Thyracont VSH87D User manual

VSH87D, VSH87DL
VSH88D, VSH88DL
VSH89D, VSH89DL
Vakuum Transmitter
Vacuum Transducer
Betriebsanleitung
Operating Instructions

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vsh-de-171005

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vsh-de-171005
Inhalt
1Hinweise für Ihre Sicherheit..........................................................4
2Vakuum Transmitter VSH..............................................................5
2.1 Zur Orientierung.........................................................................5
2.2 Lieferumfang ..............................................................................5
2.3 Produktbeschreibung .................................................................6
3Installation ......................................................................................7
3.1 Hinweise zur Installation ............................................................7
3.2 Vakuumanschluss......................................................................7
3.3 Elektrischer Anschluss...............................................................8
3.3.1 Anschluss an Thyracont Anzeigegeräte .............................8
3.3.2 Kundeneigene Spannungsversorgung ...............................9
4Betrieb...........................................................................................10
4.1 Allgemeines..............................................................................10
4.2 Bedienung des VSH.................................................................11
4.3 Degas.......................................................................................14
4.4 Ausheizen.................................................................................15
4.5 Nachjustieren ...........................................................................15
5Kommunikation............................................................................17
5.1 Die serielle Schnittstelle des VSH............................................17
5.2 Befehlsübersicht.......................................................................18
5.3 Geräte-Parameter und Information..........................................19
5.4 Messwertabfrage......................................................................20
5.5 Displayfunktionen.....................................................................20
5.6 Schaltpunkte.............................................................................21
5.7 Nachjustieren ...........................................................................22
5.8 Sensor Parameter....................................................................23
5.9 VacuGraphTM Software ............................................................27
6Wartung und Service...................................................................28
7Technische Daten ........................................................................30
Konformitätserklärung.........................................................................32
Hersteller:
Thyracont Vacuum Instruments GmbH
Max Emanuel Straße 10
D 94036 Passau
Tel.: ++49/851/95986-0
email: [e-mail]
Internet: http://www.thyracont-vacuum.com

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1 Hinweise für Ihre Sicherheit
Lesen und befolgen Sie alle Punkte dieser Anleitung
Informieren Sie sich über Gefahren, die vom Gerät ausgehen und Gefahren, die von
Ihrer Anlage ausgehen
Beachten Sie die Sicherheits- und Unfall-Verhütungsvorschriften
Prüfen Sie regelmäßig die Einhaltung aller Schutzmaßnahmen
Installieren Sie das VSH unter Einhaltung der entsprechenden Umgebungsbedin-
gungen; die Schutzart ist IP40 (die Geräte sind geschützt gegen Eindringen von
Fremdkörpern) bzw. IP54 bei Verwendung geeigneter Steckverbinder
Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die einschlägigen
Vorschriften und Schutzmaßnahmen
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen zwischen Werkstoffen und Prozessme-
dien
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen der Prozessmedien infolge der Eigener-
wärmung des Produkts
Gerät nicht eigenmächtig umbauen oder verändern
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination
Beachten Sie im Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften
und Schutzmaßnahmen
Legen Sie beim Einsenden des Gerätes eine Kontaminationsbescheinigung bei
Geben Sie die Sicherheitsvermerke an andere Benutzer weiter
Piktogramm-Definitionen
Gefahr eines elektrischen Schlages beim Berühren der
Kontakte
Gefahr von Personenschäden
Gefahr von Schäden an Gerät oder Anlage
Wichtige Information über das Produkt, dessen Handhabung
oder den jeweiligen Teil der Betriebsanleitung, auf den beson-
ders aufmerksam gemacht werden soll

