MKS 260 PS-3B User manual

108196-P1
Rev C, 11/99
Instruction Manual
MKS Type 260 PS-3B
Power Supply
Six Shattuck Road
Andover, MA 01810-2449
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Fax: [phone]
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Web site: http://www.mksinst.com

WARRANTY
Type 260 PS-3B Equipment
MKS Instruments, Inc. (MKS) warrants that the equipment described above (the
“equipment”) manufactured by MKS shall be free from defects in materials and
workmanship for a period of one year from date of shipment and, when installed and
used in accordance with its specifications, will correctly perform all date-related
operations, including without limitation accepting data entry, sequencing, sorting,
comparing, and reporting, regardless of the date the operation is performed or the date
involved in the operation, provided that, if the equipment exchanges data or is otherwise
used with equipment, software, or other products of others, such products of others
themselves correctly perform all date-related operations and such products store and
transmit dates and date-related data in a format compatible with MKS equipment. THIS
WARRANTY IS MKS’ SOLE WARRANTY CONCERNING DATE-RELATED
OPERATIONS.
For the period commencing with the date of shipment of this equipment and ending one
year later in the case of defects in materials and workmanship, but two years later in the
case of failure to comply with the date-related operations warranty, MKS will, at its
option, either repair or replace any part which is defective in materials or workmanship
or with respect to the date-related operations warranty without charge to the purchaser.
The foregoing shall constitute the exclusive and sole remedy of the purchaser for any
breach by MKS of this warranty.
The purchaser, before returning any equipment covered by this warranty, which is
asserted to be defective by the purchaser, shall make specific written arrangements
with respect to the responsibility for shipping the equipment and handling any other
incidental charges with the MKS sales representative or distributor from which the
equipment was purchased or, in the case of a direct purchase from MKS, with the MKS
home office in Andover, Massachusetts, USA.
This warranty does not apply to any equipment which has not been used in accordance
with the specifications recommended by MKS for the proper and normal use of the
equipment. MKS shall not be liable under any circumstances for indirect, special,
consequential, or incidental damages in connection with, or arising out of, the sale,
performance, or use of the equipment covered by this warranty.
MKS recommends that all MKS pressure and flow products be calibrated periodically
(typically every 6 to 12 months) to ensure accurate readings. When a product is
returned to MKS for this periodic re-calibration it is considered normal preventative
maintenance not covered by any warranty.
THIS WARRANTY IS IN LIEU OF ALL OTHER RELEVANT WARRANTIES,
EXPRESSED OR IMPLIED, INCLUDING THE IMPLIED WARRANTY OF
MERCHANTABILITY AND THE IMPLIED WARRANTY OF FITNESS FOR A
PARTICULAR PURPOSE, AND ANY WARRANTY AGAINST INFRINGEMENT OF
ANY PATENT.
11-99 108196-P1

108196-P1
Rev C, 11/99
Instruction Manual
MKS Type 260 PS-3B
Power Supply

2
Copyright © 1999 by MKS Instruments, Inc
All rights reserved. No part of this work may be reproduced or transmitted in any form or by any
means, electronic or mechanical, including photocopying and recording, or by any information
storage or retrieval system, except as may be expressly permitted in writing by MKS Instruments,
Inc.
Printed in the United States of America
Baratron®is a registered trademark of MKS Instruments, Inc., Andover, MA

Table Of Contents
Table of Contents
Table of Contents........................................................................................................................ i
Chapter One: Safety Information.................................................................................................1
Symbols Used in This Instruction Manual.......................................................................1
Symbols Found on the Unit ............................................................................................2
Safety Procedures and Precautions..................................................................................3
Sicherheitshinweise für den Druckmeßumformer............................................................5
In dieser Betriebsanleitung vorkommende Symbole............................................5
Erklärung der am Gerät angebrachten Symbole ..................................................6
Sicherheitsvorschriften und Vorsichtsmaßnahmen..............................................7
Informations relatives àla sécurité..................................................................................9
Symboles utilisés dans ce manuel d'utilisation....................................................9
Symboles apparaissant sur l'unité.....................................................................10
Mesures de sécuritéet précautions....................................................................11
Medidas de seguridad ...................................................................................................13
Símbolos usados en este manual de instrucciones.............................................13
Símbolos hallados en la unidad ........................................................................14
Procedimientos y precauciones.........................................................................15
Chapter Two: Introduction ........................................................................................................17
How To Unpack the Type 260 PS-3B Unit ...................................................................17
Unpacking Checklist ........................................................................................17
Chapter Three: Installation ........................................................................................................19
Connectors.......................................................................................................19
Chapter Four: Operation............................................................................................................21
Customer Support.........................................................................................................21
Chapter Five: Specifications......................................................................................................23
Mechanical Specifications................................................................................23
Environmental Specifications...........................................................................23
Electrical Specifications ...................................................................................23

