Agilent Technologies TPS-mobile User manual

Agilent TPS-mobile
User Manual

2 Agilent TPS-mobile User Manual
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Manual Part Number
87-901-005-01
Edition G.00, November 2021
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Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard. It
calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in personal injury or death.
Do not proceed beyond a WARNING
notice until the indicated conditions
are fully understood and met.
WARNING
CAUTION

Contents
Agilent TPS-mobile User Manual 3
Contents
1Istruzioni per l’uso 13
Informazioni su questo manuale 14
Validità 14
Definizioni e terminologia 15
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota 15
Simboli di avvertenza 16
Sicurezza 18
Uso corretto 18
Uso improprio 19
Attrezzatura di protezione 20
Linee guida di sicurezza per pompe turbomolecolari 21
Trasporto & Immagazzinamento 22
Descrizione del prodotto 23
Installazione 24
Preparazione per l’installazione 24
Set-up 26
Fissaggio del TPS-mobile 27
Collegamento della flangia per alto vuoto 30
Installazione della flangia ISO-K 31
Installazione della flangia ConFlat 32
Avvio e funzionamento del TPS-mobile 33
Soft Start 37
Arresto del TPS-mobile 40
Arresto di emergenza 40

Contents
4 Agilent TPS-mobile User Manual
Unità Speciali 40
Manutenzione 41
Vita del rotore 41
Pulizia 41
Smaltimento 42
Servizio Post Vendita 43
2Betriebsanleitung 44
Informationen über diese Betriebsanleitung 45
Gültigkeit 45
Definitionen und Terminologie 46
Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis 46
Warnsymbole 47
Sicherheit 49
Sachgemäße Verwendung 49
Unsachgemäße Anwendung 50
Schutzausrüstung 51
Sicherheitsrichtlinie für Turbomolekularpumpen 52
Transport und Lagerung 53
Produktbeschreibung 54
Installation 55
Vorbereitung zum Einbau 55
Einrichten 57
Montage von TPS-mobile 58
Anschluss des Hochvakuumflansches 61
Installation des ISO-K-Flansches 62
Installation des ConFlat-Flansches 63

Contents
Agilent TPS-mobile User Manual 5
Inbetriebnahme und Betrieb des TPS-mobile 64
Sanftanlauf 68
Stoppen von Modell TPS-mobile 71
Not-Aus 71
Spezialeinheiten 71
Wartung 72
Rotordauer 72
Reinigung 72
Entsorgung 73
Service 74
3Mode d’emploi 75
À propos de ce manuel 76
Validité 76
Définitions et terminologie 77
Signification des messages d’attention, d’avertissement et des notes 77
Symboles d'avertissement 78
Sécurité 80
Utilisation appropriée 80
Utilisation inappropriée 81
Équipements de protection individuelle 82
Consignes de sécurité pour les pompes turbomoléculaires 83
Transport et entreposage 84
Description du produit 85
Installation 86
Préparation pour l’installation 86
Configuration 88

Contents
6 Agilent TPS-mobile User Manual
Montage du TPS-mobile 89
Raccordement de la bride à vide élevé 92
Installation de la bride ISO-K 93
Installation de la bride ConFlat 94
Démarrage et utilisation du TPS-mobile 95
Démarrage progressif 99
Arrêt du TPS-mobile 102
Arrêt d’urgence 102
Unités spéciales 102
Entretien 103
Durée de vie du rotor 103
Nettoyage 103
Élimination 104
Service 105
4Instrucciones de uso 106
Acerca del manual 107
Validez 107
Definiciones y terminología 108
Definición de Precaución, Advertencia y Nota 108
Símbolos de advertencia 109
Seguridad 111
Uso correcto 111
Uso incorrecto 112
Equipo de protección 113
Pautas de seguridad para bombas turbomoleculares 114
Transporte y almacenamiento 115

