Thyracont VSH87E User manual

V a c u u m I n s t r u m e n t s
VSH87E, VSH88E, VSH89E
Vakuum Transmitter
Vacuum Transducer
®Registered trademark of Beckhoff Automation GmbH
Betriebsanleitung
Operating Instructions

3
Inhaltsverzeichnis
1 Hinweise für Ihre Sicherheit 4
2 Vakuum Transmitter VSH 5
2.1 ZurOrientierung ............................ 5
2.2 Lieferumfang .............................. 5
2.3 Produktbeschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
3 Installation 7
3.1 Hinweise zur Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
3.2 Vakuumanschluss............................ 7
3.3 Elektrischer Anschluss . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
3.3.1 Spannungsversorgung / RS485 Schnittstelle . . . . . . . . . 8
3.3.2 EtherCAT ECAT Out / ECAT In . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
4 Betrieb 10
4.1 Allgemeines............................... 10
4.2 StatusLED ............................... 11
4.3 Ausheizen................................ 11
5 Kommunikation 12
5.1 Die serielle Schnittstelle des VSH . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
5.2 Die EtherCAT Schnittstelle des VSH . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
5.3 Parameterübersicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.4 Geräte-Parameter und Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
5.5 Messwertabfrage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
5.6 Nachjustieren.............................. 16
5.7 Sensor Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
6 Wartung und Service 20
7 Technische Daten 22
8 Konformitätserklärung 24
Hersteller:
Thyracont Vacuum Instruments GmbH
Max-Emanuel-Straße 10
D-94036 Passau
Tel.: ++49/851/95986-0
E-Mail: [e-mail]
Internet: https://www.thyracont-vacuum.com
VSH-EtherCAT-200116

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1 Hinweise für Ihre Sicherheit
−Lesen und befolgen Sie alle Punkte dieser Anleitung
−Informieren Sie sich über Gefahren, die vom Gerät ausgehen und Gefahren, die von
Ihrer Anlage ausgehen
−Beachten Sie die Sicherheits- und Unfall-Verhütungsvorschriften
−Prüfen Sie regelmäßig die Einhaltung aller Schutzmaßnahmen
−Installieren Sie das VSH unter Einhaltung der entsprechenden Umgebungsbedingun-
gen; die Schutzart ist IP54, d.h. die Geräte sind geschützt gegen Eindringen von Staub
und Spritzwasser
−Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die einschlägigen
Vorschriften und Schutzmaßnahmen
−Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen zwischen Werkstoffen und Prozessmedien,
z. B. infolge der Eigenerwärmung des Produkts
−Gerät nicht eigenmächtig umbauen oder verändern
−Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination
−Beachten Sie im Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften und
Schutzmaßnahmen
−Legen Sie beim Einsenden des Gerätes eine Kontaminationsbescheinigung bei
−Geben Sie die Sicherheitsvermerke an andere Benutzer weiter
Piktogramm-Definitionen
Wichtige Information über das Produkt, dessen Handhabung oder
den jeweiligen Teil der Betriebsanleitung, auf den besonders auf-
merksam gemacht werden soll
Gefahr von Schäden an Gerät oder Anlage
Gefahr von Personenschäden
Gefahr eines elektrischen Schlages beim Berühren der Kontakte
VSH-EtherCAT-200116

