Sony Magnescale SR118 Series User manual

スケールユニット/ Scale Unit / Skaleneinheit
SR118-015~260
スケールユニット/ Scale Unit / Skaleneinheit
取扱説明書/ Instruction Manual / Bedienungsanleitung
/

SR118 Series
お買い上げいただき、ありがとうございます。
ご使用の前に、この取扱説明書を必ずお読みください。
ご使用に際しては、この取扱説明書どおりお使いください。
お読みになった後は、後日お役に立つこともございますので、必ず保管してください。
Read all instructions in the manual carefully before use and strictly follow them.
Keep the manual for future references.
Lesen Sie die ganze Anleitung vor dem Betrieb aufmerksam durch und folgen Sie beim Betrieb des Geräts ihren
Anweisungen. Heben Sie die Anleitung danach zum späteren Nachlesen griffbereit auf.

[For the customers in U. S. A.]
WARNING
This equipment has been tested and found to comply
with the limits for a Class A digital device, pursuant to
Part 15 of the FCC Rules. These limits are designed
to provide reasonable protection against harmful
interference when the equipment is operated in a
commercial environment. This equipment generates,
uses, and can radiate radio frequency energy and, if
not installed and used in accordance with the
instruction manual, may cause harmful interference to
radio communications. Operation of this equipment in
a residential area is likely to cause harmful
interference in which case the user will be required to
correct the interference at his own expense.
You are cautioned that any changes or modifications
not expressly approved in this manual could void your
authority to operate this equipment.
L一般的な注意事項
以下は当社製品を正しくお使いいただくための一般的な注意
事項です。個々の詳細な取扱上の注意は、本取扱説明書に記
述された諸事項および注意をうながしている説明事項に従っ
てください。
•始業または操作時には、当社製品の機能および性能が正常
に作動していることを確認してからご使用ください。
•当社製品が万一故障した場合、各種の損害を防止するため
の十分な保全対策を施してご使用ください。
•仕様に示された規格以外でのご使用、または改造を施され
た製品については、機能および性能の保証はできませんの
でご留意ください。
•当社製品をほかの機器と組み合わせてご使用になる場合
は、使用条件、環境などにより、その機能および性能が満
足されない場合がありますので、十分ご検討の上ご使用く
ださい。

LGeneral precautions
When using Sony Manufacturing Systems Corporation
products, observe the following general precautions along
with those given specifically in this manual to ensure proper
use of the products.
•Before and during operations, be sure to check that our
products function properly.
•Provide adequate safety measures to prevent damage in
case our products should develop a malfunction.
•Use outside indicated specifications or purposes and
modification of our products will void any warranty of the
functions and performance as specified for our products.
•When using our products in combination with other
equipment, the functions and performance as noted in
this manual may not be attained, depending upon the
operating environmental conditions. Make a thorough
study of the compatibility in advance.
LAllgemeine Vorsichtsmaßnahmen
Beim Einsatz von Geräten von Sony Manufacturing
Systems Corporation sind die folgenden allgemeinen
Vorsichtsmaßnahmen zusätzlich zu den in der
vorliegenden Anleitung jeweils speziell angegebenen
Warnhinweisen zu beachten, um einen korrekten Einsatz
des Geräts zu gewährleisten.
•Vor und während des Betriebs sicherstellen, daßdas
Gerät korrekt funktioniert.
•Geeignete Sicherheitsvorkehrungen zur Vermeidung von
Schäden für den Fall ergreifen, daßam Gerät eine
Störung auftritt.
•Wird das Gerät außerhalb der angegebenen
Spezifikationen und Einsatzzwecke verwendet oder
werden am Gerät Änderungen vorgenommen, kann
keine Garantie für Funktion und Leistung übernommen
werden.
•Beim Einsatz des Geräts mit einem anderen nicht
empfohlenen Gerät werden u.U. je nach
Betriebsbedingungen die in der vorliegenden Anleitung
aufgeführten optimalen Funktionen und Leistungen nicht
erreicht. Daher die Kompatibilität im voraus gründlich
prüfen.

