Thyracont VSM77PN User manual

V a c u u m I n s t r u m e n t s
VSM77PN, VSM78PN, VSM79PN
Vakuum Transmitter
Vacuum Transducer
®Registered trademark of Profibus & Profinet International (PI)
Betriebsanleitung
Operating Instructions

3
Inhaltsverzeichnis
1 Hinweise für Ihre Sicherheit 4
2 Vakuum Transmitter VSM 5
2.1 ZurOrientierung ............................ 5
2.2 Lieferumfang .............................. 5
2.3 Produktbeschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
3 Installation 7
3.1 Hinweise zur Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
3.2 Vakuumanschluss............................ 7
3.3 Elektrischer Anschluss . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
3.3.1 Spannungsversorgung / RS485 Schnittstelle . . . . . . . . . 8
3.3.2 Profinet PN P1 / PN P2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
4 Betrieb 10
4.1 Allgemeines............................... 10
4.2 StatusLED ............................... 11
4.3 Ausheizen................................ 11
5 Kommunikation 12
5.1 Die serielle Schnittstelle des VSM . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
5.2 Die Profinet Schnittstelle des VSM . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
5.3 Parameterübersicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
5.4 Geräte-Parameter und Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
5.5 Messwertabfrage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
5.6 Nachjustieren.............................. 16
5.7 Sensor Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
6 Wartung und Service 19
7 Technische Daten 21
8 Konformitätserklärung 23
Hersteller:
Thyracont Vacuum Instruments GmbH
Max-Emanuel-Straße 10
D-94036 Passau
Tel.: ++49/851/95986-0
E-Mail: [e-mail]
Internet: https://www.thyracont-vacuum.com
VSM-Profinet-200116

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1 Hinweise für Ihre Sicherheit
−Lesen und befolgen Sie alle Punkte dieser Anleitung
−Informieren Sie sich über Gefahren, die vom Gerät ausgehen und Gefahren, die von
Ihrer Anlage ausgehen
−Beachten Sie die Sicherheits- und Unfall-Verhütungsvorschriften
−Prüfen Sie regelmäßig die Einhaltung aller Schutzmaßnahmen
−Installieren Sie das VSM unter Einhaltung der entsprechenden Umgebungsbedingun-
gen; die Schutzart ist IP54, d.h. die Geräte sind geschützt gegen Eindringen von Staub
und Spritzwasser
−Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die einschlägigen
Vorschriften und Schutzmaßnahmen
−Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen zwischen Werkstoffen und Prozessmedien,
z. B. infolge der Eigenerwärmung des Produkts
−Gerät nicht eigenmächtig umbauen oder verändern
−Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination
−Beachten Sie im Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften und
Schutzmaßnahmen
−Legen Sie beim Einsenden des Gerätes eine Kontaminationsbescheinigung bei
−Geben Sie die Sicherheitsvermerke an andere Benutzer weiter
Piktogramm-Definitionen
Wichtige Information über das Produkt, dessen Handhabung oder
den jeweiligen Teil der Betriebsanleitung, auf den besonders auf-
merksam gemacht werden soll
Gefahr von Schäden an Gerät oder Anlage
Gefahr von Personenschäden
Gefahr eines elektrischen Schlages beim Berühren der Kontakte
Starkes Magnetfeld!
Gefahr von Personenschäden
VSM-Profinet-200116

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2 Vakuum Transmitter VSM
2.1 Zur Orientierung
Diese Betriebsanleitung ist gültig für Produkte mit den Artikelnummern
VSM77PN, VSM78PN, VSM79PN.
Sie finden die Artikelnummern auf dem Typenschild. Technische Änderungen oh-
ne vorherige Anzeige sind vorbehalten.
2.2 Lieferumfang
Zum Lieferumfang gehören:
−Transmitter VSM
−Staubschutzkappe
−Betriebsanleitung
Lieferbares Zubehör:
−Zentrierdichtring DN25KF mit Metall-Schutzblende, ZZCH025
−Zentrierdichtring DN40KF mit Metall-Schutzblende, ZZCH040
−Metall-Schutzblende für DN40CF, ZZCH040CF
Stecker und Messkabel:
−Kabel 3m, für Stromversorgung, WE0012003
−Kabel 5m, für Stromversorgung, WE0012005
−Kabel 10m, für Stromversorgung, WE0012010
−Datenkabel 3m, 2xM12, Industrial Ethernet, WE1212003
−Datenkabel 5m, 2xM12, Industrial Ethernet, WE1212005
−Datenkabel 10m, 2xM12, Industrial Ethernet, WE1212010
−Datenkabel 3m, RJ45/M12, Industrial Ethernet, WE4512003
−Datenkabel 5m, RJ45/M12, Industrial Ethernet, WE4512005
−Datenkabel 10m, RJ45/M12, Industrial Ethernet, WE4512010
VSM-Profinet-200116

