Thyracont VSH82 User manual

VSH82
Vakuum Messumformer
Vacuum Transducer
Betriebsanleitung
Operating Instructions

2
vsh82-de-110318
Inhalt
1 Hinweise für Ihre Sicherheit..........................................................3
2 Vakuum Messumformer VSH82....................................................4
2.1 Zur Orientierung .........................................................................4
2.2 Lieferumfang...............................................................................4
2.3 Produktbeschreibung .................................................................4
3 Installation ......................................................................................6
3.1 Hinweise zur Installation.............................................................6
3.2 Vakuumanschluss......................................................................6
3.3 Elektrischer Anschluss...............................................................7
3.3.1 Anschluss an Thyracont Anzeigegeräte .............................7
3.3.2 Kundeneigene Spannungsversorgung................................8
4 Betrieb.............................................................................................9
4.1 Allgemeines................................................................................9
4.2 Kommunikation.........................................................................10
4.2.1 Die serielle Schnittstelle des VSH82.................................10
4.2.2 Kommunikationsprotokoll..................................................11
4.2.3 Befehlsübersicht................................................................11
4.3 Degas.......................................................................................13
4.4 Gasart-Korrekturfaktoren..........................................................15
4.5 Schaltpunkte.............................................................................16
4.6 Modus Heißkathode .................................................................17
4.7 Modus Wertangleichung...........................................................18
4.8 Nachjustieren ...........................................................................19
4.9 Schutzblende einbauen............................................................20
4.10 Ausheizen - Elektronik abnehmen ...........................................21
5 Wartung und Service...................................................................22
6 Technische Daten ........................................................................24
Konformitätserklärung.........................................................................26
Hersteller:
Thyracont Vacuum Instruments GmbH
Max Emanuel Straße 10
D 94036 Passau
Tel.: ++49/851/95986-0
Fax.: ++49/851/95986-40
email: [email protected]
Internet: http://www.thyracont.com

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1 Hinweise für Ihre Sicherheit
Lesen und befolgen Sie alle Punkte dieser Anleitung
Informieren Sie sich über Gefahren, die vom Gerät ausgehen und Gefahren, die von
Ihrer Anlage ausgehen
Beachten Sie die Sicherheits- und Unfall-Verhütungsvorschriften
Prüfen Sie regelmäßig die Einhaltung aller Schutzmaßnahmen
Installieren Sie das VSH82 unter Einhaltung der entsprechenden Umgebungsbedin-
gungen; die Schutzart ist IP40, d.h. die Geräte sind geschützt gegen Eindringen von
Fremdkörpern
Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die einschlägigen
Vorschriften und Schutzmaßnahmen
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen zwischen Werkstoffen und Prozessmedien
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen der Prozessmedien infolge der Eigener-
wärmung des Produkts
Gerät nicht eigenmächtig umbauen oder verändern
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination
Beachten Sie im Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften
und Schutzmaßnahmen
Legen Sie beim Einsenden des Gerätes eine Kontaminationsbescheinigung bei
 Geben Sie die Sicherheitsvermerke an andere Benutzer weiter
Piktogramm-Definitionen
Gefahr eines elektrischen Schlages beim Berühren der
Kontakte
Gefahr von Personenschäden
Gefahr von Schäden an Gerät oder Anlage
Wichtige Information über das Produkt, dessen Handhabung
oder den jeweiligen Teil der Betriebsanleitung, auf den beson-
ders aufmerksam gemacht werden soll

