Sony BS77 Series User manual

BS77
スケールユニット/ Scale Unit / Maßstabseinheit
レーザスケール/ LASERSCALE / LASERSCALE
取扱説明書/ Instruction Manual / Bedienungsanleitung
お買い上げいただき、ありがとうございます。
ご使用の前に、この取扱説明書を必ずお読みください。
ご使用に際しては、この取扱説明書どおりお使いください。
お読みになった後は、後日お役に立つこともございますので、必ず保管してください。
Read all the instructions in the manual carefully before use and strictly follow them.
Keep the manual for future references.
Lesen Sie die ganze Anleitung vor dem Betrieb aufmerksam durch und folgen Sie beim
Betrieb des Geräts den Anweisungen. Bewahren Sie diese Bedienungsanleitung zum
späferen Nachlesen griffbereit auf.

[For the customers in U. S. A.]
WARNING
This equipment has been tested and found to comply
with the limits for a Class A digital device, pursuant to
Part 15 of the FCC Rules. These limits are designed
to provide reasonable protection against harmful
interference when the equipment is operated in a
commercial environment. This equipment generates,
uses, and can radiate radio frequency energy and, if
not installed and used in accordance with the
instruction manual, may cause harmful interference to
radio communications. Operation of this equipment in
a residential area is likely to cause harmful
interference in which case the user will be required to
correct the interference at his own expense.
You are cautioned that any changes or modifications
not expressly approved in this manual could void your
authority to operate this equipment.
[ For EU and EFTA countries ]
CE Notice
Making by the symbol CE indicates compliance of the
EMC directive of the European Community. Such
marking is indicative meets of exceeds the following
technical standards.
EN 55011 Group 1 Class A / 91 :
"Limits and methods of measurement of
electromagnetic disturbance characteristics of
industrial, scientific and medical (ISM) radio-frequency
equipment"
EN 50082-2 / 95:
"Electromagnetic compatibility - Generic immunity
standard Part 2 : Industrial environment"
警告
本装置を機械指令(EN60204-1)の適合を受ける機器
にご使用の場合は、その規格に適合するように方策
を講じてから、ご使用ください。
Warning
When using this device with equipment governed by
Machine Directives EN 60204-1, measures should be
taken to ensure conformance with those directives.
Warnung
Wenn dieses Gerät mit Ausrüstungsteilen verwendet
wird, die von den Maschinenrichtlinien EN 60204-1
geregelt werden, müssen Maßnahmen ergriffen
werden, um eine Übereinstimmung mit diesen
Normen zu gewährleisten.

(1)
BS77
警告
安全のために
当社の製品は安全に充分配慮して設計されています。しかし、操作や設置時にまちがっ
た取扱いをすると、火災や感電などにより死亡や大ケガなど人身事故につながることが
あり、危険です。また、機械の性能を落としてしまうこともあります。
これらの事故を未然に防ぐために、安全のための注意事項は必ず守ってください。操作
や設置、保守、点検、修理などを行う前に、この「安全のために」を必ずお読みください。
警告表示の意味 このマニュアルでは、次のような表示をしています。表示内容をよく理解してから本文
をお読みください。
この表示の注意事項を守らないと、火災や感電などにより死亡や大ケガなど人身事故に
つながることがあります。
注意
この表示の注意事項を守らないと、感電やその他事故によりケガをしたり周辺の物品に
損害を与えることがあります。
注意
警告
・ 表示された電源電圧以外での電圧で使用しないでください。火災や感電の原因となる
恐れがあります。
・ 濡れた手による取付作業はおやめください。感電の原因となる恐れがあります。
・ 本体を分解や改造をしないでください。ケガの恐れや、内部回路が破損することがあ
ります。
・ 作業を行なう前には、装置の状況をよく確かめて作業の安全を確保してください。
・ 電源などの駆動源は必ず切って作業をしてください。火災や事故の原因となります。
・ 電源などを入れて動かす場合は、周辺機械や装置などに指を挟まれないように十分注
意してください。