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2 Vakuum Transmitter VSH
2.1 Zur Orientierung
Diese Betriebsanleitung ist gültig für Produkte mit den Artikelnummern
VSH87D, VSH87DL,
VSH88D, VSH88DL,
VSH89D und VSH89DL.
Sie finden die Artikelnummern auf dem Typenschild. Technische Änderungen
ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten.
2.2 Lieferumfang
Zum Lieferumfang gehören:
-Transmitter VSH
-Staubschutzkappe
-Betriebsanleitung
Lieferbares Zubehör:
-Zubehörset Smartline, SLZUB:
Schutzkoffer,
Schnittstellenkonverter RS485-USB,
Steckernetzteil 24 V
-Zentrierdichtring DN25KF mit Metall-Schutzblende, ZZCH025
-Zentrierdichtring DN40KF mit Metall-Schutzblende, ZZCH040
-Metall-Schutzblende für DN40CF, ZZCH040CF
Stecker und Messkabel:
-Messkabel 2m für Anzeigegerät VD10/VD12, W1515002
-Messkabel 6m für Anzeigegerät VD10/VD12, W1515006
-Messkabel, 2m mit offenen Enden, W1500002
-Messkabel, 6m mit offenen Enden, W1500006
-Gegenstecker Smartline IP54, XB15SL05 *
-Messkabel IP54, 2m mit offenen Enden, W1500502 *
-Messkabel IP54, 6m mit offenen Enden, W1500506 *
* IP54 Einzelstecker, Transmitter können damit nicht als RS485-Kette verbunden
werden

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2.3 Produktbeschreibung
Der Vakuum Transmitter VSH dient zur Absolutdruck-Messung in gasförmigen
Medien im Bereich 1000 - 5,0x10-10 mbar. Das Gerät kann an ein Thyracont
Anzeigegerät angeschlossen oder gemäß Anschlussbelegung mit einer kunden-
eigenen Spannungsversorgung betrieben werden.
Das analoge Mess-Signal 1,219V - 8,6V ist dabei über den gesamten Messbe-
reich logarithmisch vom Druck abhängig.
Zusätzlich besitzt das Gerät eine RS485 Schnittstelle zur digitalen Datenübertra-
gung (siehe Kapitel 5.1).
Das VSH ist mit einem metallgedichteten Kombinationssensor des Typs Pirani /
Heißkathode (Bayard Alpert) ausgerüstet und temperaturkompensiert. Es kann
an geeignete Flanschverbindungen angeschlossen werden.
Bestimmungsgemäße Verwendung
Das VSH dient ausschließlich der Absolutdruckmessung in gasförmigen Medien
im Bereich 1000 - 5,0x10-10 mbar. Es darf nur an geeignete und hierfür vorgese-
hene Komponenten angeschlossen werden.
Nicht bestimmungsgemäße Verwendung
Als nicht bestimmungsgemäß gilt der Einsatz zu Zwecken, die von oben genann-
ten abweichen, insbesondere:
-der Anschluss an Geräte oder Komponenten, die laut ihrer Betriebsanleitung
hierfür nicht vorgesehen sind
-der Anschluss an Geräte, die berührbare, Spannung führende Teile aufwei-
sen.
Bei nicht bestimmungsgemäßem Einsatz erlischt jeglicher Haftungs- und Ge-
währleistungsanspruch
Die Verantwortung im Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien
liegt beim Betreiber.
Das Gerät ist nicht zum Einsatz in Verbindung mit Korrosivgas
vorgesehen. Aggressive Medien wie Halogenide, Kohlenstoff-
oder Sauerstoff-Plasmen können die Lebensdauer des Sen-
sors reduzieren!
Ölnebel, Staub und Kondensat beeinträchtigen die Funktion
des Sensors und können zum Ausfall führen!
Kohlenwasserstoffe, die z.B. beim Einsatz von ölgedichteten
Pumpen im Prozessgas auftreten können, beschleunigen den
Verschleiß der Heißkathoden-Filamente!