Chapter One: Safety Information S
y
mbols Used in This Instruction Manual
1
Chapter One: Safety Information
Symbols Used in This Instruction Manual
Definitions of WARNING, CAUTION, and NOTE messages used throughout the manual.
Warning The WARNING sign denotes a hazard to personnel. It calls
attention to a procedure, practice, condition, or the like,
which, if not correctly performed or adhered to, could result
in injury to personnel.
Caution The CAUTION sign denotes a hazard to equipment. It calls
attention to an operating procedure, practice, or the like, which, if
not correctly performed or adhered to, could result in damage to or
destruction of all or part of the product.
Note The NOTE sign denotes important information. It calls attention to a
procedure, practice, condition, or the like, which is essential to highlight.

Symbols Found on the Unit Cha
p
ter One: Safet
y
Information
2
Symbols Found on the Unit
The following table describes symbols that may be found on the unit.
Definition of Symbols Found on the Unit
|
On (Supply)
IEC 417, No.5007 Off (Supply)
IEC 417, No.5008 Earth (
g
round)
IEC 417, No.5017
Protective earth
(
g
round)
IEC 417, No.5019
Frame or chassis
IEC 417, No.5020 Equipotentiality IEC 417, No.5021 Direct current IEC 417, No.5031 Alternatin
g
current
IEC 417, No.5032
Both direct and
alternatin
g
current
IEC 417, No.5033-a Class ll equipment
IEC 417, No.5172-a
Three phase
alternatin
g
current
IEC 617-2 No.020206
Caution, refer to
accompanyin
g
documents
ISO 3864, No.B.3.1
Caution, risk of
electric shock
ISO 3864, No.B.3.6 Caution, hot surface
IEC 417, No.5041
Table 1: Definition of Symbols Found on the Unit

Chapter One: Safety Information Safet
y
Procedures and Precautions
3
Safety Procedures and Precautions
Observe the following general safety precautions during all phases of operation of this
instrument. Failure to comply with these precautions or with specific warnings elsewhere in
this manual violates safety standards of intended use of the instrument and may impair the
protection provided by the equipment. MKS Instruments, Inc. assumes no liability for the
customer’s failure to comply with these requirements.
DO NOT SUBSTITUTE PARTS OR MODIFY INSTRUMENT
Do not install substitute parts or perform any unauthorized modification to the instrument.
Return the instrument to an MKS Calibration and Service Center for service and repair to ensure
that all safety features are maintained.
SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY
Operating personnel must not attempt component replacement and internal adjustments. Any
service must be made by qualified service personnel only.
USE CAUTION WHEN OPERATING WITH HAZARDOUS MATERIALS
If hazardous materials are used, users must take responsibility to observe the proper safety
precautions, completely purge the instrument when necessary, and ensure that the material used
is compatible with the materials in this product, including any sealing materials.
PURGE THE INSTRUMENT
After installing the unit, or before removing it from a system, purge the unit completely with a
clean, dry gas to eliminate all traces of the previously used flow material.
USE PROPER PROCEDURES WHEN PURGING
This instrument must be purged under a ventilation hood, and gloves must be worn for
protection.
DO NOT OPERATE IN AN EXPLOSIVE ENVIRONMENT
To avoid explosion, do not operate this product in an explosive environment unless it has been
specifically certified for such operation.
USE PROPER FITTINGS AND TIGHTENING PROCEDURES
All instrument fittings must be consistent with instrument specifications, and compatible with the
intended use of the instrument. Assemble and tighten fittings according to manufacturer’s
directions.