(2)
BS77
Sony Manufacturing Systems Corporation products are designed in full consideration of
safety. However, improper handling during operation or installation is dangerous and may
lead to fire, electric shock or other accidents resulting in serious injury or death. In addition,
these actions may also worsen machine performance.
Therefore, be sure to observe the following safety precautions in order to prevent these types
of accidents, and to read these "Safety Precautions" before operating, installing, maintaining,
inspecting, repairing or otherwise working on this unit.
Safety Precautions
Warning indication meanings
The following indications are used throughout this manual, and their contents should be
understood before reading the text.
Warning
Failure to observe these precautions may lead to fire, electric shock or other accidents
resulting in serious injury or death.
Caution
Failure to observe these precautions may lead to electric shock or other accidents resulting in
injury or damage to surrounding objects.
Warning
Caution
• Be sure to check the machine and device conditions to ensure work safety before
working on the machine.
• Be sure to cut off the power supply and other sources of drive power before working
on the machine. Failure to do so may result in fire or accidents.
• When turning on the power supply or other sources of drive power to operate the
machine, take care not to catch your fingers in peripheral machines and devices.
• Do not use this unit with voltages other than the specified supply voltage as this may
result in fire or electric shock.
• Do not perform installation work with wet hands as this may result in electric shock.
• Do not disassemble or modify the unit as this may result in injury or damage the
internal circuits.

(3)
BS77
CERTIFICATION
PRODUCT COMPLIES WITH DHHS RULES 21
CFR SUBCHAPTER J APPLICABLE AT DATE
OF MANUFACTURE.
SONY MANUFACTURING SYSTEMS CORPORATION
1-10 KIYOKU-CHO, KUKI-SHI,
SAITAMA 346-0035 JAPAN
MANUFACTURED AT ISEHARA PLANT
SONY MANUFACTURING SYSTEMS CORPORATION
2-933-725-**
DANGER INVISIBLE LASER
RADIATION WHEN OPEN. AVOID
DIRECT EXPOSURE TO BEAM.
CAUTION
DO NOT REMOVE COVER REFER SERVICING TO
QUALIFIED PERSONNEL.
ATTENTION
NE PAS DEMONTER LE CAPOT. LAISSER REVISER
A PERSONNEL DIPLOMEE.
CAUTION
Use of controls or adjustments or perfomance of procedures other than those specified herein may result in
hazardous radiation exposure.
LASERSCALE BS77
Ser.No. ******
MADE IN JAPAN
POWER
R
See Manual
Sony Manufacturing Systems Corporation

(4)
BS77
Sicherheitsmaßnahmen
Bei dem Entwurf von Sony Manufacturing Systems Corporation Produkten wird größter Wert
auf die Sicherheit gelegt. Unsachgemäße Handhabung während des Betriebs oder der
Installation ist jedoch gefährlich und kann zu Feuer, elektrischen Schlägen oder anderen
Unfällen führen, die schwere Verletzungen oder Tod zur Folge haben können. Darüber hinaus
kann falsche Anwendung die Leistung der Maschine verschlechtern.
Beachten Sie daher unbedingt die besonders hervorgehobenen Sicherheitshinweise in dieser
Bedienungsanleitung, um derartige Unfälle zu verhüten, und lesen Sie die folgenden
Sicherheitsmaßnahmen vor der Inbetriebnahme, Installation, Wartung, Inspektion oder
Reparatur dieses Gerätes oder der Durchführung anderer Arbeiten durch.
Bedeutung der Warnhinweise
Bei der Durchsicht dieses Handbuchs werden Sie auf die folgenden Hinweise und Symbole
stoßen. Machen Sie sich mit ihrer Bedeutung vertraut, bevor Sie den Text lesen.
Warnung
Eine Mißachtung dieser Hinweise kann zu Feuer, elektrischen Schlägen oder anderen
Unfällen führen, die schwere Verletzungen oder Tod zur Folge haben können.
Vorsicht
Eine Mißachtung dieser Hinweise kann zu elektrischen Schlägen oder anderen Unfällen führen,
die Verletzungen oder Sachbeschädigung der umliegenden Objekte zur Folge haben können.
Warnung
•Betreiben Sie dieses Gerät nur mit der vorgeschriebenen Versorgungsspannung, da
anderenfalls die Gefahr von Feuer oder elektrischen Schlägen besteht.
•Führen Sie Installationsarbeiten nicht mit nassen Händen aus, da hierbei die Gefahr
elektrischer Schläge besonders großist.
•Unterlassen Sie jeden Versuch, das Gerät zu zerlegen oder umzubauen, da dies zu
Verletzungen oder Beschädigung der internen Schaltungen führen kann.
Vorsicht
•Überprüfen Sie vor Arbeitsbeginn unbedingt den Zustand von Maschine und Vorrichtungen,
um die Arbeitssicherheit zu gewährleisten.
•Schalten Sie vor Arbeiten an der Maschine unbedingt die Stromzufuhr und andere
Antriebsstromquellen aus. Anderenfalls besteht Brand- oder Unfallgefahr.
•Achten Sie beim Einschalten der Stromversorgung usw. zum Betrieb der Maschine darauf,
daßSie sich nicht die Finger in peripheren Maschinen und Vorrichtungen klemmen.