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3 Installation
3.1 Hinweise zur Installation
Keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät
vornehmen!
Aufstellungsort: Innenräume
Für nicht vollklimatisierte Betriebsräume gilt:
Temperatur: +5°C ... +60°C
Rel. Luftfeuchte: max. 80% bis 30°C, max. 50% bei 40°C, nicht betauend
Luftdruck: 860 - 1060 hPa (mbar)
3.2 Vakuumanschluss
Schmutz und Beschädigungen, insbesondere am Flansch, be-
einträchtigen die Funktion dieses Gerätes.
Beachten Sie bitte die beim Umgang mit Vakuumkomponenten
erforderlichen Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor
Beschädigung.
-Staubschutzkappe entfernen (wird bei Instandhaltungsarbeiten wieder benö-
tigt!)
-Vakuumanschluss über Kleinflansch DN25 ISO KF (VSH87), DN40 ISO KF
(VSH88) oder DN40CF-Flansch (VSH89) herstellen
-Bei Verbindung über Kleinflansch Metall-Spannelemente verwenden, die sich
nur mit einem Werkzeug öffnen und schließen lassen (z.B. Spannband-
Spannring), Dichtringe mit Zentrierring verwenden
-Sicherstellen, dass der Sensorflansch mit dem Schutzleiter verbunden ist,
beispielsweise durch metallischen Kontakt zur geerdeten Vakuumkammer
(metallische Spannelemente)
Die Einbaulage ist frei wählbar, jedoch kann eine Montage von unten, d.h. mit
nach oben gerichtetem Flansch, zu vorzeitiger Verschmutzung und Ausfall des
Geräts führen. Zu bevorzugen ist der Einbau von oben, d.h. mit nach unten
gerichtetem Flansch, damit sich Staub und Kondensat nicht in der Messzelle
ansammeln können. Der Transmitter ist in dieser Lage ab Werk justiert. Bei
anderer Einbaulage ist –ohne Nachjustierung- eine erhöhte Messwertabwei-
chung im Druckbereich oberhalb 20 mbar zu erwarten.

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Das Gerät beim Einbau nicht gewaltsam verdrehen, dies kann
zur mechanischen Beschädigung führen!
Bei Überdruck im Vakuumsystem > 1 bar
Versehentliches Öffnen von Spannelementen kann zu Verlet-
zungen durch herumfliegende Teile führen!
Ungesicherte Schlauchverbindungen können sich lösen und Ge-
sundheitsschäden durch ausströmende Prozessmedien
herbeiführen!
Bei Überdruck im Vakuumsystem 1,5 bis 4 bar
Bei KF-Flanschverbindungen können Elastomer-Dichtringe dem
Druck nicht mehr standhalten. Dies kann zu Gesundheitsschä-
den durch ausströmende Prozessmedien führen.
3.3 Elektrischer Anschluss
3.3.1 Anschluss an Thyracont Anzeigegeräte
Wird der Transmitter an einem Thyracont Anzeigegerät betrieben, ist ein geeig-
netes Messkabel zu verwenden (siehe Zubehör).
Anschluss des Transmitters niemals mit Spannung führendem
Kabel herstellen!
Stecker am Transmitter einstecken und mit Schrauben sichern. Gegenüberlie-
genden Stecker am Anzeigegerät anstecken und sichern. Erst danach
Spannungsversorgung am Anzeigegerät herstellen bzw. einschalten.

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3.3.2 Kundeneigene Spannungsversorgung
Der Transmitter kann auch mit anderen Anzeigegeräten oder kundeneigener
Spannungsversorgung betrieben werden.
Die elektrische Verbindung ist unter Verwendung geeigneter Kabel EMV-gerecht
gemäß untenstehender Pinbelegung herzustellen:
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Stecker
Pin
1:
Pin 2:
Pin 3:
Pin 4:
Pin 5:
Pin 6:
Pin 7:
Pin 8:
Pin 9:
Pin 10:
Pin 11:
Pin 12:
Pin 13:
Pin 14:
Pin 15:
Typ SubD, 15polig, männlich
Identifikation: 39 kΩ
Signal Output 0-10 VDC
AGND
Voltage Supply 24 VDC
Supply GND
Relay 1, N.O.
Relay 1, Common
Relay 1, N.C.
Degas, extern
RS485 +
RS485 -
Shield
Relay 2, N.O.
Relay 2, Common
Relay 2, N.C.
Wir empfehlen, Abschirmung (Pin 12) und Speisungserde (Pin5)
beim Speisegerät mit Erdung zu verbinden.
Falscher Anschluss oder unzulässige Versorgungsspannung
können zu Schäden am Transmitter führen.

