiten besteht Gesundheitsgefahr durch Kontakt mit diesen giftigen Substanzen. Die unzulässige Be-
seitigung toxischer Substanzen führt zu Umweltschäden.
►Treffen Sie geeignete Sicherheitsvorkehrungen und verhindern Sie Gesundheitsgefährdungen
und Umweltbelastungen durch toxische Prozessmedien.
►Dekontaminieren Sie die betreffenden Teile vor der Ausführung von Wartungsarbeiten.
►Tragen Sie Schutzausrüstung.
WARNUNG
Verbrennungsgefahr an heißen Oberflächen bei Verwendung von Zusatzeinrichtungen zum
Heizen für den Betrieb
Die Verwendung von Zusatzeinrichtungen zum Heizen der Vakuumpumpe oder zur Prozessoptimie-
rung erzeugt sehr hohe Temperaturen an berührbaren Oberflächen. Es besteht Verbrennungsgefahr.
►Richten Sie ggf. einen Berührungsschutz ein.
►Bringen Sie ggf. dafür vorgesehene Warnaufkleber an den Gefahrenstellen an.
►Sorgen Sie für ausreichend Abkühlung vor Arbeiten an der Vakuumpumpe oder in deren Umge-
bung.
►Tragen Sie Schutzausrüstung, z.B. Handschuhe.
WARNUNG
Schnittverletzungen an beweglichen, scharfkantigen Teilen bei Eingriff in den offenem Hoch-
vakuumanschluss
Unsachgemäße Behandlung der Turbopumpe vor Wartungsarbeiten führt zu Gefahrensituationen mit
Verletzungsrisiko. Es besteht die Gefahr von Schnittverletzungen durch Zugang an scharfkantigen,
rotierenden Teilen beim Ausbau der Turbopumpe.
►Warten Sie den Stillstand der Turbopumpe ab (Drehzahl f = 0).
►Schalten Sie die Turbopumpe ordentlich aus.
►Sichern Sie die Turbopumpe gegen Wiedereinschalten.
►Verschließen Sie offene Anschlüsse unmittelbar nach dem Ausbau durch die original Schutzde-
ckel.
Sicherheit
15/146

WARNUNG
Verbrühungsgefahr an plötzlich austretendem Kühlwasser
Die Wasseranschlüsse der Turbopumpe sind zu beiden Seiten offen. Bei Anschluss der Kühlwasser-
versorgung besteht Verbrühungsgefahr durch plötzlich austretendes, heißes Kühlwasser mit Über-
druck.
►Sorgen Sie vor der Installation für Druckentlastung und Abkühlung des Kühlwassersystems.
►Tragen Sie Schutzausrüstung, z.B. Schutzbrille und Handschuhe.
VORSICHT
Gefahr von Verletzungen durch Kontakt mit Vakuum beim Belüften
Während des Belüftens der Vakuumpumpe besteht die Gefahr geringer Verletzungen durch unmittel-
baren Kontakt von Körperteilen mit dem Vakuum, z.B. Hämatome.
►Drehen Sie die Flutschraube beim Belüften nicht vollständig aus dem Gehäuse.
►Halten Sie Abstand zu automatischen Fluteinrichtungen, wie Flutventilen.
VORSICHT
Elektrischer Schlag und Schäden an Vakuumpumpe und Antriebselektronik durch unsachge-
mäßes Trennen von Komponenten
Auch nach Abschalten der Netzversorgung liefert die nachlaufende Turbopumpe elektrische Energie.
Bei vorzeitiger Trennung von Turbopumpe und Antriebselektronik besteht die Gefahr eines elektri-
schen Schlags durch Berührung spannungsführender Komponenten. Es besteht die Gefahr eines
Massenschlusses und dadurch die Zerstörung von elektronischen Bauteilen.
►Trennen Sie Turbopumpe und Antriebselektronik niemals bei bestehender Netzverbindung oder
laufendem Rotor voneinander.
►Beobachten Sie die Rotation der Turbopumpe über die in der Antriebselektronik verfügbaren Pa-
rameter (z.B. [P:398]).
►Warten Sie den Stillstand der Turbopumpe ab (Drehzahl f = 0).
