Thyracont VSR53D User manual

V a c u u m I n s t r u m e n t s
VSR53D, VSR54D, VCR53D, VCR54D
VSR53DL, VSR54DL, VCR53DL, VCR54DL
Vakuum Transmitter
Vacuum Transducer
Betriebsanleitung
Operating Instructions

3
Inhaltsverzeichnis
1 Hinweise für Ihre Sicherheit 4
2 Vakuum Transmitter VSR/VCR 5
2.1 ZurOrientierung ............................ 5
2.2 Lieferumfang .............................. 5
2.3 Produktbeschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
3 Installation 7
3.1 Hinweise zur Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
3.2 Vakuumanschluss............................ 7
3.3 Elektrischer Anschluss . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
3.3.1 Anschluss an Thyracont Anzeigegeräte . . . . . . . . . . . . 8
3.3.2 Kundeneigene Spannungsversorgung . . . . . . . . . . . . . 9
4 Betrieb 10
4.1 Allgemeines............................... 10
4.2 Bedienung des VSR/VCR . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
4.3 Nachjustieren.............................. 12
4.4 Ausheizen................................ 14
5 Kommunikation 15
5.1 Die serielle Schnittstelle des VSR/VCR . . . . . . . . . . . . . . . . 15
5.2 Parameterübersicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
5.3 Geräte-Parameter und Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
5.4 Messwertabfrage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
5.5 Displayfunktionen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
5.6 Schaltpunkte .............................. 19
5.7 Nachjustieren.............................. 20
5.8 Sensor Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
5.9 VacuGraphTM Software......................... 23
6 Wartung und Service 24
7 Technische Daten 26
8 Konformitätserklärung 28
Hersteller:
Thyracont Vacuum Instruments GmbH
Max-Emanuel-Straße 10
D-94036 Passau
Tel.: ++49/851/95986-0
E-Mail: [e-mail]
Internet: https://www.thyracont-vacuum.com
VSR/VCR-RS485-200616

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1 Hinweise für Ihre Sicherheit
−Lesen und befolgen Sie alle Punkte dieser Anleitung
−Informieren Sie sich über Gefahren, die vom Gerät ausgehen und Gefahren, die von
Ihrer Anlage ausgehen
−Beachten Sie die Sicherheits- und Unfall-Verhütungsvorschriften
−Prüfen Sie regelmäßig die Einhaltung aller Schutzmaßnahmen
−Installieren Sie das VSR/VCR unter Einhaltung der entsprechenden Umgebungsbe-
dingungen; die Schutzart ist IP40 (die Geräte sind geschützt gegen Eindringen von
Fremdkörpern) bzw. IP54 bei Verwendung geeigneter Steckverbinder
−Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die einschlägigen
Vorschriften und Schutzmaßnahmen
−Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen zwischen Werkstoffen und Prozessmedien,
z. B. infolge der Eigenerwärmung des Produkts
−Gerät nicht eigenmächtig umbauen oder verändern
−Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination
−Beachten Sie im Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften und
Schutzmaßnahmen
−Legen Sie beim Einsenden des Gerätes eine Kontaminationsbescheinigung bei
−Geben Sie die Sicherheitsvermerke an andere Benutzer weiter
Piktogramm-Definitionen
Wichtige Information über das Produkt, dessen Handhabung oder
den jeweiligen Teil der Betriebsanleitung, auf den besonders auf-
merksam gemacht werden soll
Gefahr von Schäden an Gerät oder Anlage
Gefahr von Personenschäden
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2 Vakuum Transmitter VSR/VCR
2.1 Zur Orientierung
Diese Betriebsanleitung ist gültig für Produkte mit den Artikelnummern
VSR53D, VSR54D, VCR53D, VCR54D,
VSR53DL, VSR54DL, VCR53DL, VCR54DL.
Sie finden die Artikelnummern auf dem Typenschild. Technische Änderungen oh-
ne vorherige Anzeige sind vorbehalten.