[For EU and EFTA countries]
CE Notice
Marking by the symbol CE indicates compliance of the
EMC directive of the European Community. Such
marking is indicative meets of exceeds the following
technical standards.
•EN55011(CISPR11 Group 1 Class A) : "Limits and
methods of measurement of electromagnetic
disturbance characteristics of industrial, scientific and
medical (ISM) radio-frequency equipment"
•EN50082-2 : "Electromagnetic compatibility-Generic
immunity standard Part 2 : Industry"
IEC1000-4-2 : "Electromagnetic compatibility for
industrial-process mesurment and control equipment
Parts2:Electrostatic discharge requirements"
Test level 2 : contact discharge,indirect discharge
Test level 3 : air discharge
Severity level: Temporary degradation or loss of
function or performance which
requires operator intervention or
system reset.
ENV 50140 : "Electromagnetic compatibility,Basic
immunity standard,Radiated radio-frequency
electromagnetic field,Immunity test"
Test level 2 : test field strength
Severity level : Temporary degradation or loss of
function or performance which
requires operator intervention or
system reset.
IEC1000-4-4 : "Electromagnetic compatibility for
industrial-process mesurment and control equipment
Parts4:Electrostatic fast transient/burst
requirements"
Test level 3
Severity level : Temporary degradation or loss of
function or performance which
requires operator intervention or
system reset.
Warning
When using this device with equipment governed by
Machine Directives EN60204-1, measures should be
taken to ensure comformance with those directives.

安全のために
当社の製品は安全に十分配慮して設計されています。しかし、操作や設置時にまちがった取
扱いをすると、火災や感電などにより死亡や大ケガなど人身事故につながることがあり、危
険です。また、機械の性能を落としてしまうこともあります。
これらの事故を未然に防ぐために、安全のための注意事項は必ず守ってください。操作や設
置、保守、点検、修理などを行う前に、この「安全のために」を必ずお読みください。
警告表示の意味
このマニュアルでは、次のような表示をしています。表示内容をよく理解してから本文をお
読みください。
!!
!!
!警告
この表示の注意事項を守らないと、火災や感電などにより死亡や大ケガなど人身事故につな
がることがあります。
!!
!!
!注意
この表示の注意事項を守らないと、感電やその他事故によりケガをしたり周辺の物品に損害
を与えることがあります。
ご注意
機器の正しい取扱のために、注意していただきたい事項です。

!注意
･ 作業を行う前には、機械や装置の状況をよく確かめて作業の安全を確保してくださ
い。
･ 電源やエアーなどの駆動源は必ず切って作業をしてください。火災や事故の原因とな
ります。
･ 電源などを入れて動かす場合は、周辺機械や装置などに指を挟まれないように十分注
意してください。
!警告
･ 表示された電源電圧以外での電圧で使用しないでください。火災や感電の原因となる
恐れがあります。
･ 濡れた手での取付作業はおやめください。感電の原因となります。
･ 本体を分解や改造したりしないでください。ケガの恐れや、内部回路が破損すること
があります。

取付上のご注意
設置上のご注意
本機を設置されるときは、他の機器からのノイズ、電磁波障害などを防止するため、以下の
点に注意してください。
1. リードケーブルおよび接続ケーブルは、動力線と同じダクトには通さないでください。
2. 高電圧源、大電流源および大電力リレーからは必ず0.5m以上離して設置してください。
3. 各種マグネットや電磁波発生源を絶対に近づけないでください。
ご注意
･ マグネットチャックなど600G程度の磁力源は、スケールのスチール製筐体側面より50mm以上、
開口面より100mm以上離してください。
･ もし近づけなければならない場合は、磁気シールド対策を十分に施しご使用願います。
取付場所についてのご注意
1. 本製品は、周囲温度範囲0〜40℃の範囲内でご使用ください。直射日光や熱風の当たる場
所や暖房器具の近くでの使用は避けてください。
2. 切削屑、切削油および機械油などのかかる場所での使用は避けてください。本製品は、防
油および防水構造ではありません。
3. 強い振動や衝撃のかかる場所での使用は避けてください。
4. 被加工物、被測定物および工具・治具などが本製品と接触する恐れが有る場合は、十分な
強度を有したカバーで保護してください。

Sony Manufacturing Systems Corporation products are designed in full consideration of safety.
However, improper handling during operation or installation is dangerous and may lead to fire, electric
shock or other accidents resulting in serious injury or death. In addition, these actions may also worsen
machine performance.
Therefore, be sure to observe the following safety precautions in order to prevent these types
of accidents, and to read these "Safety Precautions" before operating, installing, maintaining,
inspecting, repairing or otherwise working on this unit.
Warning indication meanings
The following indications are used throughout this manual, and their contents should be
understood before reading the text.
!Warning
Failure to observe these precautions may lead to fire, electric shock or other accidents
resulting in serious injury or death.
!Caution
Failure to observe these precautions may lead to electric shock or other accidents resulting in
injury or damage to surrounding objects.
Note
This indicates precautions which should be observed to ensure proper handling of the equipment.
Safety Precautions