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2 Vakuum Messumformer VSH82
2.1 Zur Orientierung
Diese Betriebsanleitung ist gültig für Produkte mit den Artikelnummern
VSH82MV,
VSH82MVCF.
Sie finden die Artikelnummern auf dem Typenschild. Technische Änderungen
ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten.
2.2 Lieferumfang
Zum Lieferumfang gehören:
-Messumformer VSH82
-Staubschutzkappe
-Schutzblende für Sensor
-Betriebsanleitung
Lieferbares Zubehör:
-Messkabel 2m zum Anschluss an Anzeigegerät VD9, W1506002
-Messkabel 6m zum Anschluss an Anzeigegerät VD9, W1506006
-Gegenstecker SubD 15polig, XB1500002
2.3 Produktbeschreibung
Der Vakuum Messumformer VSH82 dient zur Absolutdruck-Messung im Bereich
1000 – 1,0x10
-9
mbar. Das Gerät kann an ein Thyracont Anzeigegerät
angeschlossen oder gemäß Anschlussbelegung mit einer kundeneigenen
Spannungsversorgung betrieben werden.
Das analoge Mess-Signal 1,4V – 8,6V ist dabei über den gesamten Messbereich
logarithmisch vom Druck abhängig.
Zusätzlich besitzt das Gerät eine RS485 Schnittstelle zur digitalen Datenübertra-
gung (siehe Kapitel 4.2).
Das Gerät ist mit einem metallgedichteten Kombinationssensor des Typs Pirani /
Heißkathode (Bayard Alpert) ausgerüstet und temperaturkompensiert. Es kann
an geeignete Flanschverbindungen angeschlossen werden.

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Bestimmungsgemäße Verwendung
Das VSH82 dient ausschließlich der Totaldruckmessung im Bereich
1000 - 1,0x10
-9
mbar. Es darf nur an geeignete und hierfür vorgesehene
Komponenten angeschlossen werden.
Nicht bestimmungsgemäße Verwendung
Als nicht bestimmungsgemäß gilt der Einsatz zu Zwecken, die von oben
genannten abweichen, insbesondere:
-der Anschluss an Geräte oder Komponenten, die laut ihrer Betriebs-
anleitung hierfür nicht vorgesehen sind
-der Anschluss an Geräte, die berührbare, Spannung führende Teile
aufweisen.
Bei nicht bestimmungsgemäßem Einsatz erlischt jeglicher Haftungs- und
Gewährleistungsanspruch
Die Verantwortung im Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien
liegt beim Betreiber.

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3 Installation
3.1 Hinweise zur Installation
Keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät
vornehmen!
Aufstellungsort: Innenräume
Für nicht vollklimatisierte Betriebsräume gilt:
Temperatur: +5°C ... +50°C
Rel. Luftfeuchte: max. 80% bis 30°C, max. 50% bei 40°C, nicht betauend
Luftdruck: 860 - 1060 hPa
3.2 Vakuumanschluss
Schmutz und Beschädigungen, insbesondere am Flansch, be-
einträchtigen die Funktion dieses Gerätes.
Beachten Sie bitte die beim Umgang mit Vakuumkomponenten
erforderlichen Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor
Beschädigung.
-Staubschutzkappe entfernen (wird bei Instandhaltungsarbeiten wieder
benötigt!)
-Vakuumanschluss über Kleinflansch DN40 ISO KF (VSH82MV) oder DN40CF-
Flansch (VSH82MVCF) herstellen
-Bei Verbindung über Kleinflansch Metall-Spannelemente verwenden, die sich
nur mit einem Werkzeug öffnen und schließen lassen (z.B. Spannband-
Spannring), Dichtringe mit Zentrierring verwenden
-Sicherstellen, dass der Sensorflansch mit dem Schutzleiter verbunden ist,
beispielsweise durch metallischen Kontakt zur geerdeten Vakuumkammer
(metallische Spannelemente)
Die Einbaulage ist frei wählbar, jedoch kann eine Montage von unten, d.h. mit
nach oben gerichtetem Flansch, zu vorzeitiger Verschmutzung führen.
Zu bevorzugen ist der Einbau von oben, d.h. mit nach unten gerichtetem
Flansch, damit sich Staub und Kondensat nicht in der Messzelle ansammeln
können. Der Messumformer ist in dieser Lage ab Werk justiert ist. Bei anderer
Einbaulage ist –ohne Nachjustierung- eine erhöhte Messwertabweichung im
Druckbereich oberhalb 20 mbar zu erwarten.