Risiken bei Störungen
GEFAHR
Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei einem Leck im Kühlwassersystem
Austretendes Kühlwasser, das in die Heizung eindringt, setzt außenliegende Teile der Heizman-
schette unter Spannung. Das Isolationsmaterial nimmt Feuchtigkeit auf, und stellt auch nach der Stö-
rungsbehebung eine Gefahr dar. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag beim Berühren.
►Führen Sie mindestens jährlich eine Überdruckprüfung des Kühlwassersystems durch.
►Tauschen Sie im Störungsfall immer die komplette Heizmanschette aus.
►Sehen Sie bauseitig die Installation eines RCCB vor.
WARNUNG
Lebensgefahr durch elektrischen Schlag im Störungsfall
Im Störungsfall stehen die mit dem Netz verbundenen Geräte möglicherweise unter Spannung. Es
besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponenten.
►Halten Sie den Netzanschluss immer frei zugänglich, um die Verbindung jederzeit trennen zu
können.
Sicherheit
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WARNUNG
Lebensgefahr durch Abreißen der Turbopumpe im Störungsfall
Plötzliches Blockieren des Rotors erzeugt gemäß ISO 27892 hohe zerstörende Drehmomente. Diese
führen bei nicht ordnungsgemäßer Befestigung zum Abreißen der Turbopumpe. Die dabei freige-
setzte Energie kann die gesamte Turbopumpe oder Bruchstücke aus deren Inneren durch den Raum
schleudern. Potentiell gefährliche Gase können entweichen. Es besteht die Gefahr von schwersten
Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden.
►Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe.
►Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches.
►Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate-
rial für die Installation.
WARNUNG
Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall
Plötzliches Blockieren des Rotors erzeugt gemäß ISO 27892 hohe zerstörende Drehmomente. Diese
führen bei Verwendung eines Dämpfungskörpers höchstwahrscheinlich zum Abreißen der Turbo-
pumpe. Die dabei freigesetzte Energie kann die gesamte Turbopumpe oder Bruchstücke aus deren
Inneren durch den Raum schleudern. Potentiell gefährliche Gase können entweichen. Es besteht die
Gefahr von schwersten Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden.
►Ergreifen Sie bauseitig geeignete Sicherungsmaßnahmen zur Kompensation der auftretenden
Drehmomente.
►Halten Sie vor der Installation eines Dämpfungskörpers unbedingt Rücksprache mit Pfeiffer Va-
cuum.
WARNUNG
Lebensgefahr durch Vergiftung bei Austritt von toxischen Prozessmedien an beschädigten
Anschlüssen
Plötzliches Verdrehen der Turbopumpe im Störungsfall führt zu Beschleunigungen von Anbauten. Es
besteht das Risiko von Beschädigungen und Leckagen an kundenseitigen Anschlüssen (z.B. Vorva-
kuumleitung). Der Austritt von Prozessmedien ist die Folge. Bei Prozessen mit toxischen Medien be-
steht Verletzungs- und Lebensgefahr durch Vergiftung.
►Halten Sie an der Turbopumpe anzuschließende Massen möglichst gering.
►Verwenden Sie ggf. flexible Leitungen für den Anschluss an der Turbopumpe.
2.3 Sicherheitsmaßnahmen
Informationspflicht zu möglichen Gefahren
Der Halter oder Betreiber des Produkts ist verpflichtet, jede Bedienperson auf Gefahren,
die von diesem Produkt ausgehen, aufmerksam zu machen.
Jede Person, die sich mit der Installation, dem Betrieb oder der Instandhaltung des Pro-
dukts befasst, muss die sicherheitsrelevanten Teile dieses Dokuments lesen, verstehen
und befolgen.
Verletzung der Konformität durch Veränderungen am Produkt
Die Konformitätserklärung des Herstellers erlischt, wenn der Betreiber das Originalprodukt
verändert oder Zusatzeinrichtungen installiert.
●Nach Einbau in eine Anlage ist der Betreiber verpflichtet, vor deren Inbetriebnahme die
Konformität des Gesamtsystems im Sinne der geltenden europäischen Richtlinien zu
überprüfen und entsprechend neu zu bewerten.
Allgemeine Sicherheitsmaßnahmen im Umgang mit dem Produkt
►Beachten Sie alle geltenden Sicherheits- und Unfallverhütungsvorschriften.