Safety Procedures and Precautions Cha
p
ter One: Safet
y
Information
4
CHECK FOR LEAK-TIGHT FITTINGS
Carefully check all vacuum component connections to ensure leak-tight installation.
OPERATE AT SAFE INLET PRESSURES
Never operate at pressures higher than the rated maximum pressure (refer to the product
specifications for the maximum allowable pressure).
INSTALL A SUITABLE BURST DISC
When operating from a pressurized gas source, install a suitable burst disc in the vacuum system
to prevent system explosion should the system pressure rise.
KEEP THE UNIT FREE OF CONTAMINANTS
Do not allow contaminants to enter the unit before or during use. Contamination such as dust,
dirt, lint, glass chips, and metal chips may permanently damage the unit or contaminate the
process.
ALLOW PROPER WARM UP TIME FOR TEMPERATURE-CONTROLLED UNITS
Temperature-controlled units will only meet specifications when sufficient time is allowed for
the unit to meet, and stabilize at, the designed operating temperature. Do not zero or calibrate the
unit until the warm up is complete.

Chapter One: Safety Information Sicherheitshinweise für den Druckmeßumforme
r
5
Sicherheitshinweise für den Druckmeßumformer
In dieser Betriebsanleitung vorkommende Symbole
Bedeutung der mit WARNUNG!, VORSICHT! und HINWEIS gekennzeichneten Absätze in
dieser Betriebsanleitung.
Warnung! Das Symbol WARNUNG! weist auf eine Gefahr für das
Bedienpersonal hin. Es macht auf einen Arbeitsablauf, eine
Arbeitsweise, einen Zustand oder eine sonstige Gegebenheit
aufmerksam, deren unsachgemäße Ausführung bzw.
ungenügende Berücksichtigung zu Verletzungen führen kann.
Vorsicht! Das Symbol VORSICHT! weist auf eine Gefahr für das Gerät hin. Es
macht auf einen Bedienungsablauf, eine Arbeitsweise oder eine
sonstige Gegebenheit aufmerksam, deren unsachgemäße Ausführung
bzw. ungenügende Berücksichtigung zu einer Beschädigung oder
Zerstörung des Gerätes oder von Teilen des Gerätes führen kann.
Hinweis Das S
y
mbol HINWEIS macht auf wichti
g
e Informationen bezü
g
lich eines
Arbeitsablaufs, einer Arbeitsweise, eines Zustands oder einer sonstige
Gegebenheit aufmerksam.

Sicherheitshinweise für den Druckmeßumformer Cha
p
ter One: Safet
y
Information
6
Erklärung der am Gerät angebrachten Symbole
Nachstehender Tabelle sind die Bedeutungen der Symbole zu entnehmen, die am Gerät
angebracht sein können.
Bedeutung der am Gerät angebrachten Symbole
|
Ein (Energie)
IEC 417, No.5007 Aus (Energie) IEC 417, No.5008 Erdanschluß IEC 417, No.5017 Schutzleiteranschluß IEC 417, No.5019
Masseanschluß
IEC 417, No.5020
Aquipotential-
anschluß
IEC 417, No.5021 Gleichstrom IEC 417, No.5031 Wechselstrom IEC 417, No.5032
Gleich- oder
Wechselstrom
IEC 417, No.5033-a
Durchgängige
doppelte oder
verstärkte Isolierung
IEC 417, No.5172-a
Dreileiter-
Wechselstrom
(Drehstrom)
IEC 617-2, No.020206
Warnung vor einer
Gefahrenstelle
(Achtung, Dokumen-
tation beachten)
ISO 3864, No.B.3.1
Warnung vor
gefährlicher
elektrischer Spannun
g
ISO 3864, No.B.3.6
Höhere Temperatur
an leicht
zu
g
än
g
lichen Teilen
IEC 417, No.5041
Tabelle 2: Bedeutung der am Gerät angebrachten Symbole