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Das Gerät beim Einbau nicht gewaltsam verdrehen, dies kann
zur mechanischen Beschädigung führen!
Bei Überdruck im Vakuumsystem > 1 bar
Versehentliches Öffnen von Spannelementen kann zu Verlet-
zungen durch herumfliegende Teile führen!
Ungesicherte Schlauchverbindungen können sich lösen und Ge-
sundheitsschäden durch ausströmende Prozessmedien herbei-
führen!
Bei Überdruck im Vakuumsystem 1,5 bis 4 bar
Bei KF-Flanschverbindungen können Elastomer-Dichtringe dem
Druck nicht mehr standhalten. Dies kann zu Gesundheitsschä-
den durch ausströmende Prozessmedien führen.
3.3 Elektrischer Anschluss
3.3.1 Anschluss an Thyracont Anzeigegeräte
Wird der Messumformer an einem Thyracont Anzeigegerät betrieben, ist ein
geeignetes Messkabel zu verwenden (siehe Zubehör).
Anschluss des Messumformers niemals mit Spannung führen-
dem Kabel herstellen!
Stecker am Messumformer einstecken und mit Schrauben sichern. Gegenüber-
liegenden Stecker am Anzeigegerät anstecken und sichern. Erst danach
Spannungsversorgung am Anzeigegerät herstellen bzw. einschalten.

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3.3.2 Kundeneigene Spannungsversorgung
Der Messumformer kann auch mit anderen Anzeigegeräten oder kundeneigener
Spannungsversorgung betrieben werden.
Die elektrische Verbindung ist unter Verwendung geeigneter Kabel EMV-gerecht
gemäß untenstehender Pinbelegung herzustellen:
18
15
9
Stecker
Pin 1:
Pin 2:
Pin 3:
Pin 4:
Pin 5:
Pin 6:
Pin 7:
Pin 8:
Pin 9:
Pin 10:
Pin 11:
Pin 12:
Pin 13:
Pin 14:
Pin 15:
Typ SubD,
15polig, männlich
Identifikation
Signal Output 0-10 VDC
AGND
Voltage Supply 24 VDC
Supply GND
Relay A, N.O.
Relay A, Common
Relay A, N.C.
Degas, extern
RS485 +
RS485 -
Shield
Relay B, N.O.
Relay B, Common
Relay B, N.C.
Wir empfehlen, Abschirmung (Pin 12) und Speisungserde (Pin5)
beim Speisegerät mit Erdung zu verbinden.
Falscher Anschluss oder unzulässige Versorgungsspannung
können zu Schäden am Messumformer führen.
PIN 1
PIN 2
PIN 3
PIN 4
PIN 6
PIN 7
PIN 8
PIN 9
PIN 10
PIN 11
PIN 13
PIN 14
PIN 15
PIN 5
PIN 12
+ 20..30VDC
Degas
RS485
GND
out
V+
-
17K2
10k
100n

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4 Betrieb
4.1 Allgemeines
Messprinzip
Der Vakuum Messumformer VSH82 besitzt eine interne Kombination aus
Piranisensor, der die Wärmeleitfähigkeit von Gasen zur Vakuummessung nutzt,
und einem Heißkathoden-Ionisationssensor nach Bayard Alpert.
Beim Wärmeleitungssensor wird ein Wendel-Filament im Pulsbetrieb bis zu
einem bestimmten Temperatur-Schwellwert aufgeheizt. Die notwendige
Aufheizzeit ist ein Maß für den Absolutdruck.
Der Bayard-Alpert-Sensor ionisiert Gasmoleküle durch Elektronenbeschuss. Der
gemessene Ionenstrom ist ein Maß für die Anzahl der vorhandenen Gasmolekü-
le und somit für den Absolutdruck.
Ausgangssignal
Das Mess-Signal 1,4 – 8,6 V des VSH82 ist über den gesamten Messbereich
von 1,0x10
-9
- 1000 mbar logarithmisch vom Druck abhängig. Die Umrechnung
erfolgt gemäß folgendem Zusammenhang:
Serielle Schnittstelle RS485
Der gemessene Druckwert kann über die serielle RS485 Schnittstelle des
Messumformers digital ausgelesen werden. Darüber hinaus können verschiede-
ne Parameter wie Gasart-Korrekturfaktoren programmiert werden.
Weitere Informationen hierzu finden sie im Abschnitt 4.2 Kommunikation.
Stabilisierungszeit
Die Ausgabe des Mess-Signals erfolgt direkt nach Einschalten des Geräts. Zur
Ausnutzung der vollen Genauigkeit des VSH82 kann es -insbesondere nach
extremen Drucksprüngen- angebracht sein, eine Stabilisierungszeit von 2min zu
beachten.
Messgenauigkeit
Das Gerät ist ab Werk in stehender Position bei einer Versorgungsspannung von
24VDC abgeglichen. Verschmutzung, Alterung, extreme klimatische Bedingun-
gen oder andere Einbaulagen können ein Nachjustieren erforderlich machen.
Im Bereich oberhalb 20mbar ist die Messgenauigkeit reduziert.
V
out
/V = 0,6 log (p/mbar) + 6,8
p /mbar = 10 ( (Vout /V – 6,8) / 0,6 )