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2.3 Produktbeschreibung
Der Vakuum Transmitter VSM dient zur Absolutdruck-Messung in gasförmigen Me-
dien im Bereich 5,0x10-9 - 1000 mbar. Er überträgt Messwerte und Daten per Profi-
net Schnittstelle und darf nur an geeignete und hierfür vorgesehene Komponenten
angeschlossen werden.
Zusätzlich besitzt das Gerät eine RS485 Schnittstelle zur digitalen Datenübertra-
gung (siehe Abschnitt 5.1).
Das VSM ist mit einem metallgedichteten Kombinationssensor des Typs Pirani /
Kaltkathode (invertiertes Magnetron) ausgerüstet und temperaturkompensiert. Es
kann an geeignete Flanschverbindungen angeschlossen werden.
Bestimmungsgemäße Verwendung
Das VSM dient ausschließlich der Absolutdruckmessung in gasförmigen Medien.
Es darf nur an geeignete und hierfür vorgesehene Komponenten angeschlossen
werden.
Nicht bestimmungsgemäße Verwendung
Als nicht bestimmungsgemäß gilt der Einsatz zu Zwecken, die von oben genannten
abweichen, insbesondere:
−Anschluss an Geräte oder Komponenten, die laut ihrer Betriebsanleitung
hierfür nicht vorgesehen sind.
−Anschluss an Geräte, die berührbare, Spannung führende Teile aufweisen.
Bei nicht bestimmungsgemäßem Einsatz erlischt jeglicher Haftungs- und Gewähr-
leistungsanspruch.
Die Verantwortung im Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien liegt
beim Betreiber.
Das Gerät ist nicht zum Einsatz in Verbindung mit Korrosivgas vor-
gesehen. Aggressive Medien wie Halogenide, Kohlenstoff- oder
Sauerstoff-Plasmen können die Lebensdauer des Sensors redu-
zieren!
Ölnebel, Staub und Kondensat beeinträchtigen die Funktion des
Sensors und können zum Ausfall führen!
Dauerhafter Betrieb im Druckbereich 5,0x10-4 bis 5,0x10-3 mbar
kann einen erhöhten Verschleiß des Kaltkathodensensors bewir-
ken.
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3 Installation
3.1 Hinweise zur Installation
Starkes Magnetfeld!
Das Gerät enthält starke Permanentmagnete.
Keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät
vornehmen!
Aufstellungsort: Innenräume
Für nicht vollklimatisierte Betriebsräume gilt:
Temperatur: +5 ◦C ... +50 ◦C
Rel. Luftfeuchte: max. 80% bis 30 ◦C, max. 50% bei 40 ◦C, nicht betauend
Luftdruck: 860 - 1060 hPa (mbar)
3.2 Vakuumanschluss
Schmutz und Beschädigungen, insbesondere am Flansch, beein-
trächtigen die Funktion dieses Gerätes.
Beachten Sie bitte die beim Umgang mit Vakuumkomponenten er-
forderlichen Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Be-
schädigung.
−Staubschutzkappe entfernen (wird bei Instandhaltungsarbeiten wieder be-
nötigt!)
−Vakuumanschluss fachgerecht über KF Kleinflansch/ CF-Flansch herstellen
−Für Kleinflansch-Verbindung Metall-Spannelemente verwenden, die sich nur
mit einem Werkzeug öffnen und schließen lassen, Dichtringe mit Zentrierring
verwenden
−Sicherstellen, dass der Sensorflansch mit dem Schutzleiter verbunden ist,
beispielsweise durch metallischen Kontakt zur geerdeten Vakuumkammer
(metallische Spannelemente)
Die Einbaulage ist frei wählbar, jedoch kann eine Montage von unten, d.h. mit nach
oben gerichtetem Flansch, zu vorzeitiger Verschmutzung und Ausfall des Geräts
führen. Zu bevorzugen ist der Einbau von oben, d.h. mit nach unten gerichtetem
Flansch, damit sich Staub und Kondensat nicht in der Messzelle ansammeln kön-
nen. Der Transmitter ist in dieser Lage ab Werk justiert. Bei anderer Einbaulage ist
-ohne Nachjustierung- eine erhöhte Messwertabweichung im Druckbereich ober-
halb 20 mbar zu erwarten.
VSM-Profinet-200116