(5)
BS77
CERTIFICATION
PRODUCT COMPLIES WITH DHHS RULES 21
CFR SUBCHAPTER J APPLICABLE AT DATE
OF MANUFACTURE.
SONY MANUFACTURING SYSTEMS CORPORATION
1-10 KIYOKU-CHO, KUKI-SHI,
SAITAMA 346-0035 JAPAN
MANUFACTURED AT ISEHARA PLANT
SONY MANUFACTURING SYSTEMS CORPORATION
2-933-725-**
DANGER INVISIBLE LASER
RADIATION WHEN OPEN. AVOID
DIRECT EXPOSURE TO BEAM.
CAUTION
DO NOT REMOVE COVER REFER SERVICING TO
QUALIFIED PERSONNEL.
ATTENTION
NE PAS DEMONTER LE CAPOT. LAISSER REVISER
A PERSONNEL DIPLOMEE.
ACHTUNG
Die Betätigung von Bedien- und Einstellteilen bzw. die Ausführung von Verfahren, die nicht in dieser
Bedienungsanleitung beschrieben sind, können zu gefährlicher Strahlungsbelastung führen.
LASERSCALE BS77
Ser.No. ******
MADE IN JAPAN
POWER
R
See Manual
Sony Manufacturing Systems Corporation


(J) i
BS77
一般的注意事項
以下は当社製品を正しくお使いいただくための一般的注意事項です。個々の詳細な取扱上の注意
は,本取扱説明書に記述された諸事項および注意をうながしている説明事項に従い,正しくお使
いください。
.始業または操作時には,当社製品の機能および性能が正常に作動していることを確認してから
ご使用ください。
.当社製品が万一故障した場合,各種の損害を防止するための十分な保全対策を施してご使用く
ださい。
.仕様に示された規格以外での使用または改造を施された製品については,機能および性能の保
証はできませんのでご留意ください。
.当社製品を他の機器と組合せてご使用になる場合は,使用条件,環境等により,その機能およ
び性能が満足されない場合がありますので,十分ご検討の上ご使用ください。
使用上の注意事項
.スケールユニットに使用している半導体レーザの波長は可視帯域から外れた780nm,最大出
力は3mWです。
.スケールヘッドから出る光は目には見えませんが人体に有害ですので,検出
ヘッド部のカバーは絶対に取り外さないでください。
光が漏れる可能性がありますので,通電時にスケール挿入部分を覗き込まな
いでください。また,スケール以外の物を差し込むことは絶対に行なわない
でください。
.スケールには,それぞれ固有のスケールピッチの補正値が記入されたラベルが貼られていま
す。ご使用前に必ずこの値を接続するデテクタに設定してください。(3ページをご参照くださ
い。)
.スケールユニットのコネクタプラグには静電気保護用キャップが付いていますので,デテクタ
接続時まで取り外さないでください。
また,コネクタプラグの静電気保護キャップ取り外し後に,コネクタピンに触れないように特
に注意してください。故障の原因となります。
.スケールユニットのコネクタとデテクタのレセプタクルを完全に接続し,ネジで固定してから
電源スイッチをONにしてください。
また,電源をONしたままコネクタを抜き差ししないでください。
.ケーブルを強く引いたり,無理に曲げてのご使用は避けてください。{曲げ半径50mm(内側)
以上}
.電源投入後10分位経過しますと,検出ヘッド部の温度が安定状態となります。その後にご使用
ください。
.本品は精密測定器のため,過度の衝撃が加わらないよう取扱いには十分注意してください。ま
た,輸送するときは必ず製品購入時と同じ包装形態でお願いします。