!Warning
•Do not use this unit with voltages other than the specified supply voltage as this may result
in fire or electric shock.
•Do not perform installation work with wet hands as this may result in electric shock.
•Do not disassemble or modify the unit as this may result in injury or damage the internal
circuits.
•Be sure to check the machine and device conditions to ensure work safety before working
on the machine.
•Be sure to cut off the power supply, air and other sources of drive power before working on
the machine. Failure to do so may result in fire or accidents.
•When turning on the power supply, etc. to operate the machine, take care not to catch your
fingers in peripheral machines and devices.
!Caution

Handling Precautions
Installation precautions
When installing this unit, care should be given to the following points to prevent noise and
electromagnetic wave interference from other equipment.
1. Do not pass lead and connection cables through the same ducts as power lines.
2. Be sure to install the unit at least 0.5 m or more away from high voltage or large current
sources or high-power relays.
3. Absolutely do not bring the unit near magnets or sources of electromagnetic waves.
Note
•Magnet chucks and other sources of magnetic force of approx. 600 G should be kept at
least 50 mm or more away from the side surfaces and 100 mm or more away from the
opening surfaces of the scale's steel chassis.
•If the unit must be installed close to sources of magnetic force, be sure to implement
adequate electromagnetic shielding countermeasures.
Installation place precautions
1. The scale unit should be used within an ambient temperature range of 0 to 40°C. Avoid
use in places exposed to direct sunlight or hot winds or near heating equipment.
2. The scale unit does not have a oil-proof or waterproof structure. Therefore, avoid use in
places exposed to cutting scraps, cutting oil or machine oil.
3. Avoid use in places subject to strong vibrations or impacts.
4. If there is the chance that the scale unit may come into contact with cut or measured
objects, tools or jigs, be sure to protect the unit with a sufficiently strong cover.

Sicherheitsmaßnahmen
Bei dem Entwurf von Sony Manufacturing Systems Corporation Produkten wird größter Wert
auf die Sicherheit gelegt. Unsachgemäße Handhabung während des Betriebs oder der
Installation ist jedoch gefährlich und kann zu Feuer, elektrischen Schlägen oder anderen
Unfällen führen, die schwere Verletzungen oder Tod zur Folge haben können. Darüber hinaus
kann falsche Behandlung die Leistung der Maschine verschlechtern.
Beachten Sie daher unbedingt die besonders hervorgehobenen Vorsichtshinweise in dieser
Bedienungsanleitung, um derartige Unfälle zu verhüten, und lesen Sie die folgenden
Sicherheitsmaßnahmen vor der Inbetriebnahme, Installation, Wartung, Inspektion oder
Reparatur dieses Gerätes oder der Durchführung anderer Arbeiten durch.
Bedeutung der Warnhinweise
Bei der Durchsicht dieses Handbuchs werden Sie auf die folgenden Hinweise und Symbole
stoßen. Machen Sie sich mit ihrer Bedeutung vertraut, bevor Sie den Text lesen.
!Warnung
Eine Mißachtung dieser Hinweise kann zu Feuer, elektrischen Schlägen oder anderen
Unfällen führen, die schwere Verletzungen oder Tod zur Folge haben können.
!Vorsicht
Eine Mißachtung dieser Hinweise kann zu elektrischen Schlägen oder anderen Unfällen führen,
die Verletzungen oder Sachbeschädigung der umliegenden Objekte zur Folge haben können.
Achtung
Diese Hinweise sollten beachtet werden, um die korrekte Handhabung des Gerätes zu gewährleisten.