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Gasartabhängigkeit
Das Mess-Signal ist gasartabhängig. Das Gerät ist auf N
2
bzw. trockene Luft
abgeglichen. Für andere Gase kann die Druckausgabe unterhalb 0,1 mbar
korrigiert werden, indem Korrekturfaktoren für beide Sensortypen via RS485
gesetzt werden (siehe Abschnitt 4.2 bzw. 4.4).
4.2 Kommunikation
4.2.1 Die serielle Schnittstelle des VSH82
Der Messumformer VSH82 verfügt über eine serielle Schnittstelle RS485. Um
die Kommunikation über RS485 zu aktivieren, ist zunächst der Gummistopfen
über dem Adress-Schalter zu entfernen (1) und anschließend der Adress-
Schalter mit einem dünnen Schraubendreher oder ähnlichem Hilfsmittel auf
einen Wert zwischen 1 und 15 einzustellen (2). Danach den Gummistopfen
wieder einsetzen.
Die Kommunikation erfolgt gemäß Thyracont Protokoll, ausführliche Detailinfor-
mationen hierzu finden Sie in einer gesonderten Beschreibung.
Der analoge Signalausgang 0-10V steht auch bei aktiver
RS485 in Schalterstellung 1-15 zur Verfügung!

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4.2.2 Kommunikationsprotokoll
Die Kommunikation erfolgt gemäß Thyracont-Protokoll. Die Befehle werden in
folgendem Rahmen als Zeichenfolge im ASCII-Code übertragen:
Address Code
Data cks CR
Address: 3 Bytes, dezimal; Adressraum RS485: 001 – 999
Code: 1 Byte, Befehlsparameter, Großbuchstaben für Lesen, Kleinbuch-
staben für Schreiben
Data: Datenfeld, max. 6 Bytes; kann je nach Code auch fehlen
cks: 1 Byte, Checksumme, definiert als Summe über alle Bytes der
Felder Addresse, Code und Data, modulo 64 plus 64.
CR: Carriage Return (0Dh, 13d)
Datenformate:
BOOLEAN 1 Byte
STRING: max. 6 Bytes
UNSIGNED INT: 6 Bytes mit führenden Nullen
FLOAT: 6 Bytes, Exponentialformat
4 Bytes Mantisse (entspricht Mantissenwert x 1000)
2 Bytes Exponent, Offset 20
FLOAT-Werte werden in hPa (mbar) übertragen!
Beispiel: Der Wert "460016" in einem Float-Datenfeld steht für 4.6x10
-4
mbar.
Schnittstellen-Parameter:
9600 baud, 8 Datenbits, 1 Stopbit, keine Parität
4.2.3 Befehlsübersicht
Der Messumformer reagiert auf Typanfragen, Messwertanfragen, Justierbefehle,
Degas-Anweisungen (siehe Abschnitt 4.3) und Befehle zum Setzen von Gasart-
Korrekturfaktoren (siehe Abschnitt 4.4).
Die Programmierung der beiden Relais-Schaltpunkte des VSH82 ist ebenfalls via
RS485 möglich (siehe Abschnitt 4.5).
Darüber hinaus lassen sich bestimmte Parameter konfigurieren, die das
Verhalten der Sensorik bestimmen (siehe Abschnitt 4.6 und 4.7).

