Thyracont VSP63MV User manual

V a c u u m I n s t r u m e n t s
VSP63MV, VSP64MV
VCP63MV
Vakuum Transmitter
Vacuum Transducer
Betriebsanleitung
Operating Instructions

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Inhaltsverzeichnis
1 Hinweise für Ihre Sicherheit 4
2 Vakuum Transmitter VSP/VCP 5
2.1 ZurOrientierung ............................ 5
2.2 Lieferumfang .............................. 5
2.3 Produktbeschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
3 Installation 7
3.1 Hinweise zur Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
3.2 Vakuumanschluss............................ 7
3.3 Elektrischer Anschluss . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
3.3.1 Anschluss an Thyracont Anzeigegeräte . . . . . . . . . . . . 8
3.3.2 Kundeneigene Spannungsversorgung . . . . . . . . . . . . . 9
4 Betrieb 10
4.1 Allgemeines............................... 10
4.2 Nachjustieren.............................. 11
5 Wartung und Service 13
6 Technische Daten 15
7 Konformitätserklärung 17
Hersteller:
Thyracont Vacuum Instruments GmbH
Max-Emanuel-Straße 10
D-94036 Passau
Tel.: ++49/851/95986-0
E-Mail: [e-mail]
Internet: https://www.thyracont-vacuum.com
VSP/VCP-0-10 V-201126

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1 Hinweise für Ihre Sicherheit
−Lesen und befolgen Sie alle Punkte dieser Anleitung
−Informieren Sie sich über Gefahren, die vom Gerät ausgehen und Gefahren, die von
Ihrer Anlage ausgehen
−Beachten Sie die Sicherheits- und Unfall-Verhütungsvorschriften
−Prüfen Sie regelmäßig die Einhaltung aller Schutzmaßnahmen
−Installieren Sie das VSP/VCP unter Einhaltung der entsprechenden Umgebungsbe-
dingungen; die Schutzart ist IP40 (die Geräte sind geschützt gegen Eindringen von
Fremdkörpern)
−Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die einschlägigen
Vorschriften und Schutzmaßnahmen
−Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen zwischen Werkstoffen und Prozessmedien,
z. B. infolge der Eigenerwärmung des Produkts
−Gerät nicht eigenmächtig umbauen oder verändern
−Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination
−Beachten Sie im Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften und
Schutzmaßnahmen
−Legen Sie beim Einsenden des Gerätes eine Kontaminationsbescheinigung bei
−Geben Sie die Sicherheitsvermerke an andere Benutzer weiter
Piktogramm-Definitionen
Wichtige Information über das Produkt, dessen Handhabung oder
den jeweiligen Teil der Betriebsanleitung, auf den besonders auf-
merksam gemacht werden soll
Gefahr von Schäden an Gerät oder Anlage
Gefahr von Personenschäden
VSP/VCP-0-10 V-201126

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2 Vakuum Transmitter VSP/VCP
2.1 Zur Orientierung
Diese Betriebsanleitung ist gültig für Produkte mit den Artikelnummern
VSP63MV, VSP64MV,
VCP63MV.
Sie finden die Artikelnummern auf dem Typenschild. Technische Änderungen oh-
ne vorherige Anzeige sind vorbehalten.
2.2 Lieferumfang
Zum Lieferumfang gehören:
−Transmitter VSP/VCP
−Staubschutzkappe
−Betriebsanleitung
Lieferbares Zubehör:
−Zentrierdichtring DN16KF mit Metall-Drahtfilter, ZZDF016
−Zentrierdichtring DN16KF mit Metall-Schutzblende, ZZCH016
Stecker und Messkabel:
−Messkabel 2m für Anzeigegerät VD12, W0606002
−Messkabel 6m für Anzeigegerät VD12, W0606006
−Messkabel 10m für Anzeigegerät VD12, W0606010
−Messkabel 2m mit offenen Enden, W0600002
−Messkabel 6m mit offenen Enden, W0600006
−Messkabel 10m mit offenen Enden, W0600010
−Gegenstecker 6polig gewinkelt, XB0600002
VSP/VCP-0-10 V-201126

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2.3 Produktbeschreibung
Der Vakuum Transmitter VSP/VCP dient zur Absolutdruck-Messung in gasförmi-
gen Medien im Bereich 1,0x10-4 - 1000 mbar. Der Transmittertyp VCP mit Pt/Rh Fi-
lament ist für den Einsatz in vielen Korrosivgas-Anwendungen geeignet und misst
Absolutdruck im Bereich 5,0x10-4 - 1000 mbar. Das Gerät kann an ein Thyracont
Anzeigegerät angeschlossen oder gemäß Anschlussbelegung mit einer kundenei-
genen Spannungsversorgung betrieben werden.
