Agilent Technologies TwisTorr 305 FS Series User manual

Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller
User Manual

2 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual
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Manual Part Number
87-901-059-01
Edition A.00, December 2021
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Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard. It
calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in personal injury or death.
Do not proceed beyond a WARNING
notice until the indicated conditions
are fully understood and met.
WARNING
CAUTION

Contents
Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual 3
Contents
1Istruzioni per l’uso 15
Informazioni su questo manuale 16
Validità 16
Definizioni e terminologia 17
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota 17
Simboli di avvertenza 18
Sicurezza 20
Uso corretto 20
Uso improprio 21
Attrezzatura di protezione 22
Linee guida di sicurezza per i Controller di pompe turbomolecolari 22
Trasporto & Immagazzinamento 23
Descrizione del prodotto 23
Installazione 24
Preparazione per l’installazione 24
25
26
27
27
Set-up
Fissaggio del TwisTorr 305 FS Remote Controller
Comandi, Indicatori e Connettori
Descrizione pannello frontale
Avvio e funzionamento del Controller TwisTorr 305 FS Remote 29
Accensione del Controller 29
Avvio della Pompa 29
Arresto della Pompa 29

Contents
4 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual
Soft Start 30
Messaggi di errore 33
Manutenzione 35
Smaltimento 36
Servizio Post Vendita 37
2Betriebsanleitung 38
Informationen über diese Betriebsanleitung 39
Gültigkeit 39
Definitionen und Terminologie 40
Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis 40
Warnsymbole 41
Sicherheit 43
Sachgemäße Verwendung 43
Unsachgemäße Anwendung 44
Schutzausrüstung 45
Sicherheitsrichtlinien für Turbomolekularpumpen-Steuergeräte 45
Transport und Lagerung 46
Produktbeschreibung 46
Installation 47
Vorbereitung zum Einbau 47
Set-up 48
Montage von TwisTorr 305 FS Remote Controller 49
Steuerungen, Anzeigen und Verbinder des Controllers 50
Fronttafel der Controller 50
Inbetriebnahme und Betrieb des Controller TwisTorr 305 FS Remote 52
Einschalten des Controllers 52

Contents
Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual 5
Pumpenstart 52
Pumpenstopp 52
Sanftanlauf (Soft Start) 53
Fehlermeldungen 56
Wartung 58
Entsorgung 59
Service 60
3Mode d’emploi 61
À propos de ce manuel 62
Validité 62
Définitions et terminologie 63
Signification des messages d’attention, d’avertissement et des notes 63
Symboles d'avertissement 64
Sécurité 66
Utilisation appropriée 66
Utilisation inappropriée 67
Équipements de protection individuelle 68
Consignes de sécurité relatives aux contrôleurs de pompes
turbomoléculaires 68
Transport et Emmagasinage 69
Description du produit 69
Installation 70
Préparation pour l’installation 70
Set-up 71
Montage du Contrôleur TwisTorr 305 FS Remote 72
Commandes, Indicateurs et Connecteurs 73

Contents
6 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual
Description du Tableau avant 73
Démarrage et utilisation du Contrôleur TwisTorr 305 FS Remote 75
Allumage du Contrôleur 75
Mise en marche de la Pompe 75
Arrêt de la Pompe 75
Démarrage progressif 76
Messages d'erreur 79
Entretien 81
Élimination 82
Service 83
4Instrucciones de uso 84
Acerca del manual 85
Validez 85
Definiciones y terminología 86
Definición de Precaución, Advertencia y Nota 86
Símbolos de advertencia 87
Seguridad 89
Uso correcto 89
Uso incorrecto 90
Equipo de protección 91
Pautas de seguridad para Controler de bombas turbomoleculares 91
Transporte y almacenamiento 92
Descripción del producto 92
Instalación 93
Preparación para instalación 93
Puesta en marcha 94

Contents
Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual 7
Montaje del TwisTorr 305 FS Remote Controller 95
Mandos, Indicadores y Conectores 96
Descripción del panel frontale 96
Puesta en marcha y funcionamiento del
TwisTorr 305 FS Remote Controller 98
Encendido del controler 98
Puesta en marcha de la Bomba 98
Parada de la Bomba 98
Arranque suave (Soft Start) 99
Mensajes de error 102
Mantenimiento 104
Eliminación 105
Servicio 106
5使用说明107
关于本手册 108
有效性 108
定义与术语 109
小心、警告和注意的定义109
警告符号 110
安全 112
正确使用 112
使用不当 113
防护装备114
涡轮分子泵控制器安全指南 114
运输及存储115