!Warnung
•Betreiben Sie dieses Gerät nur mit der vorgeschriebenen Versorgungsspannung, da
anderenfalls die Gefahr von Feuer oder elektrischen Schlägen besteht.
•Führen Sie Installationsarbeiten nicht mit nassen Händen aus, da hierbei die Gefahr
elektrischer Schläge besonders großist.
•Unterlassen Sie jeden Versuch, das Gerät zu zerlegen oder umzubauen, da dies zu
Verletzungen oder Beschädigung der internen Schaltungen führen kann.
!Vorsicht
•Überprüfen Sie vor Arbeitsbeginn unbedingt den Zustand von Maschine und Vorrichtungen,
um die Arbeitssicherheit zu gewährleisten.
•Schalten Sie unbedingt die Strom- und Luftversorgung sowie andere Antriebskraftquellen
aus, bevor Sie Arbeiten an der Maschine ausführen. Anderenfalls kann es zu Feuer oder
Unfällen kommen.
•Achten Sie beim Einschalten der Stromversorgung usw. zum Betrieb der Maschine darauf,
daßSie sich nicht die Finger in peripheren Maschinen und Vorrichtungen klemmen.

Hinweise zur Handhabung
Installationshinweise
Beachten Sie bei der Installation dieses Gerätes die folgenden Punkte, um die Einstreuung von
Rauschen und elektromagnetischen Wellen von anderen Geräten zu verhüten.
1. Verlegen Sie Zuleitungskabel und Verbindungskabel nicht zusammen mit Starkstromkabeln.
2. Halten Sie bei der Installation des Gerätes mindestens 0,5 m Abstand von Hochspannungs-,
Starkstromquellen oder Hochleistungsrelais.
3. Bringen Sie das Gerät auf keinen Fall in die Nähe von Magneten oder Quellen elektromagnetischer Wellen.
Achtung
•Magnetische Futter oder andere Magnetkraftquellen von ungefähr 600 G sollten mindestens 50
mm von den Seitenflächen und mindestens 100 mm von den Öffnungen des Stahlgehäuses der
Skala entfernt gehalten werden.
•Falls das Gerät in der Nähe von Magnetkraftquellen installiert werden muß, treffen Sie unbedingt
angemessene Maßnahmen zum Schutz vor elektromagnetischer Beeinflussung.
Hinweise zum Installationsort
1. Verwenden Sie die Skaleneinheit innerhalb eines Umgebungstemperaturbereiches von 0 bis 40 °C.
Vermeiden Sie verwendungan Orten, die direktem Sonnenlicht, Heißluft oder der Wärme von
Heizkörpern ausgesetzt sind.
2. Die Skaleneinheit ist nicht öl- oder wasserfest. Vermeiden Sie daher die Benutzung an Orten, die
Spänen, Schneidöl oder Maschinenöl ausgesetzt sind.
3. Vermeiden Sie die Benutzung an Orten, die starken Vibrationen oder Erschütterungen ausgesetzt sind.
4. Wenn die Möglichkeit besteht, daßdie Skaleneinheit mit bearbeiteten oder gemessenen Objekten,
Werkzeugen oder Aufspannvorrichtungen in Berührung kommt, schützen Sie die Einheit mit einer
ausreichend starken Abdeckung.

日本語
1
目次
1. 概要 ............................................................................ 2
1-1. はじめに.................................................................... 2
1-2. 主な特徴.................................................................... 2
1-3. 部品構成.................................................................... 3
1-4. システム構成............................................................ 3
2. 各部の名称と働き ......................................................4
2-1. 平面部........................................................................ 4
2-2. 側面部........................................................................ 5
3. 取付方法 ..................................................................... 6
3-1. 取付注意.................................................................... 6
3-1-1. 取付方法の確認 ................................................. 6
3-1-2. 動作範囲の設定 ................................................. 6
3-1-3. ケーブルコネクタの保護 ................................. 7
3-1-4. スケールカバーの取付 ..................................... 7
3-2. 取付準備.................................................................... 8
3-2-1. 設計の前に.......................................................... 8
3-2-2. 取付平面度および平面度の設計 ..................... 9
3-2-3. 取付具の設計 .....................................................10
3-2-4. 部品および工具の準備 .....................................11
3-3. 取付手順....................................................................11
4. 主な仕様 .....................................................................13
4-1. 一般仕様....................................................................13
4-2. 外形寸法図................................................................14
5. 保守 ............................................................................15
6. トラブルインフォメーション ....................................15