►Überprüfen Sie regelmäßig die Einhaltung aller Schutzmaßnahmen.
►Setzen Sie kein Körperteil dem Vakuum aus.
►Gewährleisten Sie immer die sichere Verbindung zum Schutzleiter (PE).
Sicherheit
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►Lösen Sie während des Betriebs keine Steckerverbindungen.
►Beachten Sie die genannten Ausschaltprozeduren.
►Warten Sie vor Arbeiten am Hochvakuumanschluss den völligen Stillstand des Rotors ab (Dreh-
zahl f = 0).
►Setzen Sie das Gerät nicht mit offenem Hochvakuumanschluss in Betrieb.
►Halten Sie Leitungen und Kabel von heißen Oberflächen (> 70 °C) fern.
►Befüllen oder betreiben Sie das Gerät niemals mit Reinigungsmittel oder Resten davon.
►Nehmen Sie keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vor.
►Beachten Sie die Schutzart des Geräts vor dem Einbau oder Betrieb in anderen Umgebungen.
2.4 Einsatzgrenzen des Produkts
Aufstellungsort wettergeschützt (Innenräume)
Luftdruck 750 hPa bis 1060 hPa
Aufstellungshöhe max. 2000 m
Rel. Luftfeuchte max. 80 %, bei T <31 °C,
bis max. 50 % bei T <40 °C
Schutzklasse (nach IEC 61010) I
Verschmutzungsgrad (nach IEC 61010) 2
Überspannungskategorie II
Zulässige Schutzart IP20
Type 1 gemäß UL 50E
Umgebungstemperatur 5 °C bis 40 °C bei Wasserkühlung
Zulässiges umgebendes Magnetfeld ≤ 6 mT
Maximal eingestrahlte Wärmeleistung 24 W
Maximal zulässige Rotortemperatur der Turbopumpe 120 °C
Maximal zulässige Ausheiztemperatur am Hochvakuumflansch 120 °C
Tab. 3: Zulässige Umgebungsbedingungen
Anmerkungen zu Umgebungsbedingungen
Die angegebenen zulässigen Umgebungstemperaturen gelten für den Betrieb der Turbo-
pumpe bei maximal zulässigem Vorvakuumdruck oder bei maximalem Gasdurchsatz in Ab-
hängigkeit der Kühlungsart. Die Turbopumpe ist durch eine redundante Temperaturüber-
wachung eigensicher.
●Die Reduzierung des Vorvakuumdrucks oder des Gasdurchsatzes ermöglicht den Be-
trieb der Turbopumpe auch bei höheren Umgebungstemperaturen.
●Bei Überschreiten der maximal zulässigen Betriebstemperatur der Turbopumpe redu-
ziert die Antriebselektronik zuerst die Antriebsleistung und schaltet gegebenenfalls an-
schließend ab.
2.5 Bestimmungsgemäße Verwendung
►Verwenden Sie die Turbopumpe ausschließlich zur Vakuumerzeugung.
►Verwenden Sie die Turbopumpe nur in Verbindung mit einer geeigneten Vorvakuumpumpe, die
den erforderlichen maximalen Vorvakuumdruck bereitstellen oder unterschreiten kann.
►Verwenden Sie die Turbopumpe nur in geschlossenen Innenräumen.
►Verwenden Sie die Turbopumpe nur zum Absaugen von trockenen und inerten Gasen.
►Verwenden Sie die Turbopumpe mit TMS nur im zulässigen Temperaturbereich.
►Verwenden Sie die Turbopumpe mit TMS nur in Verbindung mit Sperrgas zum Schutz der Rotor-
lager.
►Verwenden Sie die Turbopumpe mit TMS zur Vermeidung oder Minimierung von kondensieren-
den Prozessrückständen.
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2.6 Vorhersehbarer Fehlgebrauch
Bei Fehlgebrauch des Produkts erlischt jeglicher Haftungs- und Gewährleistungsanspruch. Als Fehlge-
brauch gilt jede, auch unabsichtliche Verwendung, die dem Zweck des Produkts zuwider läuft.