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Das Gerät beim Einbau nicht gewaltsam verdrehen, dies kann zur
mechanischen Beschädigung führen!
Bei Überdruck im Vakuumsystem > 1 bar
Versehentliches Öffnen von Spannelementen kann zu Verletzun-
gen durch herumfliegende Teile führen! Ungesicherte Schlauch-
verbindungen können sich lösen und Gesundheitsschäden durch
ausströmende Prozessmedien herbeiführen!
Bei Überdruck im Vakuumsystem 1,5 bis 4 bar
Bei KF-Flanschverbindungen können Elastomer-Dichtringe dem
Druck nicht mehr standhalten. Dies kann zu Gesundheitsschäden
durch ausströmende Prozessmedien führen!
3.3 Elektrischer Anschluss
3.3.1 Spannungsversorgung / RS485 Schnittstelle
Die elektrische Verbindung ist unter Verwendung geeigneter Kabel EMV-gerecht
gemäß untenstehender Pinbelegung herzustellen:
Stecker M12, A-kodiert, 5polig, weiblich
Pin1: RS485 +
Pin2: Voltage Supply 24 VDC
Pin3: Supply GND
Pin4: RS485 -
Pin5: n.c.
Es wird empfohlen, Abschirmung und Speisungserde (Pin 3) beim
Speisegerät mit Erdung zu verbinden.
Falscher Anschluss oder unzulässige Versorgungsspannung kön-
nen zu Schäden am Transmitter führen!
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3.3.2 Profinet PN P1 / PN P2
Bei den Profinet Ports 1 und 2 handelt es sich um integrierte 2-Port-Switches, so-
mit ist kein zusätzlicher externer Switch erforderlich.
Die elektrische Verbindung ist unter Verwendung geeigneter Kabel EMV-gerecht
gemäß untenstehender Pinbelegung herzustellen:
Stecker 2x M12, D-kodiert, 4polig, weiblich
Pin1: Tx+ / Transmit Data +
Pin2: Rx+ / Receive Data +
Pin3: Tx- / Transmit Data -
Pin4: Rx- / Receive Data -
Falscher Anschluss kann zu Schäden am Transmitter führen!
VSM-Profinet-200116

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4 Betrieb
4.1 Allgemeines
Messprinzip
Der Vakuum Transmitter VSM besitzt eine interne Kombination aus Piranisen-
sor, der die Wärmeleitfähigkeit von Gasen zur Vakuummessung nutzt, und einem
Kaltkathoden-Ionisationssensor (invertiertes Magnetron).
Beim Wärmeleitungssensor wird ein Wendel-Filament in einer Wheatstone Brü-
ckenschaltung auf eine konstante Temperatur aufgeheizt. Die notwendige Brücken-
spannung ist ein Maß für den Absolutdruck.
Der Kaltkathoden-Sensor vom Typ invertiertes Magnetron erzeugt in einer Gas-
entladung ionisiert Gasmoleküle. Der gemessene Ionenstrom ist ein Maß für die
Anzahl der vorhandenen Gasmoleküle und somit für den Absolutdruck.
Schnittstellen
Der gemessene Druckwert kann über die serielle RS485 Schnittstelle des Trans-
mitters oder über den Profinet Anschluss digital ausgelesen werden. Darüber hin-
aus können verschiedene Parameter wie Gasart-Korrekturfaktoren programmiert
werden. Weitere Informationen hierzu finden Sie in Kapitel 5.
Stabilisierungszeit
Die Ausgabe des Mess-Signals erfolgt ca. 2 s nach Einschalten des Geräts. Zur
Ausnutzung der vollen Genauigkeit kann es -auch nach extremen Drucksprüngen-
angebracht sein, eine Stabilisierungszeit von 5 Minuten zu beachten.
Messgenauigkeit
Das Gerät ist ab Werk in stehender Position bei einer Versorgungsspannung von
24 VDC abgeglichen. Verschmutzung, Alterung, extreme klimatische Bedingungen
oder andere Einbaulagen können ein Nachjustieren erforderlich machen.
Im Bereich oberhalb 20 mbar ist die Messgenauigkeit reduziert.
Gasartabhängigkeit
Das Mess-Signal ist gasartabhängig. Das Gerät ist auf N2bzw. trockene Luft abge-
glichen. Für andere Gase können Korrekturfaktoren für beide Sensortypen gesetzt
werden, so dass unterhalb 0,1 mbar eine korrekte Druckausgabe resultiert (siehe
Abschnitt 5.7).
VSM-Profinet-200116

