Bruker DektakXT User manual

DektakXT
Стилусный профилометр
Инструкция
пользователя

P/N 980-365
DEKTAKXT
STYLUS PROFILER
USER MANUAL

DEKTAKXT
Стилусный профилометр
Инструкция пользователя


Table of Contents iii
TABLE OF CONTENTS
Chapter 1. Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
Safety Features . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-1
Red Emergency Off Button . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-1
White Power On Button and Black Power Off Button . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-2
Safety Precautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-2
Safety and Health Hazards . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-4
Mechanical Hazards . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-4
Pressure Hazards . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-4
Installation and Maintenance Safety Issues . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-4
General Lockout/Tagout Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-5
Lockout Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-5
Returning the System to Operation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-5
Electrical Task Classification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-5
Chapter 2. System Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
How the System Works . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-2
Stage Configurations. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-2
Profiler Components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-3
Measurement Head . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-3
Sensor Head and Stylus Assembly. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-4
Sample-Positioning Stage. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-4
Scan Stage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-4
Electronics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-4
Base Feet . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-5
Environmental Enclosure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-6
EMO Box. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-6
Computer and Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-7
Options and Accessories. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-8
Chapter 3. Basic Operations and Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
Powering Up the System. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-1
Powering Down the System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-3
Loading and Unloading the Sample . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-4

Оглавление iii
ОГЛАВЛЕНИЕ
Безопасность................................................................................................................ 1-1
Обеспечение безопасной работы ...........................................................................................................1-1
Красная кнопка аварийного отключения (КАО).................................................................................. 1-1
Белая кнопка Вкл и черная кнопка Выкл ............................................................................................1-2
Меры предосторожности..........................................................................................................................1-2
Угрозы здоровью и безопасности............................................................................................................1-4
Механические риски .............................................................................................................................1-4
Риски, связанные с высоким давлением ............................................................................................1-4
Указания по безопасному монтажу и обслуживанию ............................................................................ 1-4
Общие процедуры Lockout/Tagout (блокировать и обозначить) ......................................................1-5
Включение системы ..............................................................................................................................1-5
Классификация работ, связанных с электричеством ........................................................................1-5
Общее описание........................................................................................................... 2-1
Принцип работы прибора.........................................................................................................................2-2
Виды столика для образцов.....................................................................................................................2-2
Компоненты профилометра.....................................................................................................................2-3
Измерительная головка........................................................................................................................ 2-3
Головка датчика и зондовая сборка ....................................................................................................2-4
Столик для позиционирования образца .............................................................................................2-4
Сканирующий столик ............................................................................................................................ 2-4
Электроника .......................................................................................................................................... 2-4
Ножки основания прибора ................................................................................................................... 2-5
Защитный кожух.................................................................................................................................... 2-6
Пульт аварийного отключения.............................................................................................................2-6
Компьютер и программное обеспечение ................................................................................................ 2-7
Опции и дополнения .................................................................................................................................2-8
Основы работы с прибором и его обслуживание ................................................. 3-1
Включение прибора ..................................................................................................................................3-1
Выключение прибора ............................................................................................................................... 3-3
Загрузка и выгрузка образца....................................................................................................................3-4
Загрузка образца................................................................................................................................... 3-4
Выгрузка образца..................................................................................................................................3-5
Поднятие и опускание зондовой головки................................................................................................3-5
Настройка подсветки ................................................................................................................................ 3-5

Safety 1-1
1
SAFETY
The DektakXT™ system may be set up and operated only in accordance with the instructions
outlined in this manual. In the chapters that follow, the messages below indicate that special vigilance
is required.
SAFETY FEATURES
Several features of the DektakXT system ensure operator safety.
Red Emergency Off Button
The DektakXT system is equipped with a red EMERGENCY OFF button, located on the EMO box
(see Figure 1-1). This unit may be placed in any convenient and readily accessible location.
Pressing the EMERGENCY OFF button shuts off DC power to the system devices, excluding the
computer, monitor, and power supply adapter. The 24 VDC control circuit in the EMO Box also
remains energized.
CAUTION
Whenever you see a Caution note, there is a possibility that data will be lost, or there
is some specific action that you must perform for the system to work properly.
WARNING
Whenever you see a Warning note, there is the possibility of personal injury
or equipment damage.