2.2 Lieferumfang
Zum Lieferumfang gehören:
−Transmitter VSR/VCR
−Staubschutzkappe
−Betriebsanleitung
Lieferbares Zubehör:
−Zubehörset Smartline, SLZUB:
Schutzkoffer,
Schnittstellenkonverter RS485-USB,
Steckernetzteil 24 V
−Zentrierdichtring DN16KF mit Metall-Drahtfilter, ZZDF016
Stecker und Messkabel:
−Messkabel 2m für Anzeigegerät VD12/VD14, W1515002
−Messkabel 6m für Anzeigegerät VD12/VD14, W1515006
−Messkabel 2m mit offenen Enden, W1500002
−Messkabel 6m mit offenen Enden, W1500006
−Gegenstecker Smartline IP54, XB15SL05∗
−Messkabel IP54, 2m mit offenen Enden, W1500502∗
−Messkabel IP54, 6m mit offenen Enden, W1500506∗
∗) IP54 Einzelstecker, Transmitter können damit nicht als RS485-Kette verbunden
werden!
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2.3 Produktbeschreibung
Der Vakuum Transmitter VSR dient zur Absolutdruck-Messung in gasförmigen Me-
dien im Bereich 1,0x10-4 - 1200 mbar. Der Transmittertyp VCR mit Pt/Rh Filament
ist für den Einsatz in vielen Korrosivgas-Anwendungen geeignet und misst Abso-
lutdruck im Bereich 5,0x10-4 - 1200 mbar. Das Gerät kann an ein Thyracont Anzei-
gegerät angeschlossen oder gemäß Anschlussbelegung mit einer kundeneigenen
Spannungsversorgung betrieben werden.
Das analoge Mess-Signal 1,5 V - 8,58 V des VSR bzw. 2,2 V - 8,58 V des VCR ist
dabei über den gesamten Messbereich logarithmisch vom Druck abhängig.
Zusätzlich besitzt das Gerät eine RS485 Schnittstelle zur digitalen Datenübertra-
gung (siehe Abschnitt 5.1).
Das VSR/VCR ist mit einem metallgedichteten Kombinationssensor des Typs Pie-
zo / Pirani ausgerüstet und temperaturkompensiert. Es kann an geeignete Flansch-
verbindungen angeschlossen werden.
Bestimmungsgemäße Verwendung
Das VSR/VCR dient ausschließlich der Absolutdruckmessung in gasförmigen Me-
dien. Es darf nur an geeignete und hierfür vorgesehene Komponenten angeschlos-
sen werden.
Nicht bestimmungsgemäße Verwendung
Als nicht bestimmungsgemäß gilt der Einsatz zu Zwecken, die von oben genannten
abweichen, insbesondere:
−Anschluss an Geräte oder Komponenten, die laut ihrer Betriebsanleitung
hierfür nicht vorgesehen sind.
−Anschluss an Geräte, die berührbare, Spannung führende Teile aufweisen.
Bei nicht bestimmungsgemäßem Einsatz erlischt jeglicher Haftungs- und Gewähr-
leistungsanspruch.
Die Verantwortung im Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien liegt
beim Betreiber.
VSR: Das Gerät ist nicht zum Einsatz in Verbindung mit Korrosiv-
gas vorgesehen. Aggressive Medien wie Halogenide, Kohlenstoff-
oder Sauerstoff-Plasmen können die Lebensdauer des Sensors re-
duzieren!
VCR: Aggressive Medien wie Fluoride können die Lebensdauer
des Sensors reduzieren!
Ölnebel, Staub und Kondensat beeinträchtigen die Funktion des
Sensors und können zum Ausfall führen!
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3 Installation
3.1 Hinweise zur Installation
Keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät
vornehmen!
Aufstellungsort: Innenräume
Für nicht vollklimatisierte Betriebsräume gilt:
Temperatur: +5 ◦C ... +60 ◦C
Rel. Luftfeuchte: max. 80% bis 30 ◦C, max. 50% bei 40 ◦C, nicht betauend
Luftdruck: 860 - 1060 hPa (mbar)
3.2 Vakuumanschluss
Schmutz und Beschädigungen, insbesondere am Flansch, beein-
trächtigen die Funktion dieses Gerätes.
Beachten Sie bitte die beim Umgang mit Vakuumkomponenten er-
forderlichen Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Be-
schädigung.
−Staubschutzkappe entfernen (wird bei Instandhaltungsarbeiten wieder be-
nötigt!)