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4.2 Status LED
Die Status LED des VSM signalisiert folgende Betriebszustände:
4.3 Ausheizen
Soll die Vakuumkammer mit angeflanschtem VSM ausgeheizt werden, so darf die
Temperatur am Sensorflansch 160 ◦C keinesfalls überschreiten.
Die Spannungsversorgung des Transmitters muss während des
Ausheizens der Kammer ausgeschaltet sein. Anderenfalls kann es
zu Schäden an der Elektronik kommen!
VSM-Profinet-200116

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5 Kommunikation
5.1 Die serielle Schnittstelle des VSM
Der Transmitter verfügt über eine serielle Schnittstelle RS485. Um die Geräte-
adresse zur Kommunikation über RS485 einzustellen, ist zunächst der Gummi-
stopfen über dem Adress-Schalter zu entfernen und anschließend der Adress-
Schalter mit einem dünnen Schraubendreher oder ähnlichem Hilfsmittel auf einen
Wert zwischen 1 und 16 einzustellen. Danach den Gummistopfen wieder einset-
zen.
Bei der Kommunikation werden die Telegramme gemäß Thyracont Protokoll Versi-
on V2 als ASCII-Code übertragen. Ausführliche Informationen hierzu finden Sie in
der gesonderten Beschreibung »Thyracont Communication Protocol«.
Download unter: www.thyracont-vacuum.com/unterstuetzung/downloadcenter/
Schnittstellen-Parameter:
9,6 / 14,4 / 19,2 / 38,4 / 57,6 / 115,2 kBd, 8 Datenbits, 1 Stopbit, keine Parität
Nach dem Einschalten startet der Transmitter mit 9,6 kBd. Emp-
fängt er Anfrage-Telegramme mit einer anderen Baudrate, so stellt
sich der Transmitter automatisch darauf ein. Für diese automati-
sche Baudraten-Erkennung benötigt er maximal zwei Telegramme
der Sorte »Typanfrage« oder »Messwertanfrage«.
VSM-Profinet-200116

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5.2 Die Profinet Schnittstelle des VSM
Profinet® ist ein eingetragenes Markenzeichen der Profibus & Profinet Internatio-
nal (PI).
Für die Kommunikation über die Profinet Schnittstelle existiert eine separate An-
leitung, welche dem Gerät beiliegt.
Die Beschreibung auf den folgenden Seiten bezieht sich daher auf
die über RS485 ansprechbaren Parameter.
Weitere Informationen zu den Profinet Spezifikationen finden Sie
unter www.profibus.com/technology/profinet.
Bedeutung der Status LEDs
LED Anzeige Zustand Beschreibung
L/A
PN P1 grün
aus - keine Verbindung mit Profinet
Netzwerk an Port 1
an linked
physikalische Verbindung zu ar-
beitsfähigem Profinet Netzwerk
an Port 1 vorhanden
flackert aktiv Netzwerk
Datenverkehr an Port 1
L/A
PN P2 grün
aus - keine Verbindung mit Profinet
Netzwerk an Port 2
an linked
physikalische Verbindung zu ar-
beitsfähigem Profinet Netzwerk
an Port 2 vorhanden
flackert aktiv Netzwerk
Datenverkehr an Port 2
RUN grün
aus - Bus nicht gestartet
blinkt 10Hz - Fehler
blinkt 2Hz - Bus gestartet, warten auf Ver-
bindung / Konfigurationsmodus
an - Verbindung hergestellt
ERROR rot
aus - kein Fehler
blinkt - Profinet Teilnehmer-Blinktest
an - Fehler
VSM-Profinet-200116