ii (J)
BS77
目次
1. 概要 ..................................................................................... 1
1-1. 特長................................................................................................................. 1
1-2. 各部の名称..................................................................................................... 1
2. 取付け上の注意事項............................................................ 2
2-1. 取付けにあたって......................................................................................... 2
2-2. 取付け時に準備するもの............................................................................. 2
2-3. 取付けの前に................................................................................................. 3
2-3-1. 補正値について............................................................................ 3
2-3-2. 補正値のセット方法.................................................................... 3
3. 取付け・調整方法 ............................................................... 4
3-1. 取付面の準備................................................................................................. 4
3-2. スケールの取付け......................................................................................... 6
3-2-1. BS77-10N/NS,30N/NS............................................................... 6
3-2-2. BS77-70N/NS〜420N/NS........................................................... 6
3-3. スライダの取付け .......................................................................................... 9
3-4. 信号調整 ........................................................................................................ 10
3-4-1. 信号調整準備 ............................................................................... 10
3-4-2. アジマス調整 ............................................................................... 11
3-5. 取付け・調整終了 ........................................................................................ 12
4. 仕様 ................................................................................... 13
5. 外形寸法図 ........................................................................ 14

(J) 1
BS77
1. 概要
1-1. 特長
■マグネスケール並みの扱い易さと信頼性。
■光波干渉計(レーザ測長器)並みの高精度,高分解能。
■温度・気圧・空気の乱れに左右されない安定測長。
■内挿精度,繰返し精度,戻り誤差がいずれも1/100マイクロメートルオーダの超高精度測長。
1-2. 各部の名称
ケーブルクランプ
検出ヘッド部
スライダ
スケール
コネクタプラグ
スペーサ
スケール
クランプ
ヘッドケーブル
中継アンプ
接続ケーブル
取付ネジ 基準
プレート
スケール
(有効長70mm以上)
補正値ラベル
スケール
(有効長10/30mm)
補正値ラベル

2(J)
BS77
2. 取付け上の注意事項
2-1. 取付けにあたって
.スケ−ルと検出ヘッドは組合せて調整されています。複数個のスケールユニットを取扱われる
場合は,必ず同一梱包内の組合せでご使用ください。万一スケールと検出ヘッドの組合せが分
からなくなった場合は,付属の精度表に記載されている製造番号でご確認ください。
.取付位置(アッベ誤差)と周囲の環境(温度,湿度,振動,塵挨)について十分ご検討ください。
.ヘッドケーブルは動力線と同一ダクトに通さないでください。
.機械可動部の最大移動長さはスケール最大可動長以下にしてください。
有効長10,30mmの場合
最大可動長=有効長+2mm(片側1mm)
有効長70mm以上の場合
最大可動長=有効長+10mm(片側5mm)
(最大可動長を越えた場合はスケールユニットの信号が出力されず,エラーが発生しますので
ご注意ください。)
.スケールユニットは,その取付け後にスケール信号調整を必要とします。機械への取付けにあ
たって,調整するためのスペースを十分とれるよう考慮してください。
(4〜12ページをご参照ください。)
.ご使用前に必ずスケールの補正値を接続するデテクタにセットしてください。
2-2. 取付け時に準備するもの
測定器
.てこ式ダイヤルゲージ .....................................................................................................................1台
(2/1000mmまたは1/1000mm目盛りのもの)
.ダイヤルゲージスタンド ................................................................................................................. 1台
.オシロスコープ ................................................................................................................................. 1台
2現象 X-Y表示可能なもの
入力感度 : DC0.1V/DIV
X-Y周波数帯域 : 1MHz以上
工具
.六角レンチ(呼び3,2) ................................................................................................................... 各1本
.プラスドライバ(呼び1番) ............................................................................................................... 1本
その他
.付属品.................................................................................................................................................. 1式
.ガーゼ................................................................................................................................................ 少量
.アルコール ....................................................................................................................................... 少量