Das analoge Mess-Signal 1,5 V - 8,5 V des VSP bzw. 2,2 V - 8,5 V des VCP ist
dabei über den gesamten Messbereich logarithmisch vom Druck abhängig.
Das VSP/VCP ist mit einem metallgedichteten Pirani-Sensor ausgerüstet und tem-
peraturkompensiert. Es kann an geeignete Flanschverbindungen angeschlossen
werden.
Bestimmungsgemäße Verwendung
Das VSP/VCP dient ausschließlich der Absolutdruckmessung in gasförmigen Me-
dien. Es darf nur an geeignete und hierfür vorgesehene Komponenten angeschlos-
sen werden.
Der Messumformer ist ein Gerät der Störklasse A und kann daher im Wohnbereich
zu Funkstörungen führen.
Nicht bestimmungsgemäße Verwendung
Als nicht bestimmungsgemäß gilt der Einsatz zu Zwecken, die von oben genannten
abweichen, insbesondere:
−Anschluss an Geräte oder Komponenten, die laut ihrer Betriebsanleitung
hierfür nicht vorgesehen sind.
−Anschluss an Geräte, die berührbare, Spannung führende Teile aufweisen.
Bei nicht bestimmungsgemäßem Einsatz erlischt jeglicher Haftungs- und Gewähr-
leistungsanspruch.
Die Verantwortung im Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien liegt
beim Betreiber.
VSP: Das Gerät ist nicht zum Einsatz in Verbindung mit Korrosiv-
gas vorgesehen. Aggressive Medien wie Halogenide, Kohlenstoff-
oder Sauerstoff-Plasmen können die Lebensdauer des Sensors re-
duzieren!
VCP: Aggressive Medien wie Fluoride können die Lebensdauer
des Sensors reduzieren!
Ölnebel, Staub und Kondensat beeinträchtigen die Funktion des
Sensors und können zum Ausfall führen!
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3 Installation
3.1 Hinweise zur Installation
Keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät
vornehmen!
Aufstellungsort: Innenräume
Für nicht vollklimatisierte Betriebsräume gilt:
Temperatur: +5 ◦C ... +60 ◦C
Rel. Luftfeuchte: max. 80% bis 30 ◦C, max. 50% bei 40 ◦C, nicht betauend
Luftdruck: 860 - 1060 hPa (mbar)
3.2 Vakuumanschluss
Schmutz und Beschädigungen, insbesondere am Flansch, beein-
trächtigen die Funktion dieses Gerätes.
Beachten Sie bitte die beim Umgang mit Vakuumkomponenten er-
forderlichen Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Be-
schädigung.
−Staubschutzkappe entfernen (wird bei Instandhaltungsarbeiten wieder be-
nötigt!)
−Vakuumanschluss fachgerecht über KF Kleinflansch/ CF-Flansch herstellen
−Für Kleinflansch-Verbindung Metall-Spannelemente verwenden, die sich nur
mit einem Werkzeug öffnen und schließen lassen, Dichtringe mit Zentrierring
verwenden
−Sicherstellen, dass der Sensorflansch mit dem Schutzleiter verbunden ist,
beispielsweise durch metallischen Kontakt zur geerdeten Vakuumkammer
(metallische Spannelemente)
Die Einbaulage ist frei wählbar, jedoch kann eine Montage von unten, d.h. mit nach
oben gerichtetem Flansch, zu vorzeitiger Verschmutzung und Ausfall des Geräts
führen. Zu bevorzugen ist der Einbau von oben, d.h. mit nach unten gerichtetem
Flansch, damit sich Staub und Kondensat nicht in der Messzelle ansammeln kön-
nen. Der Transmitter ist in dieser Lage ab Werk justiert. Bei anderer Einbaulage ist
-ohne Nachjustierung- eine erhöhte Messwertabweichung im Druckbereich ober-
halb 20 mbar zu erwarten.