Chapter One: Safety Information Sicherheitshinweise für den Druckmeßumforme
r
7
Sicherheitsvorschriften und Vorsichtsmaßnahmen
Folgende allgemeine Sicherheitsvorschriften sind während allen Betriebsphasen dieses Gerätes
zu befolgen. Eine Mißachtung der Sicherheitsvorschriften und sonstiger Warnhinweise in
dieser Betriebsanleitung verletzt die für dieses Gerät und seine Bedienung geltenden
Sicherheitsstandards, und kann die Schutzvorrichtungen an diesem Gerät wirkungslos machen.
MKS Instruments, Inc. haftet nicht für Mißachtung dieser Sicherheitsvorschriften seitens des
Kunden.
Niemals Teile austauschen oder Änderungen am Gerät vornehmen!
Ersetzen Sie keine Teile mit baugleichen oder ähnlichen Teilen, und nehmen Sie keine
eigenmächtigen Änderungen am Gerät vor. Schicken Sie das Gerät zwecks Wartung und
Reparatur an den MKS-Kalibrierungs- und -Kundendienst ein. Nur so wird sichergestellt, daß
alle Schutzvorrichtungen voll funktionsfähig bleiben.
Wartung nur durch qualifizierte Fachleute!
Das Auswechseln von Komponenten und das Vornehmen von internen Einstellungen darf nur
von qualifizierten Fachleuten durchgeführt werden, niemals vom Bedienpersonal.
Vorsicht beim Arbeiten mit gefährlichen Stoffen!
Wenn gefährliche Stoffe verwendet werden, mußder Bediener die entsprechenden
Sicherheitsvorschriften genauestens einhalten, das Gerät, falls erforderlich, vollständig spülen,
sowie sicherstellen, daßder Gefahrstoff die am Gerät verwendeten Materialien, insbesondere
Dichtungen, nicht angreift.
Spülen des Gerätes mit Gas!
Nach dem Installieren oder vor dem Ausbau aus einem System mußdas Gerät unter Einsatz eines
reinen Trockengases vollständig gespült werden, um alle Rückstände des Vorgängermediums zu
entfernen.
Anweisungen zum Spülen des Gerätes
Das Gerät darf nur unter einer Ablufthaube gespült werden. Schutzhandschuhe sind zu tragen.
Gerät nicht zusammen mit explosiven Stoffen, Gasen oder Dämpfen benutzen!
Um der Gefahr einer Explosion vorzubeugen, darf dieses Gerät niemals zusammen mit (oder in
der Nähe von) explosiven Stoffen aller Art eingesetzt werden, sofern es nicht ausdrücklich für
diesen Zweck zugelassen ist.

Sicherheitshinweise für den Druckmeßumformer Cha
p
ter One: Safet
y
Information
8
Anweisungen zum Installieren der Armaturen!
Alle Anschlußstücke und Armaturenteile müssen mit der Gerätespezifikation übereinstimmen,
und mit dem geplanten Einsatz des Gerätes kompatibel sein. Der Einbau, insbesondere das
Anziehen und Abdichten, mußgemäß den Anweisungen des Herstellers vorgenommen werden.
Verbindungen auf Undichtigkeiten prüfen!
Überprüfen Sie sorgfältig alle Verbindungen der Vakuumkomponenten auf undichte Stellen.
Gerät nur unter zulässigen Anschlußdrücken betreiben!
Betreiben Sie das Gerät niemals unter Drücken, die den maximal zulässigen Druck (siehe
Produktspezifikationen) übersteigen.
Geeignete Berstscheibe installieren!
Wenn mit einer unter Druck stehenden Gasquelle gearbeitet wird, sollte eine geeignete
Berstscheibe in das Vakuumsystem installiert werden, um eine Explosionsgefahr aufgrund von
steigendem Systemdruck zu vermeiden.
Verunreinigungen im Gerät vermeiden!
Stellen Sie sicher, daßVerunreinigungen jeglicher Art weder vor dem Einsatz noch während des
Betriebs in das Instrumenteninnere gelangen können. Staub- und Schmutzpartikel, Glassplitter
oder Metallspäne können das Gerät dauerhaft beschädigen oder Prozeßund Meßwerte
verfälschen.
Bei Geräten mit Temperaturkontrolle korrekte Anwärmzeit einhalten!
Temperaturkontrollierte Geräte arbeiten nur dann gemäß ihrer Spezifikation, wenn genügend Zeit
zum Erreichen und Stabilisieren der Betriebstemperatur eingeräumt wird. Kalibrierungen und
Nulleinstellungen sollten daher nur nach Abschlußdes Anwärmvorgangs durchgeführt werden.