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Befehlsübersicht:
Befehlstyp Code Datentyp Funktion
Typ
T STRING lesen (VSH82: VSH208)
Messwert M FLOAT lesen
Degas D, d BOOLEAN lesen D, schreiben d
Schaltpunkt
S, s FLOAT lesen S, schreiben s (VSH82: SP1 und SP2)
Gasart-Korrekturfaktor
C, c UNSIGNED INT lesen C, schreiben c (VSH82: C1 für Pirani,
C2 für Bayard Alpert)
Modus Heißkathode I, i BOOLEAN lesen I, schreiben i
Modus
Wertangleichung W, w UNSIGNED INT lesen W, schreiben w
Druckjustierwert j FLOAT schreiben
Beispiele (für Adress-Schalterstellung "1"):
Aktion Telegramm an
Messumformer Antwort-Telegramm vom Messumformer
Typ lesen
"001Te
C
R
" "001TVSH208p
C
R
"
Messwert lesen
"001M^
C
R
"
"001M260014K
C
R
"
( 

 2.6x10-6 mbar)
Degas einschalten
"001d1f
C
R
" "001d1f
C
R
"
Degas ausschalten
"001d0e
C
R
" "001d0e
C
R
"
Schaltpunkt 2 lesen
"001S2V
C
R
" "001S400016O
C
R
"
(  4.0x10-4 mbar)
Unlock Schaltpunkt 2
Schaltpunkt 2 auf
4.2x10-4 mbar setzen
"001s2v
C
R
"
"001s420016q
CR
"
"001s2v
C
R
"
"001s420016q
CR
"
Unlock Gasart-Korrekturfaktor 1
Gasart-Korrekturfaktor 1
auf 1.20 setzen
"001c1e
C
R
"
"001c000120W
CR
"
"001c1e
C
R
"
"001c000120W
CR
"
Unlock Justierpunkt für
Atmosphärendruck
Justieren auf Atmosphärendruck
"001j1l
C
R
"
"001j100023a
C
R
"
"001j1l
C
R
"
"001j100023a
C
R
"
Vor dem Schreiben der Parameter "c" (Korrekturfaktor), "s" (Schaltpunkt) und "j"
(Justierpunkt) müssen diese zunächst mit einem Unlock-Befehl freigeschaltet
werden!

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4.3 Degas
Ablagerungen und adsorbierte Gasmoleküle auf den Elektroden des Heißkatho-
densensors können zu erhöhtem Ausgasen im Ultrahochvakuum führen sowie
andererseits Instabilitäten im Mess-Signal verursachen.
In diesem Fall ist es angebracht, bei einem Druck unterhalb 2.0x10
-6
mbar die
Anode des Sensors durch Ausheizen von Ablagerungen und adsorbierten
Gasmolekülen zu reinigen. Die Anode erwärmt sich dabei durch ohmsche
Heizung auf bis zu 800°C.
Während des Ausheizvorgangs werden keine aktuellen Mess-
werte ausgegeben!
Degas-Steuerung durch Analogsignal
Der Degas-Vorgang kann von einer Anlagensteuerung aus gestartet werden,
indem Anschlusspin 9 kurz auf Masse gelegt wird (siehe Abschnitt 3.3.2).
Das Ausheizen wird nach ca. 3 Minuten selbständig abgeschaltet, kann jedoch
jederzeit abgebrochen werden, indem Pin 9 nochmals kurz auf Masse geschaltet
wird.
Während des Degas-Vorgangs leuchtet die rote Kontroll-LED neben dem Degas-
Taster auf der Steckerseite des Geräts.
Degas-Steuerung durch Tastendruck
Ferner kann die Degas-Funktion direkt am Gerät per Tastendruck aktiviert
werden. Hierzu den Gummistopfen über dem Taster "degas" entfernen (1), dann
mit einem dünnen Schraubendreher oder ähnlichem Hilfsmittel kurz auf den
Taster drücken (2). Gummistopfen wieder einsetzen.