Das Gerät beim Einbau nicht gewaltsam verdrehen, dies kann zur
mechanischen Beschädigung führen!
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Bei Überdruck im Vakuumsystem > 1 bar
Versehentliches Öffnen von Spannelementen kann zu Verletzun-
gen durch herumfliegende Teile führen! Ungesicherte Schlauch-
verbindungen können sich lösen und Gesundheitsschäden durch
ausströmende Prozessmedien herbeiführen!
Bei Überdruck im Vakuumsystem 1,5 bis 4 bar
Bei KF-Flanschverbindungen können Elastomer-Dichtringe dem
Druck nicht mehr standhalten. Dies kann zu Gesundheitsschäden
durch ausströmende Prozessmedien führen!
3.3 Elektrischer Anschluss
3.3.1 Anschluss an Thyracont Anzeigegeräte
Wird der Transmitter an einem Thyracont Anzeigegerät betrieben, ist ein geeigne-
tes Messkabel zu verwenden (siehe Zubehör).
Anschluss des Transmitters niemals mit Spannung führendem Ka-
bel herstellen!
Stecker am Transmitter einstecken und mit Schrauben sichern. Gegenüberliegen-
den Stecker am Anzeigegerät anstecken und sichern. Erst danach Spannungsver-
sorgung am Anzeigegerät herstellen bzw. einschalten.
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3.3.2 Kundeneigene Spannungsversorgung
Der Transmitter kann auch mit anderen Anzeigegeräten oder kundeneigener Span-
nungsversorgung betrieben werden.
Die elektrische Verbindung ist unter Verwendung geeigneter Kabel EMV-gerecht
gemäß untenstehender Pinbelegung herzustellen:
Stecker Hirschmann, 6polig, männlich
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1
2
4
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6
Pin1: Identifikation: 3,0 kΩ
Pin2: Signal Output 0-10 VDC
Pin3: AGND
Pin4: Voltage Supply 12...30 VDC
Pin5: Supply GND
Pin6: Shield
Es wird empfohlen, Abschirmung (Pin 6) und Speisungserde (Pin
5) beim Speisegerät mit Erdung zu verbinden.
Falscher Anschluss oder unzulässige Versorgungsspannung kön-
nen zu Schäden am Transmitter führen!
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4 Betrieb
4.1 Allgemeines
Messprinzip
Vakuum Transmitter des Typs VSP und VCP besitzen einen Piranisensor, der die
Wärmeleitfähigkeit von Gasen zur Vakuummessung nutzt.
Dabei wird ein Wendel-Filament im Pulsbetrieb bis zu einem bestimmten Tempe-
raturschwellwert aufgeheizt. Die notwendige Aufheizzeit ist ein Maß für den Abso-
lutdruck.
Ausgangssignal
Das Mess-Signal 1,5 V - 8,5 V des VSP (VCP: 2,2 V - 8,5 V) ist über den gesamten
Messbereich von 1,0x10-4 - 1000 mbar (VCP: 5,0x10-4 - 1000 mbar) logarithmisch
vom Druck abhängig. Die Umrechnung erfolgt gemäß folgendem Zusammenhang:
Vout(V) = log(p(mbar)) + 5,5
p(mbar) = 10(Vout(V) - 5,5)
Stabilisierungszeit
Die Ausgabe des Mess-Signals erfolgt ca. 2 s nach Einschalten des Geräts. Zur
Ausnutzung der vollen Genauigkeit kann es -auch nach extremen Drucksprüngen-
angebracht sein, eine Stabilisierungszeit von 5 Minuten zu beachten.
Messgenauigkeit
Das Gerät ist ab Werk in stehender Position bei einer Versorgungsspannung von
24 VDC abgeglichen. Verschmutzung, Alterung, extreme klimatische Bedingungen
oder andere Einbaulagen können ein Nachjustieren erforderlich machen.
Im Bereich oberhalb 20 mbar ist die Messgenauigkeit reduziert.
Gasartabhängigkeit
Das Mess-Signal ist gasartabhängig. Das Gerät ist auf N2bzw. trockene Luft
abgeglichen. Für andere Gase kann der Messwert, z.B. bei Anschluss an Thy-
racont Anzeigegeräte, durch Gasartfaktoren korrigiert werden, so dass unterhalb
0,1 mbar eine korrekte Druckanzeige resultiert.