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2 Vakuum Transmitter VSH
2.1 Zur Orientierung
Diese Betriebsanleitung ist gültig für Produkte mit den Artikelnummern
VSH87E, VSH88E, VSH89E.
Sie finden die Artikelnummern auf dem Typenschild. Technische Änderungen oh-
ne vorherige Anzeige sind vorbehalten.
2.2 Lieferumfang
Zum Lieferumfang gehören:
−Transmitter VSH
−Staubschutzkappe
−Betriebsanleitung
Lieferbares Zubehör:
−Zentrierdichtring DN25KF mit Metall-Schutzblende, ZZCH025
−Zentrierdichtring DN40KF mit Metall-Schutzblende, ZZCH040
−Metall-Schutzblende für DN40CF, ZZCH040CF
Stecker und Messkabel:
−Kabel 3m, für Stromversorgung, WE0012003
−Kabel 5m, für Stromversorgung, WE0012005
−Kabel 10m, für Stromversorgung, WE0012010
−Datenkabel 3m, 2xM12, Industrial Ethernet, WE1212003
−Datenkabel 5m, 2xM12, Industrial Ethernet, WE1212005
−Datenkabel 10m, 2xM12, Industrial Ethernet, WE1212010
−Datenkabel 3m, RJ45/M12, Industrial Ethernet, WE4512003
−Datenkabel 5m, RJ45/M12, Industrial Ethernet, WE4512005
−Datenkabel 10m, RJ45/M12, Industrial Ethernet, WE4512010
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2.3 Produktbeschreibung
Der Vakuum Transmitter VSH dient zur Absolutdruck-Messung in gasförmigen Me-
dien im Bereich 5,0x10-10 - 1000 mbar. Er überträgt Messwerte und Daten per
EtherCAT Schnittstelle und darf nur an geeignete und hierfür vorgesehene Kom-
ponenten angeschlossen werden.
Zusätzlich besitzt das Gerät eine RS485 Schnittstelle zur digitalen Datenübertra-
gung (siehe Abschnitt 5.1).
Das VSH ist mit einem metallgedichteten Kombinationssensor des Typs Pirani /
Heißkathode (Bayard Alpert) ausgerüstet und temperaturkompensiert. Es kann an
geeignete Flanschverbindungen angeschlossen werden.
Bestimmungsgemäße Verwendung
Das VSH dient ausschließlich der Absolutdruckmessung in gasförmigen Medien.
Es darf nur an geeignete und hierfür vorgesehene Komponenten angeschlossen
werden.
Nicht bestimmungsgemäße Verwendung
Als nicht bestimmungsgemäß gilt der Einsatz zu Zwecken, die von oben genannten
abweichen, insbesondere:
−Anschluss an Geräte oder Komponenten, die laut ihrer Betriebsanleitung
hierfür nicht vorgesehen sind.
−Anschluss an Geräte, die berührbare, Spannung führende Teile aufweisen.
Bei nicht bestimmungsgemäßem Einsatz erlischt jeglicher Haftungs- und Gewähr-
leistungsanspruch.
Die Verantwortung im Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien liegt
beim Betreiber.
Das Gerät ist nicht zum Einsatz in Verbindung mit Korrosivgas vor-
gesehen. Aggressive Medien wie Halogenide, Kohlenstoff- oder
Sauerstoff-Plasmen können die Lebensdauer des Sensors redu-
zieren!
Ölnebel, Staub und Kondensat beeinträchtigen die Funktion des
Sensors und können zum Ausfall führen!
Kohlenwasserstoffe, die z.B. beim Einsatz von ölgedichteten Pum-
pen im Prozessgas auftreten können, beschleunigen den Ver-
schleiß der Heißkathoden-Filamente!
VSH-EtherCAT-200116

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3 Installation
3.1 Hinweise zur Installation
Keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät
vornehmen!
Aufstellungsort: Innenräume
Für nicht vollklimatisierte Betriebsräume gilt:
Temperatur: +5 ◦C ... +60 ◦C
Rel. Luftfeuchte: max. 80% bis 30 ◦C, max. 50% bei 40◦C, nicht betauend
Luftdruck: 860 - 1060 hPa (mbar)
3.2 Vakuumanschluss
Schmutz und Beschädigungen, insbesondere am Flansch, beein-
trächtigen die Funktion dieses Gerätes.
Beachten Sie bitte die beim Umgang mit Vakuumkomponenten er-
forderlichen Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Be-
schädigung.
−Staubschutzkappe entfernen (wird bei Instandhaltungsarbeiten wieder be-
nötigt!)
−Vakuumanschluss fachgerecht über KF Kleinflansch/ CF-Flansch herstellen
−Für Kleinflansch-Verbindung Metall-Spannelemente verwenden, die sich nur
mit einem Werkzeug öffnen und schließen lassen, Dichtringe mit Zentrierring
verwenden
−Sicherstellen, dass der Sensorflansch mit dem Schutzleiter verbunden ist,
beispielsweise durch metallischen Kontakt zur geerdeten Vakuumkammer
(metallische Spannelemente)
Die Einbaulage ist frei wählbar, jedoch kann eine Montage von unten, d.h. mit nach
oben gerichtetem Flansch, zu vorzeitiger Verschmutzung und Ausfall des Geräts
führen. Zu bevorzugen ist der Einbau von oben, d.h. mit nach unten gerichtetem
Flansch, damit sich Staub und Kondensat nicht in der Messzelle ansammeln kön-
nen. Der Transmitter ist in dieser Lage ab Werk justiert. Bei anderer Einbaulage ist
-ohne Nachjustierung- eine erhöhte Messwertabweichung im Druckbereich ober-
halb 20 mbar zu erwarten.
Das Gerät beim Einbau nicht gewaltsam verdrehen, dies kann zur
mechanischen Beschädigung führen!
VSH-EtherCAT-200116