Contents
Agilent TPS-mobile User Manual 7
Descripción del producto 116
Instalación 117
Preparación para instalación 117
Puesta en marcha 119
Montaje de la TPS-mobile 120
Conexión de la brida de alto vaciado 123
Instalación de la brida ISO-K 124
Instalación de la brida ConFlat 125
Puesta en marcha y funcionamiento de TPS-mobile 126
Arranque suave (Soft Start) 130
Parada del TPS-mobile 133
Parada de emergencia 133
Unidades especiales 133
Mantenimiento 134
Vida del rotor 134
Limpieza 134
Eliminación 135
Servicio 136
5使用说明137
关于本手册 138
有效性 138
定义与术语 139
小心、警告和注意的定义139
警告符号 140
安全 142

Contents
8 Agilent TPS-mobile User Manual
正确使用 142
使用不当 143
防护设备 144
涡轮分子泵安全指南 145
运输及存储146
产品描述 147
安装 148
安装准备148
设置150
TPS-mobile 的安装 151
高真空法兰的连接155
ISO-K 法兰的安装 156
ConFlat 法兰的安装 157
TPS-mobile 的启动和运行 158
慢启动162
停止 TPS-mobile 165
紧急停止 165
修改的标准165
维护 166
转子寿命 166
清洁166
处置167
服务168

Contents
Agilent TPS-mobile User Manual 9
6取扱説明書 169
この説明書について 170
有効期 170
定義と用語 171
警告・注意・注の定義 171
警告の記号 172
安全性 174
適切な使用 174
不適切な使用 175
保護用装備 176
ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン 177
輸送と保管 178
製品説明 179
取り付け 180
取り付けの準備 180
セットアップ 182
TPS-mobile 実装 183
高真空フランジの接続 186
ISO-K フランジの取り付け 187
ConFlat フランジの取り付け 188
TPS-mobile コンパクトの起動と操作 189
ソフトスタート 193
TPS-mobile コンパクトを停止する 196
非常停止 196
修正された標準 196
メンテナンス 197
ローターの寿命 197
クリーニング 197
処分 198
サービス 199

Contents
10 Agilent TPS-mobile User Manual
7Instructions for Use 200
About this manual 201
Validity 201
Definitions and terminology 202
Definition of Caution, Warning and Note 202
Warning Symbols 203
Safety 205
Proper use 205
Improper use 206
Protective equipment 207
Safety guideline for Turbomolecular Pumps 208
Transport & Storage 209
Product description 210
Installation 211
Preparation for installation 211
Set-up 213
TPS-mobile Mounting 214
Connection of the High Vacuum Flange 217
Installation of ISO-K Flange 218
Installation of ConFlat Flange 219
Startup and Operation of the TPS-mobile 220
Soft Start 224
Stopping the TPS-mobile 227
Emergency stop 227
Modified Standard 227
Maintenance 228
Rotor life 228
Cleaning 228
Disposal 229
Service 230

Contents
Agilent TPS-mobile User Manual 11
8Technical Information 231
Description of the TPS-mobile 232
Turbopump Description 237
Front Panel 238
Electrical Devices Box 239
5 m TMP and Fan Cables 239
Wheels 239
Foreline Pumps Description 240
Technical specification 242
TPS-mobile Outline 255
Inlet Screen Installation 256
High Vacuum Flange Connection 257
High Vacuum Flange Connection Configurations 258
Electrical Connections 259
Input Power Connector 259
Gauge – Serial Line Connection 260
Gauge Connector (with TwisTorr 74 FS, TwisTorr 305 FS
and TwisTorr 305 FSQ) 260
Gauge Connector (with Turbo-V 551) 261
J2 – Serial Connector 261
Connection Schematics 262
Serial Communication Description 264
Letter Protocol Description 265
Communication Format 265
Communication protocol 265
Window Protocol Description 271
Communication Format 271
Communication Protocol 271

Contents
12 Agilent TPS-mobile User Manual
Examples 274
Window Meanings 277
Pumping System Component Info 283
Troubleshooting Chart 285
Accessories and Spare Parts 286