−Vakuumanschluss fachgerecht über KF Kleinflansch/ CF-Flansch herstellen
−Für Kleinflansch-Verbindung Metall-Spannelemente verwenden, die sich nur
mit einem Werkzeug öffnen und schließen lassen, Dichtringe mit Zentrierring
verwenden
−Sicherstellen, dass der Sensorflansch mit dem Schutzleiter verbunden ist,
beispielsweise durch metallischen Kontakt zur geerdeten Vakuumkammer
(metallische Spannelemente)
Die Einbaulage ist frei wählbar, jedoch kann eine Montage von unten, d.h. mit nach
oben gerichtetem Flansch, zu vorzeitiger Verschmutzung und Ausfall des Geräts
führen. Zu bevorzugen ist der Einbau von oben, d.h. mit nach unten gerichtetem
Flansch, damit sich Staub und Kondensat nicht in der Messzelle ansammeln kön-
nen. Der Transmitter ist in dieser Lage ab Werk justiert.
Das Gerät beim Einbau nicht gewaltsam verdrehen, dies kann zur
mechanischen Beschädigung führen!
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Bei Überdruck im Vakuumsystem > 1 bar
Versehentliches Öffnen von Spannelementen kann zu Verletzun-
gen durch herumfliegende Teile führen! Ungesicherte Schlauch-
verbindungen können sich lösen und Gesundheitsschäden durch
ausströmende Prozessmedien herbeiführen!
Bei Überdruck im Vakuumsystem 1,5 bis 4 bar
Bei KF-Flanschverbindungen können Elastomer-Dichtringe dem
Druck nicht mehr standhalten. Dies kann zu Gesundheitsschäden
durch ausströmende Prozessmedien führen!
3.3 Elektrischer Anschluss
3.3.1 Anschluss an Thyracont Anzeigegeräte
Wird der Transmitter an einem Thyracont Anzeigegerät betrieben, ist ein geeigne-
tes Messkabel zu verwenden (siehe Zubehör).
Anschluss des Transmitters niemals mit Spannung führendem Ka-
bel herstellen!
Stecker am Transmitter einstecken und mit Schrauben sichern. Gegenüberliegen-
den Stecker am Anzeigegerät anstecken und sichern. Erst danach Spannungsver-
sorgung am Anzeigegerät herstellen bzw. einschalten.
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3.3.2 Kundeneigene Spannungsversorgung
Der Transmitter kann auch mit anderen Anzeigegeräten oder kundeneigener Span-
nungsversorgung betrieben werden.
Die elektrische Verbindung ist unter Verwendung geeigneter Kabel EMV-gerecht
gemäß untenstehender Pinbelegung herzustellen:
Stecker Sub-D, 15polig, männlich
Pin1: Identifikation: 22 kΩ
Pin2: Signal Output 0-10 VDC
Pin3: AGND
Pin4: Voltage Supply 24 VDC
Pin5: Supply GND
Pin6: Relay 1, N.O.
Pin7: Relay 1, Common
Pin8: Relay 1, N.C.
Pin9: -
Pin10: RS485 +
Pin11: RS485 -
Pin12: Shield
Pin13: Relay 2, N.O.
Pin14: Relay 2, Common
Pin15: Relay 2, N.C.
Es wird empfohlen, Abschirmung (Pin 12) und Speisungserde (Pin
5) beim Speisegerät mit Erdung zu verbinden.
Falscher Anschluss oder unzulässige Versorgungsspannung kön-
nen zu Schäden am Transmitter führen!
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4 Betrieb
4.1 Allgemeines
Messprinzip
Vakuum Transmitter des Typs VSR und VCR besitzen eine interne Kombination
aus einem piezoresistiven Membransensor und einem Piranisensor, der die Wär-
meleitfähigkeit von Gasen zur Vakuummessung nutzt.
Unter Einwirkung des Druckes verformt sich die dünne Membran des Piezosen-
sors, auf deren Rückseite eine Widerstands-Messbrücke aufgebracht ist. Die da-
bei auftretende Verstimmung der Messbrücke ist ein Maß für den auf die Membran
wirkenden Absolutdruck.
Beim Wärmeleitungssensor wird ein Wendel-Filament in einer Wheatstone Brü-
ckenschaltung auf eine konstante Temperatur aufgeheizt. Die notwendige Brücken-
spannung ist ein Maß für den Absolutdruck.