●Transportieren, installieren oder betreiben der Vakuumpumpe in unzulässiger Raumlage
●Herstellen der Spannungsversorgung ohne ordnungsgemäße Installation
●Installieren der Vakuumpumpe mit nicht spezifiziertem Befestigungsmaterial
●Pumpen von explosiven Medien
●Pumpen von korrosiven Medien
●Pumpen von Flüssigkeiten
●Pumpen von Stäuben
●Betreiben ohne Sperrgas (nach umbauen auf TMS)
●Betreiben mit unzulässig hohem Gasdurchsatz
●Betreiben mit unzulässig hohem Vorvakuumdruck
●Betreiben mit einer zu hohen eingestrahlten Wärmeleistung
●Betreiben in unzulässig hohen Magnetfeldern
●Betreiben im falschen Gasmodus
●Fluten mit unzulässig hohen Flutraten
●Einsetzen zur Druckerzeugung
●Einsetzen in Bereichen mit ionisierender Strahlung
●Betreiben in explosionsgefährdeten Bereichen
●Einsetzen in Anlagen, in denen stoßartige Belastungen und Vibrationen oder periodische Kräfte
auf die Geräte einwirken
●Herbeiführen gefährdender Betriebszustände durch eine dem Prozess zuwiderlaufende Vorein-
stellung der Antriebselektronik
●Verwenden von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt sind
2.7 Personenqualifikation
Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete
technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum
an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben.
Personen schulen
1. Schulen Sie technisches Personal am Produkt.
2. Lassen Sie zu schulendes Personal nur unter Aufsicht durch geschultes Personal mit und an dem
Produkt arbeiten.
3. Lassen Sie nur geschultes technisches Personal mit dem Produkt arbeiten.
4. Stellen Sie sicher, dass beauftragtes Personal vor Arbeitsbeginn diese Betriebsanleitung und alle
mitgeltenden Dokumente gelesen und verstanden hat, insbesondere Sicherheits-, Wartungs- und
Instandsetzungsinformationen.
2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen
Fachkraft für mechanische Arbeiten
Alle mechanischen Arbeiten darf ausschließlich eine ausgebildete Fachkraft ausführen. Fachkraft im
Sinne dieser Dokumentation sind Personen, die mit Aufbau, mechanischer Installation, Störungsbehe-
bung und Instandhaltung des Produkts vertraut sind und über folgende Qualifikationen verfügen:
●Qualifizierung im Bereich Mechanik gemäß den national geltenden Vorschriften
●Kenntnis dieser Dokumentation
Fachkraft für elektrotechnische Arbeiten
Alle elektrotechnischen Arbeiten darf ausschließlich eine ausgebildete Elektrofachkraft ausführen.
Elektrofachkraft im Sinne dieser Dokumentation sind Personen, die mit elektrischer Installation, Inbe-
triebnahme, Störungsbehebung und Instandhaltung des Produkts vertraut sind und über folgende Quali-
fikationen verfügen:
●Qualifizierung im Bereich Elektrotechnik gemäß den national geltenden Vorschriften
●Kenntnis dieser Dokumentation
Die Personen müssen darüber hinaus mit den gültigen Sicherheitsvorschriften und Gesetzen sowie den
anderen in dieser Dokumentation genannten Normen, Richtlinien und Gesetzen vertraut sein. Die ge-
nannten Personen müssen die betrieblich ausdrücklich erteilte Berechtigung haben, Geräte, Systeme
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und Stromkreise gemäß den Standards der Sicherheitstechnik in Betrieb zu nehmen, zu programmie-
ren, zu parametrieren, zu kennzeichnen und zu erden.
Unterwiesene Personen
Alle Arbeiten in den übrigen Bereichen Transport, Lagerung, Betrieb und Entsorgung dürfen ausschließ-
lich ausreichend unterwiesene Personen durchführen. Diese Unterweisungen müssen die Personen in
die Lage versetzen, die erforderlichen Tätigkeiten und Arbeitsschritte sicher und bestimmungsgemäß
durchführen zu können.
2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur
Weiterbildungskurse
Pfeiffer Vacuum bietet Weiterbildungskurse zu Wartung Level 2 und 3 an.
Entsprechend ausgebildete Personen sind:
●Wartung Level 1
─Kunde (ausgebildete Fachkraft)
●Wartung Level 2
─Kunde mit technischer Ausbildung
─Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker
●Wartung Level 3
─Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung
─Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker
2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden
Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produkts bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches
Angebot an Schulungen und technischen Trainings an.
Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum.
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