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4 Betrieb
4.1 Allgemeines
Messprinzip
Der Vakuum Transmitter VSH besitzt eine interne Kombination aus Piranisensor,
der die Wärmeleitfähigkeit von Gasen zur Vakuummessung nutzt, und einem
Heißkathoden-Ionisationssensor nach Bayard Alpert.
Beim Wärmeleitungssensor wird ein Wendel-Filament in einer Wheatstone
Brückenschaltung auf eine konstante Temperatur aufgeheizt. Die notwendige
Brückenspannung ist ein Maß für den Absolutdruck.
Der Bayard-Alpert-Sensor ionisiert Gasmoleküle durch Elektronenbeschuss. Der
gemessene Ionenstrom ist ein Maß für die Anzahl der vorhandenen Gasmolekü-
le und somit für den Absolutdruck.
Ausgangssignal
Das Mess-Signal 1,219 - 8,6 V des VSH ist über den gesamten Messbereich von
5,0x10-10 - 1000 mbar logarithmisch vom Druck abhängig. Die Umrechnung
erfolgt gemäß folgendem Zusammenhang:
Die Ausgangs-Kennlinie kann per
Softwarebefehl skaliert werden,
siehe hierzu Abschnitt 5.8.
Serielle Schnittstelle RS485
Der gemessene Druckwert kann über die serielle RS485 Schnittstelle des
Transmitters digital ausgelesen werden. Darüber hinaus können verschiedene
Parameter wie Gasart-Korrekturfaktoren programmiert werden.
Weitere Informationen hierzu finden sie im Abschnitt 5 Kommunikation.
Stabilisierungszeit
Die Ausgabe des Mess-Signals erfolgt ca. 2 s nach Einschalten des Geräts. Zur
Ausnutzung der vollen Genauigkeit kann es -insbesondere nach extremen
Drucksprüngen- angebracht sein, eine Stabilisierungszeit von 5 min zu beachten.
Messgenauigkeit
Das Gerät ist ab Werk in stehender Position bei einer Versorgungsspannung von
24VDC abgeglichen. Verschmutzung, Alterung, extreme klimatische Bedingun-
gen oder andere Einbaulagen können ein Nachjustieren erforderlich machen.
Im Bereich oberhalb 20mbar ist die Messgenauigkeit reduziert.
Gasartabhängigkeit
Das Mess-Signal ist gasartabhängig. Das Gerät ist auf N2bzw. trockene Luft
abgeglichen. Für andere Gase können via RS485 Korrekturfaktoren für beide
Sensortypen gesetzt werden, so dass unterhalb 0,1 mbar eine korrekte Druck-
ausgabe resultiert (siehe Abschnitt 5.8).
V
out
/V = 0,6 log (p/mbar) + 6,8
p /mbar = 10
( (Vout /V – 6,8) / 0,6 )

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Normalbetrieb
Initialisiere Eingabe
/ Heißkathode an
Normalbetrieb / Heißkathode aus
(grün - Dauerleuchten)
(grün- langsames Blinken)
(grün- schnelles Blinken)
Fehler (
Degas on
rot - Dauerleuchten)
(rot - langsames Blinken)
(rot - schnelles Blinken)
Initialisiere Degas
Warnung: Heißkathode Filament 1 defekt
Bereit zum Nachjustieren
(orange - Dauerleuchten)
(orange - langsames Blinken)
(orange - schnelles Blinken)
Initialisiere Nachjustieren
4.2 Bedienung des VSH
Das VSH besitzt eine Status-LED, welche folgende Betriebszustände signalisiert:
Die Schaltpunkt LEDs leuchten, sobald das zugehörige Relais angezogen ist.