Ausgangssignal
Das Mess-Signal 1,5 V - 8,58 V des VSR (VCR: 2,2 V - 8,58 V) ist über den ge-
samten Messbereich von 1,0x10-4 - 1200 mbar (VCR: 5,0x10-4 - 1200 mbar) loga-
rithmisch vom Druck abhängig. Umrechnung gemäß folgendem Zusammenhang:
Vout/V = log(p/mbar) + 5,5
p/mbar = 10(Vout/V - 5,5)
Die Ausgangs-Kennlinie kann per
Softwarebefehl skaliert werden,
siehe hierzu Abschnitt 5.8.
Serielle Schnittstelle RS485
Der gemessene Druckwert kann über die serielle RS485 Schnittstelle des Trans-
mitters digital ausgelesen werden. Darüber hinaus können verschiedene Para-
meter wie Gasart-Korrekturfaktoren programmiert werden. Weitere Informationen
hierzu finden Sie im Abschnitt 5.
Stabilisierungszeit
Die Ausgabe des Mess-Signals erfolgt ca. 2 s nach Einschalten des Geräts. Zur
Ausnutzung der vollen Genauigkeit kann es -auch nach extremen Drucksprüngen-
angebracht sein, eine Stabilisierungszeit von 5 Minuten zu beachten.
Messgenauigkeit
Das Gerät ist ab Werk in stehender Position bei einer Versorgungsspannung von
24 VDC abgeglichen. Verschmutzung, Alterung, extreme klimatische Bedingungen
oder andere Einbaulagen können ein Nachjustieren erforderlich machen.
Gasartabhängigkeit
Das Mess-Signal des Piranisensors ist gasartabhängig. Das Gerät ist auf N2bzw.
trockene Luft abgeglichen. Für andere Gase können Korrekturfaktoren gesetzt
werden, so dass unterhalb 0,1 mbar eine korrekte Druckausgabe resultiert (sie-
he Abschnitt 5.8).
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4.2 Bedienung des VSR/VCR
Die Status-LED des VSR/VCR signalisiert folgende Betriebszustände:
Die Schaltpunkt LEDs leuchten, sobald das zugehörige Relais angezogen ist.
Die Modelle VSR53DL, VCR53DL, VSR54DL und VCR54DL verfügen über eine
gelb hinterleuchtete LCD Anzeige. Diese zeigt den aktuell gemessenen Ist-Druck.
Liegt ein Fehler im Betrieb des Transmitters vor, wird dies durch ein rot hinterleuch-
tetes Display signalisiert.
Zum Ändern der Anzeigeeinheit (mbar, Torr, hPa)
während die Spannungsversorgung angeschlos-
sen wird die »Adj« Taste gedrückt halten bis die
Anzeige »Unit« erscheint. Dann die gewünschte
Einheit durch Drücken der »Adj« Taste auswählen.
Nach 5 s ohne weiteren Tastendruck wird die Ein-
stellung gespeichert!
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Anzeigeeinheit und Display-Orientierung können per Softwarekommando geän-
dert werden, siehe hierzu Abschnitt 5.5.
4.3 Nachjustieren
Das Gerät ist ab Werk bei Versorgungsspannung 24 V stehend, d.h. mit dem
Flansch nach unten, abgeglichen.
Andere Einbaulagen, Einsatz unter anderen klimatischen Bedingungen, extreme
Temperaturschwankungen, Alterung oder Verschmutzung können ein Nachjustie-
ren erforderlich machen.
Nachjustieren durch Tastendruck am Gerät
Ein Nachjustieren auf Atmosphärendruck oder Nulldruck ist digital über den Taster
»Adj« möglich, siehe Bedienschema unten. Der Transmitter erkennt automatisch,
um welchen Justierpunkt es sich handelt.
Beim Nullabgleich wird sowohl der Piezo- als auch der Piranisen-
sor justiert. Der Ist-Druck sollte hierfür kleiner 5,0x10-5 mbar sein.
Ein Abgleich per Taster bei Atmosphärendruck wirkt nur auf den
Piranisensor. Ein Nachjustieren von Piezo- und Piranisensor bei
Atmosphärendruck ist nur per Software-Kommando möglich (siehe
Abschnitt 5.7).