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Bei Überdruck im Vakuumsystem > 1 bar
Versehentliches Öffnen von Spannelementen kann zu Verletzun-
gen durch herumfliegende Teile führen! Ungesicherte Schlauch-
verbindungen können sich lösen und Gesundheitsschäden durch
ausströmende Prozessmedien herbeiführen!
Bei Überdruck im Vakuumsystem 1,5 bis 4 bar
Bei KF-Flanschverbindungen können Elastomer-Dichtringe dem
Druck nicht mehr standhalten. Dies kann zu Gesundheitsschäden
durch ausströmende Prozessmedien führen!
3.3 Elektrischer Anschluss
3.3.1 Spannungsversorgung / RS485 Schnittstelle
Die elektrische Verbindung ist unter Verwendung geeigneter Kabel EMV-gerecht
gemäß untenstehender Pinbelegung herzustellen:
Stecker M12, A-kodiert, 5polig, weiblich
Pin1: RS485 +
Pin2: Voltage Supply 24 VDC
Pin3: Supply GND
Pin4: RS485 -
Pin5: n.c.
Es wird empfohlen, Abschirmung und Speisungserde (Pin 3) beim
Speisegerät mit Erdung zu verbinden.
Falscher Anschluss oder unzulässige Versorgungsspannung kön-
nen zu Schäden am Transmitter führen!
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3.3.2 EtherCAT ECAT Out / ECAT In
Die elektrische Verbindung ist unter Verwendung geeigneter Kabel EMV-gerecht
gemäß untenstehender Pinbelegung herzustellen:
Stecker 2x M12, D-kodiert, 4polig, weiblich
Pin1: Tx+ / Transmit Data +
Pin2: Rx+ / Receive Data +
Pin3: Tx- / Transmit Data -
Pin4: Rx- / Receive Data -
Falscher Anschluss kann zu Schäden am Transmitter führen!
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4 Betrieb
4.1 Allgemeines
Messprinzip
Der Vakuum Transmitter VSH besitzt eine interne Kombination aus Piranisen-
sor, der die Wärmeleitfähigkeit von Gasen zur Vakuummessung nutzt, und einem
Heißkathoden-Ionisationssensor nach Bayard Alpert.
Beim Wärmeleitungssensor wird ein Wendel-Filament in einer Wheatstone Brü-
ckenschaltung auf eine konstante Temperatur aufgeheizt. Die notwendige Brücken-
spannung ist ein Maß für den Absolutdruck.
Der Bayard-Alpert-Sensor ionisiert Gasmoleküle durch Elektronenbeschuss. Der
gemessene Ionenstrom ist ein Maß für die Anzahl der vorhandenen Gasmoleküle
und somit für den Absolutdruck.
Schnittstellen
Der gemessene Druckwert kann über die serielle RS485 Schnittstelle des Trans-
mitters oder über den EtherCAT Anschluss digital ausgelesen werden. Darüber
hinaus können verschiedene Parameter wie Gasart-Korrekturfaktoren program-
miert werden. Weitere Informationen hierzu finden Sie in Kapitel 5.
Stabilisierungszeit
Die Ausgabe des Mess-Signals erfolgt ca. 2s nach Einschalten des Geräts. Zur
Ausnutzung der vollen Genauigkeit kann es -auch nach extremen Drucksprüngen-
angebracht sein, eine Stabilisierungszeit von 5 Minuten zu beachten.
Messgenauigkeit
Das Gerät ist ab Werk in stehender Position bei einer Versorgungsspannung von
24 VDC abgeglichen. Verschmutzung, Alterung, extreme klimatische Bedingungen
oder andere Einbaulagen können ein Nachjustieren erforderlich machen.
Im Bereich oberhalb 20 mbar ist die Messgenauigkeit reduziert.
Gasartabhängigkeit
Das Mess-Signal ist gasartabhängig. Das Gerät ist auf N2bzw. trockene Luft abge-
glichen. Für andere Gase können Korrekturfaktoren für beide Sensortypen gesetzt
werden, so dass unterhalb 0,1 mbar eine korrekte Druckausgabe resultiert (siehe
Abschnitt 5.7).
VSH-EtherCAT-200116