(J) 3
BS77
2-3. 取付けの前に
2-3-1. 補正値について
スケールのホログラム格子ピッチPGは約0.55umですが,検出信号ピッチPSは原理的にこの1/4
の約0.14umです。この値はスケールごとに若干の違いがあります。そのため,正確な移動量を
得るためには各スケール固有のピッチ補正を加える必要があります。
補正値とは20dC温度下でのスケールユニット固有の検出ピッチ
PS=0.1379[|][|][|][|]um
の下4桁を表します。
ご使用前に必ずスケールの補正値をデテクタにセットしてください。
20dCと異なる温度環境でご使用になる場合
使用温度が20dCと異なる場合には,次のように補正値の修正を行なうことにより,温度補正を
行なうことができます。使用温度が23dCの場合の例を示します。
例) 補正値ラベルに示された補正値が[1][2][3][4]の場合
0.1379[1][2][3][4]x{1+(23_20)x(_0.7x10_6)}=0.1379[1][2][0][5]
20dCとの温度差
スケールの温度膨張係数(13ページ参照)
温度補正後の補正値は[1][2][0][5]となります。この値をセットしてください。
2-3-2. 補正値のセット方法
デテクタ(BDシリーズ)取扱説明書の「補正値の設定」の項をご覧ください。
N
デテクタ(BDシリーズ)の補正値は出荷時オールゼロが設定されています。この状態ではアラームが出力されご使用に
なれません。必ずスケールの補正値を正しく設定してからご使用ください。
また,補正のないデテクタの場合は,分解能の計算が必要ですので各デテクタの取扱説明書をご覧ください。

4(J)
BS77
3. 取付け・調整方法
次の手順で行なってください。(詳細は該当ページをご参照ください。)
3-1.取付面の準備 ....................................................................................................................................... 4
3-2.スケールの取付け ............................................................................................................................... 6
3-3.スライダの取付け ............................................................................................................................... 9
3-4.信号調整 ............................................................................................................................................. 10
3-4-1.信号調整準備 ........................................................................................................................... 10
3-4-2.アジマス調整 ........................................................................................................................... 11
3-5.取付け・調整終了 ............................................................................................................................. 12
3-1. 取付面の準備
1. 取付面の範囲(図中斜線部)と面精度を確認してください。
2. 取付けネジ座標の精度を確認してください。
スケール取付面 粗さ(Rmax) 6.3S
平面度 0.01mm以下
機械の走りに対する平行度 0.01mm以下
スライダ取付面 粗さ(Rmax) 12.5S
スケール取付面に対する平行度 0.03mm以下
BS77-10N/NS,30N/NS
BS77-70N/NS
型名 L
BS77-10N/NS 21.5
BS77-30N/NS 31.5
単位:mm
単位:mm
スケール取付面
スケール取付面
スライダ取付面
注)Mはマシンガイド(機械の走り)を示します。
スライダ取付面
9.8 ±0.2
38 ±0.2
20.1 ±0.2
8 ±0.1
46
4-M3 深6
16
10
10.8
3.5
( L )
Rmax=6.3S
Rmax=12.5S
0.01
0.01
0.03 A
M
スケール取付面
スケール取付面
スライダ取付面 スライダ取付面
9.8 ±0.2
6-M4 深6
2-M3 深6
Rmax=6.3S
Rmax=12.5S
0.01
0.01
0.03 A
M
25 ±0.2
38 ±0.2
46
25 ±0.2
88 ±0.3
16 ±0.2
46.6 ±0.3
100
40
( 7 )
注)Mはマシンガイド(機械の走り)を示します。
23
10.8