2
日本語
1-1. はじめに
SR118Seriesは、スケール検出部分が極めて小さいハウジン
グに組込まれた直線型のマグネスケールユニットです。取付
ヘッドやスライダ部を含めた、ユニットのスライド方向にお
ける断面積がわずか8.2×12.7mmで構成されています。小
型ステージ、各種顕微鏡、精密アクチュエータなど、極めて
狭い取付スペースしかない物にも取付てご使用になれます。
1. 概要
1-2. 主な特徴
小型スケールユニット
•小型断面形状
•短い全長
高精度
有効長に合わせ、以下の精度が可能です。
•有効長15〜60mmの場合 :4µm
•有効長100〜160mmの場合 :5µm
•有効長210〜260mmの場合 :6µm
ご注意
上記精度保証はトレーサビリティ体系に基づいたものです。
(測定温度20℃)
容易な取付
ネジ4本により簡単に取付けることができます。
ご注意
被取付面の許容される平行度は0.1mm以下となります。
軽量
SR118-015(有効長15mm)でわずか約40gの最軽量さを実現
しています。

日本語
3
1-4. システム構成
システム接続構成
機種構成
型名 有効長 リードケーブル長
SR118-015 15mm 300mm
SR118-030 30mm 300mm
SR118-060 60mm 300mm
SR118-100 100mm 300mm
SR118-130 130mm 300mm
SR118-160 160mm 300mm
SR118-210 210mm 300mm
SR118-260 260mm 300mm
1-3. 部品構成
本体 スケール ....... 1
付属品 ＋PS2×4...... 2
＋PS2×8...... 2 目隠しラベル.... 1
＋P3×16....... 2 配線止め(小) ..... 2
HSB4×16 ..... 2 配線止め(大) ..... 2
＋B4×8 ........ 4
SR118
-***
SR118
SR118
カウンタ
(別売)
接続ケーブル
(別売) デテクタ
(別売)

4
日本語
2. 各部の名称と働き
2-1. 平面部
1ブラケットL/R
スケールロットを支持し、スケール本体を構成する部品です。
図示位置が取付けの際の基準面となります。
2有効可動長マーク
スライダ中心に対する有効可動範囲の目安を指示するマークで
す。取付けの際に、この範囲を越して可動することの無いよう
正しくご使用ねがいます。
ご注意
有効可動範囲を超えて使用すると本製品を破損させる原因とな
ります。
3スケール中心
スケール本体の中心を表します。
4スライダ中心
スライダのメカニカルセンターを表します。スライダの有効可
動長マークとの相関を見る位置でもあります。
5型名マーク
本製品シリーズの型名を明記してあります。シリーズの構成に
ついては1-4.システム構成を参照してください。
6コネクタ
スケールユニットとカウンタユニットを接続するためのコネク
タです。コネクタには（株）ヒロセ社製M2-7Pコネクタ相当
を使用しています。
SR118
6コネクタ
5型名マーク
4スライダ中心
3スケール中心
2有効可動長マーク
1ブラケットL/R

日本語
5
2-2. 側面部
1スライダホルダ
スケール本体とスライダを固定します。取外した後は保管して
ください。
2スライダ
スライダは、検出ヘッドとリードケーブルから構成されていま
す。取扱に際しては無理な力をかけたり引張ったりしないでく
ださい。破損の原因となります。
3スケールロッド
特殊磁性合金を使用した、マグネスケールの基準となるロッド
です。
ご注意
取付時に工具、器具などを接触させたり傷をつけたりしないで
ください。また、各種マグネットおよび電磁波発生源を近づけ
ないでください。
4フットスペーサ
スケール本体を取付ける際に、被取付面に取付く面となりま
す。取付面の平行度は0.1mm以下に抑えてください。
1スライダホルダ
3スケールロット 4フットスペーサ
2スライダ

6
日本語
3. 取付方法
3-1. 取付注意
3-1-1. 取付方法の確認
本スケールユニットが、図のような位置関係に取付くこと
を確認してください。
ご注意
機械に取付ける場合は、スケールユニットのスライダが被
加工物(ワーク側)と反対側にくるよう取付けてください。
作業面(ワーク側)
垂直方向に取付
水平方向に取付
3-1-2. 動作範囲の設定
1. スケール本体上面の両端にある有効可動長マーク D が有
効長を表します。
2. スケールユニットを取付ける機器(例えばX-Yステージ
など)の実動長さ(最大可動長)を確認してください。
ご注意
X-Yステージなどにおいては、カタログ上の動作範囲表
示に対して実動長さ(最大可動長)が大きい場合もあるの
でご注意願います。
3. スライダ中心が有効可動マークの内側に入るようス
ケールユニット位置を設定してください。
SR118
スライダ中心
有効長マーク
＊
＊:この範囲内にスライダ中心がくるように取付てください。