Безопасность 1-1
1
БЕЗОПАСНОСТЬ
Профилометр DektakXT™ должен монтироваться и использоваться при условии строгого
соблюдения инструкций, приведенных в данном руководстве. Ниже приводятся варианты
выделения текста инструкции, требующего особого внимания. Такие выделения
используются в последующих разделах.
ВНИМАНИЕ
Текст, помеченный словом "Внимание", описывает действия, которые необходимо
совершить, чтобы предотвратить возможную потерю данных, либо обеспечить нормальную
работу системы.
ОСТОРОЖНО
Текст, помеченный словом "Осторожно", указывает на риски получения увечий или
повреждения оборудования.
ОБЕСПЕЧЕНИЕ БЕЗОПАСНОЙ РАБОТЫ
На профилометре DektakXT предусмотрено несколько средств обеспечения безопасной
работы.
Красная кнопка аварийного отключения (КАО)
Система DektakXT оснащена красной кнопкой аварийного отключения, установленной на
пульте аварийного отключения (см. рис. 1-1). Этот пульт можно положить в любое удобное
быстродоступное место.
Нажатие на КАО выключает подачу постоянного тока на компоненты системы, кроме
компьютера, монитора и источника питания. Кроме того, сохраняется подача постоянного
напряжения 24В на управляющую цепь пульта аварийного отключения.

1-2 Safety
Figure 1-1: EMO Box
White Power On Button and Black Power Off Button
The DektakXT system is equipped with a white POWER ONbutton and a black POWER OFF button.
These buttons are located next to the red EMERGENCY OFF button on the EMO Box (see
Figure 1-1).
Pressing the POWER ONbutton provides DC power to all system devices but the computer, monitor,
and power supply adapter.
Pressing the POWER OFF button shuts off DC power to all system devices but the computer, monitor,
and power supply adapter. The 24 VDC control circuit in the EMO Box also remains energized.
SAFETY PRECAUTIONS
The DektakXT system is designed to minimize potential health and safety hazards during normal
operation and routine maintenance activities. As with any mechanical system that uses electrical
energy and compressed air, it contains some physical and electrical hazards. You should be aware of
these potential hazards and the controls used to minimize them. Review this section and contact
Bruker if you have any questions on environmental, health, or safety-related issues associated with
the system.
Potential safety hazards associated with the system are clearly identified in this manual. In addition,
warning and safety labels have been placed on the system where there exists a potential for personal
Power Off button
Power On button
Emergency Machine
Off (EMO) button
CAUTION
Use the EMERGENCY OFF button only in case of an emergency.

1-2 Безопасность
Рис. 1-1: Пульт аварийного отключения
ВНИМАНИЕ
Используйте кнопку аварийного отключения только в случае аварии.
Белая кнопка Вкл и черная кнопка Выкл
Для управления питанием система DektakXT оснащена кнопкой ВКЛ (POWER ON) белого
цвета и кнопкой ВЫКЛ (POWER OFF) черного цвета. Эти кнопки расположены рядом с КАО
на пульте (см. рис. 1-1).
Нажатие кнопки ВКЛ приводит к подаче постоянного напряжения на все компоненты
системы, кроме компьютера, монитора и блока питания.
Нажатие кнопки ВЫКЛ приводит к отключению постоянного напряжения от всех
компонентов системы, кроме компьютера, монитора и блока питания. Управляющая цепь
постоянного напряжения 24В также остается включенной.
МЕРЫ ПРЕДОСТОРОЖНОСТИ
Система DektakXT сконструирована так, чтобы минимизировать потенциальные угрозы
здоровью и безопасности при условии правильной эксплуатации и периодического
обслуживания. Как и любая механическая система, использующая электроэнергию и сжатый
воздух, данный прибор несет потенциальную опасность физического и электрического
воздействия. Пользователь должен иметь в виду подобные потенциальные риски и знать
средства для их минимизации. Просмотрите этот раздел инструкции и обратитесь в Брукер,
если возникли вопросы по безопасности прибора, его влияния на здоровье и окружающую
среду.
Возможные угрозы безопасности, связанные с прибором, явно упоминаются в данном
руководстве. Кроме того, на частях профилометра наклеены предупреждающие этикетки с
обозначениями возможной угрозы здоровью оператора, либо риска повреждения
оборудования. Далее в таблице приведен вид этикеток, их описание и месторасположение.
Кнопка аварийного
отключения (КАО)
Кнопка ВКЛ
Кнопка ВЫКЛ

Safety 1-3
injury or damage to the system. The following table illustrates each label, describes its meaning, and
indicates where it appears on the system.
Table 1-1: Warning, Safety, and Compliancy Labels

