Bruker DektakXT User manual

DektakXT
Стилусный профилометр
Инструкция
пользователя

P/N 980-365
DEKTAKXT
STYLUS PROFILER
USER MANUAL

DEKTAKXT
Стилусный профилометр
Инструкция пользователя


Table of Contents iii
TABLE OF CONTENTS
Chapter 1. Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
Safety Features . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-1
Red Emergency Off Button . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-1
White Power On Button and Black Power Off Button . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-2
Safety Precautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-2
Safety and Health Hazards . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-4
Mechanical Hazards . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-4
Pressure Hazards . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-4
Installation and Maintenance Safety Issues . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-4
General Lockout/Tagout Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-5
Lockout Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-5
Returning the System to Operation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-5
Electrical Task Classification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-5
Chapter 2. System Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
How the System Works . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-2
Stage Configurations. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-2
Profiler Components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-3
Measurement Head . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-3
Sensor Head and Stylus Assembly. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-4
Sample-Positioning Stage. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-4
Scan Stage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-4
Electronics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-4
Base Feet . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-5
Environmental Enclosure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-6
EMO Box. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-6
Computer and Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-7
Options and Accessories. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-8
Chapter 3. Basic Operations and Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
Powering Up the System. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-1
Powering Down the System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-3
Loading and Unloading the Sample . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-4

Оглавление iii
ОГЛАВЛЕНИЕ
Безопасность................................................................................................................ 1-1
Обеспечение безопасной работы ...........................................................................................................1-1
Красная кнопка аварийного отключения (КАО).................................................................................. 1-1
Белая кнопка Вкл и черная кнопка Выкл ............................................................................................1-2
Меры предосторожности..........................................................................................................................1-2
Угрозы здоровью и безопасности............................................................................................................1-4
Механические риски .............................................................................................................................1-4
Риски, связанные с высоким давлением ............................................................................................1-4
Указания по безопасному монтажу и обслуживанию ............................................................................ 1-4
Общие процедуры Lockout/Tagout (блокировать и обозначить) ......................................................1-5
Включение системы ..............................................................................................................................1-5
Классификация работ, связанных с электричеством ........................................................................1-5
Общее описание........................................................................................................... 2-1
Принцип работы прибора.........................................................................................................................2-2
Виды столика для образцов.....................................................................................................................2-2
Компоненты профилометра.....................................................................................................................2-3
Измерительная головка........................................................................................................................ 2-3
Головка датчика и зондовая сборка ....................................................................................................2-4
Столик для позиционирования образца .............................................................................................2-4
Сканирующий столик ............................................................................................................................ 2-4
Электроника .......................................................................................................................................... 2-4
Ножки основания прибора ................................................................................................................... 2-5
Защитный кожух.................................................................................................................................... 2-6
Пульт аварийного отключения.............................................................................................................2-6
Компьютер и программное обеспечение ................................................................................................ 2-7
Опции и дополнения .................................................................................................................................2-8
Основы работы с прибором и его обслуживание ................................................. 3-1
Включение прибора ..................................................................................................................................3-1
Выключение прибора ............................................................................................................................... 3-3
Загрузка и выгрузка образца....................................................................................................................3-4
Загрузка образца................................................................................................................................... 3-4
Выгрузка образца..................................................................................................................................3-5
Поднятие и опускание зондовой головки................................................................................................3-5
Настройка подсветки ................................................................................................................................ 3-5

Safety 1-1
1
SAFETY
The DektakXT™ system may be set up and operated only in accordance with the instructions
outlined in this manual. In the chapters that follow, the messages below indicate that special vigilance
is required.
SAFETY FEATURES
Several features of the DektakXT system ensure operator safety.
Red Emergency Off Button
The DektakXT system is equipped with a red EMERGENCY OFF button, located on the EMO box
(see Figure 1-1). This unit may be placed in any convenient and readily accessible location.
Pressing the EMERGENCY OFF button shuts off DC power to the system devices, excluding the
computer, monitor, and power supply adapter. The 24 VDC control circuit in the EMO Box also
remains energized.
CAUTION
Whenever you see a Caution note, there is a possibility that data will be lost, or there
is some specific action that you must perform for the system to work properly.
WARNING
Whenever you see a Warning note, there is the possibility of personal injury
or equipment damage.