(J) 5
BS77
BS77-120N/NS,170N/NS,220N/NS
BS77-270N/NS,320N/NS
BS77-370N/NS,420N/NS
型名 L1 L2
BS77-120N/NS 148 50
BS77-170N/NS 198 75
BS77-220N/NS 248 100
単位:mm
型名 L1
BS77-270N/NS 298
BS77-320N/NS 348
単位:mm
単位:mm
型名 L1 L2
BS77-370N/NS 398 75
BS77-420N/NS 448 100
スケール取付面
スケール取付面
スライダ取付面 スライダ取付面
9.8 ±0.2
8-M4 深6
2-M3 深6
Rmax=6.3S
Rmax=12.5S
0.01
0.01
0.03 A
M
25 ±0.2 25 ±0.2
38 ±0.2
46
25 ±0.2
50 ±0.3
16 ±0.2
46.6 ±0.3
L1
L2 L2
( 7 )
注)Mはマシンガイド(機械の走り)を示します。
23
10.8
スケール取付面
スケール取付面
スライダ取付面 スライダ取付面
9.8 ±0.2
10-M4 深6
2-M3 深6
Rmax=6.3S
Rmax=12.5S
0.01
0.01
0.03 A
M
25 ±0.2
38 ±0.2
25 ±0.2 25 ±0.2 25 ±0.2
88 ±0.3
40100
46
100
16 ±0.2
46.6 ±0.3
L1
( 7 )
注)Mはマシンガイド(機械の走り)を示します。
23
10.8
スケール取付面
スケール取付面
スライダ取付面 スライダ取付面
9.8 ±0.2
12-M4 深6
2-M3 深6
Rmax=6.3S
Rmax=12.5S
0.01
0.01
0.03 A
M
25 ±0.2 25 ±0.2 25 ±0.2
50 ±0.3
25 ±0.2 25 ±0.2
38 ±0.2
L2 L2 L2 L2
46
16 ±0.2
46.6 ±0.3
L1
( 7 )
注)Mはマシンガイド(機械の走り)を示します。
23
10.8

6(J)
BS77
3-2. スケールの取付け
3-2-1. BS77-10N/NS,30N/NS
用意された取付面にほこり等が無いことを確認後,スケールを下図のようにマシンガイドに対し
平行に取付けます。(締め付けトルク:0.8N・m=8kgf・cm)
図の一点鎖線で示す面が基準となります。ダイヤルゲージで平行出し,または取付面に突き当て
を準備してください。
3-2-2. BS77-70N/NS〜420N/NS
1用意された取付面にほこり等が無いことを確認後,基準プレートを下図のようにマシンガイ
ドに対し平行に取付けます。(締め付けトルク1.4N・m=14kgf・cm)
図中,左側が基準穴となっています。てこ式ダイヤルゲージで平行度の確認を行ないながら
右側で調整してください。
N
基準プレートはスケールを取付ける際の突き当て基準となり,スケール精度を再現する上で重要なものです。必ず
仕様通り取付けてください。
BS77-70N/NS,270N/NS,320N/NS BS77-120N/NS,170N/NS,220N/NS,370N/NS,420N/NS
0.01 M
0.01 M
基準
M4x8
2本
突き当て基準面
M4x8
2本
突き当て基準面
M3x8
2本
ワッシャ