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5.3 Parameterübersicht
Command RS485
Code Profinet
Type of Device TD x
Product Name PN
Serial Number Device SD
Serial Number Head (Sensor) SH
Version Device VD
Version Firmware VF
Version Bootloader VB
Baud Rate BR
Response Delay RD
Device Restart DR
Measurement Range MR
Measurement Value MV x
Measurement Value 1 (Pirani) M1
Measurement Value 4 (Cold Cathode) M41
Adjust High (Atmosphere Pressure) AH x
Adjust Low (Zero Pressure) AL x
Sensor Transition ST x
Cathode Control CC x
Gas Correction Factor 1 (Pirani) C1 x
Gas Correction Factor 4 (Cold Cathode) C4 x
1) Nicht verfügbar bei ausgeschaltetem Kaltkathodensensor
Das bisherige RS485 Schnittstellen-Protokoll der Version V1 wird
auch weiterhin von allen Smartline Geräten unterstützt! Telegram-
me, die gemäß Protokollversion 1 aufgebaut sind, können somit
weiter verwendet werden.
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5.4 Geräte-Parameter und Information
Type of Device (TD):
Abfragen des Gerätetyps, z.B. VSM207
Product Name (PN):∗
Abfragen des Produktnamens (entspricht der Artikelnummer)
Serial Number Device (SD):∗
Abfragen der Geräte-Seriennummer
Serial Number Head (SH):∗
Abfragen der Seriennummer des Sensorkopfes
Version Device (VD):∗
Abfragen der Hardware-Versionsnummer des Geräts
Version Firmware (VF):∗
Abfragen der Firmware-Versionsnummer des Geräts
Version Bootloader (VB):∗
Abfragen der Bootloader-Version des Geräts
Baud Rate (BR):∗
Einstellen der Baudrate zur Datenübertragung
Wertebereich: 9600, 14400, 19200, 28800, 38400, 57600, 115200 Bd
Response Delay (RD):∗
Abfragen und Einstellen der Wartezeit zwischen dem Empfang eines Telegramms
und dem Senden der Antwort.
Wertebereich: 1 ... 99999 µs (Default 5500 µs)
Device Restart (DR):∗
Geräte-Reset durchführen
∗) Nicht über Profinet ansprechbar
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5.5 Messwertabfrage
Measurement Range (MR):∗
Abfragen des Messbereichs
Measurement Value MV:
Abfragen des aktuell gemessenen Druckwertes
Measurement Value M1:∗
Abfragen des aktuell vom Pirani-Sensor gemessenen Druckwertes
Measurement Value M4:∗
Abfragen des aktuell vom Kaltkathodensensor gemessenen Druckwertes. Bei aus-
geschalteter Kaltkathode wird der Fehlercode »_ SEDIS« zurückgegeben.
∗) Nicht über Profinet ansprechbar
5.6 Nachjustieren
Das Gerät ist ab Werk bei Versorgungsspannung 24 V stehend, d.h. mit dem
Flansch nach unten, abgeglichen.
Andere Einbaulagen, Einsatz unter anderen klimatischen Bedingungen, extreme
Temperaturschwankungen, Alterung oder Verschmutzung können ein Nachjustie-
ren des Pirani-Sensors erforderlich machen.
Adjust High (AH)
Nachjustieren des Pirani-Sensors bei Atmosphärendruck.
Adjust Low (AL)
Nachjustieren des Pirani-Sensors bei Nulldruck. Hierzu sollte der Ist-Druck kleiner
5,0x10-5 mbar sein.
Um optimale Ergebnisse beim Nachjustieren zu erzielen, empfeh-
len wir vor jedem Abgleich eine Warmlaufphase von mindestens
10 Minuten beim jeweiligen Kalibrierdruck zu beachten.
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5.7 Sensor Parameter
Modus Wertangleichung - Sensor Transition (ST)
Im VSM erfolgt standardmäßig ein kontinuierlicher Übergang zwischen Pirani- und
Kaltkathodenbereich. Dabei findet eine Wertangleichung statt.
Um das Verhalten des Transmitters den Prozessanforderungen optimal anzupas-
sen, können mit dem Parameter »Sensor Transition« (ST) folgende Optionen kon-
figuriert werden:
»0«: Keine Wertangleichung, d.h. direktes Umschalten zwischen
Pirani und Kaltkathode bei 1,0x10-3 mbar
»1«: Kontinuierliche Wertangleichung im Bereich
1,0 ... 2,0x10-3 mbar (Default)
D[p]:∗Keine Wertangleichung, direktes Umschalten zwischen Pirani
und Kaltkathode beim Druck p
F[p1] T[p2]:∗Kontinuierliche Wertangleichung im Druckbereich p1 ... p2
Wertebereich: p, p1, p2: 4,0x10-4 ... 2,0x10-3 mbar
∗) Nicht über Profinet ansprechbar
Kaltkathode aktivieren und deaktivieren - Cathode Control (CC)
Bei bestimmten Prozess-Schritten kann es gewünscht sein, das von der Geräte-
elektronik automatisch gesteuerte Ein- und Ausschalten des Kaltkathoden-Sen-
sors zu unterdrücken.
Hierzu ist es möglich, den Sensor mithilfe des Geräte-Parameters »Cathode Con-
trol« (CC) per Softwarebefehl zu deaktivieren:
»0«: Kaltkathode deaktiviert, kein Einschalten des Kaltkathoden-Sensors
»1«: Kaltkathode aktiv, automatisches Ein- / Ausschalten des Kaltkathoden-
Sensors (Default)
Bei deaktivierter Kaltkathode verhält sich der VSM wie ein reiner Pirani-Transmitter
mit Messbereich 1000 - 1,0x10-4 mbar. Unterhalb 1,0x10-4 mbar wird über die se-
rielle Schnittstelle ein »UR« Signal für Messbereichsunterschreitung ausgegeben.
Der Parameter »Cathode Control« wird nur temporär im Gerät ge-
speichert. Nach Ausfall oder Ausschalten der Spannungsversor-
gung befindet sich das Gerät immer im Modus »Kaltkathode ak-
tiv«.
VSM-Profinet-200116