Contents
8 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual
般信息 115
安装 116
安装准备116
设置117
TwisTorr 305 FS 遥控器安装 118
Controls, Indicators and Connectors 119
Front Panel Description 119
TwisTorr 305 FS Remote Controller 的启动和运行 121
控制器启动121
启动泵 121
Pump Shutdown 121
停止泵121
慢启动122
错误消息 125
维护 127
处置128
服务129
6取扱説明書 130
この説明書について 131
有効期 131
定義と用語 132
警告・注意・注の定義 132
警告の記号 133

Contents
Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual 9
安全性 135
適切な使用 135
不適切な使用 136
保護装具 137
运输及存储138
概要情報 138
取り付け 139
取り付けの準備 139
取り付け 140
TwisTorr 305 FS リモートコントローラー取り付け金具 141
コントロール、指示器、コネクター 142
フロントパネル説明 142
TwisTorr 305 FS Remote Controller コンパクトの起動と操作 144
コントローラーの起動 144
ポンプの開始 144
ポンプの停止 Pump Shutdown 144
ソフトスタート 145
エラーメッセージ 148
メンテナンス 150
処分 151
サービス 152

Contents
10 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual
7Instructions for Use 153
About this manual 154
Validity 154
Definitions and terminology 155
Definition of Caution, Warning and Note 155
Warning Symbols 156
Safety 158
Proper use 158
Improper use 159
Protective equipment 160
Safety guideline for Turbomolecular Pump Controllers 160
Transport & Storage 161
Product description 161
Installation 162
Preparation for installation 162
Set-up 163
TwisTorr 305 FS Remote Controller Mounting 164
Controls, Indicators and Connectors 165
Front Panel Description 165
Startup and Operation of the TwisTorr 305 FS Remote Controller 167
Controller Startup 167
Starting the Pump 167
Pump Shutdown 167
Soft Start 168
Troubleshooting 171
Maintenance 173

Contents
Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual 11
Disposal 174
Service 175
8Technical Information 176
Description of the TwisTorr 305 FS Remote Controller 178
Technical specification 180
Controller Outline 181
Controller Connection 182
J6 – Fan 182
J7 – Vent 182
P1 – Input 184
J1 – Output 185
Pump Connector 186
J5 – Gauge Connector 186
J2 – Serial Connector 187
R1 – R2 Output Diagram 193
Programmable Analog Output Diagrams 195
Pump Driving 196
Stop Speed Reading and Active Stop 196
Vacuum Link App 197
Procedure to Connect the Serial and I/O ports to an External Cable 198
Connection Schematics 199
Serial Communication Descriptions 200
Letter Protocol Description 201
Communication Format 201
Communication protocol 201

Contents
12 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual
Window Protocol Description 207
Communication Format 207
Communication Protocol 207
Examples 210
Window Meanings 213
How to Use by Front Panel 218
Startup 224
Programming 229
Configuration Menu 229
Mode Menu 231
Pump Setting Menu 232
Input/Output Menu 235
Setpoint R1 and Setpoint R2 Submenus 238
Gauge Menu 240
Serial Menu 242
How to Use by Remote I/0 243
How to Use in Serial Mode 243
Profibus Option 245
General 245
Installation 245
Configuration 246
Software Operation and State Machine 246
Message Mapping 248

Contents
Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual 13
Parameter Buffer 249
Output Buffer 252
Input Buffer 253
Diagnostic Management 255
Diagnostic Buffer 256
Error Messages 257
Accessories and Spare Parts 260

Contents
14 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual

Istruzioni per l’uso
Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual 15
1 Istruzioni per l’uso
Informazioni su questo manuale 16
Validità 16
Definizioni e terminologia 17
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota 17
Simboli di avvertenza 18
Sicurezza 20
Uso corretto 20
Uso improprio 21
Attrezzatura di protezione 22
Linee guida di sicurezza per i Controller di pompe turbomolecolari 22
Trasporto & Immagazzinamento 23
Descrizione del prodotto 23
Installazione 24
24
25
26
27
27
Preparazione per l’installazione
Set-up
Fissaggio delTwisTorr 305 FS Remote Controller
Comandi, Indicatori e Connettori
Descrizione pannello frontale
Avvio e funzionamento del Controller TwisTorr 305 FS Remote 29
Accensione del Controller 29
Avvio della Pompa 29
Arresto della Pompa 29
Soft Start 30
Messaggi di errore 33
Manutenzione 35
Smaltimento 36
Servizio Post Vendita 37