Korrekturfaktor Pirani:
Ar CO CO2H2He N2Ne Kr
1,6 1,0 0,89 0,57 1,0 1,0 1,4 2,4
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4.2 Nachjustieren
Das Gerät ist ab Werk bei Versorgungsspannung 24 V stehend, d.h. mit dem
Flansch nach unten, abgeglichen. Andere Einbaulagen, Einsatz unter anderen kli-
matischen Bedingungen, extreme Temperaturschwankungen, Alterung oder Ver-
schmutzung können ein Nachjustieren erforderlich machen.
Um optimale Ergebnisse beim Nachjustieren zu erzielen, empfeh-
len wir vor jedem Abgleich eine Warmlaufphase von mindestens
15 Minuten beim jeweiligen Kalibrierdruck zu beachten.
Abgleich auf Nulldruck und Atmosphäre
Ein Nachjustieren auf Nulldruck oder Atmosphärendruck ist digital über den Taster
»Adj« möglich. Der Transmitter erkennt automatisch, um welchen Justierpunkt es
sich handelt.
Beim Nullabgleich sollte der anliegende Ist-Druck kleiner
5,0x10-5 mbar sein, alternativ kann auf einen einstellbaren Refe-
renzwert abgeglichen werden (siehe unten).
Zum Justieren den Gummistopfen über dem Taster »Adj« entfernen (1), dann mit
einem dünnen Schraubendreher oder ähnlichem Hilfsmittel kurz auf den Taster
drücken (2). Nach erfolgreicher Justierung gibt der Transmitter das entsprechende
Analogsignal für Atmosphärendruck 1000 mbar bzw. für Messbereichsunterschrei-
tung »ur« aus. Gummistopfen nun wieder einsetzen.
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Abgleich auf einen benutzerdefinierten Nulldruck-Referenzwert
Der Pirani-Sensor kann auch auf einen beliebigen Referenzdruck kleiner 1,0x10-2 mbar
abgeglichen werden.
Dazu zunächst die Gummistopfen über beiden Tastern entfernen (1), dann mit
einem dünnen Schraubendreher oder ähnlichem Hilfsmittel kurz auf den Taster
»Set« drücken (2). Am Signalausgang wird nun für 5 s ein Wert ausgegeben, der
dem momentan eingestellten Nullpunkt-Justierwert entspricht (Werkseinstellung:
Ausgabewert für »ur« underrange).
Dieser Wert kann nun durch mehrmaliges Drücken der Taste »Adj« gemäß des
Zusammenhangs zwischen Druck und Ausgangssignal aus Abschnitt 4.1 bis max.
1,0x10-2 mbar inkrementiert werden (3), danach beginnt die Ausgabe erneut beim
Wert für »ur« . Ist der Nullpunkt-Justierwert dem anliegenden Referenzdruck ange-
passt, so wird nach 5 s ohne weiteren Tastendruck der neue Nullpunkt-Referenzwert
gespeichert und die Justierung ausgeführt. Gummistopfen wieder einsetzen.
Die weiter oben beschriebene Nullpunktjustierung durch einfachen
Tastendruck auf »Adj« bei Nulldruck führt von nun an zum Abgleich
auf den eingestellten Nullpunkt-Referenzwert.
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5 Wartung und Service
Vorsicht bei kontaminierten Teilen!
Es kann zu Gesundheitsschäden kommen. Informieren Sie sich vor
Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Be-
achten Sie beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägi-
gen Vorschriften und Schutzmaßnahmen.
Das Gerät ist wartungsfrei. Äußerliche Verschmutzungen können mit einem feuch-
ten Tuch beseitigt werden.
Sollte wider Erwarten ein Schaden an Ihrem VSP/VCP auftreten, senden Sie das
Gerät bitte mit einer ausgefüllten Kontaminationserklärung (siehe nächste Seite)
zur Reparatur an uns.
Das Gerät ist nicht zur kundenseitigen Reparatur vorgesehen!
Fehlfunktionen des Gerätes, die auf Verschmutzung oder Ver-
schleiß zurückzuführen sind, fallen nicht unter die Gewährleistung.