Chapter One: Safety Information Informations relatives àla sécurité
9
Informations relatives àla sécurité
Symboles utilisés dans ce manuel d'utilisation
Définitions des indications AVERTISSEMENT, ATTENTION, et REMARQUE utilisées dans
ce manuel.
Avertissement L'indication AVERTISSEMENT signale un danger pour le
personnel. Elle attire l'attention sur une procédure, une
pratique, une condition, ou toute autre situation
présentant un risque d'accident pour le personnel, en
cas d'exécution incorrecte ou de non respect des
consignes.
Attention L'indication ATTENTION signale un danger pour l'appareil.
Elle attire l'attention sur une procédure d'exploitation, une
pratique, ou toute autre situation, présentant un risque
d'endommagement ou de destruction d'une partie ou de la
totalitéde l'appareil, en cas d'exécution incorrecte ou de non
respect des consignes.
Remarque L'indication REMARQUE si
g
nale une information im
p
ortante. Elle
attire l'attention sur une procédure, une pratique, une condition, ou
toute autre situation, présentant un intérêt particulier.

Informations relatives àla sécuritéCha
p
ter One: Safet
y
Information
10
Symboles apparaissant sur l'unité
Le tableau suivant décrit les symboles pouvant apparaître sur l'unité.
Définition des symboles apparaissant sur l'unité
|
Marche
(sous tension)
IEC 417, No.5007 Arrêt (hors tension) IEC 417, No.5008 Terre (masse) IEC 417, No.5017
Terre de protection
(masse)
IEC 417, No.5019
Masse
IEC 417, No.5020 Equipotentialité IEC 417, No.5021 Courant continu IEC 417, No.5031 Courant alternatif IEC 417, No.5032
Courant continu et
alternatif
IEC 417, No.5033-a Matériel de classe II IEC 417, No.5172-a
Courant alternatif
triphasé
IEC 617-2, No.020206
Attention : se reporter
àla documentation
ISO 3864, No.B.3.1
Attention : risque de
choc électrique
ISO 3864, No.B.3.6
Attention : surface
brûlante
IEC 417, No.5041
Tableau 3: Définition des symboles apparaissant sur l'unité

Chapter One: Safety Information Informations relatives àla sécurité
11
Mesures de sécuritéet précautions
Prendre les précautions générales de sécuritésuivantes pendant toutes les phases d'exploitation
de cet appareil. Le non respect des ces précautions ou des avertissements contenus dans ce
manuel constitue une violation des normes de sécuritérelatives àl'utilisation de l'appareil et
peut diminuer la protection fournie par l'appareil. MKS Instruments, Inc. n'assume aucune
responsabilitéconcernant le non respect des consignes par les clients.
PAS DE SUBSTITUTION DE PIÈCES OU DE MODIFICATION DE L'APPAREIL
Ne pas installer des pièces de substitution ou effectuer des modifications non autorisées sur
l'appareil. Renvoyer l'appareil àun centre de service et de calibrage MKS pour tout dépannage ou
réparation afin de garantir le l'intégritédes dispositifs de sécurité.
DÉPANNAGE UNIQUEMENT PAR DU PERSONNEL QUALIFIÉ
Le personnel d'exploitation ne doit pas essayer de remplacer des composants ou de faire des
réglages internes. Tout dépannage doit être uniquement effectuépar du personnel qualifié.
PRÉCAUTION EN CAS D'UTILISATION AVEC DES PRODUITS DANGEREUX
Si des produits dangereux sont utilisés, l'utilisateur est responsable de la prise des mesures de
précaution appropriées, de la purge complète de l'appareil quand cela est nécessaire, et de la
garantie que les produits utilisés sont compatibles avec les composants de cet appareil, y compris
les matériaux d'étanchéité.
PURGE DE L'APPAREIL
Après l'installation de l'unité, ou avant son enlèvement d'un système, purger l'unitécomplètement
avec un gaz propre et sec afin d'éliminer toute trace du produit de flux utiliséprécédemment.
UTILISATION DES PROCÉDURES APPROPRIÉES POUR LA PURGE
Cet appareil doit être purgésous une hotte de ventilation, et il faut porter des gants de protection.
PAS D'EXPLOITATION DANS UN ENVIRONNEMENT EXPLOSIF
Pour éviter toute explosion, ne pas utiliser cet appareil dans un environnement explosif, sauf en
cas d'homologation spécifique pour une telle exploitation.
UTILISATION D'ÉQUIPEMENTS APPROPRIÉS ET PROCÉDURES DE SERRAGE
Tous les équipements de l'appareil doivent être cohérents avec ses spécifications, et compatibles
avec l'utilisation prévue de l'appareil. Assembler et serrer les équipements conformément aux
directives du fabricant.
VÉRIFICATION DE L'ÉTANCHÉITÉDES CONNEXIONS
Vérifier attentivement toutes les connexions des composants pour le vide afin de garantir
l'étanchéitéde l'installation.