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Während des Degas-Vorgangs leuchtet die rote Kontroll-LED neben dem Degas-
Taster auf der Steckerseite des Geräts.
Der Degas-Vorgang wird nach ca. 3 Minuten selbständig abgeschaltet. Er kann
jedoch jederzeit durch nochmaligen Tastendruck beendet werden.
Degas-Steuerung über RS485
Der Degas-Vorgang kann durch entsprechende Softwarebefehle über die serielle
Schnittstelle RS485 ein- und ausgeschaltet werden.
Das Ausheizen wird nach ca. 3 Minuten selbständig beendet, kann jedoch
jederzeit per Softwarebefehl ausgeschaltet werden.
Während des Degas-Vorgangs leuchtet die rote Kontroll-LED neben dem Degas-
Taster auf der Steckerseite des Geräts.
Address Code
Data cks CR
Address: 3 Bytes, dezimal; Adressraum RS485: 001 – 999
Code: "d" zum Schreiben des Degas-Parameters
Data: 1 Byte; "1" zum einschalten, "0" zum ausschalten von Degas
cks: 1 Byte, Checksumme definiert als Summe über alle Bytes der Felder
Address, Code und Data, modulo 64 plus 64.
CR: Carriage Return (0Dh, 13d)
Beispiel für Adress-Schalterstellung "1":
Aktion Telegramm an
Messumformer Antwort-Telegramm vom Messumformer
Degas einschalten
"001d1f
C
R
" "001d1f
C
R
"
Degas ausschalten
"001d0e
C
R
" "001d0e
C
R
"
Degas Status lesen
"001DU
C
R
" "001D1F
C
R
"
(  Degas: on)
Weitere Informationen zum Thyracont-Kommunikationsprotokoll finden Sie in
Abschnitt 4.2.

15
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4.4 Gasart-Korrekturfaktoren
Das Mess-Signal des VSH82 ist gasartabhängig. Das Gerät ist auf N
2
bzw.
trockene Luft abgeglichen. Für andere Gase kann die Druckausgabe unterhalb
0,1 mbar korrigiert werden, indem Korrekturfaktoren für beide Sensortypen via
RS485 gesetzt werden.
Die Messwerte der Sensoren werden dann bereits im Gerät jeweils mit den
entsprechenden Korrekturfaktoren multipliziert, so dass am analogen und
digitalen Ausgang des Messumformers ein korrigiertes Mess-Signal zur
Verfügung steht.
Korrekturfaktor 1 Pirani:
Ar 1,6 CO
2
0,89 He 1,0 Ne 1,4
CO 1,0 H
2
0,57 N
2
1,0 Kr 2,4
Korrekturfaktor 2 Bayard Alpert:
Ar 0,80 H
2
2,4 N
2
1,0 Kr 0,6
CO
2
0,74 He 5,9 Ne 3,5 Xe 0,41
Address Code
Data cks CR
Address: 3 Bytes, dezimal; Adressraum RS485: 001 – 999
Code: "C" zum Lesen, "c" zum Schreiben des Korrekturfaktors
Data: Leseanfrage oder Unlock: 1 Byte; "1" für Korrekturfaktor Pirani,
"2" für Korrekturfaktor Bayard Alpert
Wert lesen oder schreiben: 6 Byte; unsigned int
cks: 1 Byte, Checksumme definiert als Summe über alle Bytes der Felder
Address, Code und Data, modulo 64 plus 64.
CR: Carriage Return (0Dh, 13d)
Der Wert des Datenfeldes beim Lesen oder Schreiben des Korrekturfaktors
beinhaltet führende Nullen und entspricht dem 100fachen des Korrekturfaktors.
Wertebereich: "000020" für 0.20 bis "000800" für 8.00
Beispiel für Adress-Schalterstellung "1":
Aktion Telegramm an
Messumformer Antwort-Telegramm vom Messumformer
Gasart-Korrekturfaktor 2 lesen "001C2F
C
R
"
"001C000240z
C
R
"
 c2=2.40
Unlock Gasart-Korrekturfaktor 1
Gasart-Korrekturfaktor 1
auf 0,57 setzen
"001c1e
C
R
"
"001c000057`
CR
"
"001c1e
C
R
"
"001c000057`
CR
"
Weitere Informationen zum Thyracont-Kommunikationsprotokoll finden Sie in
Abschnitt 4.2.