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Um optimale Ergebnisse beim Nachjustieren zu erzielen, empfeh-
len wir vor jedem Abgleich eine Warmlaufphase von mindestens
10 Minuten beim jeweiligen Kalibrierdruck zu beachten.
Zum Justieren den Gummistopfen über dem Taster »Adj« entfernen (1), dann mit
einem dünnen Schraubendreher oder ähnlichem Hilfsmittel mehrmals kurz auf den
Taster drücken (2), bis die Status-LED schnell orange zu blinken beginnt. Nach 3 s
ohne weiteren Tastendruck signalisiert langsames Blinken, dass der Transmitter
nun nachjustiert werden kann. Hierzu nochmals kurz die Taste drücken. Gummi-
stopfen nun wieder einsetzen.
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Nachjustieren per Software-Kommando
Siehe Abschnitt 5.7.
4.4 Ausheizen
Soll die Vakuumkammer mit angeflanschtem VSR/VCR ausgeheizt werden, so
darf die Temperatur am Sensorflansch 150 ◦C keinesfalls überschreiten.
Die Spannungsversorgung des Transmitters muss während des
Ausheizens der Kammer ausgeschaltet sein. Anderenfalls kann es
zu Schäden an der Elektronik kommen!
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5 Kommunikation
5.1 Die serielle Schnittstelle des VSR/VCR
Der Transmitter verfügt über eine serielle Schnittstelle RS485. Um die Geräte-
adresse zur Kommunikation über RS485 einzustellen, ist zunächst der Gummi-
stopfen über dem Adress-Schalter zu entfernen (1) und anschließend der Adress-
Schalter mit einem dünnen Schraubendreher oder ähnlichem Hilfsmittel auf einen
Wert zwischen 1 und 16 einzustellen (2). Danach den Gummistopfen wieder ein-
setzen.
Bei der Kommunikation werden die Telegramme gemäß Thyracont Protokoll Versi-
on V2 als ASCII-Code übertragen. Ausführliche Informationen hierzu finden Sie in
der gesonderten Beschreibung »Thyracont Communication Protocol«.
Download unter: www.thyracont-vacuum.com/unterstuetzung/downloadcenter/
Schnittstellen-Parameter:
9,6 / 14,4 / 19,2 / 38,4 / 57,6 / 115,2 kBd, 8 Datenbits, 1 Stopbit, keine Parität
Nach dem Einschalten startet der Transmitter mit 9,6 kBd. Emp-
fängt er Anfrage-Telegramme mit einer anderen Baudrate, so stellt
sich der Transmitter automatisch darauf ein. Für diese automati-
sche Baudraten-Erkennung benötigt er maximal zwei Telegramme
der Sorte »Typanfrage« oder »Messwertanfrage«.
Der analoge Signalausgang 0-10 V steht gleichzeitig zur RS485
zur Verfügung.
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5.2 Parameterübersicht
Command Code
Type of Device TD
Product Name PN
Serial Number Device SD
Serial Number Head (Sensor) SH
Version Device VD
Version Firmware VF
Version Bootloader VB
Baud Rate BR
Response Delay RD
Device Restart DR
Measurement Range MR
Measurement Value MV
Measurement Value 1 (Pirani) M1
Measurement Value 2 (Piezo) M2
Display Unit DU1
Display Orientation DO1
Relay 1 R1
Relay 2 R2
Adjust High (Atmosphere Pressure) AH
Adjust Low (Zero Pressure) AL
Sensor Transition ST
Gas Correction Factor 1 (Pirani) C1
Analog Output Characteristic OC
1) Nur gültig für Geräte mit LCD Display
Das bisherige RS485 Schnittstellen-Protokoll der Version V1 wird
auch weiterhin von allen Smartline Geräten unterstützt! Telegram-
me, die gemäß Protokollversion 1 aufgebaut sind, können somit
weiter verwendet werden.
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5.3 Geräte-Parameter und Information
Type of Device (TD):
Abfragen des Gerätetyps, z.B. VSR205
Product Name (PN):
Abfragen des Produktnamens (entspricht der Artikelnummer)
Serial Number Device (SD):
Abfragen der Geräte-Seriennummer
Serial Number Head (SH):
Abfragen der Seriennummer des Sensorkopfes
Version Device (VD):
Abfragen der Hardware-Versionsnummer des Geräts
Version Firmware (VF):
Abfragen der Firmware-Versionsnummer des Geräts
Version Bootloader (VB):
Abfragen der Bootloader-Version des Geräts
Baud Rate (BR):
Einstellen der Baudrate zur Datenübertragung
Wertebereich: 9600, 14400, 19200, 28800, 38400, 57600, 115200 Bd
Response Delay (RD):
Abfragen und Einstellen der Wartezeit zwischen dem Empfang eines Telegramms
und dem Senden der Antwort.