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4.2 Status LED
Die Status LED des VSH signalisiert folgende Betriebszustände:
4.3 Ausheizen
Soll die Vakuumkammer mit angeflanschtem VSH ausgeheizt werden, so darf die
Temperatur am Sensorflansch 180 ◦C keinesfalls überschreiten.
Die Spannungsversorgung des Transmitters muss während des
Ausheizens der Kammer ausgeschaltet sein. Anderenfalls kann es
zu Schäden an der Elektronik kommen!
VSH-EtherCAT-200116

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5 Kommunikation
5.1 Die serielle Schnittstelle des VSH
Der Transmitter verfügt über eine serielle Schnittstelle RS485. Um die Geräte-
adresse zur Kommunikation über RS485 einzustellen, ist zunächst der Gummi-
stopfen über dem Adress-Schalter zu entfernen und anschließend der Adress-
Schalter mit einem dünnen Schraubendreher oder ähnlichem Hilfsmittel auf einen
Wert zwischen 1 und 16 einzustellen. Danach den Gummistopfen wieder einset-
zen.
Bei der Kommunikation werden die Telegramme gemäß Thyracont Protokoll Versi-
on V2 als ASCII-Code übertragen. Ausführliche Informationen hierzu finden Sie in
der gesonderten Beschreibung »Thyracont Communication Protocol«.
Download unter: www.thyracont-vacuum.com/unterstuetzung/downloadcenter/
Schnittstellen-Parameter:
9,6 / 14,4 / 19,2 / 38,4 / 57,6 / 115,2 kBd, 8 Datenbits, 1 Stopbit, keine Parität
Nach dem Einschalten startet der Transmitter mit 9,6 kBd. Emp-
fängt er Anfrage-Telegramme mit einer anderen Baudrate, so stellt
sich der Transmitter automatisch darauf ein. Für diese automati-
sche Baudraten-Erkennung benötigt er maximal zwei Telegramme
der Sorte »Typanfrage« oder »Messwertanfrage«.
VSH-EtherCAT-200116

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5.2 Die EtherCAT Schnittstelle des VSH
EtherCAT® ist eine eingetragene Marke und patentierte Technologie, lizensiert
durch die Beckhoff Automation GmbH, Deutschland.
Für die Kommunikation über die EtherCAT Schnittstelle existiert eine separate An-
leitung, welche dem Gerät beiliegt.
Die Beschreibung auf den folgenden Seiten bezieht sich daher auf
die über RS485 ansprechbaren Parameter.
Weitere Informationen zu den EtherCAT Spezifikationen finden Sie
unter www.ethercat.org.
Bedeutung der Status LEDs
LED Anzeige Zustand Beschreibung
L/A IN grün
aus - keine Verbindung auf dem an-
kommenden EtherCAT-Strang
an linked
physikalische Verbindung zum
vorhergehenden EtherCAT Sla-
ve vorhanden
blinkt aktiv Kommunikation mit vorherge-
hendem EtherCAT Teilnehmer
L/A
OUT grün
aus - keine Verbindung auf dem wei-
terführenden EtherCAT-Strang
an linked
physikalische Verbindung zum
weiterführenden EtherCAT Sla-
ve vorhanden
blinkt aktiv Kommunikation mit weiterfüh-
rendem EtherCAT Teilnehmer
RUN grün
aus init Transmitter ist im
Initialisierungs-Zustand
blinkt pre-
operational
Transmitter ist im Zustand Pre-
Operational
Einzelblitz safe-
operational
Transmitter ist im Zustand Safe-
Operational
an operational Transmitter ist im Zustand Ope-
rational
flackert bootstrap Firmware wird geladen
ERROR rot
aus - kein Fehler
blinkt
Err-
operational
no commu-
nication
Konfigurationsfehler /
Datenfehler
VSH-EtherCAT-200116

