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1 About this manual. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.1 Validity. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.1.1 Applicable documents. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2 Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.1 Safety instructions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.2 Pictographs. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.2.3 Instructions in the text. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.2.4 Abbreviations used . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.2.5 Labels . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2 Safety and maintenance information. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.1 Safety precautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.2 Protective equipment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
2.3 Maintenance preparation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
2.4 Tools and spare parts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
3 Maintenance intervals and responsibilities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
3.1 Maintenance time monitoring . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
4 Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
4.1 Purpose. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
4.2 Calibration with the internal calibrated leak . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
4.2.1 Internal calibrated leak . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
4.2.2 Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
4.3 Calibration with an external calibrated leak . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.3.1 External calibrated leak. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.3.2 Adaptor for external calibrated leaks. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
4.3.3 Calibration procedure with external leak in Hard Vacuum test . . . 14
4.3.4 Calibration procedure with external leak in sniffing test . . . . . . . . 14
4.4 Calibration on concentration (sniffing test mode only) . . . . . . . . . . . . . . . 14
4.5 Calibration of a leak detector connected to a pumping unit . . . . . . . . . . . 15
4.5.1 Purpose. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
4.5.2 Target value. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
4.5.3 Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
5 Maintenance / replacement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
5.1 Cleaning the covers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
5.2 Dismantling the covers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
5.2.1 Dismantling the front cover . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
5.2.2 Dismantling the rear cover . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
5.3 Maintenance of the internal calibrated leak . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
5.3.1 Replacement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
5.3.2 Recalibration. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
5.3.3 Setting. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
5.4 Analyzer cell maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
5.4.1 Dismantling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
5.4.2 Seals replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
5.4.3 Filament replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
5.5 Primary pump maintenance (on Wet Model) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
5.5.1 Location. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
5.5.2 Oil level check. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
5.5.3 Oil quality inspection. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
5.5.4 Draining the pump. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
5.5.5 Flushing the pump. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
5.5.6 Filling the pump. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
5.5.7 Primary pump replacement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
5.5.8 Replacement of the internal oil mist eliminator . . . . . . . . . . . . . . . 26
5.5.9 Installation of an external mist eliminator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
5.6 Maintenance of the turbomolecular pump. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
5.6.1 Location. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28