Istruzioni per l’uso
Agilent TPS-mobile User Manual 13
1 Istruzioni per l’uso
Informazioni su questo manuale 14
Validità 14
Definizioni e terminologia 15
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota 15
Simboli di avvertenza 16
Sicurezza 18
Uso corretto 18
Uso improprio 19
Attrezzatura di protezione 20
Linee guida di sicurezza per pompe turbomolecolari 21
Trasporto & Immagazzinamento 22
Descrizione del prodotto 23
Installazione 24
Preparazione per l’installazione 24
Set-up 26
Fissaggio del TPS-mobile 27
Collegamento della flangia per alto vuoto 30
Installazione della flangia ISO-K 31
Installazione della flangia ConFlat 32
Avvio e funzionamento del TPS-mobile 33
Soft Start 37
Arresto del TPS-mobile 40
Arresto di emergenza 40
Unità Speciali 40
Manutenzione 41
Vita del rotore 41
Pulizia 41
Smaltimento 42
Servizio Post Vendita 43

Istruzioni per l’uso
14 Agilent TPS-mobile User Manual
Informazioni su questo manuale
Validità
Questo manuale elenca le istruzioni per gli utenti del TPS-mobile, con particolare
riferimento alle nozioni relative a sicurezza, funzionamento e manutenzione di
primo livello, limitatamente alle operazioni di manutenzione di cui l’utente è
responsabile.
Le operazioni di manutenzione, illustrate nelle sezioni specifiche, con disposizioni
specifiche relative al livello più elevato di manutenzione (personale appositamente
addestrato per le operazioni di manutenzione) non devono essere eseguite
dall’utente.
Per una corretta installazione e avvio/arresto, consultare il paragrafo “Installazione”.
Per un uso tecnico più dettagliato, consultare il capitolo “Technical Information”.
NOTA 1 Questo manuale contiene informazioni utili affinché tutto il personale che
utilizza il TPS-mobile possa utilizzarlo in sicurezza e garantire la perfetta
efficienza, per tutta la sua durata.
2 Conservare questo manuale, insieme a tutte le pubblicazioni ad esso correlate,
in un luogo accessibile, conosciuto da tutti gli operatori/personale di
manutenzione.

Istruzioni per l’uso
Agilent TPS-mobile User Manual 15
Definizioni e terminologia
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota
Alcuni riferimenti importanti di questo manuale sono evidenziati e incorniciati in
colori contrastanti.
ATTENZIONE I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
AVVERTENZA
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
NOTA Le note contengono informazioni importanti e forniscono maggiori dettagli su
passaggi specifici.

Istruzioni per l’uso
16 Agilent TPS-mobile User Manual
Simboli di avvertenza
Di seguito si riporta un elenco di simboli che vengono visualizzati insieme agli avvisi
del TPS-mobile. Viene mostrato anche il pericolo che descrivono.
Un simbolo triangolare indica un’avvertenza. I significati dei simboli che possono
apparire accanto alle avvertenze nella documentazione o sullo strumento stesso
sono i seguenti:
Messa a terra protettiva Non toccare
Dichiarazione
Europea
di Conformità
Pericolo generico Presenza di tensioni
pericolose
Presenza di superfici
surriscaldate
Sito di produzione Spegnimento Accensione
Certificazione Restrizioni
Sostanze Pericolose Marcatura UK CA

Istruzioni per l’uso
Agilent TPS-mobile User Manual 17
Il seguente simbolo può essere usato sulle etichette di avvertenza attaccate allo
strumento. Quando viene visualizzato questo simbolo, consultare il relativo
manuale operativo o di manutenzione per la procedura corretta a cui fa riferimento
tale etichetta di avvertenza.
I seguenti simboli appaiono sullo strumento per vostra informazione.
Pericolo generico
Certificazione CE
Certificazione RoHS China
Rifiuti di Apparecchiature Elettriche ed Elettroniche
Marcatura UK CA