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4.5 Schaltpunkte
Das VSH82 besitzt 2 unabhängige, potentialfreie Relais-Schaltpunkte. Diese
sind als Umschalter gemäß der in Abschnitt 3.3.2 beschriebenen Pinbelegung
am Anschluss-Stecker nach außen geführt.
Die Schalter sind jeweils bei Druckwerten unterhalb der zugehörigen Sollwerte
aktiv und es leuchten die entsprechenden Kontroll-LEDs auf der Steckerseite
des VSH82. Die Schalthysterese ist fest auf 30% vom Sollwert eingestellt.
Die Programmierung der beiden Sollwerte erfolgt via RS485-Schnittstelle.
Address Code
Data cks CR
Address: 3 Bytes, dezimal; Adressraum RS485: 001 – 999
Code: "S" zum Lesen, "s" zum Schreiben des Sollwerts
Data: Leseanfrage oder Unlock: 1 Byte; "1" für Schaltpunkt 1 / Relais A,
"2" für Schaltpunkt 2 / Relais B
Wert lesen oder schreiben: 6 Byte; float
cks: 1 Byte, Checksumme definiert als Summe über alle Bytes der Felder
Address, Code und Data, modulo 64 plus 64.
CR: Carriage Return (0Dh, 13d)
Beispiel für Adress-Schalterstellung "1":
Aktion Telegramm an
Messumformer Antwort-Telegramm vom Messumformer
Schaltpunkt 2 lesen
"001S2V
C
R
" "001S400016O
C
R
"
(  4.0x10-4 mbar)
Unlock Schaltpunkt 2
Schaltpunkt 2 auf
4.2x10-4 mbar setzen
"001s2v
C
R
"
"001s420016q
CR
"
"001s2v
C
R
"
"001s420016q
CR
"
Weitere Informationen zum Thyracont-Kommunikationsprotokoll finden Sie in
Abschnitt 4.2.

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4.6 Modus Heißkathode
Bei bestimmten Prozess-Schritten kann es gewünscht sein, das von der
Geräteelektronik automatisch gesteuerte Einschalten des Heißkathodensensors
zu unterdrücken.
Hierzu ist es möglich, die Heißkathode per Softwarebefehl über die RS485-
Schnittstelle zu deaktivieren:
"0": Modus "deaktiviert" kein Einschalten der Heißkathode
"1": Modus "aktiv" automatisches Ein- und Abschalten der Heißkathode
Bei deaktivierter Heißkathode verhält sich der VSH82 wie ein reiner Pirani-
Messumformer mit Messbereich 1000 – 1x10
-4
mbar. Entsprechend bedeutet die
Ausgabe "ur" in diesem Fall, dass der Druckwert unterhalb 1x10
-4
mbar liegt.
Das Einschalten der Degas-Funktion (s. Abschnitt 4.3) ist bei deaktivierter
Heißkathode nicht möglich.
Der Parameter "Modus Heißkathode" wird nur temporär im
Gerät gespeichert. Nach Ausfall oder Ausschalten der Span-
nungsversorgung befindet sich der VSH82 immer im Modus
"Heißkathode aktiv" !
Address Code
Data cks CR
Address: 3 Bytes, dezimal; Adressraum RS485: 001 – 999
Code: "I" zum Lesen, "i" zum Schreiben des Parameters
Data: 1 Byte; "1" zum aktivieren, "0" zum deaktivieren der Heißkathode
cks: 1 Byte, Checksumme definiert als Summe über alle Bytes der Felder
Address, Code und Data, modulo 64 plus 64.
CR: Carriage Return (0Dh, 13d)
Beispiel für Adress-Schalterstellung "1":
Aktion Telegramm an
Messumformer Antwort-Telegramm vom Messumformer
Heißkathode aktivieren
"001i1k
C
R
" "001i1k
C
R
"
Heißkathode deaktivieren
"001i0j
C
R
" "001i0j
C
R
"
Modus Heißkathode lesen
"001IZ
C
R
" "001I1K
C
R
"
(
 aktiv)
Weitere Informationen zum Thyracont-Kommunikationsprotokoll finden Sie in
Abschnitt 4.2.