Безопасность 1-1
1
БЕЗОПАСНОСТЬ
Профилометр DektakXT™ должен монтироваться и использоваться при условии строгого
соблюдения инструкций, приведенных в данном руководстве. Ниже приводятся варианты
выделения текста инструкции, требующего особого внимания. Такие выделения
используются в последующих разделах.
ВНИМАНИЕ
Текст, помеченный словом "Внимание", описывает действия, которые необходимо
совершить, чтобы предотвратить возможную потерю данных, либо обеспечить нормальную
работу системы.
ОСТОРОЖНО
Текст, помеченный словом "Осторожно", указывает на риски получения увечий или
повреждения оборудования.
ОБЕСПЕЧЕНИЕ БЕЗОПАСНОЙ РАБОТЫ
На профилометре DektakXT предусмотрено несколько средств обеспечения безопасной
работы.
Красная кнопка аварийного отключения (КАО)
Система DektakXT оснащена красной кнопкой аварийного отключения, установленной на
пульте аварийного отключения (см. рис. 1-1). Этот пульт можно положить в любое удобное
быстродоступное место.
Нажатие на КАО выключает подачу постоянного тока на компоненты системы, кроме
компьютера, монитора и источника питания. Кроме того, сохраняется подача постоянного
напряжения 24В на управляющую цепь пульта аварийного отключения.

1-2 Safety
Figure 1-1: EMO Box
White Power On Button and Black Power Off Button
The DektakXT system is equipped with a white POWER ONbutton and a black POWER OFF button.
These buttons are located next to the red EMERGENCY OFF button on the EMO Box (see
Figure 1-1).
Pressing the POWER ONbutton provides DC power to all system devices but the computer, monitor,
and power supply adapter.
Pressing the POWER OFF button shuts off DC power to all system devices but the computer, monitor,
and power supply adapter. The 24 VDC control circuit in the EMO Box also remains energized.
SAFETY PRECAUTIONS
The DektakXT system is designed to minimize potential health and safety hazards during normal
operation and routine maintenance activities. As with any mechanical system that uses electrical
energy and compressed air, it contains some physical and electrical hazards. You should be aware of
these potential hazards and the controls used to minimize them. Review this section and contact
Bruker if you have any questions on environmental, health, or safety-related issues associated with
the system.
Potential safety hazards associated with the system are clearly identified in this manual. In addition,
warning and safety labels have been placed on the system where there exists a potential for personal
Power Off button
Power On button
Emergency Machine
Off (EMO) button
CAUTION
Use the EMERGENCY OFF button only in case of an emergency.

1-2 Безопасность
Рис. 1-1: Пульт аварийного отключения
ВНИМАНИЕ
Используйте кнопку аварийного отключения только в случае аварии.
Белая кнопка Вкл и черная кнопка Выкл
Для управления питанием система DektakXT оснащена кнопкой ВКЛ (POWER ON) белого
цвета и кнопкой ВЫКЛ (POWER OFF) черного цвета. Эти кнопки расположены рядом с КАО
на пульте (см. рис. 1-1).
Нажатие кнопки ВКЛ приводит к подаче постоянного напряжения на все компоненты
системы, кроме компьютера, монитора и блока питания.
Нажатие кнопки ВЫКЛ приводит к отключению постоянного напряжения от всех
компонентов системы, кроме компьютера, монитора и блока питания. Управляющая цепь
постоянного напряжения 24В также остается включенной.
МЕРЫ ПРЕДОСТОРОЖНОСТИ
Система DektakXT сконструирована так, чтобы минимизировать потенциальные угрозы
здоровью и безопасности при условии правильной эксплуатации и периодического
обслуживания. Как и любая механическая система, использующая электроэнергию и сжатый
воздух, данный прибор несет потенциальную опасность физического и электрического
воздействия. Пользователь должен иметь в виду подобные потенциальные риски и знать
средства для их минимизации. Просмотрите этот раздел инструкции и обратитесь в Брукер,
если возникли вопросы по безопасности прибора, его влияния на здоровье и окружающую
среду.
Возможные угрозы безопасности, связанные с прибором, явно упоминаются в данном
руководстве. Кроме того, на частях профилометра наклеены предупреждающие этикетки с
обозначениями возможной угрозы здоровью оператора, либо риска повреждения
оборудования. Далее в таблице приведен вид этикеток, их описание и месторасположение.
Кнопка аварийного
отключения (КАО)
Кнопка ВКЛ
Кнопка ВЫКЛ