Informations relatives àla sécuritéCha
p
ter One: Safet
y
Information
12
EXPLOITATION AVEC DES PRESSIONS D'ENTRÉE NON DANGEREUSES
Ne jamais utiliser des pressions supérieures àla pression nominale maximum (se reporter aux
spécifications de l'unitépour la pression maximum admissible).
INSTALLATION D'UN DISQUE D'ÉCHAPPEMENT ADAPTÉ
En cas d'exploitation avec une source de gaz pressurisé, installer un disque d'échappement adapté
dans le système àvide, afin d'éviter une explosion du système en cas d'augmentation de la
pression.
MAINTIEN DE L'UNITÉÀL'ABRI DES CONTAMINATIONS
Ne pas laisser des produits contaminants pénétrer dans l'unitéavant ou pendant l'utilisation. Des
produits contaminants tels que des poussières et des fragments de tissu, de glace et de métal
peuvent endommager l'unitéd'une manière permanente ou contaminer le processus.
RESPECT DU TEMPS D'ÉCHAUFFEMENT APPROPRIÉPOUR LES UNITÉS Á
TEMPÉRATURE CONTRÔLÉE
Les unités àtempérature contrôlée atteignent leurs spécifications uniquement quand on leur laisse
un temps suffisant pour atteindre d'une manière stable la température d'exploitation. Ne pas
remettre àzéro ou calibrer l'unitétant que l'échauffement n'est pas terminé.

Chapter One: Safety Information Medidas de se
g
uridad
13
Medidas de seguridad
Símbolos usados en este manual de instrucciones
Definiciones de los mensajes de advertencia, precaución y de las notas usados en el manual.
Advertencia El símbolo de advertencia indica la posibilidad de que se
produzcan daños personales. Pone de relieve un
procedimiento, práctica, estado, etc. que en caso de no
realizarse u observarse correctamente puede causar
daños personales.
PrecauciónEl símbolo de precaución indica la posibilidad de producir daños
al equipo. Pone de relieve un procedimiento operativo, práctica,
estado, etc. que en caso de no realizarse u observarse
correctamente puede causar daños o la destrucción total o parcial
del equipo.
Nota El símbolo de notas indica información de importancia. Este símbolo
pone de relieve un procedimiento, práctica o condición cuyo
conocimiento es esencial destacar.

Medidas de seguridad Cha
p
ter One: Safet
y
Information
14
Símbolos hallados en la unidad
La tabla siguiente contiene los símbolos que puede hallar en la unidad.
Definición de los símbolos hallados en la unidad
|
Encendido
(alimentación eléctrica)
IEC 417, N°5007
Apagado
(alimentación eléctrica)
IEC 417, N°5008 Puesta a tierra IEC 417, N°5017 Protección a tierra IEC 417, N°5019
Caja o chasis
IEC 417, N°5020 Equipotencialidad IEC 417, N°5021 Corriente continua IEC 417, N°5031 Corriente alterna IEC 417, N°5032
Corriente continua y
alterna
IEC 417, N°5033-a Equipo de clase II IEC 417, N°5172-a
Corriente alterna
trifásica
IEC 617-2, N°020206
Precaución. Consulte
los documentos
adjuntos
ISO 3864, N°B.3.1
Precaución. Riesgo
de descar
g
a eléctrica
ISO 3864, N°B.3.6
Precaución.
Superficie
caliente
IEC 417, N°5041
Tabla 4: Definición de los símbolos hallados en la unidad