
Table of contents
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Table of contents
1 About this manual . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.1 Validity. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.1.1 Applicable documents . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2 Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2.1 Safety instructions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2.2 Pictographs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
1.2.3 Instructions/Abbreviations used . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
1.2.4 Labels . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2 Safety and maintenance information. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.1 Safety precautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.2 Protective equipment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.3 Maintenance preparation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.4 Tools and spare parts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
3 Maintenance intervals and responsibilities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
3.1 Maintenance time monitoring . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
4 Maintenance replacement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.1 Access to electrical cabinet components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.1.1 Tools set . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.1.2 Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.2 Access to the components of the detection module . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.2.1 Tools set . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.2.2 Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
4.3 Maintenance of the internal calibrated leak . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
4.3.1 Replacement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
4.3.2 Recalibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
4.3.3 Setting. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
4.4 Analyzer cell maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.4.1 Dismantling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.4.2 Seals replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.4.3 Filament replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
4. Maintenance of the turbomolecular pump. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
4. .1 Wheel replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
4. .2 Access to the fluid reservoir . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
4. .3 Replacing the operating fluid reservoir . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
4.6 Maintenance fans . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
4.6.1 Replacement of electrical cabinet fan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
4.6.2 Replacement of detection module fan. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
4.7 Air filter maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
4.7.1 Air filter replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
4.8 Maintenance of the sniffer module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
4.8.1 Replacement of flow reducer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
5 Wiring diagram . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
6 Decommissioning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
6.1 Shutting down for longer periods . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
6.2 Disposal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
6.2.1 Restriction of Hazardous Substances (R.O.H.S.) . . . . . . . . . . . . . 23
6.2.2 Electric and electronic equipments (EEE). . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
7 Malfunctions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
7.1 What happens in the event of a defect . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
7.1.1 Warning fault display. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
7.1.2 Warning / fault window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
7.1.3 List of warnings / faults . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
7.2 Troubleshooting guide . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
7.2.1 Installation of the application. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
7.2.2 Consultation of the application . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
8 Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
9 Spare parts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30