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Gasart-Korrekturfaktoren - Gas Correction Factor (C1 / C4)
Das Mess-Signal des VSM ist gasartabhängig. Das Gerät ist auf N2bzw. trockene
Luft abgeglichen. Für andere Gase kann die Druckausgabe unterhalb 0,1 mbar
korrigiert werden, indem entsprechende Korrekturfaktoren für beide Sensortypen
gesetzt werden.
Die Messwerte der Sensoren werden dann bereits im Gerät mit den jeweiligen
Korrekturfaktoren multipliziert, so dass am digitalen Ausgang des Transmitters ein
korrigiertes Mess-Signal zur Verfügung steht.
Wertebereich: 0,20 ... 8,0
Korrekturfaktor C1 Pirani:
Ar CO CO2H2He N2Ne Kr
1,6 1,0 0,89 0,57 1,0 1,0 1,4 2,4
Korrekturfaktor C4 Kaltkathode:
Ar CO2H2He N2Ne Kr Xe
0,8 0,74 2,4 5,9 1,0 3,5 0,6 0,41
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6 Wartung und Service
Vorsicht bei kontaminierten Teilen!
Es kann zu Gesundheitsschäden kommen. Informieren Sie sich vor
Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Be-
achten Sie beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägi-
gen Vorschriften und Schutzmaßnahmen.
Das Gerät ist wartungsfrei. Äußerliche Verschmutzungen können mit einem feuch-
ten Tuch beseitigt werden.
Sollte wider Erwarten ein Schaden an Ihrem VSM auftreten, senden Sie das Ge-
rät bitte mit einer ausgefüllten Kontaminationserklärung (siehe nächste Seite) zur
Reparatur an uns.
Das Gerät ist nicht zur kundenseitigen Reparatur vorgesehen!
Defekte Sensorköpfe können vor Ort gegen kalibrierte Ersatzsen-
soren ausgetauscht werden (Ersatzteile B_VSM77, B_VSM78 und
B_VSM79).
Fehlfunktionen des Gerätes, die auf Verschmutzung oder Ver-
schleiß zurückzuführen sind, fallen nicht unter die Gewährleistung.
Fehlersignal und Störungen
Problem Mögliche Ursache Behebung
Messwertabweichung zu
groß
Alterung, Verschmutzung,
extreme Temperaturen,
falsche Justierung
Nachjustieren, Sensor
ersetzen oder Gerät
einschicken
Nachjustieren des Pirani
Nullpunkts nicht möglich
Messwertabweichung
übersteigt den
Justierbereich
Sensor ersetzen oder
Gerät einschicken
»UR« via RS485 Messbereich
unterschritten
(Druck liegt unterhalb der
Messgrenze)
»ERROR1« via RS485 /
Status LED dauer-rot
Elektronik oder Sensor
defekt
Gerät einschicken oder
Sensor ersetzen
Access Code »7« via
RS485
Fehlermeldung / Warnung siehe gesonderte
Beschreibung Thyracont
Communication Protocol
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