Istruzioni per l’uso
18 Agilent TPS-mobile User Manual
Sicurezza
Questa sezione contiene le informazioni, prescritte dalla Direttiva Macchine
2006/42/CE, che sono essenziali per la conformità e il rispetto delle norme di
sicurezza sia in generale che in relazione all'uso specifico della macchina.
La mancata osservanza di queste istruzioni e delle altre istruzioni contenute nel
presente manuale può rendere inefficaci le condizioni di sicurezza previste in fase
di progettazione e causare incidenti a chi utilizza la macchina.
Agilent Technologies declina ogni responsabilità per danni alla macchina o per la
sicurezza fisica dell'operatore o di terzi, derivanti dal mancato rispetto delle norme
di sicurezza indicate nella documentazione tecnica.
Uso corretto
Questo manuale contiene importanti avvertenze e istruzioni di sicurezza da
osservare affinché l’unità funzioni in sicurezza.
Il prodotto descritto in questo manuale è destinato esclusivamente all’ambito
specificato nelle istruzioni. Il manuale fornisce inoltre indicazioni relative ai requisiti
essenziali per l’applicazione e il funzionamento del prodotto, nonché le misure di
sicurezza che possono essere adottate per garantire un funzionamento regolare.
Agilent Technologies non fornisce alcuna garanzia né si assume alcuna
responsabilità per applicazioni diverse da quelle descritte nel presente manuale o in
cui i requisiti essenziali e le misure di sicurezza non siano rispettati. Il prodotto deve
essere utilizzato solo da personale qualificato in grado di adottare le misure di
sicurezza necessarie in condizioni che non causano danni o lesioni.
Gli accessori e le attrezzature utilizzati con il prodotto devono essere forniti o
approvati da Agilent Technologies.
Qualsiasi operazione di regolazione o manutenzione deve essere eseguita da un
tecnico professionista informato dei rischi.
Le riparazioni sul prodotto devono essere eseguite esclusivamente da personale
autorizzato Agilent.

Istruzioni per l’uso
Agilent TPS-mobile User Manual 19
Uso improprio
Agilent Technologies declina ogni responsabilità derivante dall’uso improprio del
TPS-mobile.
L’uso improprio comporterà la perdita di tutti i reclami per responsabilità
e garanzie. L’uso improprio è definito come:
 installazione della pompa con materiale di montaggio non
specificato
 pompaggio di gas corrosivi e ossidanti
 pompaggio di gas esplosivi
 pompaggio di vapori condensanti
 pompaggio di liquidi
 pompaggio di polvere
 funzionamento con un eccessivo flusso di gas
 funzionamento con pressioni improprie per l'alto vuoto
 funzionamento con modalità gas selezionata diversa dal gas
effettivamente utilizzato
 funzionamento con elevati livelli di apporto termico
 funzionamento in elevati campi magnetici impropri
 procedura di vent con flussi elevati
 utilizzo della pompa da vuoto per generare pressione
 funzionamento del dispositivo in aree con radiazioni ionizzanti
 funzionamento in aree potenzialmente esplosive
 utilizzo del sistema in un ambiente nel quale stress e vibrazioni
portano a shock o forze ricorrenti e/o periodiche.

Istruzioni per l’uso
20 Agilent TPS-mobile User Manual
Attrezzatura di protezione
L’attrezzatura di protezione degli operatori che stanno operando o eseguendo la
manutenzione del sistema di pompaggio deve essere sempre adeguata al tipo di
operazione da eseguire. Inoltre, deve soddisfare i requisiti di sicurezza della
legislazione in vigore nel paese in cui viene utilizzata la macchina.
In generale, l'operatore deve indossare scarpe antinfortunistiche durante la
manipolazione del TPS e durante l'installazione.
AVVERTENZA
Pericolo per la salute a causa di sostanze pericolose durante la
manutenzione o l’installazione.
• A seconda della peculiarità del processo, le pompe per vuoto, i componenti
o i fluidi di funzionamento possono essere contaminati da sostanze
tossiche, reattive o radioattive.
• Indossare attrezzatura di protezione adeguata durante la manutenzione e le
riparazioni o in caso di reinstallazione.
AVVERTENZA
Rischio di lesioni dovute alla caduta di oggetti
Durante il trasporto manuale delle pompe per vuoto, sussiste il pericolo
che i carichi scivolino e cadano.
• Trasportare pompe per vuoto di piccole e medie dimensioni a due mani.
• Qualsiasi attrezzatura più pesante di 20 kg deve essere trasportata
utilizzando un dispositivo di sollevamento adatto.
• Indossare scarpe antinfortunistiche con puntale in acciaio secondo la
direttiva EN 347.