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Die Modelle VSH87DL, VSH88DL und VSH89DL verfügen zudem über ein gelb
hinterleuchtetes LCD zur Anzeige des gemessenen Drucks.
Liegt eine Betriebsstörung vor, wird dies durch ein rot hinterleuchtetes Display
signalisiert.
Zum Ändern der Anzeigeeinheit (mbar, Torr, hPa)
während die Spannungsversorgung angeschlossen
wird die Adj Taste gedrückt halten bis die Anzeige
"Unit" erscheint. Dann die gewünschte Einheit durch
Drücken der Adj Taste auswählen.
Nach 5 s ohne weiteren Tastendruck wird die Ein-
stellung gespeichert.
Anzeigeeinheit und Display-Orientierung können per Softwarekommando geän-
dert werden, siehe hierzu Kapitel 5.5.

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Über den ADJ-Taster am VSH können die Funktionen "Degas" und "Nachjustie-
ren" aufgerufen werden (siehe Abschnitt 4.3 und 4.5).
Set
Status LED grün
Set 3s
Set
Status LED rot
Initialisiere Degas
Set
Status LEDgrün
Normalbetrieb
Status LED grün
Normalbetrieb Status LED
orange
Justieren
Set (Degas aus) 3min rot
Status LED grün
Normalbetrieb
Status LED rot
Degas ein
Status LED grün
Normalbetrieb
3s
3s
Set
Automatische
Justierung von
Nulldruck oder
Atmosphärendruck
Pirani
Status LED grün
Normalbetrieb
10s grün
Status LED grün
Normalbetrieb
1s grün Status LED rot
Justierfehler
Status LED grün
Normalbetrieb
3s
Status LED
schnell blinkend
langsam blinkend
Dauerleuchten
Status LED grün
Normalbetrieb / BAaus
Status LED grün
Normalbetrieb / BAein
Status LED orange
Initialisiere
Nachjustieren

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4.3 Degas
Ablagerungen und adsorbierte Gasmoleküle auf den Elektroden des Heißkatho-
densensors können zu erhöhtem Ausgasen im Ultrahochvakuum führen sowie
andererseits Instabilitäten im Mess-Signal verursachen.
In diesem Fall ist es angebracht, bei einem Druck unterhalb 2,0x10-6 mbar die
Anode des Sensors durch Ausheizen von Ablagerungen und adsorbierten
Gasmolekülen zu reinigen. Die Anode erwärmt sich dabei durch ohmsche
Heizung auf bis zu 800°C.
Degas-Steuerung durch Tastendruck
Die Degas-Funktion kann direkt am Gerät per Tastendruck aktiviert werden,
siehe Bedienschema in Abschnitt 4.2.
Hierzu den Gummistopfen über dem Taster "ADJ" entfernen (1), dann mit einem
dünnen Schraubendreher oder ähnlichem Hilfsmittel mehrmals kurz auf den
Taster drücken (2), bis die Status-LED schnell rot zu blinken beginnt. Nach 3s
ohne weiteren Tastendruck startet automatisch der Degas-Vorgang, signalisiert
durch ein langsames rotes Blinken der Status-LED. Der Degas-Vorgang wird
nach ca. 3 Minuten selbständig abgeschaltet, kann jedoch jederzeit durch
nochmaligen Tastendruck beendet werden. Zum Schluss den Gummistopfen
wieder einsetzen.