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5.3 Parameterübersicht
Command RS485
Code EtherCAT
Type of Device TD x
Product Name PN
Serial Number Device SD
Serial Number Head (Sensor) SH
Version Device VD
Version Firmware VF
Version Bootloader VB
Baud Rate BR
Response Delay RD
Device Restart DR
Measurement Range MR
Measurement Value MV x
Measurement Value 1 (Pirani) M1
Measurement Value 3 (Hot Cathode) M31
Adjust High (Atmosphere Pressure) AH x
Adjust Low (Zero Pressure) AL x
Sensor Transition ST x
Degas DG x
Cathode Control CC x
Filament Control FC
Filament Number FN x
Filament Status FS x
Gas Correction Factor 1 (Pirani) C1 x
Gas Correction Factor 3 (Hot Cathode) C3 x
1) Nicht verfügbar bei ausgeschaltetem Heißkathodensensor
Das bisherige RS485 Schnittstellen-Protokoll der Version V1 wird
auch weiterhin von allen Smartline Geräten unterstützt! Telegram-
me, die gemäß Protokollversion 1 aufgebaut sind, können somit
weiter verwendet werden.
VSH-EtherCAT-200116

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5.4 Geräte-Parameter und Information
Type of Device (TD):
Abfragen des Gerätetyps, z.B. VSH208
Product Name (PN):∗
Abfragen des Produktnamens (entspricht der Artikelnummer)
Serial Number Device (SD):∗
Abfragen der Geräte-Seriennummer
Serial Number Head (SH):∗
Abfragen der Seriennummer des Sensorkopfes
Version Device (VD):∗
Abfragen der Hardware-Versionsnummer des Geräts
Version Firmware (VF):∗
Abfragen der Firmware-Versionsnummer des Geräts
Version Bootloader (VB):∗
Abfragen der Bootloader-Version des Geräts
Baud Rate (BR):∗
Einstellen der Baudrate zur Datenübertragung
Wertebereich: 9600, 14400, 19200, 28800, 38400, 57600, 115200 Bd
Response Delay (RD):∗
Abfragen und Einstellen der Wartezeit zwischen dem Empfang eines Telegramms
und dem Senden der Antwort.
Wertebereich: 1 ... 99999 µs (Default 5500 µs)
Device Restart (DR):∗
Geräte-Reset durchführen
∗) Nicht über EtherCAT ansprechbar
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5.5 Messwertabfrage
Measurement Range (MR):∗
Abfragen des Messbereichs
Measurement Value MV:
Abfragen des aktuell gemessenen Druckwertes
Measurement Value M1:∗
Abfragen des aktuell vom Pirani-Sensor gemessenen Druckwertes
Measurement Value M3:∗
Abfragen des aktuell vom Heißkathodensensor gemessenen Druckwertes. Bei
ausgeschalteter Heißkathode wird der Fehlercode »_ SEDIS« zurückgegeben.
∗) Nicht über EtherCAT ansprechbar
5.6 Nachjustieren
Das Gerät ist ab Werk bei Versorgungsspannung 24 V stehend, d.h. mit dem
Flansch nach unten, abgeglichen.
Andere Einbaulagen, Einsatz unter anderen klimatischen Bedingungen, extreme