Безопасность 1-3
Таблица 1-1: Этикетки предупреждениями, информацией о безопасности и соответствии
Этикетка
Значение
Местоположение
Если индикатор удара красный, то
следуйте указаниям на красной
стрелке
Контейнер, в который было
упаковано оборудование при
поставке
Только авторизованный персонал
может обслуживать это
оборудование. Следуйте данной
инструкции по безопасности.
С правой стороны пульта
аварийного отключения.
Можно использовать только
переменное напряжение 110-120 В
На задней стенке компьютера,
рядом с разъемом питания.
Можно использовать только
переменное напряжение 220-240 В
На задней стенке компьютера,
рядом с разъемом питания.
Берегите руки, опасность
защемления.
С левой стороны сканирующего
столика
Предупреждение о недопустимости
утилизации вместе с обычными
бытовыми отходами.
Снизу на правой стороне пульта
аварийного отключения.
Знак соответствия требованиям
экологического стандарта RoHS
Задняя крышка.
Знак соответсвия требованиям
Европейских директив (CE)
Снизу на левой стороне пульта
аварийного отключения.

1-4 Safety
SAFETY AND HEALTH HAZARDS
Although the DektakXT system has been designed with safety in mind, it does contain some inherent
potential hazards. Physical hazards associated with operating the equipment are discussed in this
section.
Mechanical Hazards
Mechanical hazards exist in the systems wherever moving parts are located, such as slides. Protection
against most of the mechanical hazards in the DektakXT system is provided in the form of a hood and
system base. Wherever possible, physical guards have been placed around moving parts to prevent
personnel from contacting them. The exceptions are the areas around and above the X-Y stage. These
areas, however, do not contain pinch-point hazards.
Some maintenance tasks may require removal of the hood and system base. In these cases, safe work
practices, including use of lockout procedures for electricity, pressure (pneumatic system) or other
applicable hazards, should be followed. Only trained service personnel should perform maintenance
activities that require mechanical motion while the hood and base are removed.
Pressure Hazards
Pressure hazards exist due to the difference in kinetic energy of a gas within a container or piping
system and the surrounding environment. If a sudden breach of a gas line or a pressurized container
were to occur (for example, a gas delivery line bursts), the pressure differential between the gas in the
line and the surrounding atmosphere will cause the gas to be forcefully expelled into the surrounding
atmosphere. This can cause physical injuries due to particles flying outward with extremely high
speed.
The DektakXT system uses compressed clean dry air (CDA) to operate the optional vibration
isolation table. It is designed to use CDA at the typical house-supplied pressures of 50 psi. The CDA
fittings or components of the pneumatic system should be adjusted only after appropriate release of
air-line pressure. As with electrical and mechanical tasks, maintenance activities involving the air
lines should occur only after appropriate pressure lockout procedures have been implemented (see
General Lockout/Tagout Procedures in the section that follows).
INSTALLATION AND MAINTENANCE SAFETY ISSUES
Certain installation activities require attention to special safety hazards in addition to the overall
system hazards discussed in the Safety and Health Hazards section above. The installation of the
systems requires connection and adjustment of electricity and pressurized air lines. These types of
activities require knowledge and use of lockout/tagout procedures.
Maintenance procedures often present greater hazards to personnel than normal production activities
due to the need to defeat safety features in order to access the equipment. The following sections
present general information on some of the key safety-related procedures or actions that maintenance
personnel should follow when servicing the DektakXT system.