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Degas-Steuerung durch externes Spannungssignal
Degas kann gestartet werden, indem Anschluss-Pin 9 (siehe Abschnitt 3.3.2)
kurzzeitig (min. 20 ms) auf ein definiertes Potential gelegt wird. Je nach Einstel-
lung des Software-Parameters "Degas Logic" (DL) startet das Ausheizen, wenn
Pin 9
a) kurzzeitig auf GND gelegt wird (Parameterwert 0, aktiv low, Stan-
dardeinstellung ab Werk) oder
b) kurzzeitig auf 3 … 24 VDC gelegt wird (Parameterwert 1, aktiv high)
Der Degas-Vorgang endet automatisch nach ca. 3 Minuten, kann jedoch jeder-
zeit abgebrochen werden, indem Pin 9 nochmals kurz wie oben beschrieben
beschaltet wird. Während des Degas-Vorgangs blinkt die Status-LED des VSH
rot.
Degas-Steuerung per Software-Kommando
Siehe Abschnitt 5.8
4.4 Ausheizen
Soll die Vakuumkammer mit angeflanschtem VSH ausgeheizt werden, so darf
die Temperatur am Sensorflansch 180 °C keinesfalls überschreiten.
Die Spannungsversorgung des Transmitters muss während des
Ausheizens der Kammer ausgeschaltet sein. Anderenfalls kann
es zu Schäden an der Elektronik kommen!
4.5 Nachjustieren
Das Gerät ist ab Werk bei Versorgungsspannung 24V stehend, d.h. mit dem
Flansch nach unten, abgeglichen.
Andere Einbaulagen, Einsatz unter anderen klimatischen Bedingungen, extreme
Temperaturschwankungen, Alterung oder Verschmutzung können ein Nachjus-
tieren des Pirani-Sensors erforderlich machen.
Nachjustieren durch Tastendruck am Gerät
Ein Nachjustieren auf Atmosphärendruck oder Nulldruck ist digital über den
Taster "ADJ" möglich, siehe Bedienschema in Abschnitt 4.2.
Der Transmitter erkennt automatisch, um welchen Justierpunkt es sich handelt.

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Beim Nullabgleich sollte der Ist-Druck kleiner 5,0x10-5 mbar
sein.
Um optimale Ergebnisse beim Nachjustieren zu erzielen, emp-
fehlen wir vor jedem Abgleich eine Warmlaufphase von
mindestens 10 Minuten beim jeweiligen Kalibrierdruck zu be-
achten.
Zum Justieren den Gummistopfen über dem Taster "ADJ" entfernen (1), dann
mit einem dünnen Schraubendreher oder ähnlichem Hilfsmittel mehrmals kurz
auf den Taster drücken (2), bis die Status-LED schnell orange zu blinken be-
ginnt. Nach 3s ohne weiteren Tastendruck signalisiert langsames Blinken, dass
der Transmitter nun nachjustiert werden kann. Hierzu nochmals kurz die Taste
drücken. Gummistopfen nun wieder einsetzen.
Nachjustieren per Software-Kommando
Siehe Abschnitt 5.7

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5 Kommunikation
5.1 Die serielle Schnittstelle des VSH
Der Transmitter VSH verfügt über eine serielle Schnittstelle RS485. Um die
Geräteadresse zur Kommunikation über RS485 einzustellen, ist zunächst der
Gummistopfen über dem Adress-Schalter zu entfernen (1) und anschließend der
Adress-Schalter mit einem dünnen Schraubendreher oder ähnlichem Hilfsmittel
auf einen Wert zwischen 1 und 16 einzustellen (2). Danach den Gummistopfen
wieder einsetzen.
Bei der Kommunikation werden die Telegramme gemäß Thyracont Protokoll
Version V2 als ASCII-Code übertragen. Ausführliche Informationen hierzu finden
Sie in der gesonderten Beschreibung "Thyracont Communication Protocol".
Download unter: www.thyracont-vacuum.com/download-center/
Der analoge Signalausgang 0-10V steht gleichzeitig zur RS485
zur Verfügung!
Schnittstellen-Parameter:
9,6 / 14,4 / 19,2 / 38,4 / 57,6 / 115,2 kBd, 8 Datenbits, 1 Stopbit, keine Parität
Nach dem Einschalten startet der Transmitter mit 9,6 kBd.
Empfängt er Anfrage-Telegramme mit einer anderen Baudrate,
so stellt sich der Transmitter automatisch darauf ein. Für diese
automatische Baudraten-Erkennung benötigt er maximal zwei
Telegramme der Sorte "Typanfrage" oder "Messwertanfrage".