Wertebereich: 1 ... 99999 µs (Default 5500 µs)
Device Restart (DR):
Geräte-Reset durchführen
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5.4 Messwertabfrage
Measurement Range (MR):
Abfragen des Messbereichs
Measurement Value MV:
Abfragen des aktuell gemessenen Druckwertes
Measurement Value M1:
Abfragen des aktuell vom Pirani-Sensor gemessenen Druckwertes
Measurement Value M2:
Abfragen des aktuell vom Piezosensor gemessenen Druckwertes
5.5 Displayfunktionen
Display Unit (DU):
Abfragen und Einstellen der für das LCD Display des Transmitters verwendeten
Druckeinheit.
Wertebereich: mbar (Default), Torr, hPa
Display Orientation (DO):
Abfragen und Einstellen der Display-Orientierung, die Anzeige kann dadurch um
180◦gedreht werden.
Wertebereich: 0 (Default), 1 (180◦gedreht)
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5.6 Schaltpunkte
Das VSR/VCR besitzt 2 unabhängige, potentialfreie Relais-Schalter. Diese sind
als Umschalter gemäß der in 3.3.2 beschriebenen Pinbelegung am Anschluss-
Stecker nach außen geführt.
Relay R1, R2:
Die Relais können unabhängig voneinander für verschiedene Schaltmodi konfigu-
riert werden, der Parameter dient zum Abfragen und Einstellen dieser Schaltmodi.
Einstellung T[p1] F[p2]:
Hier werden zwei Druckwerte T[p1] (true) und F[p2] (false) übertragen.
Fall T[p1] < F[p2]: Das Relais zieht bei Unterschreiten des Druckwerts T[p1] an
und fällt bei Überschreiten des Druckwerts F[p2] ab.
Fall T[p1] > F[p2]: Das Relais fällt bei Unterschreiten des Druckwerts F[p2] ab
und zieht bei Überschreiten des Druckwerts T[p1] an.
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Die Einstellung T[p1] = F[p2] ist nicht erlaubt! Ein zu kleiner Ab-
stand der beiden Schaltdrücke kann zum Flackern und zur Beschä-
digung des Relais führen!
Einstellung E: Relais zieht an bei Gerätefehler.
Einstellung !E: Relais fällt ab bei Gerätefehler.
Einstellung U: Relais zieht an bei Messbereichsunterschreitung.
Einstellung !U: Relais fällt ab Messbereichsunterschreitung.
Einstellung O: Relais zieht an bei Messbereichsüberschreitung.
Einstellung !O: Relais fällt ab Messbereichsüberschreitung.
Einstellung T0: Relais per Software-Kommando ausschalten (off).
Einstellung T1: Relais per Software-Kommando einschalten (on).
Die Kontroll-LEDs auf der Steckerseite des Transmitters leuchten,
sobald das zugehörige Relais angezogen ist.
5.7 Nachjustieren
Das Gerät ist ab Werk bei Versorgungsspannung 24 V stehend, d.h. mit dem
Flansch nach unten, abgeglichen.
Andere Einbaulagen, Einsatz unter anderen klimatischen Bedingungen, extreme
Temperaturschwankungen, Alterung oder Verschmutzung können ein Nachjustie-
ren erforderlich machen.
Adjust High (AH[p])
Nachjustieren von Piezo- und Pirani-Sensor bei Atmosphärendruck. Ein Referenz-
druckwert p wird benötigt!
Adjust Low (AL)
Nachjustieren von Piezo- und Pirani-Sensor bei Nulldruck. Hierzu sollte der Ist-
Druck kleiner 5,0x10-5 mbar sein.
Adjust Low (AL[p])
Der Pirani-Sensor lässt sich auch auf einen beliebigen Referenzdruck im Bereich
1,0/5,0x10-4 ... 1,0x10-1 mbar abgleichen. Dazu wird mit dem Befehl AL ein Druck-
wert p als Referenzdruck übertragen. Dies ist z.B. dann nützlich, wenn kein aus-
reichend hohes Vakuum zum Nulldruckabgleich erzeugt werden kann.
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