1-4 Безопасность
УГРОЗЫ ЗДОРОВЬЮ И БЕЗОПАСНОСТИ
Несмотря на то, что система DEktakXT проектировалась с учетом требований к безопасности,
в ней присутствуют потенциально опасные компоненты. В этом разделе описываются
физические риски при работе с установкой.
Механические риски
Риски механических повреждений связаны с движущимися частями прибора, например,
салазками. Защита от большинства механических рисков на профилометре DektakXT
осуществляется с помощью защитного кожуха и системного основания. Там, где это
возможно, движущиеся части защищены крышками от возможного касания их оператором.
Исключение составляет область вокруг и над X-Y столиком. Однако в этих местах нет
опасности защемления.
Некоторые работы по обслуживанию могут потребовать снятия защитного кожуха и
системного основания. В этих случаях следует обеспечивать безопасность работ с помощью
процедур Lockout и Tagout (блокировать и обозначить) для электрических частей, пневматики
и другим источникам опасности. Механическую настройку и обслуживание при открытом
кожухе и системном основании должны осуществлять только обученные специалисты.
Риски, связанные с высоким давлением
Риски из-за высокого давления связаны с разницей между кинетической энергией газа,
заключенного в замкнутый объем баллонов или трубопроводов, и в свободном пространстве.
Если происходит внезапный прорыв газовой магистрали или баллона под давлением, то за
счет разницы давлений внутри и снаружи магистрал газ с силой вырывается в окружающую
атмосферу из места прорыва. При этом может возникнуть риск получения увечий частицами,
вылетающими с очень высокими скоростями.
В системе DektakXT используется сухой сжатый воздух (ССВ) для работы опционального
виброизоляционного стола. Стол расчитан под использование ССВ с давлением окол 50 psi
(3,4 атм). Фитинги и остальные части пневматической системы должны обслуживаться только
после должного выключения давления в подводящих магистралях. Также, как и в случае
электрических и механических рисков, любые процедуры обслуживания, связанные с
пневматическими линиями, должны проводиться только после процедур Lockout (см. общие
процедуры Lockout/Tagout, описанные далее).
УКАЗАНИЯ ПО БЕЗОПАСНОМУ МОНТАЖУ И
ОБСЛУЖИВАНИЮ
Определенные процедуры при монтаже оборудования требуют повышенного внимания в
связи с особыми рисками вдобавок к обычным, описанным в предыдущем разделе Угрозы
здоровью и безопасности. При монтаже системы требуется подсоединение и настройка
электропроводки и магистрали со сжатым воздухом. Эти операции требуют специальных
знаний и использования процедур Lockout/tagout.
При обслуживании прибора часто возникают повышенные риски относительно обычной
эксплуатации из-за необходимости убирать защитные средства для доступа к компонентам

Safety 1-5
General Lockout/Tagout Procedures
This section describes general lockout/tagout procedures for electrical systems and pressurized air
lines. Contact your internal safety and health representative for more detailed procedures for your
facility, as well as for training and authorization/certification requirements.
Lockout Procedure
1Notify all affected and other persons of intended lockout.
2Turn off the computer following the normal shutdown procedure.
3Unplug the first cord on the power supply adapter from its receptacle on the signal processor on the back of
the DektakXT stylus profiler.
4Unplug the second cord on the power supply adapter from its wall outlet.
5Place the power supply adapter with its two disconnected cords in a secure location. This is the equivalent
of a lockout/tagout procedure on a more complex system.
6Close the air regulator toggle switch below the vibration isolation table.
7Dissipate any residual pressure following the appropriate dissipation procedure (for example, opening a
bleed valve).
8Verify that all personnel are clear of the hazard zone.
9Attempt to restart the equipment. If properly locked out the equipment should not be able to be started.
10 Use a voltmeter and make voltage measurements to verify that all electrical sources have been locked out.
If properly locked out, no voltage should be present. Check the reading on supply line pressure gauges to
verify that no pressure exists within the system. If properly locked out, no pressure should exist.
11 Perform maintenance work.
Returning the System to Operation
1Verify that all personnel, materials, tools, and test equipment are clear of the hazard zone.
2Plug the first cord on the power supply adapter into its receptacle on the signal processor on the back of
the DektakXT stylus profiler.
3Plug the second cord on the power supply adapter into a wall outlet.
4Open the air regulator toggle switch to repressurize the vibration isolation table.
5Turn on the computer following the normal startup procedure.
6Notify all affected and other persons that the lockout has been cleared and the equipment is back in
operation.
Electrical Task Classification
Each task involving electrical operations is evaluated for severity and classified according to the
criteria outlined in Table 1-2. These criteria categorize electrical hazards into four types, ranging
from Type 1 (de-energized) to Type 4 (fully energized and exposure required). Lockout/tagout
requirements, including training requirements, are based on the type of hazard present.
•All operator tasks are classified as Type 1 or 2.
•Only qualified service personnel should perform Type 3 or 4 tasks, following established
Bruker service policies.