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5.2 Befehlsübersicht
Command
Code
Type of Device
TD
Product Name
PN
Serial Number Device
SD
Serial Number Head (Sensor)
SH
Version Device VD
Version Firmware VF
Version Bootloader VB
Baud Rate BR
Response Delay RD
Device Restart
DR
Measurement Range
MR
Measurement Value
MV
Measurement Value 1 (Pirani)
M1
Measurement Value 3 (Hot Cathode)
M32
Display Unit DU1
Display Orientation DO1
Relay 1 R1
Relay 2 R2
Adjust High (Atmosphere Pressure) AH
Adjust Low (Zero Pressure)
AL
DeGas
DG
DeGas Logic
DL
Sensor Transition
ST
Cathode Control
CC
Filament Control FC
Filament Number FN
Filament Status FS
Gas Correction Factor 1 (Pirani) C1
Gas Correction Factor 3 (Hot Cathode) C3
Analog Output Characteristic OC
1) Nur gültig für Geräte mit LCD Display
2) Nicht verfügbar bei ausgeschaltetem Heißkathodensensor

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Das bisherige Schnittstellen-Protokoll der Version V1 wird auch
weiterhin von allen Smartline Geräten unterstützt!
Telegramme, die gemäß Protokollversion 1 aufgebaut sind,
können somit weiter verwendet werden.
5.3 Geräte-Parameter und Information
Type of Device TD:
Abfragen des Gerätetyps, z.B. VSH208
Product Name PN:
Abfragen des Produktnamens, z.B. VSH88D
Serial Number Device SD:
Abfragen der Geräte-Seriennummer
Serial Number Head SH:
Abfragen der Seriennummer des Sensorkopfes
Version Device VD:
Abfragen der Hardware-Versionsnummer des Geräts
Version Firmware VF:
Abfragen der Firmware-Versionsnummer des Geräts
Version Bootloader VB:
Abfragen der Bootloader-Version des Geräts
Baud Rate BR:
Einstellen der Baudrate zur Datenübertragung
Wertebereich: 9600, 14400, 19200, 28800, 38400, 57600, 115200 Bd
Response Delay RD:
Abfragen und Einstellen der Wartezeit zwischen dem Empfang eines Tele-
gramms und dem Senden der Antwort.
Wertebereich: 1 … 99999 µs (Default 5500 µs)
Device Restart DR:
Geräte-Reset durchführen

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5.4 Messwertabfrage
Measurement Range MR:
Abfragen des Messbereichs, z.B. beim VSH 1000 … 5x10-10 mbar
Measurement Value MV:
Abfragen des aktuell gemessenen Druckwertes.
Measurement Value M1:
Abfragen des aktuell vom Pirani-Sensor gemessenen Druckwertes.
Measurement Value M3:
Abfragen des aktuell vom Heißkathodensensor gemessenen Druckwertes. Nicht
verfügbar bei ausgeschalteter Heißkathode.
5.5 Displayfunktionen
Display Unit DU:
Abfragen und Einstellen der für das LCD Display des Transmitters verwendeten
Druckeinheit.
Wertebereich: mbar (Default), Torr, hPa
Display Orientation DO:
Abfragen und Einstellen der Display-Orientierung, die Anzeige kann dadurch um
180° gedreht werden.
Wertebereich: 0 (Default), 1 (180° gedreht)