Temperaturschwankungen, Alterung oder Verschmutzung können ein Nachjustie-
ren des Pirani-Sensors erforderlich machen.
Adjust High (AH)
Nachjustieren des Pirani-Sensors bei Atmosphärendruck.
Adjust Low (AL)
Nachjustieren des Pirani-Sensors bei Nulldruck. Hierzu sollte der Ist-Druck kleiner
5,0x10-5 mbar sein.
Um optimale Ergebnisse beim Nachjustieren zu erzielen, empfeh-
len wir vor jedem Abgleich eine Warmlaufphase von mindestens
10 Minuten beim jeweiligen Kalibrierdruck zu beachten.
5.7 Sensor Parameter
Degas (DG)
Ablagerungen und adsorbierte Gasmoleküle auf den Elektroden des Heißkatho-
densensors können zu erhöhtem Ausgasen im Ultrahochvakuum führen sowie an-
dererseits Instabilitäten im Mess-Signal verursachen.
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In diesem Fall ist es angebracht, bei einem Druck unterhalb 2,0x10-6 mbar die
Anode des Sensors durch Ausheizen von Ablagerungen und adsorbierten Gas-
molekülen zu reinigen. Die Anode erwärmt sich dabei durch ohmsche Heizung auf
bis zu 800 ◦C.
Der Parameter dient zum Abfragen und Steuern des Ausheizvorganges.
»0«: Degas aus
»1«: Degas ein
Die Druckmessung läuft während des Degas-Vorgangs weiter. Die-
ser endet automatisch nach ca. 3 Minuten, kann jedoch jeder-
zeit abgebrochen werden. Während des Degas-Vorgangs blinkt die
Status-LED des VSH rot.
Modus Wertangleichung - Sensor Transition (ST)
Im VSH erfolgt standardmäßig ein kontinuierlicher Übergang zwischen Pirani- und
Heißkathodenbereich. Dabei findet eine Wertangleichung statt.
Um das Verhalten des Transmitters den Prozessanforderungen optimal anzupas-
sen, können mit dem Parameter »Sensor Transition« (ST) folgende Optionen kon-
figuriert werden:
»0«: Keine Wertangleichung, d.h. direktes Umschalten zwischen
Pirani und Heißkathode bei 4,0x10-4 mbar
(Heißkathode ein bei 4,0x10-4 mbar / aus bei 6,0x10-4 mbar)
»1«: Kontinuierliche Wertangleichung im Bereich
1,0 ... 2,0x10-3 mbar
(Heißkathode ein bei 3,0x10-3 mbar / aus bei 4,0x10-3 mbar)
(Default)
»2«: Kontinuierliche Wertangleichung im Bereich
2,0 ... 5,0x10-3 mbar
(Heißkathode ein bei 8,0x10-3 mbar / aus bei 9,0x10-3 mbar)
D[p]:∗Keine Wertangleichung, direktes Umschalten zwischen Pirani
und Heißkathode beim Druck p
F[p1] T[p2]:∗Kontinuierliche Wertangleichung im Druckbereich p1 ... p2
Wertebereich: p, p1, p2: 4,0x10-4 ... 1,0x10-2 mbar
∗) Nicht über EtherCAT ansprechbar
Heißkathode aktivieren und deaktivieren - Cathode Control (CC)
Bei bestimmten Prozess-Schritten kann es gewünscht sein, das von der Geräte-
elektronik automatisch gesteuerte Ein- und Ausschalten des Heißkathoden-Sen-
sors zu unterdrücken.
VSH-EtherCAT-200116