(J) 7
BS77
2スケールクランプを図のように取付けネジを用い,がたがある程度(仮締めから1〜2回転戻
す程度)にセットします。
3スケールの取付面および突当面にほこり,汚れが無いことを確認してください。汚れがある
場合はアルコールを含ませたガーゼで拭き取ってください。
4スケールをスケールクランプと取付面の間に挿入し,突き当て基準面に軽く押し当てます(注
意)。基準面に押し当てながら図に示すスケールクランプ(2個使いのものは左側,3個使いの
ものは中央のスケールクランプ)の取付ネジをA→B→A・・・の順序で交互に少しずつ締め付け
ていきます。(最終締付けトルク 1.4N・m=14kgf・cm)
N
スケールを基準面に突き当てるときは,下図左のように基準面に対向するスケール端面を指で軽く(9.8N=1kgf以下
の力)押さえてください。下図右のようにスケールの中央部を押さえる(4.9N=0.5kgf以上の力)など,スケールに変
形を加えたまま固定しますと所定の精度を得ることができません。(以下の手順でもこの点に十分ご注意ください。万一
強い曲げ力が加わったと思われる場合は,スケールクランプを緩め再度正しく取付けてください。)
BS77-70N/NS,270N/NS,320N/NS BS77-120N/NS,170N/NS,220N/NS,370N/NS,420N/NS
BS77-70N/NS,270N/NS,320N/NS BS77-120N/NS,170N/NS,220N/NS,370N/NS,420N/NS
基準プレート
スペーサ
取付面
突当面
良 不可
B
A
B
A
図1
M4x8
ワッシャ
スケールクランプ
基準プレート

8(J)
BS77
5スケールを熱的に安定化させるために,図1の状態で1時間以上放置してください。
6残りのスケールクランプをA→B→A・・・・の順序で交互に少しずつ締め付けます。
(最終締付トルク 1.4N・m=14kgf・cm)
7両端にスケールクランプを同様に締め付けます。(最終締め付けトルク 1.4N・m=14kgf・cm)
8スケール面に油や塵挨の付着がないことを確認します。汚れがある場合は,アルコールを含
ませたガーゼで拭き取ります。このときスケールの表面に拭きムラが無いことを確認してく
ださい。
BS77-70N/NS,270N/NS,320N/NS BSS77-120N/NS,170-N/NS,220N/NS,370N/NS,420N/NS
BS77-270N/NS,320N/NS
BS77-370N/NS,420N/NS
B
A
A
B
スペーサ
B
A
A
B
スペーサ
B
A
B
A
B
A

(J) 9
BS77
3-3. スライダの取付け
1取付ける機械のテーブルを移動させ,スケールのほぼ中央位置にスライダの取付け中央位置
を合わせます。
2スライダとスケールの隙間が均等であることを確認し,付属の取付ネジでスライダを仮止め
します。
スケール
スケールクランプ
基準プレート
スライダ
スライダ取付ネジ
(六角付ボルトM3x12)
スライダ
スケール
ワッシャ(呼び3)

10 (J)
BS77
3-4. 信号調整
3-4-1. 信号調整準備
デテクタ(BDシリーズ)とスケールユニットBS77を接続します。
1スケールユニットのヘッドコネクタ部保護キャップを取り外し,デテクタのHEADINに接
続します。
N
.コネクタピンには絶対に手を触れないでください。静電気により内部の電気部品が壊れる恐れがあります。輸送
時などコネクタを接続しないときは,必ず保護キャップを取付けてください。
.ヘッドコネクタの着脱は,必ずデテクタの電源を切ってから行なってください。
2デテクタのシグナル調整部にオシロスコープのCH1プローブをS(SIN)とG(GND)に接続し
ます。
3オシロスコープのCH2プローブをC(COS)とG(GND)に接続します。
4オシロスコープのCH1,CH2のINPUTCOUPLINGスイッチをGNDに合わせ,信号がスク
リーン中央にくるようにオシロスコープのPOSITIONを調整します。
5オシロスコープのCH1およびCH2のINPUTCOUPLINGスイッチをDCにします。
6TIME/DIVスイッチをX-YMODEにします。
7CH1,CH2の偏向感度(VOLTS/DIV)を0.5V/DIVにします。
8デテクタの電源をONにします。
BS77とデテクタユニットBDシリーズの接続
LASER SCALE
RESET
REF
LALM
SALM
HEAD IN
CHECK
SIG OUT
S
C
G
S
C
G
CH1
CH2
CH1
CH2
オシロスコープ
BS77スケールユニット
ヘッドコネクタ
HEADIN
シグナル調整部
詳細図 プローブ
デテクタ
BDシリーズ
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