Безопасность 1-5
оборудования. Далее приводится общая информация по некоторым ключевым процедурам,
связанным с безопасностью, а также действиям, которые необходимо совершать
обслуживающему персоналу при обслуживании системы DektakXT.
Общие процедуры Lockout/Tagout (блокировать и
обозначить)
В этом разделе описаны общие процедуры Lockout/Tagout для электрических систем и систем
со сжатым воздухом. Для более подробных инструкций следует обратиться к местному
специалисту по технике безопасности.
Процедура Lockout (блокировка)
1 Сообщите о намерении произвести блокировку задействованному и остальному персоналу.
2 Выключите компьютер согласно штатной процедуре выключения.
3 Отсоедините первый кабель питания от разъема на сигнальном процессоре сзади корпуса
профилометра.
4 Выньте разъем второго кабеля питания из сетевой розетки.
5 Поместите блок питания с двумя кабелями в надежное место. Это эквивалентно процедуре
Lockout/Tagout на более сложных системах.
6 Закройте клапан регулятора давления сжатого воздуха, находящийся под виброизоляционным
столом.
7 Стравите остаточное давление (например, открытием стравливающего клапана).
8 Убедитесь, что в пределах зоны опасности нет людей.
9 Попробуйте включить оборудование. Если процедура lockout была проделана верно, то
оборудование невозмодно запустить.
10 С помощью вольтметра убедитесь в отсутствии напряжения на всех заблокированных
источниках электричества. Напряжение при этом должно отсутствовать. Проверьте давление
на магистрали сжатого воздуха по манометрам, чтобы убедиться в отсутствии давления в
магистрали.
11 Произведите работы по обслуживанию.
Включение системы
1 Убедитесь в том, что люди, материалы, инструменты и оборудование для проверки убраны из
зоны риска.
2 Подключите первый кабель от блока питания к разъему сигнального процессора сзади
профилометра DektakXT.
3 Подключите второй кабель от блока питания к сетевой розетке.
4 Откройте клапан регулятора давления сжатого воздуха, чтобы подать его на
виброизоляционный стол.
5 Включите компьютер штатным образом.
6 Сообщите всем задействованным и остальным лицам о том, что блокировка снята и
оборудовании снова в строю.
Классификация работ, связанных с электричеством
Каждая работа, связанная с электричеством, классифицируется по категориям согласно
критериям, приведенным в таблице 1-2. По этим критериям выделяется четыре типа
опасностей, от 1 (обесточенность) до 4 (полностью под напряжением, токоведущие части
открыты). Требования к процедурам lockout/tagout и к обучению зависят от категории рисков.
•Работа пользователя с оборудованием относится к категориям 1 и 2.
•Только квалифицированный обслуживающий персонал может осуществлять работы
категорий 3 и 4, следуя установившейся политике обслуживания компании Брукер.

1-6 Safety
NOTE – No routine tasks for the DektakXT system are classified as Type 4.
During any troubleshooting or maintenance activities that are performed while the DektakXT system
is operating, the technician should always be able to easily reach the EMERGENCY OFF button on the
EMO Box (see Figure 1-1). In case of an emergency, the technician can press the EMERGENCY OFF
button to immediately stop the system.
In some circumstances, it is advisable to have two service personnel working on a system at the same
time. This ensures that one person will always have access to the EMERGENCY OFF button.
  
Table 1-2: Classification of Operator Tasks
Task Type Description
Type 1 Equipment is fully de-energized
Type 2 Equipment is energized. Energized circuits are covered or
insulated.
Type 3 Equipment is energized. Energized circuits are exposed and
inadvertent contact with uninsulated energized parts is
possible. Potential exposures are no greater than 30 volts rms,
42.4 volts peak, 60 volts DC or 240 volt-amps in dry locations.
Type 4 Equipment is energized. Energized circuits are exposed and
inadvertent contact with uninsulated energized parts is possible.
Potential exposures are greater than 30 volts rms, 24 volts peak,
60 volts DC, or 240 volt-amps in dry locations. Potential
exposures to radio-frequency currents, whether induced or via
contact, exceed certain limits.

1-6 Безопасность
Таблица 1-2: Классификация работ на оборудовании
Вид работ
Описание
Категория 1
Оборудование полностью обесточено
Категория 2
Оборудование под напряжением. Цепи под напряжением закрыты или
изолированны
Категория 3
Оборудование под напряжением. Цепи под напряжением открыты,
возможно их касание по неосторожности. Напряжения касания не более
30 В (эффективное), пиковое 42,2 В, 60 В (постоянное) или 240 ВА в
сухих местах.
Категория 4
Оборудование под напряжением. Цепи под напряжением открыты,
возможно их касание по неосторожности. Напряжения касания более 30
В (эффективное), пиковое 24 В, 60 В (постоянное) или 240 ВА в сухих
местах. Существует риск воздействия радиочастотных токов,
индуцированных или воздействующих напрямую, с уровнем выше
определенных пределов.
ПРИМЕЧАНИЕ –Ни один вид обычной работы на системе DektakXT не подпадает под категорию 4.
В процессе выявления неисправностей или работ по обслуживанию, которые производятся на
работающей системе DektakXT, кнопка аварийного отключения на пульте аварийного
отключения (см. рис. 1-1) должна быть легко доступна техническому персоналу. В случае
аварии, персонал может нажать КАО для немедленной остановки системы.
При некоторых обстоятельствах желательно, чтобы с оборудованием одновременно работало
два лица. Таким образом, один из них всегда сможет нажать кнопку аварийного отключения.