Fehlersignal und Störungen
Problem Mögliche Ursache Behebung
Mess-Signal 1,4 V Messbereich
unterschritten
Druck liegt unterhalb der
Messgrenze
Mess-Signal < 0,5 V Elektronik oder Sensor
defekt
Gerät einschicken
Messwertabweichung zu
groß
Alterung, Verschmutzung,
extreme Temperaturen,
falsche Justierung
Nachjustieren
Nachjustieren nicht
möglich
Messwertabweichung
übersteigt den
Justierbereich
Gerät einschicken
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6 Technische Daten
Messprinzip Wärmeleitfähigkeit Impuls-Pirani,
gasartabhängig
Messbereich VSP: 1000 - 1,0x10-4 mbar (750 - 1,0x10-4 Torr)
VCP: 1000 - 5,0x10-4 mbar (750 - 5,0x10-4 Torr)
Max. Überlast 10 bar abs.
Genauigkeit VSP:
1000 ... 20 mbar: ca. 30% v. Messwert
20 ... 2,0x10-3 mbar: 10% v. Messwert
VCP:
1000 ... 10 mbar: ca. 30% v. Messwert
10 ... 1,0x10-2 mbar: 10% v. Messwert
Wiederholbarkeit VSP: 20 ... 2,0x10-3 mbar: 2% v. Messwert
VCP: 10 ... 1,0x10-2 mbar: 5% v. Messwert
Materialien mit
Vakuumkontakt
VSP: Edelstahl 1.4307, Wolfram, Nickel, Glas
VCP: Edelstahl 1.4307, Platin/Rhodium, Nickel,
Glas
Reaktionszeit < 200 ms
Betriebstemperatur 5 ... 60 ◦C
Lagertemperatur -20 ... +70 ◦C
Ausheiztemperatur max. 150 ◦C am Flansch
(Spannungsversorgung ausgeschaltet)
Spannungsversorgung 15 - 30 VDC
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Leistungsaufnahme VSP: max. 1,0 W bei 24 VDC
VCP: max. 1,5 W bei 24 VDC
Ausgangssignal 0 - 10 VDC, logarithmisch, min. 10 kΩ
Elektrischer Anschluss Typ Hirschmann, 6polig, männl., verschraubbar
Vakuumanschluss VSP63, VCP63: Kleinflansch DN16 ISO KF
VSP64: Conflat Flansch DN16 CF
Schutzart IP 40
Gewicht ca. 100 g (VSP63)
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7 Konformitätserklärung
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Contents
1 Safety Instructions 20
2 Vacuum Transducer VSP/VCP 21
2.1 ForOrientation ............................. 21
2.2 Delivery Content . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
2.3 Product Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
3 Installation 23
3.1 Notes for Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
3.2 Vacuum Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
3.3 Electrical Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
3.3.1 Operation with Thyracont Display Unit . . . . . . . . . . . . . 24
3.3.2 Operation with other Supply and Evaluation Units . . . . . . 25
4 Operation 26
4.1 General ................................. 26
4.2 Readjustment.............................. 27
5 Maintenance and Service 29
6 Technical Data 31
7 Declaration of Conformity 33
Manufacturer:
Thyracont Vacuum Instruments GmbH
Max-Emanuel-Straße 10
D-94036 Passau
Tel.: ++49/851/95986-0
email: [e-mail]
Internet: https://www.thyracont-vacuum.com
VSP/VCP-0-10 V-201126

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1 Safety Instructions
−Read and follow the instructions of this manual
−Inform yourself regarding hazards, which can be caused by the product or arise in your
system
−Comply with all safety instructions and regulations for accident prevention
−Check regularly that all safety requirements are being complied with
−Take account of the ambient conditions when installing your VSP/VCP; The protection
class is IP 40 (the unit is protected against penetration of foreign bodies)
−Adhere to the applicable regulations and take the necessary precautions for the pro-
cess media used
−Consider possible reactions between materials and process media, e.g. due to the
heat generated by the product
−Do not carry out any unauthorized conversions or modifications on the unit
−Before you start working, find out whether any of the vacuum components are conta-
minated
−Adhere to the relevant regulations and take the necessary precautions when handling
contaminated parts
−When returning the unit to us, please enclose a declaration of contamination
−Communicate the safety instructions to other users
Pictogram Definition
Important information about the product, its handling or about a
particular part of the documentation, which requires special atten-
tion
Danger of damage to the unit or system
Danger of personal injury
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