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Hierzu ist es möglich, den Sensor mithilfe des Geräte-Parameters »Cathode Con-
trol« (CC) per Softwarebefehl zu deaktivieren:
»0«: Heißkathode deaktiviert, kein Einschalten des Heißkathoden-Sensors
»1«: Heißkathode aktiv, automatisches Ein- / Ausschalten des Heißkatho-
den-Sensors (Default)
Bei deaktivierter Heißkathode verhält sich der VSH wie ein reiner Pirani-Transmitter
mit Messbereich 1000 - 1,0x10-4 mbar. Unterhalb 1,0x10-4 mbar wird über die se-
rielle Schnittstelle ein »UR« Signal für Messbereichsunterschreitung ausgegeben.
Das Einschalten der Degas-Funktion ist bei deaktivierter Heißka-
thode nicht möglich.
Der Parameter »Cathode Control« wird nur temporär im Gerät ge-
speichert. Nach Ausfall oder Ausschalten der Spannungsversor-
gung befindet sich das Gerät immer im Modus »Heißkathode ak-
tiv«.
Filament Control (FC) (Nicht über EtherCAT ansprechbar)
Der Bayard Alpert Heißkathoden-Sensor des VSH ist mit zwei Heiz-Filamenten
ausgestattet. Dieser Parameter steuert, in welcher Weise die beiden Filamente
benutzt werden:
»0«: Filament 1 aktiv, bei Defekt wird auf Filament 2 umgeschaltet (Default)
»1«: nur Filament 1 wird benutzt
»2«: nur Filament 2 wird benutzt
»3«: Filament 1 und 2 werden abwechselnd benutzt, d.h. wenn der
Heißkathoden-Sensor ausgeschaltet wird, wird beim nächsten Ein-
schalten das jeweils andere Filament aktiviert.
Filament Number (FN)
Mithilfe dieses Parameters kann abgefragt werden, ob aktuell Filament 1 oder 2
des Heißkathoden-Sensor eingeschaltet ist.
Filament Status (FS)
Mithilfe dieses Parameters wird der Fehlerstatus des Bayard Alpert Heißkathoden-
Sensors abgefragt:
»0«: kein Fehler, Filament 1 und 2 ok
»1«: Filament 1 defekt
»2«: Filament 2 defekt
»3«: Filament 1 und 2 defekt
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Gasart-Korrekturfaktoren - Gas Correction Factor (C1 / C3)
Das Mess-Signal des VSH ist gasartabhängig. Das Gerät ist auf N2bzw. trockene
Luft abgeglichen. Für andere Gase kann die Druckausgabe unterhalb 0,1 mbar
korrigiert werden, indem entsprechende Korrekturfaktoren für beide Sensortypen
gesetzt werden.
Die Messwerte der Sensoren werden dann bereits im Gerät mit den jeweiligen
Korrekturfaktoren multipliziert, so dass am digitalen Ausgang des Transmitters ein
korrigiertes Mess-Signal zur Verfügung steht.
Wertebereich: 0,20 ... 8,0
Korrekturfaktor C1 Pirani:
Ar CO CO2H2He N2Ne Kr
1,6 1,0 0,89 0,57 1,0 1,0 1,4 2,4
Korrekturfaktor C3 Heißkathode:
Ar CO2H2He N2Ne Kr Xe
0,8 0,74 2,4 5,9 1,0 3,5 0,6 0,41
VSH-EtherCAT-200116

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6 Wartung und Service
Vorsicht bei kontaminierten Teilen!
Es kann zu Gesundheitsschäden kommen. Informieren Sie sich vor
Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Be-
achten Sie beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägi-
gen Vorschriften und Schutzmaßnahmen.
Das Gerät ist wartungsfrei. Äußerliche Verschmutzungen können mit einem feuch-
ten Tuch beseitigt werden.
Sollte wider Erwarten ein Schaden an Ihrem VSH auftreten, senden Sie das Ge-
rät bitte mit einer ausgefüllten Kontaminationserklärung (siehe nächste Seite) zur
Reparatur an uns.
Das Gerät ist nicht zur kundenseitigen Reparatur vorgesehen!
Defekte Sensorköpfe können vor Ort gegen kalibrierte Ersatzsen-
soren ausgetauscht werden (Ersatzteile B_VSH87A, B_VSH88A
und B_VSH89A).
Fehlfunktionen des Gerätes, die auf Verschmutzung oder Ver-
schleiß zurückzuführen sind, fallen nicht unter die Gewährleistung.
Fehlersignal und Störungen
Problem Mögliche Ursache Behebung
Messwertabweichung zu
groß
Alterung, Verschmutzung,
extreme Temperaturen,
falsche Justierung
Nachjustieren, Sensor
ersetzen oder Gerät
einschicken
Nachjustieren des Pirani
Nullpunkts nicht möglich
Messwertabweichung
übersteigt den
Justierbereich
Sensor ersetzen oder
Gerät einschicken
»UR« via RS485 Messbereich
unterschritten
(Druck liegt unterhalb der
Messgrenze)
»ERROR1« via RS485 /
Status LED dauer-rot
Elektronik oder Sensor
defekt
Gerät einschicken oder
Sensor ersetzen
Status LED dauer-orange Heißkathode Filament 1
defekt
ggfs. Sensor ersetzen
Access Code »7« via
RS485
Fehlermeldung / Warnung siehe gesonderte
Beschreibung Thyracont
Communication Protocol
VSH-EtherCAT-200116