Istruzioni per l’uso
16 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual
Informazioni su questo manuale
Validità
Questo manuale elenca le istruzioni per gli utenti del TwisTorr 305 FS Remote
Controller, con particolare riferimento alle nozioni relative a sicurezza,
funzionamento e manutenzione di primo livello, limitatamente alle operazioni di
manutenzione di cui l’utente è responsabile.
Le operazioni di manutenzione, illustrate nelle sezioni specifiche, con disposizioni
specifiche relative al livello più elevato di manutenzione (personale appositamente
addestrato per le operazioni di manutenzione) non devono essere eseguite
dall’utente.
Per una corretta installazione e avvio/arresto, consultare il paragrafo “Installazione”.
Per un uso tecnico più dettagliato, consultare il capitolo “Technical Information”.
NOTA 1 Questo manuale contiene informazioni utili affinché tutto il personale che
utilizza il TwisTorr 305 FS Remote Controller possa utilizzarla in sicurezza e
garantire la perfetta efficienza, per tutta la sua durata.
2 Conservare questo manuale, insieme a tutte le pubblicazioni ad esso correlate,
in un luogo accessibile, conosciuto da tutti gli operatori/personale di
manutenzione.

Istruzioni per l’uso
Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual 17
Definizioni e terminologia
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota
Alcuni riferimenti importanti di questo manuale sono evidenziati e incorniciati in
colori contrastanti.
ATTENZIONE I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
AVVERTENZA
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
NOTA Le note contengono informazioni importanti e forniscono maggiori dettagli su
passaggi specifici.

Istruzioni per l’uso
18 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual
Simboli di avvertenza
Di seguito si riporta unelenco di simboli che vengono visualizzati insieme agli avvisi
del TwisTorr 305 FS Remote Controller. Viene mostrato anche il pericolo che
descrivono.
Un simbolo triangolare indica un’avvertenza. I significati dei simboli che possono
apparire accanto alle avvertenze nella documentazione o sullo strumento stesso
sono i seguenti:
Presenza di tensioni
pericolose Pericolo generico Dichiarazione Europea
di Conformità
Sito di produzione
Rifiuti di
Apparecchiature
Elettriche ed Elettroniche
Waste Electrical and
Electronic Equipment
Certificazione
RoHS China Marcatura UK CA

Istruzioni per l’uso
Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual 19
Il seguente simbolo può essere usato sulle etichette di avvertenza attaccate allo
strumento. Quando viene visualizzato questo simbolo, consultare il relativo
manuale operativo o di manutenzione per la procedura corretta a cui fa riferimento
tale etichetta di avvertenza.
I seguenti simboli appaiono sullo strumento per vostra informazione.
Pericolo generico
Presenza di tensioni pericolose
Certificazione CE
Certificazione CSA
Certificazione RoHS China
Waste Electrical and Electronic Equipment
UK CA Marking

Istruzioni per l’uso
20 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual
Sicurezza
Questa sezione contiene le informazioni, prescritte dalla Direttiva bassa tensione
2015/14/30 CE, che sono essenziali per la conformità e il rispetto delle norme di
sicurezza sia in generale che in relazione all'uso specifico del prodotto.
La mancata osservanza di queste istruzioni e delle altre istruzioni contenute nel
presente manuale può rendere inefficaci le condizioni di sicurezza previste in fase
di progettazione e causare incidenti a chi utilizza il prodotto.
Agilent Technologies declina ogni responsabilità per danni al prodotto o per la
sicurezza fisica dell'operatore o di terzi, derivanti dal mancato rispetto delle norme
di sicurezza indicate nella documentazione tecnica.
Uso corretto
Questo manuale contiene importanti avvertenze e istruzioni di sicurezza da
osservare affinché l’unità funzioni in sicurezza.
Il prodotto descritto in questo manuale è destinato esclusivamente all’ambito
specificato nelle istruzioni. Il manuale fornisce inoltre indicazioni relative ai requisiti
essenziali per l’applicazione e il funzionamento del prodotto, nonché le misure di
sicurezza che possono essere adottate per garantire un funzionamento regolare.
Agilent Technologies non fornisce alcuna garanzia né si assume alcuna
responsabilità per applicazioni diverse da quelle descritte nel presente manuale o in
cui i requisiti essenziali e le misure di sicurezza non siano rispettati. Il prodotto deve
essere utilizzato solo da personale qualificato in grado di adottare le misure di
sicurezza necessarie in condizioni che non causano danni o lesioni.
Gli accessori e le attrezzature utilizzati con il prodotto devono essere forniti o
approvati da Agilent Technologies.
Qualsiasi operazione di regolazione o manutenzione deve essere eseguita da un
tecnico professionista informato dei rischi.
Le riparazioni sul prodotto devono essere eseguite esclusivamente da personale
autorizzato Agilent.