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vsh82-de-110318
4.7 Modus Wertangleichung
Im VSH82 erfolgt standardmäßig ein kontinuierlicher Übergang zwischen Pirani-
und Heißkathodenbereich. Dabei findet eine Wertangleichung statt.
Um das Verhalten des Messumformers den Prozessanforderungen optimal
anzupassen, können mit dem Parameter "Modus Wertangleichung" per RS485
folgende Optionen konfiguriert werden:
"0": keine Wertangleichung, d.h. hartes Umschalten zwischen Pirani und
Heißkathode bei 1.0 x10
-3
mbar
"1": Wertangleichung im Bereich 1.0 – 2.0x10
-3
mbar (Standard)
Address Code
Data cks CR
Address: 3 Bytes, dezimal; Adressraum RS485: 001 – 999
Code: "W" zum Lesen, "w" zum Schreiben des Parameters
Data: 6 Bytes; "000001" Wertangleichung, "000000" harte Umschaltung
cks: 1 Byte, Checksumme definiert als Summe über alle Bytes der Felder
Address, Code und Data, modulo 64 plus 64.
CR: Carriage Return (0Dh, 13d)
Beispiel für Adress-Schalterstellung "1":
Aktion Telegramm an
Messumformer Antwort-Telegramm vom Messumformer
Modus Wertangleichung setzen
auf Wertangleichung "001w000001i
C
R
" "001w000001i
C
R
"
Modus Wertangleichung lesen
"001Wh
C
R
" "001W000001I
C
R
"
(  Wertangleichung)
Weitere Informationen zum Thyracont-Kommunikationsprotokoll finden Sie in
Abschnitt 4.2.

19
vsh82-de-110318
4.8 Nachjustieren
Das Gerät ist ab Werk bei Versorgungsspannung 24V stehend, d.h. mit dem
Flansch nach unten, abgeglichen.
Andere Einbaulagen, Einsatz unter anderen klimatischen Bedingungen, extreme
Temperaturschwankungen, Alterung oder Verschmutzung können ein Nachjus-
tieren des Piranisensors erforderlich machen.
Nachjustieren am Gerät
Ein Nachjustieren auf Atmosphärendruck oder Nulldruck ist digital über den
Taster "adj" (adjust) möglich. Der Messumformer erkennt automatisch, um
welchen Justierpunkt es sich handelt.
Beim Nullabgleich sollte der Ist-Druck kleiner 5,0x10
-5
mbar
sein.
Um optimale Ergebnisse beim Nachjustieren zu erzielen, emp-
fehlen wir vor jedem Abgleich eine Warmlaufphase von min-
destens 5 Minuten beim jeweiligen Kalibrierdruck zu beachten.
Zum Justieren zunächst den Gummistopfen über dem Taster "adj" entfernen (1),
dann mit einem dünnen Schraubendreher oder ähnlichem Hilfsmittel kurz auf
den Taster drücken (2). Gummistopfen nun wieder einsetzen.

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vsh82-de-110318
Nachjustieren über RS485
Ein Nachjustieren auf Atmosphärendruck oder Nulldruck ist auch durch
entsprechende Software-Befehle über die RS485 Schnittstelle möglich.
Um unbeabsichtigtes Justieren des Messumformers zu verhindern, muss der
jeweilige Justierpunkt für Atmosphärendruck bzw. Nulldruck zunächst freige-
schaltet werden, danach kann die eigentliche Justierung erfolgen.
Beispiel für Adress-Schalterstellung "1":
Aktion Telegramm an
Messumformer Antwort-Telegramm vom Messumformer
Unlock Justierpunkt für
Atmosphärendruck
Justieren auf Atmosphärendruck
"001j1l
C
R
"
"001j100023a
C
R
"
"001j1l
C
R
"
"001j100023a
C
R
"
Unlock Justierpunkt für
Nulldruck
Justieren auf Nulldruck
"001j0k
C
R
"
"001j100016c
C
R
"
"001j0k
C
R
"
"001j100016c
C
R
"
Weitere Informationen zum Thyracont-Kommunikationsprotokoll finden Sie in
Abschnitt 4.2.
4.9 Schutzblende einbauen
Um den Sensor gegen starke Verschmutzung, Strahlung und schnelle Teilchen
zu schützen, empfehlen wir für diese Fälle den Einbau der mitgelieferten Schutz-
blende. Die Schutzblende dazu wie abgebildet vorsichtig in den Flansch legen
und mit der beiliegenden Montagehilfe in den Flansch drücken, bis sie einrastet.
Vorsicht: schmutzempfindliche Sensorik ! Verschmutzungen im
Sensor oder am Flansch führen zu verstärktem Ausgasen im
Hochvakuum und erhöhen die Abpumpzeit.
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werk-
zeug verwenden!