IX-1
Numerics
3D Mapping Option 2-9
A
Analysis Toolbox 4-21, 5-6
Analytical functions, appending 4-13
Analyzer recipes 4-20
Application Menu button 5-9
Auto Stages 2-3
Automated measurements 4-10
Automation Editor 4-10
Automation recipes 4-10
B
Base feet 2-5
Bridge 2-3
C
Calibrating the system 3-17
Camera 2-3
Chucks for 3D mapping and automation 2-3
Computer 2-6, 2-7
Configuring the system 3-17
Cursor locations and bandwidths, setting 4-14
D
Data Analyzer 4-20, 5-6
Database
Creating 4-18
Example 5-9
Data-stitching software 2-9
DektakXT Stylus Profiler
Components described 2-3
Configuring and calibrating 3-17
Electronics 2-4
Environmental enclosure 2-6, 4-4
Illustrated 2-2
DektakXT Stylus Profiler - cont.
Options and accessories 2-8
Principle of operation 2-2
Scanning operation 4-8
E
Electrical task classification 1-5
Electronics 2-4
Emergency Off button 1-1
EMO box 2-6, 3-2
Environmental enclosure 2-6, 4-4
H
Hazards
Mechanical 1-4
Pressure 1-4
Help, using Vision64 5-2
I
Illumination, adjusting 3-5
Installation of the system, safety issues 1-4
Intensity bar 3-5
L
Leveling the stage 3-6
Linear Variable Differential Transformer 2-2
Loading and unloading sample 3-4
Lockout procedures 1-5
M
Maintenance of the system 1-4, 3-17
Manually leveling the stage 3-6
Measurement, sequence of events 4-7
Measurement head, described 2-3
Measurement Options, setting 4-2

Индекс 6-1
ИНДЕКС
Числительные
3D Картирование (Опция 3D Mapping) 2-9
А
Аварийного отключения, пульт 2-6, 3-2
Автоматизированные столики 2-3
Автоматизированные измерения 4-10
Автоматизации редактор 4-10
Автоматизации рецепты 4-10
Анализ, инструментарий (Analysis Toolbox) 4-
21, 5-6
Анализ, добавление функций (Analytical
functions), 4-13
Анализатора рецепты 4-20
Арка 2-3
Б
База данных
Создание 4-18
Пример 5-9
Безопасность, обеспечение
Аварийного Отключения, Кнопка 1-1
Кнопки Вкл и Выкл 1-2
Блок питания 2-4, 2-5
В
Вкладки ленты 5-10
Вкл и Выкл, кнопки 1-2
Включение системы 3-1
Выключение системы 3-3
Встроенная справка 5-2
Выравнивание столика 3-6
Г
Главное меню приложения 5-9
Д
Давление, риски 1-4
Данные: анализатор 4-20, 5-6
Держатели для 3D картирования и
автоматизации 2-3
Держатели образцов 2-3
Е
Единицы измерения, выбор 5-10
З
Загрузка и выгрузка образца 3-4
Защитный кожух 2-6, 4-4
И
Измерение, последовательность действий 4-7
Измерительная головка 2-3
Измерительная головка, поднятие и опускание
3-5
Измерения, задание настроек 4-2
Измерительное сканирование
Автоматизированное 4-10
Ручное 4-4
Интенсивность, регулировка 3-5
К
Калибровка системы 3-17
Камера 2-3
Классификация работ по обслуживанию
электрооборудования 1-5
Кнопка Аварийного Отключения 1-1
Компьютер 2-6, 2-7
Конфигурирование системы 3-17
Курсоры: задание расположения и ширины 4-14
Л
Ленточное меню в Vision64 5-10
Линейный переменный дифференциальный
трансформатор 2-2
Лицензионный ключ 3-1
М
Меры предосторожности 1-2
Метаданные, выбор и просмотр 4-22
Механические риски 1-4
Монитор 2-7, 2-8
Монтаж системы, безопасность 1-4
О
Обслуживание прибора 1-4, 3-17
Оптика, подстройка освещения 3-5